JP2009264894A

JP2009264894A - 検査装置

Info

Publication number: JP2009264894A
Application number: JP2008114031A
Authority: JP
Inventors: Mitsuaki Wada; 充晃和田
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2008-04-24
Filing date: 2008-04-24
Publication date: 2009-11-12

Abstract

【課題】レンズの光学特性を評価するだけでなく、不合格となったレンズの要因解析の補助となる情報を提供可能な検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、ピンホールである軸上検査用チャート３ａおよびスリットである軸外検査用チャート３ｂ，３ｃが形成されたチャート板３と、光源２から出射して軸上検査用チャート３ａを通過した光線を、このチャート板３が像面上に位置するように配置された被検レンズ４により結像させた軸上像を検出するエリアセンサーである軸上用受光センサー１３と、軸外検査用チャート３ｂ，３ｃを通過して被検レンズ４により結像させた軸外像を検出するラインセンサーである軸外用受光センサー１４と、軸上用受光センサー１３および軸外用受光センサー１４で検出された像の任意の空間周波数のＭＴＦ値およびＰＴＦ値を算出する制御部１６と、から構成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、撮影レンズの検査装置に関する。

デジタル写真が普及し、低価格の一眼レフカメラが発売されるようになり、販売台数も多くなったことにより、付属となる交換レンズも急激に出荷台数が増えつつある。このような中、撮影レンズ（写真レンズ）の性能検査を、的確に短時間で判定することが要求されている。一般的に、撮影レンズの量産検査には、逆投影式の検査装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。このような検査装置においては、光軸上における所定の周波数のＭＴＦ値、周辺像高における所定の周波数のＭＴＦ値、所定の周波数における軸上像の光軸方向のベスト位置と周辺像高の光軸方向のベスト位置の差等々のチェック項目に対して、それぞれの最適なスレッショルドを定め、各撮影レンズの判定結果（合格、不合格）のみをモニターに表示するように構成されている。
特開２００７−２１８６４７号公報

しかしながら、上記の測定データのように、ＭＴＦ値や像面位置の情報だけでは、検査対象の撮影レンズにおいて性能が落ちている原因を判別することが難しいという課題があった。例えば、このような検査装置では、軸上像は縦と横の２本のラインセンサーで強度分布を取得することが多く、この場合、軸上像に関しては、ある周波数のＭＴＦ値のデフォーカス特性を、縦方向断面の強度分布と横方向断面の強度分布とから見ることになる。しかし、偏芯コマにより重心のズレる方向が縦横断面より外れている場合も多々あり、軸上像のＭＴＦ値の劣化として現れにくい場合もある。したがって、そのような撮影レンズの周辺ＭＴＦ値の劣化が、偏芯コマやセンターアスの影響によるものかどうか判断しにくい。

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、撮影レンズの量産検査における合否判断機能だけではなく、不合格となった場合の施策を打ち出すための、さらなる光学系の情報として、ＰＴＦ（強度分布の非対称性）を効果的に用いて組み込み誤差としての偏芯成分および方向を明確にし、撮影レンズの再組立に利用できる情報を提供する検査装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために、本発明に係る検査装置は、機械軸を含むように配置されたピンホールである軸上検査用チャートが形成されたチャート板と、光源から出射して軸上検査用チャートを通過した光線を、このチャート板が像面上に位置するように配置された被検レンズにより結像させた軸上像を検出するエリアセンサーである軸上用受光センサーと、軸上用受光センサーで検出された軸上像の機械軸を含む任意の断面における任意の空間周波数のＭＴＦ値およびＰＴＦ値を算出する制御部と、を有して構成される。

このような検査装置において、チャート板は、機械軸を含まないように配置されたスリットである軸外検査用チャートを有し、この検査装置は、光源から出射して軸外検査用チャートを通過した光線を被検レンズにより結像させた軸外像を検出するラインセンサーである軸外用受光センサーを有し、制御部は、軸外用受光センサーで検出された軸上像から任意の空間周波数のＭＴＦ値およびＰＴＦ値を算出するように構成されることが好ましい。

このとき、軸外検査用チャートが、機械軸を含む線上に延びるサジタルチャート、および、当該サジタルチャートに略直交するように延びるメリジオナルチャートから構成され、記軸外上受光センサーが、機械軸を含む線上に延び、メリジオナルチャートの像を検出する第１のラインセンサー、および、第１のラインセンサーと略直交する方向に延び、サジタルチャートの像を検出する第２のラインセンサーから構成され、制御部は、第１および第２のラインセンサーの各々で検出された軸外像からＭＴＦ値およびＰＴＦ値を算出するように構成されることが好ましい。

また、このような検査装置は、制御部により算出されたＭＴＦ値およびＰＴＦ値を出力する表示部を有することが好ましい。

また、このような検査装置において、制御部は、軸上用受光センサーにおいて、互いに方位の異なる少なくとも２以上の断面のＭＴＦ値を算出し、当該断面のうち、最も小さいＭＴＦ値の断面のＰＴＦ値、並びに、当該最も小さいＭＴＦ値の断面に直交する断面のＰＴＦ値を算出し、ＭＴＦ値の最も小さい断面および当該断面に直交する断面のＭＴＦ値およびＰＴＦ値を表示部に出力するように構成されることが好ましい。

さらに、このような検査装置において、制御部は、軸上像の所定の断面の強度分布の重心位置、若しくは、軸外像の強度分布の重心位置を算出し、当該重心位置を原点としてＰＴＦ値を算出するように構成されることが好ましい。

あるいは、このような検査装置は、被検レンズの光源側に配置された開口絞りを有し、制御部は、開口絞りにより、チャート板を通過した光線のうち、機械軸およびその近傍を通過する光線だけを通過させるようにしたときの軸上像若しくは軸外像の軸上用受光センサー若しくは軸外用受光センサーにおける結像位置を原点としてＰＴＦ値を算出するように構成されることが好ましい。

本発明に係る検査装置を以上のように構成すると、撮影レンズの量産検査において、合否判断機能だけではなく、不合格となった場合の施策を打ち出すための、さらなる光学系の情報として、ＰＴＦ（強度分布の非対称性）を効果的に用いて組み込み誤差としての偏芯成分と方向を明確にし、再組立に利用できる情報を提供することが可能となる。

以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。なお、本実施形態においては、拡大投影型で複数画角を同時に測定できるＯＴＦ検査装置であって、チャートと被検レンズ間のシフト構造を無くして受光センサーが機械軸と垂直な面内でシフトする（この垂直面内で移動する）構造を特徴とする検査装置を用いる場合について説明する。この検査装置１は、図１に示すように、内部に光源２およびチャート板３を有する架台部１８に被検レンズ（撮影レンズ）４を保持する照明部５と、この照明部５に対して相対移動可能なセンサー架台部１９に設置された測定部６とを有して構成される。

光源２、チャート板３、および、被検レンズ４は、照明部５において、光軸上（以降の説明においては、検査装置１の「機械軸７」と呼ぶ）上に並んで配置されている。なお、この図１に示す構成においては、光源２から放射された光線は、光ファイバー２ａおよび図示しないコンデンサレンズ等により機械軸７上に放射され、チャート板３に照射される。また、この照明部５には、チャート板３を機械軸７に沿って前後に移動させ、さらに、取り付けられた被検レンズ４の合焦等の作動を制御する照明側制御部１７が設けられている。

一方、測定部６は、受光側（被検レンズ４を挟んで光源２の反対側）に配置され、機械軸７に対して略垂直な平面を有する平板状の受け部８がセンサー架台部１９に設けられている。この受け部８の光源２側の面（受光側の面）には、この受け部８に対して受光側の面上で相対移動可能な２軸の大きなプレート（以下、「大ステージ９」と呼ぶ）と、この大ステージ９を受け部８上で作動させる大ステージ駆動部１０とが設けられる。さらに、その大ステージ９の受光側の面上で相対移動可能な１軸の小さなプレート（以下、「小ステージ１１」と呼ぶ）とこの小ステージ１１を大ステージ９上で作動させる小ステージ駆動部１２とが設けられている。なお、小ステージ１１は大ステージ９上に複数設けられる（例えば、図２の場合は、矩形状の大ステージ９の対角線方向に４個の小ステージ１１を設けた場合を示している）。この場合、図２に示すように、小ステージ１１は、大ステージ９に対して対角線方向に（大ステージ９の中心部から放射状に）相対移動可能に構成される。なお、以降の説明において大ステージ９の中心を「測定側の原点」と呼ぶ。

この大ステージ９の測定側の原点には、図２に示すように、軸上用受光センサー１３が設けられており、また、各々の小ステージ１１には、軸外用受光センサー１４が設けられている。軸上用受光センサー１３は、図３に示すように、矩形の開口２０が縦列横列に配置され、各開口２０内に受光部が設けられたエリアセンサーから構成される。一方、軸外用受光センサー１４は、大ステージ９の測定側の原点から対角線方向に延びた（放射状に延びた）第１のラインセンサー１４ａと、この対角線方向に延びた線と略直交する方向に延びた第２のラインセンサー１４ｂとから構成される。この検査装置１において、全てのセンサー１３，１４の受光面が、略同一平面内（以下、この平面を「測定平面」と呼ぶ）に位置するように配置されている。

なお、軸外用受光センサー１４を構成する第１のラインセンサー１４ａは、後述するように、チャート板３に形成されたチャートのＭ（メリジオナル）像の検出に用いられ、第２のラインセンサー１４ｂは、チャートのＳ（サジタル）像の検出に用いられる。また、本実施形態では、軸外用受光センサー１４を４つ設けているが、５つ以上設けてもよい。

チャート板３は、被検レンズ４の像面の位置（すなわち、フィルム面或いは撮像面に相当する位置）に配置されている。このチャート板３には、点像チャート若しくはスリットが形成されるが、以降の説明においては、図４に示すように、軸上検査用を点像チャート（ピンホール）で、軸外検査用をスリットで構成した場合について説明する。

このチャート板３には、チャート板３の中心（以下、「チャート板の原点」と呼ぶ）に、機械軸７を含むように配置されたピンホール状の軸上検査用チャート３ａと、機械軸７を含まずこの機械軸７から離れた位置（チャート板の原点から対角線方向に離れた位置）に配置された複数組（図１においては４組）の軸外検査用チャート３ｂ，３ｃとが形成されている。ここで、軸外検査用チャート３ｂ，３ｃは、機械軸７から放射上に延びる線上配置されるスリット状のサジタルチャート３ｂと、このサジタルチャート３ｂに略直交するように延びるスリット状のメリジオナルチャート３ｃとから構成される。光源２から放射され、チャート板３のチャート３ａ，３ｂ，３ｃ（ピンホールおよびスリット）を透過した光線が、被検レンズ４により軸上用および軸外用受光センサー１３，１４上に結像される。このとき、軸外用受光センサー１４を構成する各センサー１４ａ，１４ｂと、チャート板３の軸外検査用チャート３ｃ，３ｂの像とは、略直交するように構成されている。

以上のような検査装置１において、チャート板３に形成された軸上検査用チャート（ピンホール）３ａの像（これを「軸上像」と呼ぶ）は軸上用受光センサー１３上に結像し、軸外検査用チャート（スリット）３ｃ，３ｂの像（これを「軸外像」と呼ぶ）はそれぞれ対応する軸外用受光センサー１４ａ，１４ｂ上に結像するのが理想的な結像状態である。しかし、被検レンズ４が、ディストーションの大きなレンズである場合は、例えば、軸上において軸上用受光センサー１３で軸上像を取り込むことができても、軸外では軸外像が軸外用受光センサー１４から外れてしまうことがある。このようなとき、小ステージ駆動部１２で、小ステージ１１を大ステージ９に対して相対移動させることにより、軸外用受光センサー１４を放射方向に移動させて軸外像を取り込むことができる。

一方、被検レンズ４に透過偏芯があると、軸上用および軸外用受光センサー１３，１４からチャート像が外れてしまう。そのため、大ステージ駆動部１０で大ステージ９を測定平面内で作動させて軸上像（ピンホール位置）を軸上用受光センサー１３で走査し（この場合、軸上用受光センサー１３と軸外用受光センサー１４とを同時に同じ量と方向にアラインメントした状態となる）、軸上像が軸上用受光センサー１３の略中心に位置するようにする。そして、上述のように、軸外用受光センサー１４（実際には小ステージ１１）を小ステージ駆動部１２で放射方向に作動させて軸外像を走査してＭ像及びＳ像が軸外用受光センサー１４ａ，１４ｂの各々の略中心に位置するようにし、軸外光束に対してアラインメントした状態とする。このように軸上用および軸外用受光センサー１３，１４を２段階でアラインメントすることで、高速に測定できる対象が広がる。

このような検査装置１においては、軸外光束の結像位置を軸外用受光センサー１４によりセンシングして理想像高からの偏差や実際の画角が分かり、全方位の非対称性が判断できる。また、この実施形態のようにＭ像およびＳ像のラインセンサー（第１のラインセンサー１４ａおよび第２のラインセンサー１４ｂ）を用いた場合は、Ｍ像用センサーから実像高が分かる。なお、本実施形態においては、図２に示すように放射状に稼働し得る小ステージ１１を設けることにより、写真レンズのような偏芯の大きいレンズやディストーションの大きいレンズなど、製造誤差による画角の変化の大きいレンズの測定も可能となる。また、本実施例では軸外用受光センサー１４のＭ像およびＳ像を検出する第１のラインセンサー１４ａおよび第２のラインセンサー１４ｂが小ステージ１１上にあり一体に動くように構成されているが、第１のラインセンサー１４ａおよび第２のラインセンサー１４ｂをそれぞれ独立したプレート上に配置して、それぞれ独立して作動するように構成することも可能である。

なお、受け部８が固定されているセンサー架台部１９には、測定部６を機械軸７に沿って移動させる（図１においては左右方向に移動させる）測定駆動部１５が設けられている。これらの大ステージ駆動部１０、小ステージ駆動部１２、測定駆動部１５、軸上用受光センサー１３、および、軸外用受光センサー１４と、照明側制御部１７とは制御部１６に電気的に接続されており、大ステージ駆動部１０、小ステージ駆動部１２、および、測定駆動部１５の作動が制御されて、測定部６、大および小ステージ９，１１の作動が制御され、また、照明側制御部１７を介してチャート板３および被検レンズ４の作動が制御されるとともに、軸上用および軸外用受光センサー１３，１４からの検出信号が処理される。また、制御部１６には、検査結果が出力される表示部２１（例えば、ディスプレイ装置やプリンタ）が接続されている。そして、制御部１６では、軸上用および軸外用受光センサー１３，１４からの検出信号を後述する方法により処理して被検レンズ４の光学特性を算出し、算出された結果を表示部２１に出力するように構成されている。

以下、本実施形態の検査装置１による被検レンズ４の検査手順（制御部１６での処理）を、図５のフローチャートを合わせて用いて説明する。この検査装置１における被検レンズ４の測定においては、初期設定（ステップＳ１００）として、予め被検レンズ４の理想的なレンズデータを用いて、像面から物体面までを光線追跡してその撮影距離と実際の物体高を求めて、制御部１６に設定する。なお、制御部１６には、これらの設定値やセンサー１３，１４の測定値等が記憶されるメモリが設けられている。制御部１６は、検査装置１のチャート板３と軸上用及び軸外用受光センサー１３，１４の距離を、測定駆動部１５の作動を制御して測定部６を機械軸７に沿って移動させることにより、計算上の撮影距離と一致させる。

次に、軸上用受光センサー１３および軸外用受光センサー１４により、軸上像および軸外像を取得する（ステップＳ２００）。ここで、上述のような被検レンズ４を照明部５にセットすると、その被検レンズ４に透過偏芯がある場合は、スリット像が大ステージ９の測定側の原点からずれた所に形成される。このような場合、大ステージ９を測定面内で縦方向と横方向に作動させて軸上像を走査し、軸上用受光センサー１３からの検出信号を制御部１６で処理してチャート板３の軸上像の像位置を検出する。この像位置の検出方法としては、例えば、点像の重心又は一番出力の高い画素の座標を像の位置として検出する。このとき、被検レンズ４の透過偏芯誤差が大きい場合、軸上用受光センサー１３からチャート像が完全に外れてしまう場合がある。よって、大ステージ９を作動させて走査する手順を予め制御部１６に設定しておく必要がある。例えば、大ステージ９が、ある矩形の範囲を外側から内側に向かって渦巻き状に作動させることにより、効率的に走査するように構成すると、走査する時間を節約できる。制御部１６は、走査した後、軸上用受光センサー１３の中心に軸上検査用チャート３ａの像が位置するように大ステージ９を移動させ、その位置を原点として記憶し、センタリングを終了する（この原点が、上述の測定側の原点に一致する）。

また、制御部１６は、小ステージ１１についても、大ステージ９の対角線方向に作動させて、上述の軸上用受光センサー１３と同様に、軸外用受光センサー１４の検出値から軸外像が軸外用受光センサー１４の中心に位置するようにこの小ステージ１１を作動させる。なお、小ステージ１１については、図２に示すように矩形状の大ステージ９の対角線方向（斜め４５°）に作動させる構成だけでなく、上下方向と左右方向の２軸で作動させるように構成することも可能である。

この検査装置１による被検レンズ４の検査は、制御部１６から制御信号を照明側制御部１７に送信し、チャート板３を光軸（機械軸７）に対して所定の移動量だけ前後させて（例えば、０．１ｍｍ刻みで、最良像面となる位置を基準に±１．０ｍｍ程度）デフォーカスし、最良像面とその前後の領域を軸上用および軸外用受光センサー１３、１４で測定する。軸上像用受光センサー１３での強度分布の出力が一番高い所を基準として、再度デフォーカスをかける。このとき、センサー出力が８ビット以下になるときはセンサーの蓄積時間を長くして出力を持ち上げる。そして、各センサー毎に予め測定していたバックグラウンドの明るさを差し引き強度分布の０レベルを決定する。

このようにして、任意の空間周波数で軸上光束がベストとなる光軸と垂直な平面で軸上像と軸外像とを取得すると、制御部１６は、まず、軸上像の処理を行い、所定の空間周波数におけるＭＴＦ値とＰＴＦ値を算出する（ステップＳ３００）。処理の詳細を、図６に示すフローチャートを用いて説明する。

ここで、周辺像の非対称性は、コマによる非対称性と偏芯による非点収差や像面の傾き等の非対称性が合成されているため、測定結果よりこれらを成分ごとに切り離して考えることはできない。しかし、軸上像（センター像）の重心のズレる方向が点像強度分布のどの方位に発生しているのかということがわかれば、軸上像の偏芯と周辺像の偏芯との関連性が明確となる。光学系に偏芯がなくコマが外方のポイントスプレッドファンクション（以降、「ＰＳＦ」と呼ぶ）は図７（ａ）のようになり、コマが内方のＰＳＦは図７（ｂ）のようになる。また、偏芯がありコマが少ない光学系のＰＳＦは図７（ｃ）のようになり、全画面で同じ方向に重心がずれる。この図７（ａ），（ｂ）のような状態は設計上の話であり、実際の製造上は偏芯が存在して図７（ｃ）のようになる。なお、３次収差では偏芯がないときのコマは画角に比例するため、軸上像には存在しないが、偏芯コマは画角に無関係で開口の自乗に比例するために、画面内に一様に現れる。また、偏芯がある場合の非点収差と像面の傾きは、開口と画角に比例する。

ＰＴＦ値を算出するには、像の位置が重要となる。コマ収差のない、ある像が座標軸ｘ上でＡだけシフトしたとき、位相成分φ（ｕ）と空間周波数ｕとの関係は次式（１）のようになる。なお、Ａ＞０である。

式（１）からわかるように、元々コマ収差が存在せず非対称性がなかったとしても像の位置が変わると、ＰＴＦ値はｕ＝０を通る直線の傾きとなって現れることになる。図８（ａ）に、ｘ＞０を右とした場合に、像をＡだけシフトしたときのＰＴＦ値を示す。また、図８（ｂ）に、−Ａだけシフトさせた場合のＰＴＦ値を示し、図８（ｃ）に、シフトがない場合のＰＴＦ値を示す。このように像位置が変わることで強度分布の形状が変化していなくてもＰＴＦ値は変化するので、後述するように、センサー上に結像した強度分布の重心位置を演算時の原点にとることが望ましい。

本処理では、まず軸上像のＰＳＦを取り込み、取得した軸上像の点像強度分布における所定の断面の強度分布を、時計回りに方位角を変えながら抽出し、この強度分布をもとに各断面のＭＴＦ値を算出する（ステップＳ３０１）。次に、算出された各断面のＭＴＦ値から最小ＭＴＦ値の断面を決定する（ステップＳ３０２）。この場合、一番ＭＴＦ値の低い断面の強度分布は偏芯コマにより対称性が失われ、そのためにＭＴＦ値が低くなっていると考えられる。図９は、点像強度分布を時計方向に２２．５°ずつ回転させて８方位の断面に切り取った場合において、偏芯コマにより重心がずれて、ＭＴＦ値の劣化に最も影響を与えている断面Ｖを示している。なお、本実施形態では、８方位の断面のＭＴＦ値を算出しているが、時計方向に４５°ずつ回転させて４方位で切断しても良い。あるいは断面の数を８より多くしても良い。そして、このＭＴＦ値の劣化に最も影響を与えている断面Ｖと、この断面Ｖに対して直交する断面（以下、「断面Ｈ」と呼ぶ）を採用するのが望ましい。

それでは、各断面のＭＴＦの算出手順を説明する。上述のように、切り取る断面を固定ではなく任意に決定することは、軸上用受光センサー１３（以下、単に「エリアセンサー１３」と呼ぶ）のナイキスト周波数が切り取る断面の位置の変化に伴い変化することとなる。すなわち、図３に示すように、エリアセンサー１３は、矩形の開口２０が縦列横列に配置され、切り取る角度によって分解能が異なり、特に、時計回りを正として４５度−２２５度、１３５度−３１５度の断面が最も分解能が落ちる。図３に示す開口２０の縦列と横列の画素ピッチＰと上記断面の画素ピッチＰ′との関係は、次式（２）のようになる。

また、測定する空間周波数の上限が、エリアセンサー１３の分解能により制限を受けるため、光学系の空間周波数の高周波が回折限界で決まらず、幾何収差に依存するので測定対象を幅広く調査する必要がある。また、エリアセンサー１３の開口２０の歪みにも同様に関係する。ここで、実空間での座標をｘとし、複素空間での座標をｕとし、開口２０の幅を２ｂとし、チャート３からエリアセンサー１３までの横倍率をβとし、開口２０の強度分布をｈ（ｘ）としたとき、エリアセンサー１３の開口２０のＭＴＦ値（Ｈ（ｕ））は、次式（３）で求められる。

この開口２０を介して測定されたＭＴＦ値は、開口２０による歪みを受けているので補正する必要がある。すなわち、所定の断面の強度分布から求められたＭＴＦ値をｆ（ｕ）とすると、ｆ（ｕ）／Ｈ（ｕ）という演算を行って補正することが必要である。一般に、演算を高速に行うために高速フーリエ変換（ＦＦＴ）が用いられる。本実施形態でも、ＦＦＴを用いて歪みの補正を行う場合、基本周期を決定する走査長Ｌを適当な長さに取る必要がある。この場合、走査長Ｌの逆数が空間周波数のΔｕに相当し、０番目が基本周期、１番目が１／２周期、３番目が１／４周期・・・と続く。このように、欲しい最高空間周波数までとびとびの値をとり続けるので、走査長Ｌの中の画素数は最高空間周波数に依存する。以上のように、エリアセンサー１３の選定には上述した内容を吟味する必要性がある。画素が微細化するとセンサーの最低必要照度も下がり測定精度に影響してしまうためである。

次に、以上のようにしてＭＴＦ値を算出した断面のうち、最小ＭＴＦ値の断面の強度分布の重心、すなわち断面Ｖの強度分布の重心を算出し（ステップＳ３０３）、この算出された重心を原点としてこの断面ＶのＰＴＦ値を算出する（ステップＳ３０４）。また、断面Ｖに直交する断面Ｈの強度分布の重心を算出し（ステップＳ３０５）、算出された重心を原点としてこの断面ＨのＰＴＦ値を算出する（ステップＳ３０６）。このようにして得られた各断面の走査長Ｌ（すなわち、画素列）における重心位置を、表示部（ディスプレイ）２０に表示する（ステップＳ３０７）。この場合、表示部２０には、図１０に示すように、走査長Ｌの中心から重心位置がずれた方向へ矢印表示をする。

このように得られた情報を基に、製造組立の技術者が軸上像点の重心が強度分布の中心にくるように、光学系（被検レンズ４）の一部のレンズ群をシフトチルトさせる。補正群を動かす方向は補正群が凸群か凹群で異なり、互いに逆方向になる。一般に画角が小さい望遠系のレンズは周辺像も軸上像点の影響を受ける。このようなレンズは軸上像点の偏芯コマを少なくする事で、全画面に渡って回転対象な収差成分にすることが可能である。一方、画角の大きいレンズの場合は、偏芯による非点収差と像面の傾きが支配的となる。よって、軸上像点の情報だけでは足りず、次に説明する周辺像の非対称性から判断することとなる。

以上のような軸上像の処理（ステップＳ３００）の次に、軸外像の処理を行い、ＭＴＰ値およびＰＴＦ値を算出する（ステップＳ４００）。処理の詳細を、図１１に示すフローチャートを合わせて用いて説明する。

まず、４つの軸外用受光センサー１４で検出した軸外像のうちのいずれか１つの軸外像について、第１のラインセンサー１４ａで検出したＭ像のＭＴＦ値を算出する（ステップＳ４０１）。次に、このＭ像の点像強度分布の重心位置を算出し（ステップＳ４０２）、算出された重心位置を原点として当該Ｍ像のＰＴＦ値を算出する（ステップＳ４０３）。続いて、第２のラインセンサー１４ｂで検出したＳ像のＭＴＦ値を算出し（ステップＳ４０４）、このＳ像の点像強度分布の重心位置を算出した後（ステップＳ４０５）、算出された重心位置を原点として当該Ｓ像のＰＴＦ値を算出する（ステップＳ４０６）。その後、全ての軸外像についてＭＴＦ値の算出およびＰＴＦ値の算出処理が終わったか否か判定し（ステップＳ４０７）、処理する軸外像点があれば次の軸外像点について、ステップＳ４０１〜ステップＳ４０６の処理を繰り返す。各象限の軸外像全てについて処理が終了した場合は、軸外像の処理を終了する。

なお、偏芯による非点収差と像面の傾きとは、各像高のベストフォーカス位置より判断が可能である。そして、偏芯による歪曲収差は画角の二乗に比例する。周辺像の結像される像の放射方向の重心位置の、基準位置からのずれによって、歪曲収差が判断可能となる。この基準位置の設定は、予め設計上の歪曲とするかあるいは各象限の軸上像からの結像位置の平均とすればよい。

軸外像の処理（ステップＳ４００）が終了したら、処理結果を表示部２０への出力する（ステップＳ５００）。この場合、例えば図１２に示すように、軸上像用のエリアセンサー（軸上用受光センサー）１３のＭＴＦ値とＰＴＦ値（図１２の中央のグラフ）、軸外用受光センサー１４の各象限のＭＴＦ値とＰＴＦ値（図１２の外周４つのグラフ）を同じ画面上に表示するとともに、重心のズレ方向を表示する。図１２の中央の軸上像のグラフにおいて、Ｖは最小ＭＴＦ値の断面ＶのＭＴＦ値及びＰＴＦ値を示し、Ｈは断面Ｖと直交する断面ＨのＭＴＦ値及びＰＴＦ値を示す。また、図１２の軸外像の各象限のグラフにおいて、Ｍはメリディオナル像のＭＴＦ値及びＰＴＦ値を示し、Ｓはサジタル像のＭＴＦ値及びＰＴＦ値を示す。なお、制御部１６にハードディスク等で構成される記憶部２２を接続し、これらの光学特性情報（軸上用および軸外用受光センサー１３，１４で測定した点像および線像強度分布や、これらの強度分布から上述の処理により求められたＭＴＦ値，ＰＴＦ値）を、製品の性能解析等の資料とするために、この記憶部２２に記憶するように構成しても良い。

このように軸上像及び軸外像のＭＴＦ値およびＰＴＦ値を同じ画面で見ることにより、当該被検レンズ４の結像性能の特徴が把握しやすくなる。すなわち、図１２に示す例では、下方向に重心がずれていることがわかる。軸上像の断面Ｖの強度分布は偏芯の影響を受け、この強度分布が非対称性持ち、断面Ｖと直交する断面Ｈの強度分布は対称性を失うことはない。よって、断面ＨのＭＴＦ−ｕ（ｕ：複素空間での座標）は断面ＶのＭＴＦ−ｕより高い結果となる。また、ＰＴＦは、線形性が高い程光学性能が劣化せず、ＭＴＦは高くなる。従って、ＰＴＦに、ある周波数で曲がりが生じている場合は、ＭＴＦでもその周波数以降が低くなる。

測定データの詳細を確認する際には、一つの像高の情報を拡大して表示させるように構成するのが好ましい。また、数多い情報から、解析に適した情報のみを取り出し、技術者に直感的に伝えるよう構成することが望ましく、検査結果を迅速に把握し易いものとなり、量産検査にも好適なものとなる。また、上述のＭＴＦ値およびＰＴＦ値のグラフを表示する代わりに、軸上用および軸外用受光センサー１３，１４の検出結果から算出されたＰＴＦ値より、その偏芯方向を図９に示す記号で表示することも可能である。この場合、中心の円が計測位置を示し、そこから延びる箒状の尾の方向が偏芯方向、長さが偏芯量（ＰＴＦ値のグラフにおけるｕ＝０のときの傾き）を示す。

なお、干渉計、あるいはハルトマンセンサーを用いて光学系の透過波面や横収差を測定し収差関数にフィッティングするならば夫々の収差の成分の大きさがわかりやすいが、被検レンズ４のセッティング時間の長さやセンターと周辺同時測定が困難である。そのため、干渉計、あるいはハルトマンセンサーを用いる場合には、量産検査ではなく、被検件数の少ない詳細検査に好適なものとなる。

本実施形態では、以上のように、周辺の各象限における強度分布の重心位置を使う事で単にＭＴＦ値を求めるだけでなく、レンズの偏芯を再調整する情報（ＰＴＦ値）を提供する事が可能となる。従って、ラインにおいて被検レンズ４の製品としての「不合格」、「合格」判定をＭＴＦ値で行い、「不合格」判定であった場合に指針を明確化できることとなる。

なお、以上の説明においては、所定の断面の点像強度分布の重心位置を求め、この重心位置を原点としてＰＴＦ値を算出するように構成した場合について説明したが、例えば、被検レンズ４の光源２側に開口絞りを設け、この開口絞りにより照明光のうち、機械軸７およびその近傍を通る光だけが通過するようにし、この照明光が軸上および軸外用センサー１３，１４に結像する位置をＰＴＦ算出の原点とするように構成しても良い。

本発明に係る検査装置の構成示す説明図である。センサーの配置および動作を示す説明図である。軸上用受光センサーの開口の縦列と横列の画素ピッチと断面の画素ピッチとの関係を説明するための説明図である。チャート板の構成を示す説明図である。この検査装置による撮影レンズの結像性能の測定手順を表すフローチャートである。軸上像の処理手順を表すフローチャートである。点像強度分布における軸上像の重心のズレ方向を説明するための説明図であって、（ａ）は光学系に偏芯がなくコマが外方のＰＳＦを示し、（ｂ）はコマが内方のＰＳＦを示し、（ｃ）は偏芯がありコマが少ない光学系のＰＳＦを示す。位相成分φ（ｕ）と空間周波数ｕとの関係を説明するための説明図であり、（ａ）は像を右方向にＡだけシフトしたときのＰＴＦを示し、（ｂ）は左方向にＡだけシフトさせた場合のＰＴＦを示し、（ｃ）はシフトがない場合のＰＴＦを示す。点像強度分布を８方位の断面に切り取った際に、偏芯コマにより重心がずれて、ＭＴＦ値の劣化に最も影響を与えている断面Ｖを説明するための説明図である。走査長Ｌにおける重心位置のずれ方向を画面に表示した一例を説明するための説明図である。軸外像の処理手順を表すフローチャートである。測定結果の出力例を示す説明図である。

符号の説明

１検査装置２光源３チャート板３ａ軸上用検査チャート
３ｂサジタルチャート（軸外検査用チャート）
３ｃメリジオナルチャート（軸外検査用チャート）
４被検レンズ７機械軸
１３軸上用受光センサー１４軸外用受光センサー
１４ａ第１のラインセンサー１４ｂ第２のラインセンサー
１６制御部２０表示部

Claims

機械軸を含むように配置されたピンホールである軸上検査用チャートが形成されたチャート板と、
光源から出射して前記軸上検査用チャートを通過した光線を、前記チャート板が像面上に位置するように配置された被検レンズにより結像させた軸上像を検出するエリアセンサーである軸上用受光センサーと、
前記軸上用受光センサーで検出された前記軸上像の前記機械軸を含む任意の断面における任意の空間周波数のＭＴＦ値およびＰＴＦ値を算出する制御部と、を有する検査装置。
前記チャート板は、前記機械軸を含まないように配置されたスリットである軸外検査用チャートを有し、
前記光源から出射して前記軸外検査用チャートを通過した光線を前記被検レンズにより結像させた軸外像を検出するラインセンサーである軸外用受光センサーを有し、
前記制御部は、前記軸外用受光センサーで検出された前記軸上像から任意の空間周波数のＭＴＦ値およびＰＴＦ値を算出するように構成された請求項１に記載の検査装置。
前記軸外検査用チャートが、前記機械軸を含む線上に延びるサジタルチャート、および、当該サジタルチャートに略直交するように延びるメリジオナルチャートから構成され、
前記軸外用受光センサーが、前記機械軸を含む線上に延び、前記メリジオナルチャートの像を検出する第１のラインセンサー、および、前記第１のラインセンサーと略直交する方向に延び、前記サジタルチャートの像を検出する第２のラインセンサーから構成され、
前記制御部は、前記第１および第２のラインセンサーの各々で検出された軸外像から前記ＭＴＦ値および前記ＰＴＦ値を算出するように構成された請求項２に記載の検査装置。
前記制御部により算出された前記ＭＴＦ値および前記ＰＴＦ値を出力する表示部を有する請求項１〜３いずれか一項に記載の検査装置。
前記制御部は、前記軸上用受光センサーにおいて、互いに方位の異なる少なくとも２以上の前記断面の前記ＭＴＦ値を算出し、当該断面のうち、最も小さいＭＴＦ値の断面の前記ＰＴＦ値、並びに、当該最も小さいＭＴＦ値の前記断面に直交する断面の前記ＰＴＦ値を算出し、前記ＭＴＦ値の最も小さい断面および当該断面に直交する断面の前記ＭＴＦ値および前記ＰＴＦ値を前記表示部に出力するように構成された請求項４に記載の検査装置。
前記制御部は、前記軸上像の所定の断面の強度分布の重心位置、若しくは、前記軸外像の強度分布の重心位置を算出し、当該重心位置を原点として前記ＰＴＦ値を算出するように構成された請求項１〜５いずれか一項に記載の検査装置。
前記被検レンズの光源側に配置された開口絞りを有し、
前記制御部は、前記開口絞りにより、前記チャート板を通過した光線のうち、前記機械軸およびその近傍を通過する光線だけを通過させるようにしたときの前記軸上像若しくは前記軸外像の前記軸上用受光センサー若しくは前記軸外用受光センサーにおける結像位置を原点として前記ＰＴＦ値を算出するように構成された請求項１〜５いずれか一項に記載の検査装置。