JP2759894B2 - 物体の保持機構 - Google Patents
物体の保持機構Info
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- JP2759894B2 JP2759894B2 JP21047990A JP21047990A JP2759894B2 JP 2759894 B2 JP2759894 B2 JP 2759894B2 JP 21047990 A JP21047990 A JP 21047990A JP 21047990 A JP21047990 A JP 21047990A JP 2759894 B2 JP2759894 B2 JP 2759894B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、保持角度を調節可能に保持する必要がある
物体例えばレンズ等の光学部品等の物体の保持機構に関
するものである。
物体例えばレンズ等の光学部品等の物体の保持機構に関
するものである。
［従来の技術］ 光学部品等のように、物体の傾斜角度を調節可能に保
持する必要がある場合には、平板状の保持板の底面を軸
支し、少なくとも二つが保持板の底面に直角な方向に変
位可能である三つのピヴォットを使用した保持機構が、
良く採用される。
持する必要がある場合には、平板状の保持板の底面を軸
支し、少なくとも二つが保持板の底面に直角な方向に変
位可能である三つのピヴォットを使用した保持機構が、
良く採用される。
第３図は、従来の物体の保持機構のうち保持板の底面
を示す平面図であり、第４図は、第３図の保持板を使用
した従来の保持機構を説明するために示した図で、第３
図の線Ｙ−Ｙでの断面図になっている。
を示す平面図であり、第４図は、第３図の保持板を使用
した従来の保持機構を説明するために示した図で、第３
図の線Ｙ−Ｙでの断面図になっている。
第３図，第４図において、21は物体１を保持する支持
体であり、この支持体21の上面22が保持板２に固着され
ている。
体であり、この支持体21の上面22が保持板２に固着され
ている。
保持板２の底面を三つのピヴォットで軸支する場合に
は、通常ピヴォット軸受として、円錐凹面体30a,V溝体3
0b及び平面体30cが、三つのピヴォットにそれぞれ対遇
するように構成される。
は、通常ピヴォット軸受として、円錐凹面体30a,V溝体3
0b及び平面体30cが、三つのピヴォットにそれぞれ対遇
するように構成される。
そして、円錐凹面体30aよりなるピヴォット軸受が、
物体１に対する所定の点Ｓを長辺の中点とした直角二等
辺三角形の直角の頂点Ａの位置に位置するように配置す
る（この物体１に対する所定の点Ｓとは、保持角度調整
の際に基準となる点で、例えば、物体がレンズの場合に
はレンズの光軸中心がこの基準点Ｓにあたる。以下基準
点Ｓという）。
物体１に対する所定の点Ｓを長辺の中点とした直角二等
辺三角形の直角の頂点Ａの位置に位置するように配置す
る（この物体１に対する所定の点Ｓとは、保持角度調整
の際に基準となる点で、例えば、物体がレンズの場合に
はレンズの光軸中心がこの基準点Ｓにあたる。以下基準
点Ｓという）。
Ｖ溝体30bよりなるピヴォット軸受及び平面体30cより
なるピヴォット軸受は、それぞれ直角二等辺三角形の他
の頂点B,Cの位置に位置するように配置する。
なるピヴォット軸受は、それぞれ直角二等辺三角形の他
の頂点B,Cの位置に位置するように配置する。
以上の構成において、調整ねじ40a2もしくは40b2を調
節して、三つのピヴォット対遇の中立点を結んでできる
平面Ｐ内に基準点を正しく位置させる。
節して、三つのピヴォット対遇の中立点を結んでできる
平面Ｐ内に基準点を正しく位置させる。
尚、以下の説明の便宜上、中立点とは円錐凹面体より
なるピヴォット軸受及びＶ溝体よりなるピヴォット軸受
の場合、対遇するピヴォットの先端が球面の場合には、
該球面の中心（第４図のＯ）を中立点といい対遇するピ
ヴォットの先端が円錐状に場合には、先端の点を中立点
という。
なるピヴォット軸受及びＶ溝体よりなるピヴォット軸受
の場合、対遇するピヴォットの先端が球面の場合には、
該球面の中心（第４図のＯ）を中立点といい対遇するピ
ヴォットの先端が円錐状に場合には、先端の点を中立点
という。
［発明が解決しようとする課題］ 従来の光学部品の保持機構としては、上記のように構
成されているために次のような問題点を有していた。
成されているために次のような問題点を有していた。
三つのピヴォット軸受が、円錐凹面体、Ｖ溝体及び平
面状というそれぞれ異なる形状のため、必要な形状寸法
精度のものを作るのに非常に手間がかかり、生産性が良
くない。
面状というそれぞれ異なる形状のため、必要な形状寸法
精度のものを作るのに非常に手間がかかり、生産性が良
くない。
精度の高い角度調節のためには、三つのピヴォット対
遇の中立点を結んでできる平面内に、前記基準点が正し
く位置することが必要となる。
遇の中立点を結んでできる平面内に、前記基準点が正し
く位置することが必要となる。
しかし、前記のように三つのピヴォット軸受が、それ
ぞれ異なる形状のため、三つのピヴォット対遇の中立点
を結んでできる平面Ｐ内に、前記基準点を正しく位置さ
せることは、かなり面倒になる。
ぞれ異なる形状のため、三つのピヴォット対遇の中立点
を結んでできる平面Ｐ内に、前記基準点を正しく位置さ
せることは、かなり面倒になる。
この発明はかかる従来の課題を解決するためになされ
たもので、必要な形状寸法精度のものを作るのが容易で
生産性が高く、精度の高い角度調節の可能な物体の保持
機構を提供することを目的とする。
たもので、必要な形状寸法精度のものを作るのが容易で
生産性が高く、精度の高い角度調節の可能な物体の保持
機構を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明の物体の保持
機構は物体を保持する保持板と、該保持板の底面に設け
られた三つのＶ溝体と、該三つのＶ溝体のＶ溝で保持板
を軸支し、少なくとも二つが保持板の底面に直角な方向
に変位可能な三つのピヴォットとよりなり、三つのＶ溝
体のうち、第一のＶ溝体は前記物体に対する所定の点を
長辺の中点とした直角三角形の直角の頂点の位置に位置
し、第二のＶ溝体は該直角三角形の直角の頂点以外の第
一の頂点の位置に位置し、第三のＶ溝体は該直角三角形
の直角の頂点以外の第二の頂点の位置に位置し、さら
に、第一のＶ溝体のＶ溝は、前記直角三角形の長辺の中
心と前記直角の頂点とを結ぶ方向に向き第二のＶ溝体の
Ｖ溝は、前記直角の頂点以外の第一の頂点と前記直角の
頂点を結ぶ方向に向き、第三のＶ溝体のＶ溝は、前記直
角の頂点以外の第二の頂点と前記直角の頂点を結ぶ方向
に向く構成を有するものである。
機構は物体を保持する保持板と、該保持板の底面に設け
られた三つのＶ溝体と、該三つのＶ溝体のＶ溝で保持板
を軸支し、少なくとも二つが保持板の底面に直角な方向
に変位可能な三つのピヴォットとよりなり、三つのＶ溝
体のうち、第一のＶ溝体は前記物体に対する所定の点を
長辺の中点とした直角三角形の直角の頂点の位置に位置
し、第二のＶ溝体は該直角三角形の直角の頂点以外の第
一の頂点の位置に位置し、第三のＶ溝体は該直角三角形
の直角の頂点以外の第二の頂点の位置に位置し、さら
に、第一のＶ溝体のＶ溝は、前記直角三角形の長辺の中
心と前記直角の頂点とを結ぶ方向に向き第二のＶ溝体の
Ｖ溝は、前記直角の頂点以外の第一の頂点と前記直角の
頂点を結ぶ方向に向き、第三のＶ溝体のＶ溝は、前記直
角の頂点以外の第二の頂点と前記直角の頂点を結ぶ方向
に向く構成を有するものである。
［作用］ 上記の構成を有することにより簡単な方法で、三つの
ピヴォット対遇の中立点を結んでできる平面Ｐ内に、基
準点を正しく位置させることができる。
ピヴォット対遇の中立点を結んでできる平面Ｐ内に、基
準点を正しく位置させることができる。
［実施例］ 第１図は本発明の一実施例である物体の保持機構のう
ちの保持板の底面を示す平面図であり、第２図は第１図
の線Ｘ−Ｘでの断面図である。
ちの保持板の底面を示す平面図であり、第２図は第１図
の線Ｘ−Ｘでの断面図である。
第１図において、物体１を保持する支持体21の上面22
は保持板２に対してねじ23によって固着されており、こ
の保持板２は調整ねじ4b2,4c2により各々の高さ方向の
調整がなされる。ピヴォット4aは基板５に固定され、先
端にボール4a1を有し、保持板２に固定されたＶ溝体3a
に当接する。また、ピヴォット4bは基板５に螺合し、先
端にボール4b1を有し、保持板２に固定されたＶ溝体3b
に当接する。そして、摘み部4b2を回すと、保持板２の
底面20に直角な方向に変位が可能である。さらに、ピヴ
ォット4cもピヴォット4bと同じように、基板５に螺合
し、先端にボール4c1を有し、保持板２に固定されたＶ
溝体3cに当接する。
は保持板２に対してねじ23によって固着されており、こ
の保持板２は調整ねじ4b2,4c2により各々の高さ方向の
調整がなされる。ピヴォット4aは基板５に固定され、先
端にボール4a1を有し、保持板２に固定されたＶ溝体3a
に当接する。また、ピヴォット4bは基板５に螺合し、先
端にボール4b1を有し、保持板２に固定されたＶ溝体3b
に当接する。そして、摘み部4b2を回すと、保持板２の
底面20に直角な方向に変位が可能である。さらに、ピヴ
ォット4cもピヴォット4bと同じように、基板５に螺合
し、先端にボール4c1を有し、保持板２に固定されたＶ
溝体3cに当接する。
以上のような構成により、三つのＶ溝体3a,3b,3cは、
同じ形状寸法でかつ、加工に際しては部品を一直線に並
べてＶ溝を同時に加工するか、工作機械で長いＶ溝体を
形成し、切断すれば良い。それによって、容易に必要な
精度が得られる。その上、保持板２への取付構造も同じ
にできる。さらに、中立点を結んでできる平面Ｐと基準
点Ｓとを容易に一致させることができる。
同じ形状寸法でかつ、加工に際しては部品を一直線に並
べてＶ溝を同時に加工するか、工作機械で長いＶ溝体を
形成し、切断すれば良い。それによって、容易に必要な
精度が得られる。その上、保持板２への取付構造も同じ
にできる。さらに、中立点を結んでできる平面Ｐと基準
点Ｓとを容易に一致させることができる。
上記の実施例の他に他の実施例として、三つのピヴ
ォットすべて変位可としても良い。即ち、三つのピヴォ
ットを等距離、同方向に動かせば保持板は基準軸方向に
平行移動する。また、固定ピヴォットは、他のピヴォ
ットでも良い。そして、基準点Ｓは必ずしもレンズの
光学的中心になくとも良いが傾斜調節によってレンズの
光学的中心が大幅に光軸からずれる場合は、XY方向移動
機構が必要である。Ｖ溝体を基板に、ピヴォットを支
持板に設けてもよい。さらに、物体としては投影露光装
置に組み込まれるフォトマスク等であってもよい。
ォットすべて変位可としても良い。即ち、三つのピヴォ
ットを等距離、同方向に動かせば保持板は基準軸方向に
平行移動する。また、固定ピヴォットは、他のピヴォ
ットでも良い。そして、基準点Ｓは必ずしもレンズの
光学的中心になくとも良いが傾斜調節によってレンズの
光学的中心が大幅に光軸からずれる場合は、XY方向移動
機構が必要である。Ｖ溝体を基板に、ピヴォットを支
持板に設けてもよい。さらに、物体としては投影露光装
置に組み込まれるフォトマスク等であってもよい。
［発明の効果］ 以上説明したとおり、この発明によれば、必要な形状
寸法精度のものを簡単に作ることができるので生産性が
よく、かつ、三つのピヴォット対遇の中立点を結んでで
きる平面内に基準点を正しく位置させることができるの
で、精度の高い角度調節が行える。
寸法精度のものを簡単に作ることができるので生産性が
よく、かつ、三つのピヴォット対遇の中立点を結んでで
きる平面内に基準点を正しく位置させることができるの
で、精度の高い角度調節が行える。
第１図は本発明の一実施例である物体の保持機構のうち
の保持板の底面を示す平面図、第２図は第１図の線Ｘ−
Ｘでの断面図、第３図は従来の物体の保持機構のうち保
持板の底面を示す平面図、第４図は第３図の保持板を使
用した従来の保持機構を説明するために示した図であ
る。 図中． 1:物体 2:保持板 3a,3b,3c:V溝体 4a1,4b1,4c1:ボール 4b2,4c2:調整ねじ 5:基板 S:基準点
の保持板の底面を示す平面図、第２図は第１図の線Ｘ−
Ｘでの断面図、第３図は従来の物体の保持機構のうち保
持板の底面を示す平面図、第４図は第３図の保持板を使
用した従来の保持機構を説明するために示した図であ
る。 図中． 1:物体 2:保持板 3a,3b,3c:V溝体 4a1,4b1,4c1:ボール 4b2,4c2:調整ねじ 5:基板 S:基準点
Claims (1)
- 【請求項１】物体を保持する保持板と、 該保持板の底面に設けられた三つのＶ溝体と、 該三つのＶ溝体のＶ溝で保持板を軸支し、少なくとも二
つが保持板の底面に直角な方向に変位可能な三つのピヴ
ォットとよりなり、 三つのＶ溝体のうち、 第一のＶ溝体は前記物体に対する所定の点を長辺の中点
とした直角三角形の直角の頂点の位置に位置し、 第二のＶ溝体は該直角三角形の直角の頂点以外の第一の
頂点の位置に位置し、 第三のＶ溝体は該直角三角形の直角の頂点以外の第二の
頂点の位置に位置し、 さらに、 第一のＶ溝体のＶ溝は、前記直角三角形の長辺の中心と
前記直角の頂点とを結ぶ方向に向き 第二のＶ溝体のＶ溝は、前記直角の頂点以外の第一の頂
点と前記直角の頂点を結ぶ方向に向き、 第三のＶ溝体のＶ溝は、前記直角の頂点以外の第二の頂
点と前記直角の頂点を結ぶ方向に向くことを特徴とする
物体の保持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21047990A JP2759894B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 物体の保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21047990A JP2759894B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 物体の保持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497209A JPH0497209A (ja) | 1992-03-30 |
| JP2759894B2 true JP2759894B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=16590028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21047990A Expired - Fee Related JP2759894B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 物体の保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2759894B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108802954A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-11-13 | 苏州艾力光电科技有限公司 | 一种透镜角度调节装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4945864B2 (ja) * | 2000-08-18 | 2012-06-06 | 株式会社ニコン | 保持装置、光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法 |
| JP4963814B2 (ja) * | 2005-09-06 | 2012-06-27 | ペンタックスリコーイメージング株式会社 | ステージ装置、及びステージ装置を利用したカメラの手振補正装置 |
| JP5253954B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-07-31 | 日本電産コパル株式会社 | 像振れ補正装置及び光量制御装置 |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP21047990A patent/JP2759894B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108802954A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-11-13 | 苏州艾力光电科技有限公司 | 一种透镜角度调节装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0497209A (ja) | 1992-03-30 |
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Legal Events
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