CN1621798A - 偏心测定方法及偏心测定装置 - Google Patents

偏心测定方法及偏心测定装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1621798A
CN1621798A CNA2004100950674A CN200410095067A CN1621798A CN 1621798 A CN1621798 A CN 1621798A CN A2004100950674 A CNA2004100950674 A CN A2004100950674A CN 200410095067 A CN200410095067 A CN 200410095067A CN 1621798 A CN1621798 A CN 1621798A
Authority
CN
China
Prior art keywords
detected
apparent
mentioned
index
reflection image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2004100950674A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100458392C (zh
Inventor
村田安规
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of CN1621798A publication Critical patent/CN1621798A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100458392C publication Critical patent/CN100458392C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
    • G01M11/0257—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G01M11/0221—Testing optical properties by determining the optical axis or position of lenses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

提供一种偏心测定方法及偏心测定装置。使被检测面和将指标投影在该被检测面的视在球心位置上的光学系统相对地移动，通过根据其移动量求被检测面的偏心量，或者根据预先求得的各被检测面的视在曲率半径，变更光学系统的焦距，或者根据预先求得的各被检测面的视在曲率半径，判断应测定的被检测面的反射像，准确地测定全部透镜系统的偏心量。

Description

偏心测定方法及偏心测定装置
技术领域
本发明涉及偏心测定方法，例如，是一种适合于如变焦透镜之类的，由多个透镜元件构成且有移动部分的透镜系统的偏心测定的方法。
背景技术
关于现有的偏心测定方法，非专利文献1中详细地介绍了以下三种方式：
(1)被检测透镜旋转方式
(2)被检测透镜静止东德赛斯(East Germany Zeiss)方式
(3)被检测透镜静止图像旋转器方式。
这些偏心测定方法都是采用自准直法，将指标投影在被检测面的视在曲率中心位置，根据来自对应于测定基准轴的被检测面的反射像的状态(振动量、偏移量)，算出偏心量的方法。
方式(1)虽然具有能用简单的结构进行高精度的测定的优点，但如果象变焦透镜那样，被检测透镜内部包含可动部分，则存在不能进行准确的偏心测定的问题。内部包含可动部分的透镜系统，其可动用的滑动部分要有微小的间隙，如该方式所示，如果一边使被检测透镜旋转一边进行测定，则由于透镜的自重，偏心状态因姿势不同而变化。
在方式(2)的测定中，由于不使被检测透镜旋转，所以虽然也能测定内部包含可动部分的透镜系统，但存在由于测定光6次通过半反射镜引起的光量损失大的问题。作为应用该方式的设计，有专利文献1。
方式(3)通过利用图像旋转器，不使被检测透镜旋转就能测定，而且半反射镜的使用次数也少，所以光量损失小。作为应用该方式的设计，有专利文献2、专利文献3、专利文献4、专利文献5等。
另外，在专利文献6中还提出了使自准直光学系统和被检测透镜相对移动，进行偏心测定的方法。
[专利文献1]特公平3-54287号公报
[专利文献2]特公昭51-6920号公报
[专利文献3]特公平7-81931号公报
[专利文献4]特公平7-39982号公报
[专利文献5]特许第2621119号说明书
[专利文献6]特开平4-190130号公报
[非专利文献1]松居吉哉、臼井正幸，“光学系统的偏心测定”，光学技术通讯，Vol.13，No.11，p.11-20
在现有的方式中，进行由多个透镜元件构成的透镜系统的偏心测定时，重要的是准确地测定构成透镜系统的全部面的反射像的状态。如果存在不能测定某一面的反射像的情况，则从该面开始以后的面的偏心量的测定结果变得不准确。
可是，实际上在上述的现有方式中，如果进行偏心测定，则多半发生不能测定反射像的状态的情况。具体地说，有下述等问题。
·有时发生不能检测反射像的不能测定面。
·偏心误差大的被检测面的偏心测定值发生大的测定误差。
经验表明，偏心误差大的被检测面容易发生不能测定面。另外，作为对偏心误差大的被检测面的测定误差增大的情况的对策，在专利文献3中提出了这样的方法：一旦进行透镜系统的偏心测定，便计算实际测量的偏心量的平方平均值为最小的最佳光轴，根据该计算结果，修正被检测透镜的安装，再进行测定。可是，迄今没有分析这些问题的根本原因，采取针对该原因的具体的对策。
发明内容
本发明针对在现有方式中的偏心测定中为什么会发生不能测定面和测定精度为什么恶化，分析了其原因，提供一种即使在由多个透镜元件构成的透镜系统的偏心测定中，也能准确地测定偏心量的偏心测定装置及方法。
作为其一例，在本发明中，使被检测面和将指标投影在该被检测面的视在球心位置上的光学系统相对地移动，根据其移动量求被检测面的偏心量，或者根据预先求得的各被检测面的视在曲率半径，变更光学系统的焦距，或者根据预先求得的各被检测面的视在曲率半径，判断应测定的被检测面的反射像。
此外，作为由多个透镜元件构成的透镜系统的偏心测定用的优选的指标(图形)，公开了一种有十字线、相对于该十字线的一条线形状对称的标记、以及相对于十字线的另一条线形状对称的标记的指标。
附图说明
图1是实施例1的偏心测定装置的略图。
图2是观察系统视野的说明图。
图3是指标图形和成像面图形的说明图。
图4A、4B和4C是变焦透镜的剖面图。
图5是实施例2的偏心测定装置的略图。
图6A和6B是视在曲率半径小的情况下的球心反射像的说明图。
图7是视在曲率半径大的情况下的球心反射像的说明图。
具体实施方式
以下用附图说明本发明的实施形态，但首先说明在现有方式的偏心测定中为什么会发生不能测定面、测定精度为什么恶化的原因。
在现有方式的偏心测定中，发生不能测定面的情况有：
·看不见反射像的情况
·能观察到多个反射像，而不能判断哪个像是应测定的反射像的情况。
看不见或难以看见反射像的原因，是因为有时以被检测面的曲率中心为目标投影的图形像(chart image)的反射光未返回目镜系统、或返回的光量少。在怎样的情况下反射光不返回目镜系统，另外，针对返回的光量是否少，说明其原理。
用自准直法投影在被检测透镜侧的图形像，在目镜系统的观察视野中作为反射像成像的条件是：
·以被检测面的视在球心位置(曲率中心位置)为目标投影的情况下
·以被检测面的视在顶点位置(表面位置)为目标投影的情况下
以被检测面的视在球心位置(曲率中心位置)为目标投影的图形像在被检测面上反射，作为反射像使成像放大率为-1倍的像成像在目镜系统的成像面上。以后将其反射像称为“球心反射像”。在被检测面上反射以被检测面的视在顶点位置(表面位置)为目标投影的图形像，使成像放大率为+1倍的像成像在目镜系统的成像面上。以后将其反射像称为“顶点反射像”。
球心反射像与被检测面的偏心量大致成正比地在目镜系统成像面上偏移(位移)。可是，即使被检测面偏心，在目镜成像面上也不偏移，在一定位置上形成顶点反射像。
如果在被检测透镜上完全不偏心，被检测透镜光轴和测定光轴一致，则被检测透镜的各面的球心反射像必定成像在目镜系统成像面上。可是，如果测定实际上偏心的某个被检测透镜，则球心反射像不返回目镜系统成像面，发生不能观察球心反射像的情况。
根据发明者的研究结果可知，在被检测面的“视在曲率半径”的绝对值小(曲率大)的情况下，发生看不见球心反射像的现象。
这里，说明“视在曲率半径”的定义。
所谓视在曲率半径，是从透镜系统的第一面一侧看时的被检测面的视在曲率半径，定义为被检测面的视在顶点位置(表面位置)和视在球心位置(曲率中心位置)的距离。视在顶点位置、视在球心位置能通过光学近轴计算来算出，根据被检测透镜系统的设计数据求得。
第V面上的视在曲率半径，随着从第一面至第(V-1)面的光学系统的不同而变化，有时变成大的曲率半径，还有时曲率半径的标记逆转。
另外，在透镜系统包括非球面的情况下，设光轴方向为X轴，垂直于X轴方向的量为H，R0为近轴曲率半径，K为圆锥常数，A、A’为非球面系数，将相对于X轴旋转对称的非球面形状定义为
[数学式1]
X = ( 1 R 0 ) H 2 1 + 1 - ( 1 + K ) ( H R 0 ) 2 + AH 2 + A ′ H 3 + BH 4 + B ′ H 5 + C H 6 + C ′ H 7 + DH 8 + D ′ H 9 + EH 10 . . .
时，则如果用按照
[数学式2]
R = 1 2 A + 1 R 0
算出的R，进行近轴计算，则在近轴区域中，能与球面同样地处理。  (参照透镜设计法：松居吉哉著，共立出版)
将第V面的视在曲率半径极端小的情况示于图6A和6B。在图6A中，用照明光源R照明的指标图形(index chart)T通过半反射镜H后，用准直物镜K朝向被检测透镜L投影。准直物镜K在被检测面(这里为第V面)的视在球心位置，形成指标图形T的像。被检测透镜L由第一面至第V面的多个透镜面构成，被固定在透镜安装座M上。反射像通过准直物镜K，在成像面图形I上成像。用目镜E观察在成像面图形I上形成的反射像。由光源R、指标图形T、半反射镜H、准直物镜K、成像面图形I、目镜E构成自准直光学系统U。
如图6A所示，在被检测透镜L完全不偏心、被检测透镜L的光轴和测定基准轴C一致的状态下，第V面上的球心反射像在目镜系统的成像面图形I上成像。可是，如果被检测透镜L存在偏心，第V面的视在球心位置和测定基准轴C发生偏移，则如图6B所示，视在曲率半径r小的第V面上的球心反射光线不返回目镜光学系统。
另外，在被检测透镜L完全不偏心、被检测透镜L的光轴和测定基准轴C一致的状态下，也只是自准直光学系统U投影的指标图形T的中心附近返回观察系统，指标图形T的周变部不返回观察系统。能用观察系统观察的指标图形T的图像圈(成像范围)变小。因此，有时即使偏心量小，也看不见球心反射像。
这就是现有的测定方法中发生不能测定面的问题所在。
为了使第V面上的球心反射光线返回观察系统，也可以使第V面的视在球心位置与自准直光学系统U的测定基准轴C一致。即，如果使自准直光学系统U和被检测透镜L沿垂直于测定基准轴C的方向相对移动，就能使第V面上的球心反射光返回观察系统的成像面上。在后面所述的实施例中公开的偏心测定装置中，为了使各被检测面上的球心反射像与观察系统的成像面图形I的原点位置一致，能使自准直光学系统U和被检测透镜L沿垂直于测定基准轴C的方向相对移动。在这样的偏心测定装置中，如果根据自准直光学系统U或被检测透镜L的移动量，算出被检测透镜L实际的偏心量，就能避免由于视在曲率半径r小而不能测定的现象。
另外，视在曲率半径r小的面上的球心反射像发生大的弯曲像差，球心反射像的偏移量(位移量)和被检测面的偏心量的关系偏离了正比关系。因此，在观察系统中即使能观察到球心反射像的偏移量，在现有方式中测定误差也会由于弯曲像差的影响而增大。
为了使被检测面上的球心反射像与成像面图形I的原点位置一致，如果使自准直光学系统U和被检测透镜L沿垂直于测定基准轴C的方向相对移动，也能解决该测定误差的问题。就是说在该方式中，由于测定反射像的高度为零的位置，所以不受视在曲率半径r小的面上的反射引起的弯曲像差的影响，能将测定误差抑制得很小。
下面，图7示出了视在曲率半径r大的情况。
在视在曲率半径r大的情况下，相对于来自自准直光学系统U投影的指标图形I的光线来说，第V面上的球心反射的光线只是光轴附近的一部分光线反射，所以返回观察系统的光线呈开口缩小的状态。因此反射像的光量减少而变暗。另外，由于缩小，所以由于绕射的影响，在成像面图形I上形成分辨率低的模糊的反射像。
为了避免该问题，使准直物镜K的焦距可以改变即可，用变焦透镜这样的焦距可变的光学系统构成准直物镜K，或者焦距不同的多个光学系统之间可以更换即可。在后面所述的实施例中公开的偏心测定装置中，在被检测面的视在曲率半径大的情况下，能使准直物镜K的焦距变长，提高图形像的投影放大率，增大反射像的光线的开口。
(实施例1)
图1表示实施例1的偏心测定装置的略图。
在图1中，用照明光源R照明的指标图形T通过半反射镜(分光器)H后，用准直物镜K朝向被检测透镜L投影。准直物镜K呈能更换的结构，对应于被检测面的视在曲率半径，能变更焦距。在变更了准直物镜K的情况下，由于更换，指标图形的投影像有时偏移，所以为了使指标图形T的像的原点与测定基准轴(测定轴)C一致，能沿垂直于测定基准轴C的方向，调整准直物镜K的位置。
被检测透镜L由第一面至第V面的多个透镜面构成，被固定在透镜安装座M上。反射像通过准直物镜K，在成像面图形I上成像。用目镜E观察反射像相对于成像面图形I的偏移量(位移量)。指标图形T和成像面图形I被设定在相对于半反射镜H等效的位置。指标图形T的球心反射像在成像面图形I的位置形成颠倒的等倍像。图2中示出了观察视野。在图2中，用“+”简单地表示指标图形T的反射像中心，描绘出相对于成像面图形I具有偏移量ΔY’、ΔZ’的情况。稍后将详细说明实际上本实施例中使用的指标图形T和成像面图形I。
由光源R、指标图形T、半反射镜H、准直物镜K、成像面图形I、目镜E构成自准直光学系统U。偏心测定时，沿测定基准轴C改变自准直光学系统U和被检测透镜L的相对距离，将指标图形像投影在被检测透镜的各被检测面的视在球心位置CV上，从第一面开始依次进行偏心量的测定。
透镜安装座M呈能倾斜调整的结构，以便能将其安装面调整得相对于测定基准轴C垂直，被固定在能沿着与测定基准轴C垂直的方向移动的可动载物台S上。可动载物台S被设置在能沿测定基准轴C方向移动的可动载物台Q上，座M设定得能沿纸面的上下方向移动和在纸面上沿前后方向移动这样的两个轴的方向移动。可动载物台Q设定得在能沿测定基准轴C方向延伸的轨N上在纸面上沿左右方向移动。各载物台的移动方向的坐标系将纸面的左右方向作为X轴，将被检测透镜的第一面的顶点作为原点，左向为负，右向为正。将纸面上下方向作为Y轴，将纸面前后方向作为Z轴。
现有技术中，利用机械的载物台移动，难以将指标高精度地投影在测定基准光轴C上的各被检测面的视在曲率中心位置上，为了避免机械的载物台移动引起的误差，设计了透镜旋转方式和图像旋转器方式。可是，现有的透镜旋转方式或图像旋转器方式的转轴精度也难以使偏移完全为零，多少残存一点轴偏移。
如果采用本发明人的研究结果，可知如果用高精度金属轨作成沿测定基准轴C方向延伸的轨N，高精度地敷设在经过平面加工的坚固的平台上，则轨N上的可动载物台S、Q的精度能达到能将载物台移动量为1m范围内的倾斜误差抑制为10秒至20秒左右的精度。另外为了实现高精度，将对陶瓷或天然的深成岩(plutonic rock)等进行了精密加工的石柱作为轴，作成使用空气轴承的载物台，能实现相对于载物台的移动量在1m范围内倾斜误差为5秒以下。
如果达到该精度，则作为一般的照相摄影透镜、摄像机用透镜、普通照相机用透镜等的偏心测定所要求的偏心测定精度，是充分实用的精度。本实施例的方式由于没有旋转部分和反射棱镜，而是简单的结构，所以误差因素少，因而与现有的类型相比，能高精度化。
下面，说明测定偏心量的顺序。
(1)将可以更换的准直仪物镜K安装在自准直光学系统U中，调节并固定准直仪物镜K，使指标图形T的投影像的基准原点与测定基准轴C一致。
(2)进行倾斜调整，使座M相对于测定基准轴C垂直。
(3)调整可动载物台S，使座M的中心与测定基准轴C一致，在该位置将移动量检测装置W的Y轴方向、Z轴方向的值设定在基准原点上。
(4)将被检测透镜L安装在座M上，移动测定轴方向可动载物台Q，使指标图形像在被检测透镜L的第一面顶点上成像，将该位置的移动量检测装置W的X轴的值设定在基准原点上。
(5)根据被检测透镜L的设计基准状态(完全无偏心状态)下的设计数据，将被检测透镜L的第一面顶点作为原点，用偏心计算装置P算出从第一面至最终面的视在球心位置、视在顶点位置、视在曲率半径。
(6)一边确认移动量检测装置W的X轴移动量，一边移动可动载物台Q，使指标图形T的投影像被投影在算出的各被检测面的球心位置上。
(7)用目镜E观察在观察系统成像面(成像面图形I)上形成的球心反射像。
(8)在被检测面上有偏心的情况下，球心反射像相对于观察系统成像面图形原点偏移。在此情况下，移动可动载物台S，使球心反射像与成像面图形原点一致。用移动量检测装置W检测这时的可动载物台S的Y方向、Z方向的移动量ΔY、ΔZ，传输给偏心计算装置P，算出实际的偏心量。
如果被检测透镜L完全没有偏心、被检测透镜L的光轴与测定基准轴C一致，则投影在视在球心位置上的指标图形像的光线在被检测面上反射，逆着原来的光路返回。返回的光线在半反射镜H上光路被分割成两条，一条光线在指标图形面上成像，另一条光线在与指标图形等效距离设定的目镜系统的成像面图形上成像。如果被检测透镜系统L中完全没有偏心，被检测透镜L的光轴与测定基准轴C一致，则球心反射像与观察系统成像面图形中央的原点一致。
如果被检测透镜L上存在偏心，则球心反射像偏离观察系统视野的成像面图形原点位置。在现有的偏心测定方法中，检测该偏移量ΔY’、ΔZ’，算出偏心量，而在本实施例中，用移动量检测装置W检测可动载物台S的移动量，用偏心计算装置P算出实际的偏心量。移动量检测装置W读取来自被设置在X、Y、Z轴的各移动载物台部分上的磁性刻度尺等传感器的移动量信息，检测移动量。在本实施例中，载物台S相对于测定基准轴C的移动量ΔY、ΔZ就成为被检测面的视在的平行偏心量本身。
在现有方式中，为了求被检测面的视在平行偏心量ΔY、ΔZ，检测观察视野中的球心反射像的偏移量ΔY’、ΔZ’，乘以准直仪物镜的投影放大率，反射像变成二倍，所以取1/2算出。因此，在更换了准直仪物镜、或是采用了焦距可变透镜的情况下，每一次都需要将准直仪物镜的投影放大率变更成规定的放大率。可是在本方式中，与准直仪物镜的投影放大率无关，载物台的移动量ΔY、ΔZ本身成为被检测面的视在平行偏心量，所以具有计算方法比现有类型简单的优点。可是，本方式的最大的特征点在于：通过沿着与测定基准轴垂直的方向移动载物台，测定被检测面的视在偏心量，不能测定的面急剧地减少。
以摄像机用的变焦透镜的数值数据为例，说明以往为什么会发生不能测定的面，在本发明中怎样采取对策。
在以下所示的表1、表2、表3中，示出了f＝5.849～56.263的摄像机用的变焦透镜的数据。表1是广角端的数值数据，表2是望远端的数值数据，表3中示出了作为非球面的第12面的近轴曲率半径、圆锥常数、非球面系数。
透镜面是从第一面至第二十面的9组11个构成的变焦透镜，图3中示出了透镜剖面图。该变焦透镜被分割成4块，第一块是G1/2、G3(第一面～第五面)，第二块是G4、G5、G6(第六面～第十一面)，第三块是G7、G8、G9(第十二面～第十七面)，第四块是G10/11(第十八面～第二十面)，改变各块间距，进行由变焦决定的焦距变化。
表1、表2所示的数据表示面编号、实际的曲率半径、实际的面间隔、折射率、在其右侧通过近轴计算算出的视在球心位置、视在顶点位置、视在曲率半径。
所谓视在球心位置，是将第一面顶点作为原点，根据设计数据算出的从第一面侧看时，是否能看到各面的实际的球心位置的位置。另外，所谓视在顶点位置，是将第一面顶点作为原点，根据设计数据算出的从第一面侧看时，是否能看到各面的实际面的顶点位置的位置。所谓视在曲率半径，是从第一面侧看时各面的视在曲率半径，作为从视在顶点位置到视在球心位置的距离，进行定义算出的。
在表1和表2中，一并记载了按照面编号顺序表示广角端和望远端的数据的数据、以及在视在球心位置按照上升顺序排列的数据。
[表1]
***广角端***
焦距f＝5.849
面编号   实际的曲率半径R     实际的面间隔     折射率N     视在球心位置     视在顶点位置     视在曲率半径
    1   54.593     1.200     1.84666     54.593     0.000     54.593
    2   27.444     3.900     1.48749     20.425     0.658     19.768
    3   -173.066     0.200     1.00000     -89.077     3.350     -92.428
    4   24.110     2.750     1.77250     32.307     3.557     28.750
    5   72.903     0.800     1.00000     -70.328     5.265     -75.592
    6   46.331     0.700     1.83400     -141.580     6.222     -147.802
    7   6.636     2.966     1.00000     12.283     6.698     5.585
    8   -20.914     0.600     1.77250     66.691     9.768     56.922
    9   20.914     0.750     1.00000     14.400     10.044     4.356
    10   l5.225     1.800     1.92286     14.071     10.582     3.489
    11   219.179     25.714     1.00000     19.998     11.159     8.839
    *12   9.207     2.600     1.58313     17.637     16.976     0.662
    13   377.119     2.160     1.00000     14.496     17.129     -2.633
    14   15.102     0.600     1.84666     22.949     17.367     5.583
    15   8.428     0.820     1.00000     18.527     17.407     1.120
    16   70.013     1.400     1.48749     29.704     17.513     12.191
    17   -28.241     7.000     1.00000     15.552     17.636     -2.085
    18   17.497     2.600     1.69680     27.935     18.787     9.148
    19   -17.497     0.600     1.84666     17.703     19.140     -1.438
    20   -71.396    -42.992     1.00000     16.580     19.227     -2.647
***广角端***
在视在球心位置按照上升顺序排列的数据
面编号     实际的曲率半径R     实际的面间隔 折射率N     视在球心位置     视在顶点位置     视在曲率半径
    6     46.331     0.700   1.83400    -141.580     6.222     -147.802
    3     -173.066     0.200   1.00000     -89.077     3.350     -92.428
    5     72.903     0.800   1.00000     -70.328     5.265     -75.592
    7     6.636     2.966   1.00000     12.283     6.698     5.585
    10     15.225     1.800   1.92286     14.071     10.582     3.489
    9     20.914     0.750   1.00000     14.400     10.044     4.356
    13     377.119     2.160   1.00000     14.496     17.129     -2.633
    17     -28.241     7.000   1.00000     15.552     17.636     -2.085
    20     -71.396    -42.992   1.00000     16.580     19.227     -2.647
    *12     9.207     2.600   1.58313     17.637     16.976     0.662
    19     -17.497     0.600   1.84666     17.703     19.140     -1.438
    15     8.428     0.820   1.00000     18.527     17.407     1.120
    11     219.179     25.714   1.00000     19.998     11.159     8.839
    2     27.444     3.900   1.48749     20.425     0.656     19.768
    14     15.102     0.600   1.84666     22.949     17.367     5.583
    18     17.497     2.600   1.69680     27.935     18.787     9.148
    16     70.013     1.400   1.48749     29.704     17.513     12.191
    4     24.110     2.750   1.77250     32.307     3.557     28.750
    1     54.593     1.200   1.84666     54.593     0.000     54.593
    8     -20.914     0.600   1.77250     66.691     9.768     56.922
[表2]
***望远端***
焦距f＝56.263
面编号     实际的曲率半径R     实际的面间隔 折射率N   视在球心位置   视在顶点位置     视在曲率半径
    1     54.593     1.200   1.84666   54.593   0.000     54.593
    2     27.444     3.900   1.48749   20.425   0.656     19.768
    3     -173.066     0.200   1.00000   -89.077   3.350     -92.428
    4     24.110     2.750   1.77250   32.307   3.557     28.750
    5     72.903     22.724   1.00000   -70.328   5.265     -75.592
    6     46.331     0.700   1.83400   -74.260   84.058     -158.318
    7     6.636     2.966   1.00000   154.811   88.148     66.662
    8     -20.914     0.600   1.77220   -198.293   119.688     -317.982
    9     20.914     0.750   1.00000   194.566   123.057     71.509
    10     15.225     1.800   1.92286   187.589   129.931     57.658
    11     219.179     3.218   1.00000   403.293   137.807     265.486
    *12     9.207     2.600   1.58313   214.831   162.234     52.597
    13     377.119     2.160   1.00000   -38.925   174.509     -213.434
    14     15.102     0.600   1.84666   621.386   193.390     427.996
    15     8.428     0.820   1.00000   284.849   196.603     88.246
    16     70.013     1.400   1.48749   1100.984   205.005     895.979
    17     -28.241     10.507   1.00000   47.501   214.760     -167.259
    18     17.497     2.600   1.69680   1434.940   368.511     1066.429
    19     -17.497     0.600   1.84666   261.724   404.121     -142.396
    20     -71.396    -42.992   1.00000   154.808   412.922     -258.113
***望远端***
在视在球心位置按照上升顺序排列的数据
面编号     实际的曲率半径R     实际的面间隔 折射率N   视在球心位置   视在顶点位置      视在曲率半径
    8     -20.914     0.600   1.77250   -198.293   119.688     -317.982
    3     -173.066     0.200   1.00000   -89.077   3.350     -92.428
    6     46.331     0.700   1.83400   -74.260   84.058     -158.318
    5     72.903     22.724   1.00000   -70.328   5.265     -75.592
    13     377.119     2.160   1.00000   -38.925   174.509     -213.434
    2     27.444     3.900   1.48749   20.425   0.656     19.768
    4     24.110     2.750   1.77250   32.307   3.557     28.750
    17     -28.241     10.507   1.00000   47.501   214.760     -167.259
    1     54.593     1.200   1.84666   54.593   0.000     54.593
    20     -71.396     -42.992   1.00000   154.808   412.922     -258.113
    7     6.636     2.966   1.00000   154.811   88.148     66.662
    10     15.225     1.800   1.92286   187.589   129.931     57.658
    9     20.914     0.750   1.00000   194.566   123.057     71.509
    *12     9.207     2.600   1.58313   214.831   162.234     52.597
    19     -17.497     0.600   1.84666   261.724   404.121     -142.396
    15     8.428     0.820   1.00000   284.849   196.603     88.246
    11     219.179     3.218   1.00000   403.293   137.807     265.486
    14     15.102     0.600   1.84666   621.386   193.390     427.996
    16     70.013     1.400   1.48749   1100.984   205.005     895.979
    18     17.497     2.600   1.69680   1434.940   368.511     1066.429
[表3]
***非球面***
12面
R         9.2066E+00
K        -9.7258E-02
A         0.0000E+00
A′      -4.1738E-05
B        -3.7730E-05
B′      -4.5949E-05
C         1.0435E-05
C′      -1.1157E-06
D         3.6092E-08
D′       0.0000E+00
E        -3.2060E-10
现在来看广角端的第十二面。第十二面是非球面，实际的近轴曲率半径R为9.207，视在曲率半径为0.662。如果从透镜第一面看，则意味着视在曲率半径非常小。在现有的测定方法中，由于视在曲率半径非常小，所以只存在微小的偏心，该面的球心反射光不会返回观察系统。可是，如本实施例中所公开的，使可动载物台S移动，进行调整，以便测定基准轴C和第十二面的球心位置一致，使球心反射光能返回观察系统，能检测载物台的移动量ΔY、ΔZ。
这样，采用本实施例中公开的偏心测定装置和偏心测定方法，用现有的测定方法不能测定的面的测定成为可能。
另外，如果着眼于表1中的广角端的视在球心位置、视在顶点位置，则第十二面的视在球心位置为17.637，第十九面的视在球心位置为17.703，第十七面的视在顶点位置为17.636，第十六面的视在顶点位置为17.513，可知四个面的球心位置和顶点位置接近，几乎在同一面上。在此情况下，在观察视野中，能看到第十二面的球心反射像和第十九面的球心反射像、而且第十七面的视在顶点反射像和第十六面的视在顶点反射像重叠。
为了判断哪个反射像相当于哪个面，首先，一边移动光轴和可动载物台S，一边对观察系统视野进行观察。伴随载物台S的移动，反射像位置变动者是球心反射像，反射像位置不伴随载物台移动者是顶点反射像。用该判断方法，能特定第十二面的球心反射像和第十九面的球心反射像。
可是，难以判断哪些反射像是第十二面的反射像。因此，用手判断视在曲率半径。第十二面的视在曲率半径为+0.662，第十九面的视在曲率半径为-1.438，都是较小的值，但第十二面的绝对值小。可是，如果观察实际的观察系统视野的反射像，则反射像的所能看到的尺寸不同。在视在曲率半径小的面上反射的球心反射像，由于视在曲率半径小，所以指标图形的周边部的光线不返回目镜系统，只是指标图形的中央部分返回目镜系统。能断定在观察系统视野中能确认的两个反射像中，图像圆周小者的反射像是第十二面的反射像。
再来看广角端的第九面和第十三面。第九面的视在球心位置为14.400，第十三面的视在球心位置为14.496，球心反射像几乎成像在同一位置上。在此情况下，如果比较视在曲率半径，则第九面的视在曲率半径为4.356，第十三面的视在曲率半径为-2.6332，由于第十三面的视在曲率半径的绝对值小，所以能断定在观察系统视野中能确认的两个反射像中，图像圆周小者的反射像是第十三面的反射像。
在望远端，第七面的视在球心位置为154.811，第二十面的视在球心位置为154.808。在此情况下如果比较视在曲率半径，则第七面的视在曲率半径为+66.662，第二十面的视在曲率半径为-258.113，能断定在观察系统视野中能确认的两个反射像中，图像圆周小者的反射像是第七面的球心反射像。
这样，如果采用本实施例中公开的偏心测定装置和偏心测定方法，则能从在观察视野中形成的多个反射像中，同时特定所希望的反射像，所以能测定在现有的测定中不能测定的面。
另外，在测定视在曲率半径小的被检测面的情况下，准直仪物镜K的焦距短者好。如果准直仪物镜K的焦距短，则能将指标图形T的像投影得小，即使在视在曲率半径小的被检测面上，也能使图像圆周大的反射像返回观察系统中。如果准直仪物镜K的焦距变长，则指标图形T的投影像变大，在视在曲率半径小的被检测面上，只是球心反射像的最中央部才返回观察光学系统，只能确认图像圆周小的反射像，不容易识别图形像。
反之，对于视在曲率半径的绝对值大的被检测面来说，需要焦距长的准直仪物镜K。另外，在视在球心位置大的情况下，也需要焦距长的准直仪物镜K。因此，作成准直仪物镜K能更换的结构。准直仪物镜K也可以用变焦透镜这样的可变焦距透镜构成。
观察系统虽然是用目镜E观察在成像面图形I上形成的反射像，但也可以设置电视摄像机，代替目视观察，取入电子图像，检测观察系统视野。另外，虽然图中未示出，但也可以不用目镜，而将CCD等受光元件设置在成像面图形面I上，直接取入电子图像，在图像处理中一边检测反射像的偏移量，一边使反射像位于基准原点上。
下面，说明本实施例中用的指标图形T和成像面图形I。图4中示出了本实施例中用的指标图形T(图4A)和成像面图形I(图4B)，以及指标图形T的反射像和成像面图形I的反射像的关系(图4C)。在本实施例中，在容易使指标图形T的反射像与成像面图形原点位置一致方面下工夫，提高测定精度。
为了使图形像在图4纸面的左右方向和上下方向上一致，尽量使指标图形T的十字线的宽度细，成像面图形I的十字线呈虚线形状。通过使成像面图形I呈虚线形状，能从虚线的间隙中确认与指标图形T的像的重合状态，所以容易达到高精度。
另外，如上所述，在被检测面的视在曲率半径小的情况下，指标图形T的周边部的光线不返回观察系统，所以图像圆周变小，如果存在偏心，则难以寻找指标图形中心。因此，最好在指标图形T的中央部设置表示中央的标记，为此，在本实施例中，如图4A所示，将圆形标记设定在指标图形T的中央部。
另外，球心反射像多半伴随大的球面像差，球心反射像多半情况下呈模糊像。在呈模糊的球心反射像的情况下，细十字线模糊，难以识别。因此在本实施例中，为了能使左右方向和上下方向的位置一致，如图4A所示使十字线的左右方向和上下方向的位置一致，设定标记。
针对纸面上的左右方向的定位标记，最好呈相对于十字线的纵线左右对称的形状。针对纸面上的上下方向的定位标记，最好呈相对于十字线的横线上下对称的形状。在本实施例中，作成将左右方向和上下方向对称的两个三角形组合起来的形状。如果即使是模糊的反射像，这样的定位标记也能识别呈对称形状的反射像，那么就能在该模糊的反射像的中央进行定位。
另一方面，与全部指标图形有关的视在曲率半径和视在球心位置大的被检测面上的球心反射像，返回观察系统，图像圆周大，但反射像暗，而且多半很模糊。视在曲率半径和视在球心位置大的被检测面上的球心反射像相对于被检测面的有效直径，至球心反射位置的距离长，所以口径比呈缩小状态，因此变暗。另外，光圈产生的绕射的影响大，多半情况呈模糊的反射像。因此，难以识别指标图形的细十字线和中央部分的定位标记。作为其对策，为了能与左右方向、上下方向一致，将比中央部的定位标记大的定位标记设定在观察系统视野的周边部上。通过设定该大的定位标记，能识别以往模糊而不能识别的图形位置。
另外，定位标记如图4A所示，最好相对于十字线的中心，只设置在上下、左右的一侧。因为如果对称地设置在上下、左右的两侧上，则在视在球心反射像和视在顶点反射像重叠的情况下，定位标记的反射像重叠，不容易看到。
(实施例2)
下面，用图5说明实施例2的偏心测定装置。
在实施例2中，将实施例1的准直仪物镜K作成分割成产生平行光的准直仪透镜K1、以及使平行光成像的辅助物镜K2的结构。辅助物镜K2能更换或者用可变焦距透镜构成，能变更焦距。在更换了辅助物镜K2的情况下，为了使投影的指标图形像与测定基准轴C一致，作成能沿着与光轴垂直的方向进行调整的结构。关于指标图形T和成像面图形I，使用与实施例1中用图4说明的相同的图形。
辅助物镜K2被安装在沿着与测定基准轴C垂直的方向能移动的可动载物台S上。可动载物台S设置在能沿测定基准轴方向C移动的可动载物台Q上。可动载物台Q被设置在沿测定基准轴方向延伸的轨N上。
被检测透镜安装座M有倾斜调整机构，能调整座面相对于测定基准轴C垂直，而且还有能沿与测定基准轴C垂直的方向移动的调整机构，以便座M的中心与测定基准轴C一致。
在使座面相对于测定基准轴C垂直、而且座M的中心与测定基准轴C一致地调整了的状态下，被检测透镜L被安装在座M上。
在偏心测定中，依次移动可动载物台Q，以便将指标图形T的像投影在预先根据设计数据算出的各被检测面的视在球心位置上，移动可动载物台S，以便各被检测面的球心反射像与观察系统视野的基准原点一致，用移动量检测装置W检测其移动量ΔY、ΔZ，发送给偏心计算装置P，算出实际的偏心量。
在实施例2的情况下，被检测透镜L在测定过程中被完全固定，为了测定不需要移动，所以对于重量重的被检测透镜适用。另外在有变焦透镜等可动部分的情况下，防止由于在测定过程中伴随被检测透镜的移动而振动等引起的偏心状态变化。

Claims (9)

1、一种偏心测定方法，其特征在于包括以下步骤：
在光学系统中将指标投影在被检测面的视在球心位置上的步骤；
根据上述指标在被检测面上的反射像的状态，使上述被检测面和上述光学系统相对地移动的步骤；以及
根据上述被检测面和上述光学系统的相对的移动量，求上述被检测面的偏心量的步骤。
2、根据权利要求1所述的偏心测定方法，其特征在于：
对多个被检测面中的各个面，通过执行上述3个步骤，求各被检测面的偏心量。
3、根据权利要求1所述的偏心测定方法，其特征在于：
在光学系统中将指标投影在上述被检测面的视在球心位置上时，根据上述被检测面的视在曲率半径，变更上述光学系统的焦距。
4、一种偏心测定方法，其特征在于包括以下步骤：
在光学系统中将指标投影在被检测面的视在球心位置上的步骤；以及
根据上述指标在被检测面上的反射像的状态，求上述被检测面的偏心量的步骤，
其中，在光学系统中将指标投影在上述被检测面的视在球心位置上时，根据上述被检测面的视在曲率半径，变更上述光学系统的焦距。
5、一种偏心测定方法，其特征在于包括以下步骤：
在光学系统中将指标投影在被检测面的视在球心位置上的步骤；以及
根据上述指标在被检测面上的反射像的状态，求上述被检测面的偏心量的步骤，
其中，对多个被检测面中的各个面，通过执行上述两个步骤，求各被检测面的偏心量，
根据预先求得的各被检测面的视在曲率半径，判断应测定的被检测面的反射像。
6、一种偏心测定装置，其特征在于包括：
预先求被检测面的视在曲率半径的单元，以及
将指标投影在上述被检测面的视在球心位置上的光学系统，该光学系统的焦距能根据预先求得的上述被检测面的视在曲率半径而改变，
其中，上述偏心测定装置根据上述指标在被检测面上的反射像的状态，求各被检测面的偏心量。
7、一种偏心测定方法中使用的指标，在该偏心测定方法中，在光学系统中将上述指标投影在被检测面的视在球心位置上，根据上述指标在被检测面上的反射像的状态，求上述被检测面的偏心量，该指标的特征在于包括：
十字线；
相对于该十字线的一条线呈对称形状的标记；
相对于该十字线的另一条线呈对称形状的标记。
8、根据权利要求7所述的指标，其特征在于：
上述相对于十字线的一条线呈对称形状的标记、以及上述相对于十字线的另一条线呈对称形状的标记，分别具有大小不同的多个标记。
9、根据权利要求8所述的指标，其特征在于：
上述大小不同的多个标记中，与靠近上述十字线的交叉点一侧的标记相比，远离上述十字线的交叉点一侧的标记更大。
CNB2004100950674A 2003-11-28 2004-11-23 偏心测定方法及偏心测定装置 Expired - Fee Related CN100458392C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003399880A JP4474150B2 (ja) 2003-11-28 2003-11-28 偏心測定方法
JP2003399880 2003-11-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1621798A true CN1621798A (zh) 2005-06-01
CN100458392C CN100458392C (zh) 2009-02-04

Family

ID=34649908

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004100950674A Expired - Fee Related CN100458392C (zh) 2003-11-28 2004-11-23 偏心测定方法及偏心测定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7307708B2 (zh)
JP (1) JP4474150B2 (zh)
KR (1) KR100654248B1 (zh)
CN (1) CN100458392C (zh)
TW (1) TWI261111B (zh)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100582715C (zh) * 2006-12-25 2010-01-20 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镜片偏心检测系统及方法
US7656513B2 (en) 2007-06-25 2010-02-02 Premier Image Technology(China) Ltd. System for checking centration of lens surfaces of aspheric lens
CN103018015A (zh) * 2012-12-26 2013-04-03 青岛歌尔声学科技有限公司 检测设备中镜头的光轴偏移的装置和方法
CN103453854A (zh) * 2013-09-11 2013-12-18 南京东利来光电实业有限责任公司 平行度检测装置及检测方法
CN101970980B (zh) * 2008-03-11 2014-04-09 株式会社尼康 基准球检测装置、基准球位置检测装置和三维坐标测量装置
CN103940377A (zh) * 2014-03-26 2014-07-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学镜头球心偏差测量装置
CN104136902A (zh) * 2012-01-13 2014-11-05 卡斯蒂安测试与服务公司 光学装置、光学测试台及光学测试方法
CN105324628A (zh) * 2013-01-23 2016-02-10 全欧光学有限公司 用于确定检查对象的位置的系统以及相关方法
CN109737912A (zh) * 2019-03-21 2019-05-10 博奥生物集团有限公司 一种偏心检测方法和偏心检测装置
CN109855844A (zh) * 2019-03-12 2019-06-07 苏州大学 一种光学镜头中心偏差测量装置及方法
CN109883361A (zh) * 2019-02-23 2019-06-14 西安昂科光电有限公司 一种使用高精度导轨实现光学组件中心偏差测试的方法
CN113203553A (zh) * 2021-04-22 2021-08-03 西安工业大学 一种透镜中心误差测定系统及测定方法

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1519144A1 (en) * 2003-09-29 2005-03-30 Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Free-form optical surface measuring apparatus and method
JP4298587B2 (ja) 2004-05-28 2009-07-22 キヤノン株式会社 偏心測定結果の表示方法
KR100703326B1 (ko) * 2004-12-21 2007-04-03 삼성전자주식회사 광학계의 성능 평가 장치
TWI264523B (en) * 2005-09-06 2006-10-21 Instr Technology Res Ct Method and instrument for measuring decenter and tilt of lens by interferometer
JP4774332B2 (ja) * 2006-06-06 2011-09-14 富士フイルム株式会社 偏芯量測定方法
JP2008096197A (ja) * 2006-10-10 2008-04-24 Olympus Corp 偏心測定装置
JP4903550B2 (ja) * 2006-12-22 2012-03-28 オリンパス株式会社 レンズ系の偏心測定装置
US7852459B2 (en) * 2007-02-02 2010-12-14 Asml Netherlands B.V. Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method
JP5543765B2 (ja) * 2009-12-08 2014-07-09 株式会社ミツトヨ フィゾー型干渉計、及びフィゾー型干渉計の測定方法
US8665425B2 (en) * 2010-04-13 2014-03-04 Konica Minolta Advanced Layers, Inc. Eccentricity measuring method
TWI467262B (zh) * 2011-06-10 2015-01-01 Sharp Kk 透鏡調芯裝置及攝像透鏡
CN105157617B (zh) * 2015-08-27 2018-01-30 浙江大学 应用于球面光学元件表面缺陷检测的球面自动定中方法
EP3037800B1 (de) * 2014-12-24 2018-04-04 Trioptics GmbH Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines ein-oder mehrlinsigen optischen Systems
CN105108186A (zh) * 2015-06-25 2015-12-02 中国科学院西安光学精密机械研究所 透镜基于定心加工的误差分离方法
WO2019147936A1 (en) 2018-01-26 2019-08-01 Vanderbilt University Systems and methods for non-destructive evaluation of optical material properties and surfaces
JP7191632B2 (ja) * 2018-10-11 2022-12-19 キヤノン株式会社 偏心量測定方法
US11493751B2 (en) 2019-01-23 2022-11-08 Vanderbilt University Systems and methods for compact optical relay
CN111123987B (zh) * 2019-12-27 2021-05-18 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种共孔径双波段成像系统光轴平行性调节系统及方法
CN110926380B (zh) * 2019-12-30 2021-07-09 苏州迅镭激光科技有限公司 一种测量激光切割头光学元件同轴度的方法
CN113588215A (zh) * 2021-07-30 2021-11-02 南京恒一光电有限公司 一种光学透镜检测用偏心仪
JP2024040947A (ja) * 2022-09-13 2024-03-26 キヤノン株式会社 取得装置、取得方法および光学系の製造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS519620A (zh) 1974-07-15 1976-01-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd
US4149801A (en) * 1977-02-17 1979-04-17 David Volk Method and apparatus for measuring aspheric contact lens surfaces
US4213701A (en) * 1978-10-30 1980-07-22 Lanzilloti J J Lens testing apparatus and method
US5351119A (en) * 1988-09-13 1994-09-27 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Method and apparatus for measuring a lens
JP2621119B2 (ja) 1988-10-07 1997-06-18 オリンパス光学工業株式会社 レンズ系の偏心測定方法および装置
JPH0812127B2 (ja) * 1988-11-11 1996-02-07 オリンパス光学工業株式会社 曲率半径測定装置及び方法
JPH04190130A (ja) 1990-11-22 1992-07-08 Asahi Optical Co Ltd レンズ偏心測定器
US5539837A (en) * 1992-04-29 1996-07-23 Lindmark; Richard C. Apparatus and method for measuring curved surfaces
JPH0739982A (ja) 1993-07-30 1995-02-10 Ntn Corp 熱間鍛造装置
JPH0781931A (ja) 1993-09-09 1995-03-28 Karushiide:Kk 球状カルサイト型炭酸カルシウム凝集体及びその製造方法
US5844670A (en) * 1995-07-28 1998-12-01 Ricoh Co., Ltd. Method of and systems for measuring eccentricity of an aspherical lens surface

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100582715C (zh) * 2006-12-25 2010-01-20 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镜片偏心检测系统及方法
US7656513B2 (en) 2007-06-25 2010-02-02 Premier Image Technology(China) Ltd. System for checking centration of lens surfaces of aspheric lens
CN101334334B (zh) * 2007-06-25 2010-06-02 佛山普立华科技有限公司 镜片偏心检测系统
CN101970980B (zh) * 2008-03-11 2014-04-09 株式会社尼康 基准球检测装置、基准球位置检测装置和三维坐标测量装置
CN104136902A (zh) * 2012-01-13 2014-11-05 卡斯蒂安测试与服务公司 光学装置、光学测试台及光学测试方法
CN103018015B (zh) * 2012-12-26 2016-01-20 青岛歌尔声学科技有限公司 检测设备中镜头的光轴偏移的装置和方法
CN103018015A (zh) * 2012-12-26 2013-04-03 青岛歌尔声学科技有限公司 检测设备中镜头的光轴偏移的装置和方法
CN105324628A (zh) * 2013-01-23 2016-02-10 全欧光学有限公司 用于确定检查对象的位置的系统以及相关方法
CN103453854A (zh) * 2013-09-11 2013-12-18 南京东利来光电实业有限责任公司 平行度检测装置及检测方法
CN103453854B (zh) * 2013-09-11 2016-02-24 南京东利来光电实业有限责任公司 平行度检测装置及检测方法
CN103940377A (zh) * 2014-03-26 2014-07-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学镜头球心偏差测量装置
CN103940377B (zh) * 2014-03-26 2017-01-04 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学镜头球心偏差测量装置
CN109883361A (zh) * 2019-02-23 2019-06-14 西安昂科光电有限公司 一种使用高精度导轨实现光学组件中心偏差测试的方法
CN109855844A (zh) * 2019-03-12 2019-06-07 苏州大学 一种光学镜头中心偏差测量装置及方法
CN109737912A (zh) * 2019-03-21 2019-05-10 博奥生物集团有限公司 一种偏心检测方法和偏心检测装置
CN109737912B (zh) * 2019-03-21 2021-04-02 博奥生物集团有限公司 一种偏心检测方法和偏心检测装置
CN113203553A (zh) * 2021-04-22 2021-08-03 西安工业大学 一种透镜中心误差测定系统及测定方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI261111B (en) 2006-09-01
US7307708B2 (en) 2007-12-11
KR100654248B1 (ko) 2006-12-08
JP2005164267A (ja) 2005-06-23
JP4474150B2 (ja) 2010-06-02
TW200528698A (en) 2005-09-01
CN100458392C (zh) 2009-02-04
KR20050052385A (ko) 2005-06-02
US20050128468A1 (en) 2005-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1621798A (zh) 偏心测定方法及偏心测定装置
CN101268331B (zh) 非球面的精确高分辨率测量方法
CN1033877C (zh) 光扫描装置
CN1950669A (zh) 光学精密测量装置和方法
CN1702442A (zh) 显示偏心测量结果的方法
CN1673682A (zh) 激光测定方法及激光测定系统
KR20110106823A (ko) 비구면체 측정 방법 및 장치
CN1479940A (zh) 观察装置及其制造方法、曝光装置和微型器件的制造方法
CN1525142A (zh) 标记位置检测装置
CN104375383B (zh) 用于光刻设备的调焦调平检测装置及方法
TWI467262B (zh) 透鏡調芯裝置及攝像透鏡
CN1877282A (zh) 偏芯量测量方法
CN103676487A (zh) 一种工件高度测量装置及其校正方法
CN102928196A (zh) 自由曲面镜片的检测方法和装置
JP6376809B2 (ja) 三次元形状計測システムに用いられる投影装置および撮像装置
CN105627945B (zh) 非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法
JP2007047131A (ja) 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ
US6493073B2 (en) System and method for measuring properties of an optical component
CN101918793B (zh) 测距装置
JP2007085914A (ja) 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ
JP5531883B2 (ja) 調整方法
KR101958962B1 (ko) 렌즈 소자 반송 기구, 컨트롤러, 광축 조정 장치와 광학 모듈 제조 설비 및 그 제조 방법
JP2007127473A (ja) 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ
CN101408405B (zh) 光学式非球面测量系统及其平台
CN106814547A (zh) 一种测校装置及测校方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20090204

Termination date: 20201123

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee