DE2712181A1 - Messkopf - Google Patents

Messkopf

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DE2712181A1
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Description

FIRMA CARL ZEISS, 7920 HEIDENHEIM (BRENZ)
Meßkopf
1 P
909838/0*6« ,
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Meßkopf zur Bestimmung der räumlichen Koordinaten beliebiger Punkte eines relativ zum Meßkopf bewegten Werkstücks, bestehend aus einem gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, einen oder mehrere Taststif te tragenden Teil.
Bekannt sind solche, auch als Mehrkoordinatentaster bezeichneten Meßköpfe, bei denen der Taststift an einer torsionssteifen Aneinanderreihung von spiel- und reibungsfreien Geradführungssystemen befestigt ist, die als Federparallelogramme ausgebildet sind und die ein räumliches Koordinatensystem bilden. Bei der Antastung des Werkstücks wird eines der Federparallelogramme ausgelenkt und erzeugt über einen zugeordneten Signalgeber einen Antastimpuls. Solche Taster sind zwar äußerst genau, sie verlangen jedoch einen sehr präzisen Auf-
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bau und sind deshalb verhältnismäßig teuer. Außerdem ist zur Auslösung des Antastimpulses eine bestimmte und für die Auslenkung des zugehörigen Fedei— Parallelogramms ausreichende Kraft erforderlich.
Es ist auch ein Meßkopf bekannt, bei dem der an der KoordinatenmeBmaschine befestigte Teil mit V-Lagern ausgestattet ist, in welche mit dem beweglichen Teil verbundene Fortsätze mit kreisförmigem Querschnitt unter der Wirkung einer Feder einrasten. Beim Antasten des Werkstücks wird der am beweglichen Meßkopfteil befestigte Taster aus seiner definierten Ruhelage bewegt, wobei mindestens einer seiner Fortsätze aus dem zugehörigen V-Lager gehoben wird. Dadurch wird entweder ein Stromkreis unterbrochen oder ein gesondertes Schaltelement betätigt, so daß ein Antastimpuls erzeugt wird.
Auch hier ist zur Auslösung des Antastimpulses eine bestimmte, für die Aushebung eines Fortsatzes aus dem zugeordneten Lager ausreichende Kraft erforderlich.
Schließlich ist auch eine Meßsonde bekannt, bei der die eigentliche Sonde gegenüber einem Grundkörper beweglich ist und bei der die beim Antasten ausgelöste Relativbewegung mit Hilfe von kapazitiven, ohmschen, induktiven oder pneumatischen Ueggebern in den Koordinatenrichtungen gemessen wird. Bei Erreichen eines bestimmten Anpreßdruckes der Meßsonde an den Prüfling wird über Schalter die Relativbewegung abgeschaltet. Auch bei dieser Meßsonde ist zur Auslösung des Meßsignals eine bestimmte, zur Einleitung einer Relativbewegung zwischen Sonde und Grundkörper ausreichende Kraft erforderlich.
Es ist nun die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen preiswerten Meßkopf zu schaffen, bei dem die zur Auslösung eines Antastimpulses notwendige Kraft praktisch beliebig klein gehalten werden kann und bei dem auch bei schneller Werkstuckantastung eine Zerstörung des Meßkopfes ebenso vermieden ist wie eine plastische Verformung des Meßobjektes.
Dieses Ziel wird gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß der bewegliche Teil des Meßkopfes aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen besteht, zwischen
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denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche Meßelemente angeordnet sind, und daß die Verbindung zwischen festem und beweglichen Meßkopfteil Ober ein Gelenkglied bewirkt ist, das in Ruhestellung die räumliche Lage des beweglichen Meßkopfteiles hochgenau festlegt.
Als Heßelemente sind zweckmäßig Sensoren verwendet, die auf mechanische und/oder elektrische Reize hochempfindlich ansprechen, beispielsweise Dehnungsmeßstreifen oder piezoelektrische Elemente.
Der bewegliche MeßkopfteiI selbst besteht aus einem ersten, zur Aufnahme des Taststiftes dienenden Teil und einem zweiten mit dem Gelenkglied verbundenen Teil. Diese beiden Teile grenzen mit ebenen Flächen aneinander und sind fest miteinander verbunden, wobei zwischen den ebenen Flächen die Meßelemente angeordnet sind.
Eine geringe, kaum meßbare Kraft auf den Taststift bewirkt, daß trotz der festen Verbindung der beiden Teile des beweglichen MeßkopfteiIs die hochempfindlichen Sensoren ansprechen. Das von ihnen erzeugte Signal wird einem Trigger zugeleitet, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Signal diesen Pegel überschreitet, wird ein Antastimpuls ausgelöst, welcher die in diesem Moment an den Meßsystemen der Koordinatenmeßmaschine anliegenden Daten fixiert. Die elektrischen Schaltelemente zur Verwertung des von den Meßelementen erzeugten
Signals sind zweckmäßig im Meßkopf selbst angeordnet.
Die Empfindlichkeit des Taststiftes hängt von der Einstellung des Signalpegels ab. Wird dieser Pegel sehr niedrig gelegt, so bringt es die dann erreichte hohe Empfindlichkeit mit sich, daß schon bei einer unbeabsichtigten Erschütterung der Heßmaschine oder des Meßkopfs ein Signal ausgelöst wird. Um dadurch bedingt Fehlmessungen zu vermeiden, wird der erste, d.h. der eigentliche Antastimpuls nur dann zur Meßwerterfassung weitergeleitet, wenn innerhalb einer einstellbaren Zeitspanne ein zweiter Impuls, der sogenannte Kenn-Impuls, erzeugt wird.
Bei einer Antastung des Werkstücks wird nach den» Auslösen des Antastimpulses die Bewegung des Werkstücks, bzw. der Messmaschine, abgebremst. Oa diese Ab-
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bremsung aus Gründen der Massenträgheit nicht abrupt erfolgen kann, liegt der Taststift während einer gewissen Zeitspanne am Werkstück an. Während dieser Zeit treten elastische Verformungen des Taststiftes auf und es gibt schließlich das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Meßkopfteil nach, so daß eine Ausweichbewegung des Taststifts freigegeben wird.
Dieser Ablauf des Abtastvorganges macht es möglich, den Kenn-Impuls nach einer vorgegebenen Zeitspanne ebenfalls von den Meßelementen abzuleiten oder aber im Gelenkglied ein Schaltelement vorzusehen, das bei einer Ausweichbewegung des Taststifts diesen zweiten Impuls erzeugt.
Um auch die Verwendung langer, schlanker Taststifte zu ermöglichen und trotzdem schon beim ersten Antasten des Werkstücks den Antastimpuls zu erhalten, ist es vorteilhaft, die Meßelemente in unmittelbarer Nahe der Tastkugel des Taststiftes anzuordnen.
Das Gelenkglied zwischen dem festen und dem beweglichen Meßkopfteil kann in verschiedener Weise ausgebildet sein. Es muß gewährleisten, daß sich beim Abheben des Taststiftes vom Werkstück die dreidimensionale Lage des dann freistehenden Taststiftes wieder hochgenau regeneriert.
Verschiedene mögliche Ausbildungen des Gelenkgliedes werden zusammen mit den, Ausführungsbeispiele des Meßkopfes nach der Erfindung darstellenden Figuren 1 bis 11 der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Im einzelnen zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht eines Ausfuhrungsbeispiels des Meßkopfes;
Fig. 2 eine Ansicht des beweglichen Meßkopfteiles des Meßkopfes der Fig. 1;
Fig. 3 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel des
Meßkopfes;
Fig. 4 einen Schnitt entlang der Linie IV-IV der Fig. 3;
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Fig. 5 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel eines beim Meßkopf nach Fig. 1 oder 3 verwendbaren Zwischenrings;
Fig. 6 einen Teilschnitt durch einen Zwischenring mit hohlkugelförmigen Lagern;
Fig. 7 den zeitlichen Verlauf des beim Antasten eines Werkstücks von einem der Meßelemente abgegebenen Signals;
Fig. 8 einen Teilschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel für einen beweglichen Meßkopfteil;
Fig. 9 einen Schnitt entlang der Linie IX-IX der Fig. 8;
Fig. 10 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Meßkopfs;
Fig. 11 einen Teilschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Meßkopfs.
In Fig. 1 ist mit 1 der gehäusefeste Teil eines Meßkopfs bezeichnet, welcher über den Flansch 2 fest mit einer hier nicht dargestellten Koordinatenmeßmaschine verbunden ist. Der relativ zum Teil 1 bewegliche Meßkopfteil ist mit 3 bezeichnet und trägt einen Taststift 4. Der feste Teil 1 ist mit Fortsätzen 1a, 1b und 1c versehen, von denen jeder mit einer Lagerkugel 5a, 5b, 5c fest verbunden ist.
Der bewegliche Meßkopfteil 3 besteht, wie Fig. 2 zeigt, aus den beiden Teilen 3a und 3b, die entlang des oberen Randes des Teiles 3a mit ebenen Flächen aneinandergrehzen. Die Teile 3a und 3b sind fest miteinander verbunden, wobei jedoch zwischen diesen Teilen drei, gleichmäßig über den Umfang verteilte piezoelektrische Elemente angeordnet sind. Eines dieser Elemente ist in Fig.2 sichtbar und ist mit 6 bezeichnet.
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Der ringförmige Teil 3b ist an seiner Unterseite mit drei gleichmäßig über den Umfang verteilten Lagerkugeln 7a, 7b, 7c fest verbunden, von denen in Fig. 2 die Kugel 7a sichtbar ist.
Mit 8 ist ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestellten Beispiel drei gleichmäßig Ober seinen Umfang verteilte Lager 8a - 8c aufweist. Im festen Teil 1 ist eine Zugfeder 9 angeordnet, welche über Ketten oder Drähte mit dem Zwischenring 8 verbunden ist und diesen an das Teil T zieht. Dabei greifen die Kugeln 5a, 5b und 5c in die Lager 8a, 8b, 8c des Zwischenringes ein. Der bewegliche Teil 3 greift mit seinen Kugeln 7a, 7b, 7c in die entsprechenden Lager 8a, 8b, 8c des Zwischenringes 8 ein und wird mit Hilfe von Magneten, von denen ein Paar mit 10 bezeichnet ist in Ruhelage gehalten.
Mit 11 sind elektrische Schaltelemente bezeichnet, welche im Teil 3a angeordnet sind und welche dazu dienen, die von den Meßelementen 6 gelieferten Signale in das eigentliche Meßsignal umzuformen.
Die Wirkungsweise des in den Figuren 1 und 2 dargestellten Meßkopfs ist folgende. Der Meßkopf wird relativ zur Meßmaschine auf das zu messende Werkstück zu bewegt. Beim ersten Kontakt des Taststiftes 4 mit dem Werkstück sprechen die Meßelemente 6 an und erzeugen ein Signal, dessen Verlauf beispielsweise in Fig. 7 dargestellt ist. Die Schaltelemente 11 enthalten einen Trigger, dessen Pegel einstellbar ist. Sobald das Meßsignal den Pegel des Triggers übersteigt, wird ein Impuls ausgelöst, welcher die im Moment an den Meßsystemen der Meßmaschine anliegenden Daten fixiert. Dieser Zeitpunkt ist in Fig. 7 mit t* bezeichnet. Im weiteren Verlauf des Antastvorganges beginnt nun das Abbremsen der Bewegungen der Meßmaschine. Es treten dabei erste elastische Verformungen des Taststiftes 4 auf. Die Kraft auf diesen Taststift und somit auf den beweglichen Teil 3 wird größer, bis sich schließlich dieser Teil gegenüber den Zwischenring 8 bewegt. Dadurch wird eine Ausweichbewegung des Taststiftes 4 zusammen mit dem beweglichen Teil 3 ermöglicht, so daß eine Zerstörung des Meßkopfes ebenso verhindert ist, wie eine plastische Verformung des angetasteten Werkstückes. Bei der Ausweichbewegung des beweglichen Teiles 3 hebt sich mindestens eine der Lagerkugeln 5a,5b,5c oder 7a,7b,7c aus ihrem zugeordneten Lager auf dem Zwischenring
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Bei niedriger Einstellung des Trigger-Pegels, d.h. bei hoher Empfindlichkeit des Meßkopfs wird durch die Schaltelemente 11 nach einer einstellbaren Zeitspanne zu dem in Fig. 7 mit t_ bezeichneten Zeitpunkt wieder abgefragt, ob an den Meßelementen 6 noch eine Spannung liegt. Da die Zeitspanne t_ - t. kurz ist, sie' liegt in der Größenordnung von 100 ms, ist eine solche Spannung in jedem Fall vorhanden und es wird ein zweiter Impuls, der sogenannte Kennimpuls erzeugt. Dieser zweite Impuls bewirkt, daß der erste, der eigentliche Antastimpuls zu der hier nicht dargestellten Auswerteschaltung weitergeleitet wird.
Wenn der Abbremsvorgang beendet ist und sich der Taster 4 wieder vom angetasteten Werkstück löst,regeneriert sich die dreidimensionale Lage des dann wieder freistehenden Taststiftes 4 über die in den Fig. 1 und 2 dargestellte Lagerung wieder exakt und es kann die nächste Antastung vorgenommen werden.
Wird mit dem Heßkopf eine Innenantastung einer z.B. waagerecht liegenden Bohrung eines Werkstückes vorgenommen, so legt sich einer der in Fig. 1 dar- .· gestellten waagrechten Fortsätze des Taststiftes 4 an die Werkstückinnenseite an. Bei der zur Messung dienenden Aufwärtsbewegung des Meßkopfes bewegt sich der Zwischenring 8' zusammen mit dem beweglichen Teil 3 gegenüber dem feststehenden Teil 1, wobei die Lagerkugeln 5a, 5b, 5c aus ihren entsprechenden Lagern auf dem Zwischenring 8 bewegt werden. Durch die dargestellte und beschriebene Ausbildung des Gelenkgliedes 1st also vermieden, daß bei einer Aufwärtsbewegung des Meßkopfes eine Zerstörung des Tastsystems auftreten kann.
Bei dem in den Fig. 3 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der feste Meßkopfteil mit 12 bezeichnet, der bewegliche Meßkopfteil besteht aus den beiden fest miteinander verbundenen Teilen 13a und 13b, welche den Taststift 14 tragen. Die Teile 13a und 13b grenzen entlang ebener Oberflächen aneinander und zwischen ihnen sind die beispielsweise als piezoelektrische Elemente ausgebildeten Meßelemente 16a, 16b, 16c, 16d und 16e angeordnet. Die Elemente 16a und 16b messen beispielsweise eine Antastung in x-Richtung, die Elemente 16d und 16c eine Antastung in y-Richtung und das Element 16e eine Antastung in z-Richtung..
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Der bewegliche Teil 13b ist mit drei gleichmäßig über seinen Umfang verteilten Lagerkugeln 17a, 17b und 17c verbunden, von denen im Schnitt der Fig. 4 die Kugeln 17a und 17d sichtbar sind. Der feste Heßkopfteil 12 ist mit drei Lagerkugeln 15a, 15b, 15c fest verbunden. Mit 18 ist ein Zwischenring bezeichnet, welcher im dargestellten Beispiel drei gleichmäßig über seinen Umfang verteilte V-Lager 18a, 18b, 18c aufweist. In das V-Lager 18a greifen die Lagerkugeln 17a und 15a ein. Eine mit 19 bezeichnete Spiralfeder drückt den Zwischenring 18 auf den festen Teil 12. Eine Feder 20 zieht den beweglichen Teil 13b an den Zwischenring 18.
Die Wirkungsweise des in den Figuren 3 und 4 dargestellten Meßkopfs entspricht im wesentlichen derjenigen des Meßkopfs nach den Figuren 1 und 2. Auch hier bewegt sich bei einer Auslenkung in x- und y-Richtung der bewegliche Meßkopfteil 13a und 13b' zusammen mit dem Taststift 14 relativ zum Zwischenring 18, wobei mindestens eine der Kugeln 17a, 17b, 17c oder 15a, 15b, 15c das zugeordnete V-Lager im Ring 18 verläßt.
Der Zwischenring 18 der Figur 3 ist in dem dargestellten Beispiel mit V-Lagern ausgestattet. Es ist jedoch auch möglich, anstelle dieser Lager andere zu verwenden, wie dies im Ausführungsbeispiel der Fig. 5 gezeigt ist. Der dort mit 28 bezeichnete Zwischenring trägt' zwei V-Lager 21 und 22, sowie zwei ebene Lagerplatten 23 und 24. Ein weiteres Lager 25 ist als Negativ-Fora einer Pyramidenspitze ausgebildet. Der mit diesem Lager erreichbare Effekt, nämlich die genaue Plazierung einer Lagerkugel läßt sich auch mittels eines Lagers erreichen, das aus drei Kugeln besteht, in deren Mitte dann die Lagerkugel eingreift. In der Darstellung der Fig. 1 sind im Zwischenring 8 Lager verwendet, die den Lagern 21, 23, 25 der Fig. 5 entsprechen.
In Fig. 6 ist ein Teilschnitt durch einen Zwischenring 33 dargestellt, der mit einer Lagerkugel 35 verbunden ist. Dem beweglichen MeßkopfteiI 33 ist hier ein mit 38 bezeichneter Zwischenring zugeordnet, welcher höhIkugelförmig ausgebildete Lagerstellen aufweist. Diese lassen sich beispielsweise durch eine Abformung der entsprechenden Lagerkugeln im Teil 33 erzeugen, die dann in Form
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eines Einsatzes 39 im Zwischenring 38 verankert ist. Durch eine Bohrung wird zweckmäßig Luft in die Lagerstelle geblasen, so daß die Kugel 35 auf einem dünnen Luftpolster ruht, über die Bohrung 32 ist ein pneumatischer Fühler 31 angeschlossen, welcher auf geringste Veränderungen der Spaltbreite zwischen den Teilen 35 und 39 reagiert. Solche pneumatische Meßfühler können zur Auslösung des zweiten Impulses beim Antastvorgang verwendet werden.
In Fig. 8 ist ein Taststift dargestellt, welcher aus den beiden Teilen und 45 besteht. Diese beiden Teile sind über die Fortsätze 45a, 45b, 45c fest miteinander verbunden. Zwischen Ihnen ist ein dreigeteiltes piezoelektrisches Element 46 angeordnet. Mit Hilfe dieses Elementes lassen sich alle drei Koordinatenrichtüngen erfassen.
Der in den Figuren 8 und 9 dargestellte Taststift weist den Vorteil auf, daß das Meßelement 46 in unmittelbarer Nähe der Meßkugel angeordnet ist. Beim Antasten eines Werkstückes wird also sofort ein Antastimpuls ausgelöst, d.h. dieser Impuls muß nicht erst noch durch Schall-Leitung bis zu weiter oben angeordneten Meßelementen weitergeführt werden. Der Taststift kann deshalb vorzugsweise lang und schmal ausgebildet werden und führt dennoch zu sehr exakten und genau reproduzierbaren Meßergebnissen.
In Fig. 10 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Meßkopfes dargestellt. Der feste Meßkopfteil ist mit 52 bezeichnet, während der mit dem Taststift verbundene bewegliche Meßkopfteil die Bezeichnung 55 trägt. Zwischen den Teilen 52 und 55 ist ein Federbalg 56 angeordnet, der zur Vermeidung von Schwingungen mit öl gefüllt ist. Die piezoeleketrischen Meßelemente sind wie bei den schon besprochenen Ausführungsbeispielen im beweglichen Meßkopfteil 55 angeordnet. Das Gelenkglied 56, d.h. der Federbalg kann hier beispielsweise mit Dehnungsmeßstreifen versehen sein, die bei einer Ausweichbewegung des Taststiftes 54 ein Signal liefern, welches zu dem zweiten Impuls verarbeitet werden kann. Ein Dehnungsmeßstreifen ist beispielsweise dargestellt und mit 57 bezeichnet.
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Anstelle des Federbalges 56 kann auch eine Schraubenfeder vorgesehen sein. In jedem Fall ist es notwendig, daß das Gelenksystem die dreidimensionale Lage des freistehenden Taststiftes exakt definiert und regeneriert.
Das in Fig. 11 dargestellte Ausführungsbeispiel des Meßkopfs entspricht in seinem Aufbau im wesentlichen der Fig. 3. Der mit der Meßmaschine fest verbundene Teil 62 ist über einen Zwischenring 68 mit dem auslenkbaren Teil 63 gelenkig verbunden. Der Teil 63 trägt einen Taststift 64. Auf dem Zwischenring 68 ist ein Hohlspiegel 65 fest angeordnet. Dieser bildet das von einer gehäusefesten Lichtquelle 66 ausgehende Licht auf einen gehäusefesten Empfänger 67 ab. Dieser kann beispielsweise als eine 4-Quadranten-Photodiode ausgebildet sein. Im Ruhezustand werden alle vier Quadranten des Empfängers gleichmäßig beaufschlagt, so daß nachgeordnete Schaltelemente kein Signal liefern.
Sobald der Teil 63 ausgelenkt wird, liefert der Empfänger 67 ein Signal, das beispielsweise zur Erzeugung eines Kenn-Imputses verwendet werden kann.
Außerdem läßt sich mit der in Fig. 11 dargestellten Einrichtung automatisch die Einhaltung der exakten Null-Lage des auslenkbaren Teils 63 bei freistehendem Taststift 64 überwachen.
Wie die vorstehende Beschreibung zeigt, sind sämtliche Ausführungsbeispiele des Meßkopfs einfach und kostensparend aufgebaut. Es müssen nur sehr kleine Massen bewegt werden, so daß kleine dynamische Kräfte und wenig Belastung der eigentlichen Meßmaschine durch Gewicht auftreten. Der neue Meßkopf ermöglicht einen schnellen Antastvorgang und erlaubt deshalb Antastungen in schneller Folge, wodurch die Messzeit gegenüber bekannten Systemen gesenkt werden kann.
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Claims (16)

Patentansprüche
1. iMeßkopf zur Bestimmung der räumlichen Koordinaten beliebiger Punkte
^—'eines relativ zum Meßkopf bewegten Werkstücks, bestehend aus einem gehäusefesten und einem relativ zu diesem beweglichen, einen oder mehrere Taststifte tragenden Teil, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Teil (3) des Meßkopfes aus zwei fest miteinander verbundenen Teilen (3a, 3b) besteht, zwischen denen ein oder mehrere auf Zug und Druck hochempfindliche Meßelemente (6) angeordnet sind, und daß die Verbindung zwischen festem (1) und beweglichem (3) Meßkopfteil Ober ein Gelenkglied (8) bewirkt ist, das in Ruhestellung die räumliche Lage des beweglichen Meßkopfteiles hochgenau festlegt.
2. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Meßelevente piezoelektrische Elemente (6) verwendet sind.
3. Meßkopf nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Meßkopfteil (3,13) aus einem ersten (3a, 13a) zur Aufnahme des Taststiftes (4,14) dienenden Teil und einem zweiten (3b, 13b) mit dem Gelenkglied (8,18) verbundenen Teil besteht, daß beide Teile mit ebenen Flächen aneinandergrenzen und fest miteinander verbunden sind und daß zwischen diesen ebenen Flächen die Meßelemente (6) angeordnet sind.
4. Meßkopf nach Anspruch 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anordnung (11,57) vorgesehen ist, die nach erfolgtem Antasten des Uerkstücks innerhalb einer einstellbaren Zeitspanne (t_-t..) einen Kennimpuls auslöst, und daß der erste Antastimpuls nur nach Auslösen dieses Kennimpulses zur Meßwerterfassung weitergeleitet ist.
5. Meßkopf nach Anspruch 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß die Mteßeletnente (6) mit im Meßkopf angeordneten elektrischen Schaltelementen (11) verbunden sind, die zur Umformung der Meßsignale in Antastimpulse und in Kennimpulse dienen.
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6. Heßkopf nach Anspruch 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelemente (46) in unmittelbarer Nähe der Tastkugel (45) des Taststiftes (44) angeordnet sind.
7. Meßkopf nach Anspruch 1 - 6, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl am festen (1) als auch am beweglichen (3) Tasterteil jeweils mindestens 3 gleichmäßig Ober den Umfang verteilte und in einer Ebene angeordnete Kugeln (5a,5b,5c,7a,7c) befestigt sind, daß ein mit mindestens drei Gegenlagern (8a,8b,8c) versehener Zwischenring (8) so angeordnet ist, daß die Kugeln des festen und des beweglichen Meßkopfteils in seine Lager eingreifen und daß Federelemente (9) vorgesehen sind, welche die beiden Meßkopfteile (1,3) und den Zwischenring (8) in ihrer Position halten.
8. Meßkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenring (28) für den festen und den beweglichen Meßkopfteil jeweils mindestens ein als Negativ-Form einer Pyramidenspitze ausgebildetes Lager (25), ein V-Lager (21) und eine ebene Lagerplatte (23) enthält.
9. Meßkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Lager des Zwischenringes (38) als Hohlkugeln ausgebildet sind.
10. Meßkopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Kugel (35) und Hohlkugel (39) jeweils ein Luftpolster erzeugt ist.
11. Meßkopf nach Anspruch 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen seinem festen und seinem beweglichen Teil als Gelenkglied eine Schraubenfeder vorgesehen ist.
12. Meßkopf nach Anspruch 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen seinem festen (52) und seinem beweglichen (55) Teil als Gelenkglied ein ölgefüllter Federbalg (56) vorgesehen ist.
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13. Meßkopf nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß auch der, zur Bestätigung des ersten Antastimpulses dienende Kennimpuls von den Meßelementen (6) erzeugt oder abgeleitet ist.
14. Meßkopf nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß im Gelenkglied (56) Schaltelemente (57) zu Erzeugung des Kennimpulses vorgesehen sind.
15. Meßkopf nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß am Gelenkglied (68) ein Spiegel (65) befestigt ist, der zur Umlenkung der von einer gehSusefesten Quelle (66) ausgehenden Strahlung auf einen gehäusefesten Empfänger (67) dient.
16. Meßkopf nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel als Hohlspiegel (65) und der Empfänger (67) als Vier-Quadranten-Empfänger ausgebildet ist.
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DE2712181A 1977-03-19 1977-03-19 Tastsystem Expired DE2712181C3 (de)

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