JPS5910922A - 光学的調節要素 - Google Patents

光学的調節要素

Info

Publication number
JPS5910922A
JPS5910922A JP58064626A JP6462683A JPS5910922A JP S5910922 A JPS5910922 A JP S5910922A JP 58064626 A JP58064626 A JP 58064626A JP 6462683 A JP6462683 A JP 6462683A JP S5910922 A JPS5910922 A JP S5910922A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
optical axis
adjustment element
plates
supported
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58064626A
Other languages
English (en)
Inventor
オイゲン・ヴアイマ−
ゲルハルト・ミユラ−
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss AG
Publication of JPS5910922A publication Critical patent/JPS5910922A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0875Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0875Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
    • G02B26/0883Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements the refracting element being a prism
    • G02B26/0891Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements the refracting element being a prism forming an optical wedge
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements
    • G02B7/004Manual alignment, e.g. micromanipulators

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は2つの光学的調節要素および単色性平行光束を
光顕微鏡の光軸へ正確に同軸に結合するためのこの調節
要素の使用法に関する。
測光または分光分析試験のため、顕m鏡プレパラートを
強力に点照明し、たとえば螢光分析またはラマレ分析の
ため個々の試験範囲を選択的に励起するため、レーザ光
線を光顕微鏡の照明系へ結合し、この光線を顕微鏡の対
物レンズによって試料面に回折で制限された直径約1μ
mの焦点に収れんすることは公知である。
このような使用の場合、顕微鏡および付加的レーザ照明
装置の光軸を正確に一致させることに注意しなければな
らない。軸のずれは対物レンズひとみの不均一照明の原
因となり、これは試料面内のレーザ焦点の不所望な扇形
拡大として認められる。
しかしレーザ動作時間の間に徐々にドリフトが続いてレ
ーザ光線の僅かな平行ずれおよび傾斜が発生する。その
際このずれは一般にレーザの後方に配置される拡大光学
系によってさらに拡大倍率たけ拡大される。したがって
レーザ光線の光軸に対する平行ずれおよび傾斜を補償し
うる調節装置を備える必要が生ずる。
軸傾斜の調節手段としては公知のようにいずれにせよ光
路内にある反射ミラーを使用することができる。この場
合このような調節ミラーによって一般に付加的ずれが導
入されることに注意しなければならない。というのはミ
ラー面、ミラーの旋回軸およびレーザの光軸がつねには
正確に]一点で交わらないからである。
さらに西独特許第72090牛号明細書から軸の傾斜を
調節するため光軸を中心に互いに独立に回転しうる2つ
の透榊クサビを使用することが公知である。
平行ずれの調節手段としてはたとえば西独特許第109
4牛85号明細書から光軸に対する傾斜を変化しうる2
つの平行平面ガラス板からなるいわゆる平面板マイクロ
メータが公知である。しかしこのような調節装置は板の
透過が十分に反射防止をしても角度に依存し、さらに微
調節のため場合により減速ギヤを含まねばならない調節
装置が比較的高価になる欠点を有する本発明の目的は比
較的構造が簡単で操作が容易である軸のずれに対する光
学的調節要素を得ることである。
この目的は特許請求の範囲第1項または第2項の特徴に
よって解決される。
特許請求の範囲第1項による手段によれば不所望な反射
を避けるためとくに両面に反射防止膜を備えた光軸に対
し一定の角度で傾斜する平面板が使用される。この配置
はいわゆる平面板マイクロメータの中間位置の場合のよ
うに光軸に対し垂直に向く平面が発生しない利点を有す
る。したかつて軸上で反射された光線による有害な干渉
が避けられる。
特許請求の範囲第5項による手段によれば光軸を中心に
いっしょに回転しうる2つの互いに摺動可能のクサビが
使用される。この手段の場合牛つの面の2つはつねに光
軸に対し傾斜している。
両方の手段は〃ラスー空気界面が光軸に対し一定の角度
を有する利点で共通している。したがって調節過程によ
り透過光強度が変化することが避けられる。いずれの場
合も個々の要素(板またはクサビ)のマウントおよび案
内は互いに嵌合するリングマウント(筒ガイド)によっ
てきわめて簡単に実施することができる。他の有利な形
成は特許請求の範囲第3〜8項に記載される。次に本発
明を図面により説明する。
第1図に示す反射螢光顕微鏡の照明Vは常用配置の光源
1を有し、この光源は集光レンズ2によって開口絞り3
の平面に結像する。次に反射ミラー牛、照明視野絞り6
を照明するレンズ5および開口絞り3を半透ミラー8に
よる反射の後対物レンズ9の後ろ側焦点面へ結像するた
めのもう1つのレンズ7が続く。
観察光路は試料面10を結像するための対物レンズ9の
ほかに切替可能のミラー1十を有し、このミラーは鏡筒
レンズ15により観察者のだめの中間像が発生する双眼
鏡筒へ光路を転換し、または第2の切替位置では光線を
妨げずに通過させる。その際鏡筒レンズ12はよりホト
マルチシライヤ1+の前に配置した光度計絞り13の平
面に中間像が形成される。
螢光励起のためへリウムーカドミウムレーザ18が使用
され、レー@戸光mは角度調節のため旋回しうるミラー
19を介して導かれ、次にずれを補正するため2つの回
転可能の平面板21.22からなる調節要素20を通過
する。その後方に拡大光学系23,2牛が配置される。
次に3つの空間方向に一定範囲を摺動しうるレンズ25
が続き、このレンズはレーザ光線を分割ミラー17で反
射した後、照明視野絞り6の平面に集光し、その摺動可
能性により試料中のレーザ光線焦点の横方向および深さ
方向の位置が決定さ扛る。同時にレーザ光線の発散はレ
ンズ25によって顕微鏡のn(【明光学系に適合される
。レンズ25の焦点距離は対物レンズ9のひとみが完全
に照明され、回折によって制限された焦点が達成される
ように選択される。
レンズ25は光路から旋回して出ることができる。その
とき対物レンズの焦点面へ収束したレーザ光線は試料視
野を平面的に照明する。
観察光路内に1dレー418の波長に適合するフィルタ
26および眼の保護フィルタ27が配置され、このフィ
ルタは電気的制御により、ミラー11が図示の位置へ動
き、かつレーザ18が動作するとただちに光路へ旋回し
て入る。それによって網膜へ結像する強力なレーザ光線
焦点による観察者の傷害が避けらする。
シー4戸18を去る光線が作業中平行移動の形でドリフ
トする場合このずれはレンズ24および23の焦点距離
の比で拡大され、対物レンズ9のひとみを非対称に照明
する。その結果試料面内のレーザ焦点の明らかな扇形拡
大が観察者に認められる。
第3および4図に詳細に示す調節装置20のロレット3
1および32を回転することによってこの有害なずれが
除去される。マウント35および36に傾斜配置された
2つの板21および22はそれぞれ光線の一定のずれに
作用し、このずれの方向はアリ溝継手33および3牛に
よって閉鎖された管状ケーシング37内の回転可能の支
持により可変である。それゆえベク]・ル加算法により
レーザ光線を半径が1つの平面板によるずれの2倍に相
当する円形範囲内で調節することができる。
第2図には平面板21および22の代りの選択的調節要
素として2つのクサビプリズム28および29が示され
る。その距離の変化によって平行ずれの大きさを補償し
、2つのプリズムの共通の回転によって方向を補償する
ことができる。そのためクサビ28および29は第5図
に示すように1つの構造ユニット牛OvC形成される。
第3および第1図による調節要素20と同様構造ユニッ
ト牛Oは管状ケーシング38の両端に2つのアリ溝継手
牛3および44を備え、このケーシング内でクサビ28
の支持体重5は回転可能に、しかし軸方向摺動不可能に
支持され、クサビ29の支持体+6は回転および摺動可
能に支持される。支持体46のロレット4−1は2本の
指により管状ケーシング38の2つの互いに相対する切
欠から軸方向摺動も回転も行うことができる。ロレット
牛1を回転すると、支持体重6のアーム47が支持体重
5の溝39へ嵌まっているため支持体重5が連動され、
したかって2つのプリズム28および29はいっしょに
動く。
【図面の簡単な説明】
第1図はレーザ励起部を備える反射螢光顕微鏡の光路図
、第2図は調節要素の1つの実施例の光路図、第3図は
調節要素マウントの縦断面図、第1図はその側面図、第
5図は第2同調節要素のマウントの縦断面図である。 1・・・光源、2・・・集光レンズ、3.6・・・絞り
、9・・・対物レンズ、10・・・試料面、13・・・
光度計絞り、1牛・・・ホトマルチプライヤ、16・・
・中間像、18・・・レーザ、20・・・調節要素、2
1,22・・・平面板、23.24・・・拡大光学系、
25・・・中間レンズ、26.27・・・フィルタ、2
8.29・・・クサビプリズム

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光軸に対して傾斜した2つの透明平行平面板からな
    る光学的調節要素において、2つの板(21,22)が
    一定の傾斜角で光軸を中心に回転可能に支持されている
    ことを特徴とする光学的調節要素。 2 板(21,22)の表面が反射防止膜を備えている
    特許請求の範囲第1項記載の調節要素。 3、 板(21,22)のマウント(35,36)が光
    軸と同軸のケーシング(37)内に回転可能に支持され
    ている特許請求の範囲第1項または第2項記載の調節要
    素。 屯 板(21,22)が中間部材として形成された別個
    の構造ユニッ1−(20)にいっしょに収容されている
    特許請求の範囲第1項〜第3項の1つに記載の調節要素
    。 5 光軸を中心に回転可能に支持された2つの透明クサ
    ビからなる光学的調節要素において、2つのクサビ(2
    8,29)が互いに回転不可能に、しかし光軸に沿って
    互いに摺動可能に支持されていることを特徴とする光学
    的調節要素。 6、 クサビ(28,29)の表面が反射防止膜を備え
    ている特許請求の範囲第5項記載の調節要素。 7 クサビ(28,29)のマウント(牛5゜牛6)が
    光軸と同軸のケーシング(38)内に回転または摺動可
    能に支持されている特許請求の範囲第5項または第6項
    記載の調節要素。 8 クサビ(28,29)が中間部材として形成された
    別個の構造ユニツ)(40)にいっしょに収容されてい
    る特許請求の範囲第5項〜第7項の1つに記載の調節要
    素。 9、 単色性平行光束を光顕微鏡の光軸と正確に同軸に
    結合するための光学的調節要素において、調節要素(2
    0)の後方に拡大光学系(23,24’)および摺動可
    能の中間レンズ(25)が配置され、このレンズにより
    光束が試料面(10)と共役の像面(6)に焦点を結ぶ
    ことを特徴とする光学的調節要素。 10、中間レンズ(25)が光路外へ旋回可能である特
    許請求の範囲第9項記載の調節要素。 11、拡大光学系(2′J5.2牛)の前にレーザ光線
    の角度調節のため付加的に旋回ミラー(19)が配置さ
    れている特許請求の範囲第9項または第10項記載の調
    節要素。
JP58064626A 1982-04-17 1983-04-14 光学的調節要素 Pending JPS5910922A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19823214268 DE3214268A1 (de) 1982-04-17 1982-04-17 Optisches justierelement
DE32142684 1982-04-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5910922A true JPS5910922A (ja) 1984-01-20

Family

ID=6161199

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58064626A Pending JPS5910922A (ja) 1982-04-17 1983-04-14 光学的調節要素

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4515447A (ja)
EP (1) EP0092090B1 (ja)
JP (1) JPS5910922A (ja)
AT (1) ATE17052T1 (ja)
DE (2) DE3214268A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61254925A (ja) * 1985-05-07 1986-11-12 Nec Corp レ−ザアライメント光学装置
JPH0290119A (ja) * 1987-11-26 1990-03-29 Korea Electron Telecommun レーザ描画機の集光光学装置
JP2003514252A (ja) * 1999-11-10 2003-04-15 カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 光学ピンセットおよび/または加工ビームを顕微鏡内へ接続する装置

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4698498A (en) * 1986-04-28 1987-10-06 Robot Defense Systems, Inc. Three-dimensional laser imaging transmitter/receiver
US4850686A (en) * 1987-02-06 1989-07-25 Asahi Kogaku Kogyo K.K. Apparatus for adjusting light beam direction
FR2626383B1 (fr) * 1988-01-27 1991-10-25 Commissariat Energie Atomique Procede de microscopie optique confocale a balayage et en profondeur de champ etendue et dispositifs pour la mise en oeuvre du procede
JPH02155589A (ja) * 1988-12-09 1990-06-14 Hitachi Ltd 光路調整システム
JPH03130940A (ja) * 1989-05-24 1991-06-04 Kyocera Corp 光スポット制御方法および制御装置
EP0501688A1 (en) * 1991-02-27 1992-09-02 Hitachi, Ltd. Apparatus and method for applying a laser beam through a microscope
DE4143166C2 (de) * 1991-12-30 1993-11-11 Komeg Kontroll Und Automations Vorrichtung zum Verlängern der optischen Weglänge eines von einem Laser abgegebenen Laserstrahls
US5596404A (en) * 1994-12-30 1997-01-21 Albion Instruments, Inc. Raman gas analysis system with flexible web and differential thread for precision optical alignment
DE69600131T2 (de) * 1995-04-19 1998-07-23 Gerber Garment Technology Inc Laserschneidgerät und Verfahren zum Schneiden von Flachmaterial
US6052223A (en) * 1996-01-09 2000-04-18 Olympus Optical Co., Ltd. Microscope with chromatic aberration correcting function
US5828482A (en) * 1997-02-05 1998-10-27 Terastor Corporation Apparatus and method for directing a beam of light to a surface of an optical disk
US5703683A (en) * 1996-05-28 1997-12-30 Ohmeda Inc. Extruded wobble plate optical alignment device
AU4562497A (en) * 1996-10-02 1998-04-24 Cell Robotics, Inc. Microscope with laser port
DE10017823B4 (de) * 2000-04-10 2004-08-26 Till I.D. Gmbh Mikroskopische Beleuchtungsvorrichtung
DE10018253C2 (de) * 2000-04-13 2003-08-21 Leica Microsystems Laser-Mikro-Dissektionsgerät
FR2834349B1 (fr) * 2001-12-28 2004-04-09 Mauna Kea Technologies Appareillage d'imagerie confocale notamment pour endoscope
US6952266B2 (en) 2003-01-15 2005-10-04 Inlight Solutions, Inc. Interferometer alignment
US6989901B2 (en) * 2003-07-02 2006-01-24 Inlight Solutions, Inc. Interferometer
EP1590625A4 (en) * 2003-01-15 2007-08-01 Inlight Solutions Inc INTERFEROMETER
DE10321091B4 (de) * 2003-05-09 2005-06-30 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Mikroskop und Mikroskopierverfahren zur Erzeugung von Überlagerungsbildern
US7119972B2 (en) * 2004-06-24 2006-10-10 Agilent Technologies, Inc. Apparatus and method for the manipulation of a laser beam in reflection
DE102004034960A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Korrektur-Vorrichtung für eine optische Anordnung und konfokales Mikroskop mit einer solchen Vorrichtung
US7471450B2 (en) * 2004-10-06 2008-12-30 Northeastern University Confocal reflectance microscope system with dual rotating wedge scanner assembly
DE102004054262B4 (de) * 2004-11-09 2016-08-18 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung zur Untersuchung und Manipulation von mikroskopischen Objekten
US7336407B1 (en) * 2005-07-28 2008-02-26 Lockheed Martin Corporation Scanner/pointer apparatus having super-hemispherical coverage
DE102009044987A1 (de) * 2009-09-24 2011-03-31 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Mikroskop
DE102014007152A1 (de) * 2014-05-15 2015-11-19 Dioptic Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Neigungswinkelmessung auf Oberflächen
DE102020210837B4 (de) 2020-08-27 2024-03-07 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Faserstecker, optische Fasersteckverbindung und Justierverfahren
FR3127589A1 (fr) * 2021-09-29 2023-03-31 Horiba France Sas Microscope optique comprenant un dispositif opto-mécanique de réglage fin et procédé d’ajustement opto-mécanique

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH207882A (de) * 1937-06-03 1939-12-15 Optikotechna Spolecnost S R O Justiervorrichtung an einem optischen Instrument.
DE1094485B (de) * 1959-04-25 1960-12-08 Continental Elektro Ind Ag Optische Einrichtung, insbesondere Autokollimationseinrichtung
US3704949A (en) * 1970-06-22 1972-12-05 Rms Ind Inc Method and apparatus for personal identification
US3776995A (en) * 1970-10-15 1973-12-04 Xerox Corp Method of producing x-ray diffraction grating
US3736848A (en) * 1970-10-20 1973-06-05 Tokyo Shibaura Electric Co Method of preparing the screen of a colour television picture tube and device performing the method
US3752559A (en) * 1971-10-29 1973-08-14 J Fletcher Ritchey-chretien telescope
DE2505774C3 (de) * 1975-02-12 1979-04-19 Remy, Ernst, Dipl.-Phys. Dr., 8000 Muenchen Justiervorrichtung für eine Laseranordnung aus einem Leistungslaser und einem Justierlaser

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61254925A (ja) * 1985-05-07 1986-11-12 Nec Corp レ−ザアライメント光学装置
JPH0290119A (ja) * 1987-11-26 1990-03-29 Korea Electron Telecommun レーザ描画機の集光光学装置
JP2003514252A (ja) * 1999-11-10 2003-04-15 カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 光学ピンセットおよび/または加工ビームを顕微鏡内へ接続する装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0092090A1 (de) 1983-10-26
ATE17052T1 (de) 1986-01-15
DE3214268A1 (de) 1983-10-20
DE3361531D1 (en) 1986-01-30
US4515447A (en) 1985-05-07
EP0092090B1 (de) 1985-12-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5910922A (ja) 光学的調節要素
US5032720A (en) Confocal imaging system
US5345333A (en) Illumination system and method for a high definition light microscope
US7667761B2 (en) Optical imaging device for splitting an initial image into at least two images
US5537247A (en) Single aperture confocal imaging system
JPH0622502B2 (ja) 第1と第2の観察者用の同時観察のための立体顕微鏡
WO2001038918A1 (en) Stereoscopic telescope with camera
JPH11513145A (ja) 二重対物レンズ系を有する共焦点顕微鏡
US20060250689A1 (en) Objective for evanescent illumination and microscope
US5864139A (en) Confocal microspectrometer system
JPH05142479A (ja) 実体顕微鏡
JPH05241080A (ja) 二重視野反射画像再形成望遠鏡
US5144477A (en) Method of operating a scanning confocal imaging system
US4057318A (en) Microscope eye piece focusing apparatus for use in producing sharp photographs
WO1994002872A1 (en) Illumination system and method for a high definition light microscope
JP4161280B2 (ja) 顕微鏡用角度可変鏡筒
US5287219A (en) Microscope for two or more operators
JP3974976B2 (ja) 鏡筒を有する実体顕微鏡
US5701197A (en) Slit lamp microscope provided with a confocal scanning mechanism
JP5055568B2 (ja) 位相差顕微鏡
US3879107A (en) Microstereoscope
JP2005532596A (ja) 観察点の位置の急速な3次元変調が可能な光学顕微鏡
US5867312A (en) Illumination system and method for a 3-D high definition light microscope
US5548441A (en) Illumination system and method for a high definition light microscope
JPS627853B2 (ja)