JPS61254925A - レ−ザアライメント光学装置 - Google Patents
レ−ザアライメント光学装置Info
- Publication number
- JPS61254925A JPS61254925A JP9621785A JP9621785A JPS61254925A JP S61254925 A JPS61254925 A JP S61254925A JP 9621785 A JP9621785 A JP 9621785A JP 9621785 A JP9621785 A JP 9621785A JP S61254925 A JPS61254925 A JP S61254925A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- mirror
- rod
- end surface
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固体パルスレーザ装置のアライメントに関し
、特に増幅器の光軸１Ｍ１ｇ１に関する。
、特に増幅器の光軸１Ｍ１ｇ１に関する。
従来、固体パルスレーザ装置において増幅益金アライメ
ントするには増幅器出射側に黒い印画紙等を配置し、レ
ーザビームの焼付パターン形状によりアライメントして
いた。即ち、第１図（ａｔに示すように焼付パターンに
１９れがないようにアライメントしていた。
ントするには増幅器出射側に黒い印画紙等を配置し、レ
ーザビームの焼付パターン形状によりアライメントして
いた。即ち、第１図（ａｔに示すように焼付パターンに
１９れがないようにアライメントしていた。
上述した従来のアライメント方法では、ビームのロッド
端面での位置を直接観測していない為、第３図の（ａ）
と（ｄ） 、 （ｂ）と（ｃ）の区別かつきにくいとい
う状況がある。つまり（ｂｌは、入射面は合っているか
ビームの方向かずれている、（Ｃ）はビームの７１Ｆ向
はめりているが、入射面がずれている。［ｄｌはビーム
のけられもなく方向もめっているか、ロッド中心からビ
ームがずれている。従って慣れていないものＶＣは、正
確なアライメントか出来ないという欠点かある。また毎
回黒い印画紙等に、焼付パターンをとって微調するのは
、アライメント作業に。
端面での位置を直接観測していない為、第３図の（ａ）
と（ｄ） 、 （ｂ）と（ｃ）の区別かつきにくいとい
う状況がある。つまり（ｂｌは、入射面は合っているか
ビームの方向かずれている、（Ｃ）はビームの７１Ｆ向
はめりているが、入射面がずれている。［ｄｌはビーム
のけられもなく方向もめっているか、ロッド中心からビ
ームがずれている。従って慣れていないものＶＣは、正
確なアライメントか出来ないという欠点かある。また毎
回黒い印画紙等に、焼付パターンをとって微調するのは
、アライメント作業に。
多大な時間を良し、しかもビームパターン焼付時にゴミ
が発生するという欠点がめる。更に、繰り返しの速いレ
ーザ装置の場合すばやく印画紙を移動させねばならず、
レーザ光が指にあたる危険性があり且つ印画紙をたくさ
ん使用するという欠点がある。
が発生するという欠点がめる。更に、繰り返しの速いレ
ーザ装置の場合すばやく印画紙を移動させねばならず、
レーザ光が指にあたる危険性があり且つ印画紙をたくさ
ん使用するという欠点がある。
本発明によるレーザアライメント光学装置は、ロッド端
面奮直接観測するためのＴＶカメラと、レーザ光軸中に
おかれロッド端面からの反射光をＴＶカメラへ導くため
の第１のハーフミラ−と、そのハーフミラ−によるビー
ムシフト分を補正し且つロッド端面に照明光を導入する
為の第２のハーフミラ−と、照明用光源とを有している
。
面奮直接観測するためのＴＶカメラと、レーザ光軸中に
おかれロッド端面からの反射光をＴＶカメラへ導くため
の第１のハーフミラ−と、そのハーフミラ−によるビー
ムシフト分を補正し且つロッド端面に照明光を導入する
為の第２のハーフミラ−と、照明用光源とを有している
。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は不発明の一実施例を示す。レーザビームｌは、
ミラー２によって折シ曲げられ、ハーフミラ−３、ハー
フミラ−４ｔ−通過し、レーザ増幅器５の中におるレー
ザロッド６に入射する。ハーフミラ−３と４を使用する
ことでビームシフト分は、補正される。ハーフミラ−３
の反射を利用してＬＥＤ９でレーザロッド６の端面を照
明し、ハーフミラ−４の反射を利用してＣＣＤカメラと
モニタＴＶｓでレーザロッド６の端面を観測する。
ミラー２によって折シ曲げられ、ハーフミラ−３、ハー
フミラ−４ｔ−通過し、レーザ増幅器５の中におるレー
ザロッド６に入射する。ハーフミラ−３と４を使用する
ことでビームシフト分は、補正される。ハーフミラ−３
の反射を利用してＬＥＤ９でレーザロッド６の端面を照
明し、ハーフミラ−４の反射を利用してＣＣＤカメラと
モニタＴＶｓでレーザロッド６の端面を観測する。
フィルタｔｏ、ｔｔ、レンズ１２は、光景調整に使用す
る。第２図は、モニタＴＶ８の画面上に見える１＃ヲ示
している。レーザロッド輪郭１３とレーザビーム輪郭１
４の位置関係を見ながら、ミラー２を微調し、レーザロ
ッド６の中心にレーザビーム、ｌ を合わせ込む事が出
来る。出射側のアライメントも同様に行なえる。
る。第２図は、モニタＴＶ８の画面上に見える１＃ヲ示
している。レーザロッド輪郭１３とレーザビーム輪郭１
４の位置関係を見ながら、ミラー２を微調し、レーザロ
ッド６の中心にレーザビーム、ｌ を合わせ込む事が出
来る。出射側のアライメントも同様に行なえる。
以上説明したように本発明は、レーザロッド端面でのレ
ーザビームの位置をＴＶカメラで直接モニタしなからア
ライメントを実施出来る為アライメント作業の効率が向
上し、且つ正確に微調出来るという効果かめる。また黒
い印画紙等に焼付パターンをとる必要かない為、ゴミが
発生せずレーザロッドをクリーンな状態に保つ事ができ
、且つ安全にアライメント作業が行なえるという効果が
める。
ーザビームの位置をＴＶカメラで直接モニタしなからア
ライメントを実施出来る為アライメント作業の効率が向
上し、且つ正確に微調出来るという効果かめる。また黒
い印画紙等に焼付パターンをとる必要かない為、ゴミが
発生せずレーザロッドをクリーンな状態に保つ事ができ
、且つ安全にアライメント作業が行なえるという効果が
める。
第１図は、本発明の一実施例を示す構成図、第２図は、
モニタ画面上に映る像の一例、第３図は従来のアライメ
ント方法によるビームアライメント状況と焼付パターン
の関係を示す図である。 ｌ・・・・・・レーザビーム、２・・・・・・ミラー、
３．４・・・・・・ハーフミラ−１５・・・・・・レー
ザ増幅器、６・・・・・・レーザロッド、７・・・・・
・ＣＣＤカメラ、８・・・・・・モニタＴＶ、９・・・
・・・ＬＥＤｌ １０，１１・・・・・・光学フィルタ
、１２・・・・・・凹レンズ、１３・・・・・・レーザ
ロッド輪郭、１４・・・・・・レーザビーム輪郭。 ＼、− 第 ３Ｔｌ！Ｊ θＫ メ （Ｃ） （（ｌノス
４
モニタ画面上に映る像の一例、第３図は従来のアライメ
ント方法によるビームアライメント状況と焼付パターン
の関係を示す図である。 ｌ・・・・・・レーザビーム、２・・・・・・ミラー、
３．４・・・・・・ハーフミラ−１５・・・・・・レー
ザ増幅器、６・・・・・・レーザロッド、７・・・・・
・ＣＣＤカメラ、８・・・・・・モニタＴＶ、９・・・
・・・ＬＥＤｌ １０，１１・・・・・・光学フィルタ
、１２・・・・・・凹レンズ、１３・・・・・・レーザ
ロッド輪郭、１４・・・・・・レーザビーム輪郭。 ＼、− 第 ３Ｔｌ！Ｊ θＫ メ （Ｃ） （（ｌノス
４
Claims (1)
- レーザビームの固体レーザ増幅器へのアライメントにお
いて、固体レーザロッド端面像を観察する撮像手段と、
レーザ光軸中におかれ前記ロッド端面からの反射光を前
記撮像手段へ導く第１のハーフミラーと、この第１のハ
ーフミラーによるビームシフト分を補正し且つ前記ロッ
ド端面に照明光を導入する第２のハーフミラーと、照明
用光源とを有することを特徴とするレーザアライメント
光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9621785A JPS61254925A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | レ−ザアライメント光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9621785A JPS61254925A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | レ−ザアライメント光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61254925A true JPS61254925A (ja) | 1986-11-12 |
Family
ID=14159070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9621785A Pending JPS61254925A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | レ−ザアライメント光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61254925A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52143046A (en) * | 1976-05-24 | 1977-11-29 | Hitachi Ltd | Matching of laser beam shapes |
| JPS58176617A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-10-17 | プリシジヨン・グラインデイング・リミテツド | 光学像位置調整用装置 |
| JPS5910922A (ja) * | 1982-04-17 | 1984-01-20 | カ−ル・ツアイス−スチフツング | 光学的調節要素 |
| JPS59100534A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-09 | Canon Inc | 位置検知方法 |
-
1985
- 1985-05-07 JP JP9621785A patent/JPS61254925A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52143046A (en) * | 1976-05-24 | 1977-11-29 | Hitachi Ltd | Matching of laser beam shapes |
| JPS58176617A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-10-17 | プリシジヨン・グラインデイング・リミテツド | 光学像位置調整用装置 |
| JPS5910922A (ja) * | 1982-04-17 | 1984-01-20 | カ−ル・ツアイス−スチフツング | 光学的調節要素 |
| JPS59100534A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-09 | Canon Inc | 位置検知方法 |
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