JP7191632B2 - 偏心量測定方法 - Google Patents
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Description
・見かけの球心位置が長すぎて対物光学系5を駆動することができない。
・見かけの球心位置が短すぎて対物光学系5が被検光学系6と干渉する。
・被検面の偏心量が大きいことによりイメージセンサ9の撮像視野外に反射像が結像する。
・複数の被検面の見かけの球心位置が互いに近いために反射像と被検面との対応関係が分からない。
・球面収差により、反射像がボケる。
(その他の実施例)
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
2 指標チャート
5 対物光学系
6 被検光学系
6a 被検面
7 結像面チャート
9 イメージセンサ
11 回転ステージ
12 コンピュータ
Claims (10)
- 被検光学系を構成する、それぞれが1つ以上のレンズを含む複数のレンズユニットの各レンズ面の偏心量を測定する方法であって、
前記複数のレンズユニットのうち隣り合うレンズユニットの間隔が異なることにより互いに異なる前記被検光学系の複数の状態のそれぞれにおいて、対物光学系からの光を用いた測定により、前記各レンズ面の偏心に関するデータを取得するデータ取得ステップと、
前記データを用いて、前記複数の状態のそれぞれにおける前記各レンズ面の偏心量を取得する偏心量取得ステップと、を有し、
前記データ取得ステップは、前記各レンズ面の前記データを、前記複数の状態のうち少なくとも一つの状態において取得し、
前記偏心量取得ステップは、前記複数の状態のうち第1の状態において前記データを取得しなかったレンズ面の前記第1の状態における前記データを、前記複数の状態のうち前記第1の状態を除いた少なくとも一つの状態である第2の状態において取得した前記レンズ面の前記データを用いて取得することを特徴とする偏心量測定方法。 - 前記データ取得ステップは、所定の場合を満たすときに、レンズ面の前記データを取得しないことを特徴とする請求項1に記載の偏心量測定方法。
- 前記所定の場合は、
前記対物光学系を駆動することができない場合、
前記対物光学系が前記被検光学系と干渉する場合、
レンズ面で反射した光を受光する受光センサの撮像視野外に該レンズ面からの反射像が結像する場合、
前記受光センサ上でのレンズ面からの反射像と該レンズ面との対応関係が不明な場合、
前記受光センサ上でのレンズ面からの反射像がボケる場合、
のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項2に記載の偏心量測定方法。 - 前記複数のレンズユニットのうちの一つである所定レンズユニット内のレンズ面の数をN、前記複数の状態の数をMとするとき、
前記偏心量取得ステップは、前記データ取得ステップにおいて取得された少なくとも(N+M-1)個の前記データから、前記複数の状態の全てについての前記所定レンズユニット内の前記各レンズ面の前記偏心量を取得することを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の偏心量測定方法。 - 前記複数のレンズユニットのうちの一つである所定レンズユニット内のレンズ面の数をN、前記複数の状態の数をMとするとき、
前記偏心量取得ステップは、前記データ取得ステップにおいて取得された少なくとも(N+2M-2)個の前記データから、前記複数の状態の全てについての前記所定レンズユニット内の前記各レンズ面の前記偏心量を取得することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の偏心量測定方法。 - 前記データ取得ステップは、前記複数のレンズユニットごとに少なくとも2つのレンズ面についての前記データを取得し、
前記偏心量取得ステップは、前記複数のレンズユニットそれぞれの平行偏心と傾き偏心を取得することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の偏心量測定方法。 - 前記データは、前記対物光学系からの光を用いたオートコリメーション法により測定した前記各レンズ面で反射した光の受光センサ上での像の位置座標または前記被検光学系を回転させたときに前記各レンズ面で反射した光の前記受光センサにおける像の軌跡の半径であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の偏心量測定方法。
- 前記データは、前記対物光学系からの光を用いたオートコリメーション法により測定した前記各レンズ面で反射した光の受光センサ上での像の位置座標に応じて駆動した前記対物光学系の駆動量であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の偏心量測定方法。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の偏心量測定方法を用いて前記偏心量を測定することを特徴とする偏心量測定装置。
- それぞれ1つ以上のレンズを含む複数のレンズユニットにより構成される被検光学系における偏心量を測定する偏心測定装置のコンピュータに、請求項1から8のいずれか一項に記載の偏心量測定方法に従う処理を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
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