JP4489435B2 - 測定システム - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 29
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 12
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C11/00—Pivots; Pivotal connections
- F16C11/04—Pivotal connections
- F16C11/10—Arrangements for locking
- F16C11/103—Arrangements for locking frictionally clamped
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- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
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- F16M11/12—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting in more than one direction
- F16M11/14—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting in more than one direction with ball-joint
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M13/00—Other supports for positioning apparatus or articles; Means for steadying hand-held apparatus or articles
- F16M13/02—Other supports for positioning apparatus or articles; Means for steadying hand-held apparatus or articles for supporting on, or attaching to, an object, e.g. tree, gate, window-frame, cycle
- F16M13/027—Ceiling supports
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16M2200/00—Details of stands or supports
- F16M2200/02—Locking means
- F16M2200/021—Locking means for rotational movement
- F16M2200/022—Locking means for rotational movement by friction
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Description
本発明において、各軸線を較正するための非共通の座標開始位置があり、これら座標開始位置と前記交点との間の距離が知られているものであってよい。
前記ケーブル取り付け装置には複数の角度をなす面が設けられ、このケーブル取り付け装置の2つ以上の面には前記補助取り付け装置の相互に補完し合う部品が設けられ、当該ケーブル取り付け装置の異なる面が前記第1のハウジングの異なる位置調整のために前記ベースに装着可能であり、前記ケーブルが前記第1のハウジングの各位置調整のために前記第1のハウジングに等しい力を伝えるようになっているものであってよい。
Claims (23)
- 少なくとも2つのハウジングを有し、機械装置を較正するための測定システムであって、
第1のハウジング(20)を取り付け可能であって前記機械装置の第1の面に装着可能なベース(10)と、
前記機械装置の第2の面に取り付け可能な第2のハウジング(22)と
を具え、前記機械装置の前記第1および第2の面が相対的に移動可能であり、
前記ベース(10)の少なくとも1つの面と前記第1のハウジング(20)の少なくとも1つの面とには第1の取り付け装置(16)の相互に補完し合う部品がそれぞれ設けられ、この第1の取り付け装置の2つの前記部品が相互に連結された場合、前記第1および第2のハウジング(20,22)が予め設定された複数の方向に位置調整できるようになっており、
前記第1および第2のハウジング(20,22)は、前記第1のハウジングに対する前記第2のハウジングの相対移動方向に沿った複数の軸線の交点(O)があるように組み合わされ、各軸線を較正するための座標開始位置は、前記第2のハウジングが前記交点を通過するように、前記交点(O)か、あるいはこの交点(O)よりも前記第2のハウジングの移動方向反対側にあることを特徴とする測定システム。 - 各軸線を較正するための非共通の座標開始位置(a1,b1,c1)があり、これら座標開始位置と前記交点との間の距離(xa,xb,xc)が知られている請求項1に記載の測定システム。
- 前記第1および第2のハウジング(20,22)には、第2の取り付け装置(18)の相互に補完し合う部品がそれぞれ設けられ、この第2の取り付け装置の2つの前記部品が相互に連結された場合、前記ハウジング(20,22)が相互に位置調整されるようになっている請求項1または請求項2に記載の測定システム。
- 前記第2のハウジング(22)は、前記機械装置の第2の面に連結装置(40)を介して取り付けられ、この第2のハウジングの複数の面および前記連結装置の少なくとも1つの面には、第3の取り付け装置(52)の相互に補完し合う部品がそれぞれ設けられ、予め設定された複数の方向の何れかに位置調整された場合、当該第2のハウジング(22)が前記連結装置(40)に装着できるようになっている請求項1から請求項3の何れかに記載の機械装置のための測定システム。
- 前記第1および第2のハウジング(20,22)には、第2の取り付け装置(18)の相互に補完し合う部品がそれぞれ設けられ、この第2の取り付け装置の2つの前記部品が相互に連結された場合、前記ハウジング(20,22)が相互に位置調整されるようになっており、
前記第2のハウジング(22)は、前記機械装置の第2の面に連結装置(40)を介して取り付けられ、この第2のハウジングの複数の面および前記連結装置の少なくとも1つの面には、第3の取り付け装置(52)の相互に補完し合う部品がそれぞれ設けられ、予め設定された複数の方向の何れかに位置調整された場合、当該第2のハウジング(22)が前記連結装置(40)に装着できるようになっており、
前記第3の取り付け装置(52)の相互に補完し合う部品は、前記第1および第2のハウジング(20,22)が前記第2の取り付け装置(18)を使って位置調整されると共に前記第1のハウジング(20)およびベース(10)が前記第1の取り付け装置(16)を使って位置調整された場合、前記第2のハウジング(22)と前記連結装置(40)とが相互に必要とされる前記第1および第2のハウジング(20,22)の再位置調整なく連結できるように配されている請求項1または請求項2に記載の測定システム。 - 前記ベース(10)の角度が調整可能である請求項1から請求項5の何れかに記載の測定システム。
- ケーブル(60)が前記第1のハウジング(20)につながり、このケーブル(60)がケーブル取り付け装置(62)に設けられ、このケーブル取り付け装置(62)の少なくとも1つの面および前記ベース(10)の複数の面には、補助取り付け装置の相互に補完し合う部品がそれぞれ設けられ、前記第1のハウジング(20)の各位置調整にて前記ケーブルが前記第1のハウジングに等しい力を伝えるように、前記ケーブル取り付け装置(62)を前記ベース(10)の異なる場所に取り付けることができるようになっている請求項1から請求項6の何れかに記載の測定システム。
- 前記ケーブル取り付け装置(62)には複数の角度をなす面が設けられ、このケーブル取り付け装置の2つ以上の面には前記補助取り付け装置の相互に補完し合う部品が設けられ、当該ケーブル取り付け装置(62)の異なる面が前記第1のハウジングの異なる位置調整のために前記ベース(10)に装着可能であり、前記ケーブルが前記第1のハウジングの各位置調整のために前記第1のハウジングに等しい力を伝えるようになっている請求項7に記載の測定システム。
- 前記ベース(10)は、
前記第1のハウジング(20)を支持可能であって、前記第1の取り付け装置(93,95)の前記部品が配される固定面と、
この固定面に対して上昇および下降位置の間を移動可能な持ち上げ機構(64)と
を具え、これにより、前記持ち上げ機構(64)は、その下降位置において前記第1のハウジングの取り付け装置の相互に補完し合う部品と前記固定面とが相互に接触することを可能にし、その上昇位置において、前記持ち上げ機構は前記第1のハウジングの取り付け装置の相互に補完し合う部品と前記固定面との相互接触を少なくとも部分的に断ち切ることをもたらす請求項1から請求項8の何れかに記載の測定システム。 - 前記持ち上げ機構(64)は、上昇および下降し得る前記ベースの可動面を具え、
これにより、前記第1のハウジング(20)が前記ベース(10)の可動面(64)に置かれた場合、前記可動面(64)が前記第1のハウジングを前記固定面に置くために下降可能であり、前記第1の取り付け装置(93,95)の相互に補完し合う部品が連結またはこの第1の取り付け装置の相互に補完し合う部品を切り離すために上昇するようになっている請求項9に記載の測定システム。 - 前記可動面(64)および前記第1のハウジング(20)には第4の取り付け装置(97,98)の相互に補完し合う部品が設けられ、前記第1のハウジング(20)および固定面にある前記第1の取り付け装置(93,95)の相互に補完し合う部品が前記第4の取り付け装置の相互に補完し合う部品によって位置調整されるようになっている請求項10に記載の測定システム。
- 前記可動面(64)の第1の方向における回転が前記可動面の上昇をもたらし、前記第1の方向と反対の第2の方向における前記可動面の回転が前記可動面の下降をもたらす請求項10または請求項11に記載の測定システム。
- 前記可動面(64)が平行なばね(80)に取り付けられ、これによりカム(94)の回転が前記ばね(80)および前記可動面(64)を上昇または下降させる請求項10から請求項12の何れかに記載の測定システム。
- 前記ベース(10)は、
前記第1のハウジングが取り付けられる上板(112)および前記機械装置の前記第1の面に取り付けられる下板(110)と、
これら上および下板(112,110)の一方に配されたトラック(118,120,218,220,318,320)と、
前記上および下板の間に配され、前記少なくとも1つのトラックに接触するボール(122,222,322)と
を具え、前記ボールが第1の方向に動かされた場合、このボールが上昇して前記板が離れて動くことをもたらし、前記ボールが反対の第2の方向に動かされた場合、このボールが下降して前記板が相互に動くことをもたらすように、前記トラックが配置されている請求項1から請求項13の何れかに記載の測定システム。 - 少なくとも1つの要素(114,116,232,314,316)が前記上および下板(112,110)の他方に配置され、
前記上板(112)の前記少なくとも1つの要素(114,116,232,314,316)およびトラック(118,220,218,220,318,320)の一方が前記第1のハウジング(20)のための台座の一部であって、前記トラックおよび少なくとも1つの要素の他方が前記第1の面(11)のための台座の一部であり、これによって前記第1のハウジング(20)から前記トラック,ボールおよび要素を介して前記第1の面(11)まで直通路を形成する請求項14に記載の測定システム。 - 前記トラックは一対の非平行ローラ(118,120)を具えている請求項14または請求項15に記載の測定システム。
- 前記トラックは一対の平行ローラ(160、162)を具え、これらが配される前記上または下板の平坦面から角度をなして配置されている請求項14または請求項15に記載の測定システム。
- 前記トラックは一対のローラ(164,166)を具え、この一対のローラにおける各ローラが先細りとなっている請求項14または請求項15に記載の測定システム。
- 前記少なくとも1つの要素が一対の平行ローラ(114,116)を具えている請求項15に記載の測定システム。
- 前記少なくとも1つの要素が平坦面(232)を具えている請求項15に記載の測定システム。
- トラック(150,152)およびボール(156)が前記上および下板(112,110)の隣接するほぼ垂直な面(144,146)の間に設けられ、前記上板(112)が前記下板(110)の平坦面と直交する軸に対して回転できるようになっている請求項14から請求項20の何れかに記載の測定システム。
- 前記ベース(10)には、前記下板(110)の平坦面に対して前記上板(112)の角度を調整するための少なくとも2組のトラックおよびボール(100,102,104)と、前記下板の平坦面と直交する前記軸に対して前記上板の角度を調整するための1組のトラックおよびボール(106)とが設けられ、前記下板の平坦面に対して前記上板の角度を調整するために用いられる前記トラック(118,120,218,220,318,320)が前記下板(110)に配され、前記上板(112)の回転中に前記上板の要素(114,116,232,314,316)が前記ボール(122,222,322)の上を滑動または回転することができ、これによって前記上板が前記下板の平坦面に対する前記上板の角度の調整とは無関係に回転することを可能にするようになっている請求項21に記載の測定システム。
- 前記下板の平坦面に対する前記上板の角度の調整を可能とするために2組のトラックおよびボールとピボット軸とを設けることができる請求項21に記載の測定システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0200925.6A GB0200925D0 (en) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | Aligning optical components of an optical measuring system |
PCT/GB2003/000175 WO2003062747A1 (en) | 2002-01-16 | 2003-01-16 | Aligning optical components of an optical measuring system |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005515460A JP2005515460A (ja) | 2005-05-26 |
JP2005515460A5 JP2005515460A5 (ja) | 2006-03-16 |
JP4489435B2 true JP4489435B2 (ja) | 2010-06-23 |
Family
ID=9929168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003562569A Expired - Fee Related JP4489435B2 (ja) | 2002-01-16 | 2003-01-16 | 測定システム |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7168290B2 (ja) |
EP (3) | EP1882897A3 (ja) |
JP (1) | JP4489435B2 (ja) |
CN (1) | CN100487365C (ja) |
AT (1) | ATE381705T1 (ja) |
DE (1) | DE60318175T2 (ja) |
GB (1) | GB0200925D0 (ja) |
WO (1) | WO2003062747A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4784931B2 (ja) * | 2006-02-09 | 2011-10-05 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 試料保持機構及び試料加工・観察装置 |
CN107356286A (zh) * | 2017-08-14 | 2017-11-17 | 南通山口精工机电有限公司 | 特微型轴承钢球选配外轮测量装置 |
AT16177U1 (de) * | 2017-09-14 | 2019-03-15 | Supanz Vermietungs Kg | Spannvorrichtung |
CN112525072B (zh) * | 2020-10-27 | 2022-04-08 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 用于飞机叉耳孔位对合的检测装置及其中心点标定方法 |
CN114061459B (zh) * | 2022-01-18 | 2022-05-10 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种非接触式照相测孔标定装置及方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2002
- 2002-01-16 GB GBGB0200925.6A patent/GB0200925D0/en not_active Ceased
-
2003
- 2003-01-16 US US10/501,475 patent/US7168290B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-16 AT AT03702692T patent/ATE381705T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-01-16 JP JP2003562569A patent/JP4489435B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-16 WO PCT/GB2003/000175 patent/WO2003062747A1/en active IP Right Grant
- 2003-01-16 EP EP07021686A patent/EP1882897A3/en not_active Withdrawn
- 2003-01-16 EP EP07021688A patent/EP1882898A3/en not_active Withdrawn
- 2003-01-16 DE DE60318175T patent/DE60318175T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-16 EP EP03702692A patent/EP1468247B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-16 CN CNB038023466A patent/CN100487365C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-12-19 US US11/640,841 patent/US7409914B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7168290B2 (en) | 2007-01-30 |
US20050076702A1 (en) | 2005-04-14 |
DE60318175D1 (de) | 2008-01-31 |
CN1618006A (zh) | 2005-05-18 |
WO2003062747A1 (en) | 2003-07-31 |
EP1882897A2 (en) | 2008-01-30 |
CN100487365C (zh) | 2009-05-13 |
EP1882898A2 (en) | 2008-01-30 |
EP1468247B1 (en) | 2007-12-19 |
EP1882898A3 (en) | 2008-03-26 |
DE60318175T2 (de) | 2008-12-04 |
GB0200925D0 (en) | 2002-03-06 |
EP1468247A1 (en) | 2004-10-20 |
ATE381705T1 (de) | 2008-01-15 |
US20070119272A1 (en) | 2007-05-31 |
EP1882897A3 (en) | 2008-03-26 |
JP2005515460A (ja) | 2005-05-26 |
US7409914B2 (en) | 2008-08-12 |
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