JP4474150B2 - 偏心測定方法 - Google Patents
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Description
(1)被検レンズ回転方式
(2)被検レンズ静止東独ツアイス方式
(3)被検レンズ静止イメージローテーター方式
の3つの方式について紹介している。
・反射像を検出できない測定不能面が発生する場合がある。
・偏心誤差の大きな被検面の偏心測定値に大きな測定誤差が生じる。
などの問題があった。
・反射像が見えない場合
・反射像が複数観察され、どの像が測定するべき反射像か判別できない場合
がある。
・被検面の見かけの球心位置(曲率中心位置)にめがけて投影する場合
・被検面の見かけの頂点位置(表面位置)にめがけて投影する場合
である。
第V面の見かけの曲率半径が極端に小さな場合を図6に示す。図6において、照明光源Rで照明された指標チャートTは、ハーフミラーHを介してコリメーター対物レンズKで被検レンズLに向けて投影される。コリメーター対物レンズKは、被検面(ここでは第V面)の見かけの球心位置に指標チャートTの像を形成している。被検レンズLは第1面から第V面まで複数のレンズ面で構成されており、レンズ取り付けマウントMに固定されている。反射像はコリメーター対物レンズKを介して結像面チャートIに結像する。結像面チャートIに形成された反射像を接眼レンズEで観察する。光源R、指標チャートT、ハーフミラーH、コリメーター対物レンズK、結像面チャートI、接眼レンズEによって、オートコリメーション光学系Uが構成される。
(1)交換可能なコリメーター対物レンズKをオートコリメーション光学系Uに装着し、指標チャートTの投影像の基準原点が測定基準軸Cと合致するようにコリメーター対物レンズKを調節し固定する。
(2)マウントMが測定基準軸Cに対して垂直になるように煽り調整を行う。
(3)マウントMの中心が測定基準軸Cと一致するように可動ステージSを調整し、その位置で移動量検出装置WのY軸方向、Z軸方向の値を基準原点に設定する。
(4)マウントMに被検レンズLを装着し、被検レンズLの第1面頂点に指標チャート像が結像するように測定軸方向可動ステージQを移動させ、その位置での移動量検出装置WのX軸の値を基準原点に設定する。
(5)被検レンズLの設計基準状態(偏心が全く無い状態)での設計データから、被検レンズLの第1面頂点を原点とし、第1面から最終面までの見かけの球心位置、見かけの頂点位置、見かけの曲率半径を偏心計算装置Pで算出する。
(6)算出した各被検面の球心位置に指標チャートTの投影像が投影されるように、移動量検出装置WのX軸移動量を確認しながら、可動ステージQを移動させる。
(7)観察系結像面(結像面チャートI)に結像した球心反射像を接眼レンズEで観察する。
(8)被検面に偏心がある場合は、球心反射像が観察系結像面チャート原点に対してずれている。この場合、可動ステージSを移動させて球心反射像を結像面チャート原点に一致させる。このときの可動ステージSのY方向、Z方向の移動量△Y,△Zを移動量検出装置Wで検出し、偏心計算装置Pに送り、実際の偏心量を算出する。
T 指標チャート
H ハーフミラー
K コリメーター対物レンズ
I 結像面チャート
E 接眼レンズ
U オートコリメーション光学系
L 被検レンズ
S 測定軸と垂直方向可動ステージ
Q 測定軸方向可動ステージ
N 測定軸方向レール
Claims (2)
- 複数の被検面の見かけの球心位置に光学系で指標を順次投影し、前記指標の被検面による反射像の状態から各被検面の偏心量を求める偏心測定方法であって、
予め求めた各被検面の見かけの曲率半径に応じて、第1の見かけの曲率半径よりも小さい第2の見かけの曲率半径の被検面を測定する際には、前記第1の見かけの曲率半径に対応する第1の焦点距離よりも短い第2の焦点距離となるように、前記光学系の焦点距離を変更すると共に、前記被検面又は前記光学系の一部を前記光学系によって定められる測定基準軸に対して垂直方向に移動させ、その移動量から前記被検面の偏心量を求めることを特徴とする偏心測定方法。 - 前記反射像が形成される位置に十字線が形成された結像面チャートが配置され、前記指標は、前記十字線の一方の線に対して対称な形状の第1のマークと、前記十字線の他方の線に対して対称な形状の第2のマークとをそれぞれ複数有するチャートであって、複数の前記第1のマーク及び複数の前記第2のマークはそれぞれ、前記十字線の交差点に近い側のマークに比べて遠い側のマークが大きいことを特徴とする請求項1の偏心測定方法。
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