JPS58176617A - 光学像位置調整用装置 - Google Patents

光学像位置調整用装置

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JPS58176617A
JPS58176617A JP58028649A JP2864983A JPS58176617A JP S58176617 A JPS58176617 A JP S58176617A JP 58028649 A JP58028649 A JP 58028649A JP 2864983 A JP2864983 A JP 2864983A JP S58176617 A JPS58176617 A JP S58176617A
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optical axis
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PURISHIJIYON GURAINDEINGU Ltd
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/25—Selecting one or more conductors or channels from a plurality of conductors or channels, e.g. by closing contacts
    • G01D5/252—Selecting one or more conductors or channels from a plurality of conductors or channels, e.g. by closing contacts a combination of conductors or channels
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光学像を位置調整する際に使用される光学像位
置調整用装置に関する。
光学器械９例えば顕微鏡や望遠鏡を通して目的物を見る
時には、見られる像が光学器械の横方向のＸ及びＹ軸に
対しである特別の位置に現われるよう尾調整することが
しばしば必要になる。
ある用途に使用される光学器械の視野には。
網目印や十字線のレティキュール（ｒｅｔｉｃｕｌｅ　
）あるいは同様なグラティキ−ル（ｇｒａｔｉｃｕｌｅ
　）が含まれている。目的物の像が最初にレティキュー
ルあるいはグラティキー−ル如対しである与えられた位
置に調整されれば、ある時間内に目的物のいかなる移動
であってもその移動の正確な決定をより容易になすこと
ができる。
本発明の目的は、像を器械の横方向軸に対して簡単に位
置調整できる装置を提供し、それによって、目的物の上
述のような移動をより正確に決定できるよう如すること
ｉにある。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図を参照すると、顕微鏡の光学系の一部を構成する
本発明の一実施例による装置の断面が示されている。そ
の光学系は９例えば、英国特許第８４４１４３号の明細
書に示されている顕微鏡２８の一部を構成し得るが９本
発明はそのような用途に限定されない。
第１図に示された装置は９例えば顕微鏡あるいは顕微鏡
プロジェクタ−の光学系内に置かれたレティキュールあ
るいはグラティキュニルに関して該光学系のＸ及びＹ軸
の両方に、光学像。
例えば顕微鏡像あるいは投影された顕微鏡像を。
正確にセットすることを可能とし、そして、セントされ
た後は、上記英国特許明細書に述べられている機械にお
ける削り仕上げ具（ｔｒｉｍｍｉｎｇｔｏｏｌ　）の摩
耗あるいは調節の悪さを観察するのに使用され得る。
第１図に示された装置は、測定系で測定を行なう前に、
像を予め位置調整するのに使用され得る。また、第１図
の装置は９例えば、顕微鏡あるいはプロジェクタ−の予
め決められたデータ位置に像を関係づけるのに使用され
得る。
第１図には、平板形状の２つの光学素子１及び２が示さ
れ、これら２つの光学素子１及び２は、それぞれのマウ
ント１１及び１２１Ｃ設置されると共に、それぞれの一
対の支え部３及び４に対して旋回可能に支持されている
。支え部３及び４は管状のハウジング１５の内壁から延
びている。ハウジング１５の外壁は、６つの外側に延び
た環状の受台８，９及び１０を持つように構なリング７
がある。これらリング６及び７は。
内側にらせん状の溝部１６及び１７をそれぞれ有してい
る。平板状光学素子１及び２は縦方向軸１３を中心とし
た顕微鏡の光路中に位置されており、光学素子１及び２
の各々はピン５の形状の延長部を有している。ピン５は
それぞれのマウント１１又は１２に堅く接続されており
、ハウジング１５の対応する穴を通って、それぞれのら
せん溝１６あるいは１７に延びている。支え部３及び４
は、顕微鏡の軸１３に対して９０°をなし、しかも互に
９０°をなしている。同様に、マウント１１のためのピ
ン５はマウント１２のためのピン５に対して直角に延び
ている。平板状光学素子１及び２は、それらの各々のマ
ウント１１及び１２と一緒に、それらの隣接する表面間
に置かれたスプリング１４によって付勢されており、そ
の結果、ピン５を、リング６及び７のそれぞれのらせん
溝１６及び１７の側面に堅く接触させている。
顕微鏡の軸１６の回りに’）ング６か７を回転させると
、らせん状溝におけるピン５の運動の結果として、平板
状光学素子１か２が傾く。こうすることによって、屈折
によって光路を移すことができる。平板状光学素子の一
方の上述した簡単な運動によって、Ｘ軸かＹ軸かいずれ
かにおける。又は両方の運動の結果における顕微鏡の光
軸の調整を速くかつ確実に行なうことが可能となる。本
実施例の位置調整用装置は、上記英国特許明細書に記載
されたタイプの機械に使用、されると、上記特許明細書
における顕微鏡２８の光軸を、中空の筒状ピボットポス
ト１６の軸に、非常に前単に一致させることが可能とな
る。上記特許明細書における削り仕上げ具（ｔｒｉｍｍ
ｉｎｇ　ｔｏｏｌ　）　２４は、上記ピボットポスト１
６のまわりを旋回する。
第２図を参照すると、第１図に示された装置の主要部が
概略的に示されている。第２図（ａ）は装置の側面を示
しており、顕微鏡を通過する光路において平板状光学素
子１を支え部６のまわりに傾けた状態における効果を示
している。この場合、光路は、屈折の結果、平板状光学
素子２を通る光路に対して、横方向に移動されている。
第２図（ｂ）は第２図（ａ）に示された図に対して９０
゜ずれた方向から見た装置の側面を示している。
第２図（ｂ）に示された装置においては、平板状光学素
子１は動かされていないが、平板状光学素子２は支え部
４のまわりに傾けられている。この装置においては、光
路は、平板状光学素子１を通過する光路に対して横方向
に、特に第２図（ａ）の場合の動きに対して９０°の角
度に移動されている。
平板状光学素子の両方を傾けることによって。
光路１．ｘ及びＹ軸の両軸における動きの合成として移
動させることが可能となり、その結果。
光路を、ある参照点に関して速くかつ容易に位置調整す
ることが可能となる。平板状光学素子の一方のみを傾け
ることは、一方の横方向軸にのみ沿って光路が動くこと
になる。なお、一方の平板状光学素子が傾けられる方向
は、他方の平板状光学素子が傾けられる方向に関して９
０゜である必要はない。このように９本実施例に関して
は、支え部３及び４は互に９０°をなすように構成され
る必要はない。
さらに、−個だけの傾けることの可能な光学素子を使用
し、その素子のためのピボット支え部の軸がその系の光
軸のまわりに回転可能であるようにし、それによって、
その素子の回転で。
屈折された光路の移動方向を変え、かつ傾き角度の変化
で光路移動量を変えることができるようにすることも９
本発明の範囲内である。そのような装置は、ハウジング
１５を軸１３のまわシに回転可能にさせることによって
、達成される。
そのような装置にお込ては、平板状光学素子１あるいは
２の一つのみが必要であり、その平板状光学素子の傾き
角度はリング６あるいは７の回転によって制御され、そ
してその平板状光学素子に当たるビームの偏向方向は、
ハウジング１５の回転の結果としての軸１３のまわりの
板状光学素子の回転角度によって制御される。
また９本発明は板状光学素子の使用に限定されるもので
はない。光学素子は、他の形のものでも９例えばレンズ
あるいはミラー等であってもよい。
また、この種の調整を実行するために特別な装置が示さ
れたが、板状光学素子１及び２の動作は他の手段によっ
ても達成され得る。
また、上記英国特許明細書に記載されたタイプの機械に
使用するのに特に適した特徴をもつ特別の装置が示され
たが、記載されたその装置の種々の特徴は１個々にある
いは一緒に、他の方法で他の機械に適用され得る。
【図面の簡単な説明】
第１図は４本発明を顕微鏡の光学系の一部に適用した実
施例の縦断面図、第２図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ第
１図の実施例の主要部全概略的に示した図である。 １及び２・・・平板状光学素子、３及び４・・・支え部
、５・・・ピン、６及び７・・・リング、８，９及び１
０・・・受台、１１及び１２・・・マウント、１５・・
・光軸。 １４・・・スプリング、１５・・・ハウジング、１６及
び１７・・・らせん状の溝。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 光学像を、前記光軸（１３）　′ｔ−含む第１の平面内
    ておいて偏向させるように構成された第１の光偏向手段
    （１１）と、前記光学像を、前記第１の平面内に含まれ
    ない位置に偏向させるように構成された第２の手段とが
    設けられていることを特徴とする光学像位置調整用装置
    。 ２、前記第２の手段が、前記偏向された光学像を。 前記光軸（１３）を含む第２の平面内において偏向させ
    るように構成されている特許請求の範囲第１項記載の光
    学像位置調整用装置。 ６前記第１及び第２の手段の各々が平板状光学素子（１
    ）あるいは（２）を含んでいる特許請求の範囲第２項記
    載の光学像位置調整用装置。 ４、前記平板状光学素子（１）（２）はいずれも、前記
    光軸に対して直角な旋回軸を中心として旋回可能であり
    、該旋回軸は互に実質的に９０°をなしている特許請求
    の範囲第３項記載の光学像位置調整用装置。 ５、前記第２の手段が、前記光学像を、前記光軸（１３
    ）を中心として回転させるように構成された手段（１５
    ）である特許請求の範囲第１項記載の光学像位置調整用
    装置。 ６、前記第１の手段が前記光軸（１３）上に配置された
    平板状光学素子（１）を含み、該光学素子は光軸（１３
    ）　’ｔ−横切る軸（３）全中心として旋回可能であり
    。 かつ光軸（１６）を中心として回転可能である特許請求
    の範囲第５項に記載の光学像位置調整用装置。
JP58028649A 1982-02-24 1983-02-24 光学像位置調整用装置 Granted JPS58176617A (ja)

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