JP2012026816A - 寸法測定方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】2つのテレセントリックセンサを用いた寸法測定において、1つのテレセントリックセンサを用いた測定と同程度の精度で測定を行うことが可能な測定方法および装置を提供する。
【解決手段】測定対象7を照射した光6a、6bをテレセントリックレンズ4a、4bを用いて受光機3a、3bに結像させるテレセントリックセンサ100a、100bを用い、受光機3a、3bで受光した光の輝度値の変化と受光機3a、3bの間の距離Lとに基づき、測定対象7の寸法を測定する。受光機3a、3bの受光素子の画素のうち、距離Lを定めるための基準画素を特定画素10a、10bとする。間隔がLで平行に設定された2本のレーザ光20a、20bを用いて、テレセントリックセンサ100a、100bの傾き、設置面からの距離、およびテレセントリックセンサ100a、100b間の距離を調整して、テレセントリックセンサ100a、100bの配置を決定する。
【選択図】図4
【解決手段】測定対象7を照射した光6a、6bをテレセントリックレンズ4a、4bを用いて受光機3a、3bに結像させるテレセントリックセンサ100a、100bを用い、受光機3a、3bで受光した光の輝度値の変化と受光機3a、3bの間の距離Lとに基づき、測定対象7の寸法を測定する。受光機3a、3bの受光素子の画素のうち、距離Lを定めるための基準画素を特定画素10a、10bとする。間隔がLで平行に設定された2本のレーザ光20a、20bを用いて、テレセントリックセンサ100a、100bの傾き、設置面からの距離、およびテレセントリックセンサ100a、100b間の距離を調整して、テレセントリックセンサ100a、100bの配置を決定する。
【選択図】図4
Description
本発明は、寸法を測定する方法および装置に関し、より詳細には、複数の寸法測定機を用いた寸法測定方法および装置に関する。
近年、テレセントリック法を用いた非接触寸法測定機が実用化されている。テレセントリック法では、テレセントリックセンサを用い、接触プローブ式3次元寸法測定機より高速での寸法測定が可能である。
図1〜3を用いて、テレセントリック法による寸法測定方法について説明する。図1は、1つのテレセントリックセンサを用いる寸法測定方法の概略を示す図である。テレセントリック法は、LEDなどの光源1からの光を平行な投影光6にした後に、この投影光6で測定対象7を照射し、透過した光をテレセントリックレンズ4によってCCDなどの受光機3上に結像させる。結像した光の明暗の境界の距離から、測定対象7によって遮られた投影光6の幅(測定対象7の影の幅)を求めることで、測定対象7の寸法(例えば、測定対象7が円筒の場合は直径)を求めることができる。
図2は、1つのテレセントリックセンサを用いて、大形の測定対象7の寸法を測定する場合を示す図である。図2に示すように、1つのテレセントリックセンサを用いた測定では、平行な投影光6の幅、またはテレセントリックレンズ4の視野よりも大きな測定対象7を測定することができない。このため、大形の測定対象7を測定する場合には、投影光6の幅を拡げ、且つ、テレセントリックレンズ4の視野を拡げる必要がある。しかしながら、投影光6の幅を拡げたり、テレセントリックレンズ4の視野を拡げたりする場合には、製造コストが著しく増加する。そこで、通常は、大形の測定対象7の寸法を測定する際には、2つのセンサで測定対象7を挟み込む構成が用いられる。
図3は、2つのテレセントリックセンサを用いる寸法測定方法の概略を示す図である。図3では、測定対象7を円筒とし、円筒の直径を測定する方法を示す。この際、円筒の周上の対向する点(測定対象端部)8a、8bを、各々個別のテレセントリックセンサで測定する。すなわち、一方の受光機3aの受光素子における光の明暗の境界の位置を、受光素子の中心画素からの画素数としてサブピクセル精度で求める。同時に、他方の受光機3bの受光素子における光の明暗の境界の位置を、受光素子の中心画素からの画素数としてサブピクセル精度で求める。
このとき、両方の受光素子の中心画素の間の距離が予め分かっていれば、各受光素子上で決定された受光素子の中心画素からの画素数に各受光素子の画素サイズを掛け、さらにテレセントリックレンズ4a、4bの倍率で割って求めた計測空間での距離を足し合わせることによって、計測対象7の幅を求めることができる。この方法では、2つの受光素子の中心画素の間の距離を正確に求める、または調整しておく必要がある。さらに、2つの受光素子の中心画素の間の距離が正確に調整できたとしても、テレセントリックセンサが互いに平行に配置されていない場合、測定対象7が光軸方向に移動すると測定値が変わってしまい、正確な測定ができなくなる。
そこで、特許文献1には、相対位置が平行になるように配置された2組のテレセントリックセンサを用いて半導体ウェーハの直径を測定する際に、高精度な測定を実現するために、直径が既知のウェーハの測定値を基準として、測定対象のウェーハの測定値を補正する機能を備えた直径測定装置が開示されている。
また、特許文献2には、2つのテレセントリックセンサを用いて板材の長さを測定する際に、2つのセンサの間の距離を常に把握するような手段を予め設けておき、各センサの基準位置に端部位置がくるように、直径が既知のマスター材を配置し、マスター材の直径の測定値から2つのセンサの基準位置の間の距離を求める技術が記載されている。さらに、設定した基準位置の間の距離を用いて、測定対象の測定値を補正する機能を備えた装置について記載されている。
一方、複数のレーザビームの間隔を高精度に調整し、かつ、平行とする技術は、例えば、特許文献3に記載されている。特許文献3には、レーザビーム走査装置において、複数ビームを所望の間隔で、かつ、走査方向および走査方向に直交する方向の位置を調節する方法について記載されている。
寸法が既知の物体の測定値を基準として、測定対象の測定値を補正する技術では、用いる補正値には測定機の不確かさが含まれる。また、基準となる寸法が既知の測定体の測定値を用いて、2つのセンサの基準位置の間の距離(2つのセンサの間隔)を設定する技術では、設定する間隔の値には測定機の不確かさが含まれることになる。その結果、2つの測定システムの間隔には、1つの測定システムの2倍の測定不確かさが含まれることとなり、単一の測定システムでの測定に比べ、測定不確かさが増大する。
本発明の目的は、2つのテレセントリックセンサを用いた寸法測定において、1つのテレセントリックセンサを用いた測定と同程度の精度で測定を行うことが可能な測定方法および装置を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明による寸法測定方法は、基本的には次のような特徴を備える。
測定対象を照射した光をテレセントリックレンズと前記テレセントリックレンズの瞳の位置に配置した絞りとを用いて受光機に結像させるテレセントリックセンサを2つ用い、2つの前記受光機で受光した光の輝度値の変化と2つの前記受光機の間の距離Lとに基づき、前記測定対象の寸法を測定する寸法測定方法において、前記受光機の受光素子の画素のうち、前記距離Lを定めるための基準画素を特定画素とする。間隔がLで平行に設定された2本のレーザ光を用いて、前記テレセントリックセンサの傾き、前記テレセントリックセンサ間の距離、および前記テレセントリックセンサの設置面からの距離を調整することにより、前記テレセントリックセンサの配置を決定する。
また、本発明による寸法測定装置は、基本的には次のような特徴を備える。
光源とテレセントリックレンズと前記テレセントリックレンズの瞳の位置に配置された絞りと受光機とを有するテレセントリックセンサを2つ備え、2つの前記光源から測定対象に光を照射し、2つの前記受光機で受光した光の輝度値の変化と2つの前記受光機の間の距離Lとに基づき、前記測定対象の寸法を測定する寸法測定装置において、前記受光機は、受光素子の画素のうち、前記距離Lを定めるための基準画素を特定画素として有する。前記テレセントリックセンサの配置を決定する際には、間隔がLで平行に設定された2本のレーザ光を用いる間隔調整系が前記光源と前記テレセントリックレンズの間に設置され、前記間隔調整系により、前記テレセントリックセンサの傾き、前記テレセントリックセンサ間の距離、および前記テレセントリックセンサの設置面からの距離が調整される。
本発明によれば、2つのテレセントリックセンサを用いた寸法測定において、1つのテレセントリックセンサを用いた測定と同程度の高精度な測定を行うことが可能である。
本発明による寸法測定方法および装置は、2つのテレセントリックセンサを用いるものであり、概略は以下の通りである。なお、以下の説明では、測定対象の寸法とは、測定対象の寸法を求める方向(寸法測定方向)の長さのことをいう。
予め、間隔の調整された2本の平行ビーム(平行光)を設定し、この平行ビームがテレセントリックセンサの受光機の受光素子の特定画素(2つの受光機間の距離を定めるための基準画素)に入射して特定画素での輝度値が最大となるように、2つのテレセントリックセンサの配置を調整する。次いで、測定対象の寸法測定方向の端部2箇所に投影光を照射し、投影光による測定対象の影がそれぞれの受光機で撮像されるように、上記方法で調整した2つのテレセントリックセンサを配置する。各テレセントリックセンサの受光機によって撮像された画像から、測定対象の2箇所の端部の位置を求め、これら2箇所の端部の位置と2つのセンサ間の距離から測定対象の寸法を求める。
以下、図4から図12を用いて、本発明の実施例による寸法測定方法および装置を説明する。
図4は、本発明の実施例による寸法測定装置の全体構成を示す図である。本寸法測定装置では、2つのテレセントリックセンサ100aおよび100bを用いる。図4では、測定対象7の寸法を測定している。測定対象7の寸法測定方向(図4の上下方向)にテレセントリックセンサ100aおよび100bが配置される。テレセントリックセンサ100aおよび100bの配置の調整は、間隔調整系101を用いて行う。間隔調整系101は、レーザ光源19、ハーフミラー21、およびミラー22を備え、ターゲット24a、24b、およびミラー25(図6参照、図4では示さず)を使用する。間隔調整系101について、および間隔調整系101を用いたテレセントリックセンサ100a、100bの配置の調整については、後述する。
テレセントリックセンサ100aおよび100bは、パーソナルコンピュータ(PC)などの計算機に接続される。
なお、測定対象7の寸法測定方向の2箇所の端部(最外部)を、測定対象端部8a、8bと称する。測定対象端部8aは、テレセントリックセンサ100a側の端部であり、測定対象端部8bは、テレセントリックセンサ100b側の端部である。
テレセントリックセンサ100aは、光源1a、ビームエキスパンダ2a、テレセントリックレンズ4a、受光機3a、および絞り5aを備える。光源1aで発生した光は、ビームエキスパンダ2aを介して、ビーム径が拡大された投影光6aに変換される。投影光6aの一部は、測定対象7によって遮られる。測定対象7により遮られずに進んだ光は、テレセントリックレンズ4aを経て受光機3aに入射し、光電変換されて電気信号を発生させる。このとき、テレセントリックレンズ4aに入射する光のうち非平行成分の大部分は、テレセントリックレンズ4aの瞳の位置に設置された絞り5aにより遮光され、受光機3aに入射しない。
テレセントリックレンズ4aは、光の入射方向に配置された2つのレンズから構成され、測定対象7側のレンズを物体側レンズ、受光機3a側のレンズを像側レンズと呼ぶ。
本実施例のテレセントリックセンサ100aでは、テレセントリックレンズ4aと受光機3aが一体となっているものとする。また、光源1aと受光機3aが一体となっており、光源1aから発せられた光は受光機3aの受光面に垂直に入射する。テレセントリックレンズ4aと受光機3aは一体でなくてもよく、光源1aと受光機3aも一体でなくてもよい。ただし、光源1aからの光は受光機3aの受光面に垂直に入射する必要がある。
PCは、画像取り込みボード13、バッファメモリ14、微分処理部15、および寸法算出部16を備え、画像表示部17およびデータ記憶手段18と接続される。
受光機3aからの電気信号は、画像取り込みボード13を介してPC内に取り込まれる。取り込まれた画像信号は、バッファメモリ14に一時保存される。バッファメモリ14に一時保存された画像は、微分処理部15により、例えばsobelフィルタなどの微分処理が施され、光が入射した部分と入射しない部分の境界部(以後、「エッジ」と称する)に対応した信号(エッジ信号)が抽出される。エッジは、投影光6aが測定対象7によって遮られた部分と遮られなかった部分との境界であり、輝度値が大きく変化している箇所である。その後、抽出されたエッジ信号の重心(輝度値の変化が最大の位置)を検出することにより、サブピクセル精度でエッジ位置に対応した画素(重心画素)が決定される。
テレセントリックセンサ100bの構成と動作は、テレセントリックセンサ100aと同様であるので、説明を省略する。図4に示したテレセントリックセンサ100bにおいて、テレセントリックセンサ100aに対応する符号(符号の添え字「a」を「b」に変えたもの)は、テレセントリックセンサ100aと同一の要素を示す。テレセントリックセンサ100bでも、サブピクセル精度でエッジ位置に対応した画素(重心画素)が決定される。
間隔調整系101を用いてテレセントリックセンサ100a、100bの配置を調整する際には、間隔調整系101を測定対象7の位置、すなわちビームエキスパンダ2a、2bとテレセントリックレンズ4a、4bとの間に設置する(後述する図7参照)。
なお、図4および以下の図において、座標系を次のように定める。測定対象7の寸法測定方向(図4の上下方向)をx軸方向、光源1a、1bで発生した光の進行方向(図4の左右方向)をy軸方向、x軸とy軸に垂直な方向(図4の紙面方向)をz軸方向とする。テレセントリックセンサ100a、100b、および間隔調整系101は、xy平面に設置されることになる。間隔調整系101のレーザ光源19から発生したレーザ光は、ハーフミラー21に向かってy軸方向に沿って進行する。
次に、寸法算出部16により、各重心画素の位置および受光機3a、3b間の距離から、測定対象7の寸法を算出する。図5を用いて、寸法の算出方法を説明する。
図5は、2つのテレセントリックセンサを用いた寸法測定方法において、測定画像より測定対象の寸法を算出する方法を説明するための図である。図5の上図は受光機3a、3b上での画素を示しており、中図は各画素の輝度値を示すグラフであり、下図は各画素の輝度値の微分値を示すグラフである。
なお、本実施例では、受光機3a、3bには、画素がx軸方向だけの1列に配置されたラインセンサを用いている。受光機3a、3bは、ラインセンサに限られず、画素がx軸方向とz軸方向の2次元に配置されたエリアセンサを用いてもよい。また、受光機3aと受光機3bは、画素サイズや画素数が異なるなど、仕様の異なるものであってもよい。
図5の上図において、受光機3aおよび3bには、それぞれ特定画素10aおよび10bが定められている。特定画素は、受光機3aおよび3bの受光素子の画素のうち、2つの受光機間の距離を定めるための基準画素である。受光機の中での位置が特定されており、2つの受光機間で対応する位置にある画素を、特定画素とすることができる。本実施例では、受光機3a、3bの中心にある画素を、特定画素10a、10bとしている。特定画素10a、10b間の距離をLとすると、受光機3a、3b間の距離もLとなる。なお、受光機3aの画素サイズをd1、受光機3bの画素サイズをd2とする。
なお、特定画素10a、10bは、受光機3a、3bの中心にある画素でなくてもよく、受光機3a、3b間で対応する位置にある画素であればよい。例えば、受光機3a、3bの中心から同方向で等距離にある画素を特定画素としてもよい。
また、図5の上図に示したように、受光機3a、3b上には、測定対象7の端部8aおよび8bに対応した画素30aおよび30bが存在する。画素30aおよび30bは、サブピクセル精度で求めたエッジ位置に対応した画素(重心画素)である。すなわち、重心画素30aおよび30bは、図5の中図において輝度値が最も大きく変化している画素であり、下図において輝度値の微分値が最大となっている画素である。
重心画素30aについて、特定画素10aからの画素数ΔL1をサブピクセル単位で求める。求めた画素数ΔL1に受光機3aの画素サイズd1を掛け、さらにテレセントリックレンズ4aの倍率M1で割ることで、測定対象7の位置での特定画素10aに対応する位置と測定対象端部8aとの距離が求まる。同様に、重心画素30bについても、特定画素10bからの画素数ΔL2をサブピクセル単位で求める。求めた画素数ΔL2に受光機3bの画素サイズd2を掛け、さらにテレセントリックレンズ4bの倍率M2で割ることで、測定対象7の位置での特定画素10bに対応する位置と測定対象端部8bとの距離が求まる。
なお、テレセントリックレンズ4aの倍率M1と、テレセントリックレンズ4bの倍率M2は、テレセントリックレンズ4a、4bの物体側レンズと像側レンズの位置によって決まり、次式で表される。
M1=(絞り5aから像側レンズまでの距離)/(絞り5aから物体側レンズまでの距離)
M2=(絞り5bから像側レンズまでの距離)/(絞り5bから物体側レンズまでの距離)
従って、特定画素10aと特定画素10bの間の距離L(受光機3aと受光機3bの間の距離L)が既知であれば、次式により測定対象7の寸法(寸法測定方向の長さ)Φを求めることができる。
M1=(絞り5aから像側レンズまでの距離)/(絞り5aから物体側レンズまでの距離)
M2=(絞り5bから像側レンズまでの距離)/(絞り5bから物体側レンズまでの距離)
従って、特定画素10aと特定画素10bの間の距離L(受光機3aと受光機3bの間の距離L)が既知であれば、次式により測定対象7の寸法(寸法測定方向の長さ)Φを求めることができる。
算出された寸法は、画像表示部17およびデータ記憶手段18に送られ、数値の表示およびデータの保存が行われる。
次に、図6を用いて、特定画素10aおよび10bの間の距離L(受光機3aおよび3bの間の距離L)を調整する方法について説明する。
図6は、間隔調整系101を用いて、所望の間隔(例えば、距離L)の2本の平行ビーム(平行光)を生成する方法を説明するための図である。図6において、xy平面を基準面26とする。基準面26は、間隔調整系101が設置される平面である。
まず、基準面26に対して水平で、かつ、基準面26からz軸方向に同じ距離だけ離れた2本の平行なビームの仮想的な光路20aおよび20bを設定する。
光路20aおよび20bに合わせて、ハーフミラー21、ミラー22、ミラー25を配置する。ハーフミラー21は、光路20aに対して入射面が垂直で、かつ反射光が基準面26に水平となるように設置する。ミラー22は、ハーフミラー21の反射光を光路20bと平行に反射するように設置する。また、ミラー22は、x軸方向に平行移動できるようにする。ミラー25は、光路20aと垂直になるように設置する。このように設置すると、ハーフミラー21を通ってミラー25に向かう光と、ハーフミラー21で反射されてミラー22でさらに反射された光とを平行にすることができる。
その後、レーザ光源19を設置してハーフミラー21の入射面にレーザ光を入射し、レーザ光が光路20aを通ってミラー25に入射したとき、ミラー25の入射光軸と反射光軸が一致するように、x軸を回転軸とする回転方向(x軸回転方向)と、z軸を回転軸とする回転方向(z軸回転方向)の調整を行う。
次に、ミラー25を撤去し、代わりにターゲット24aを設置する。ターゲット24aには、2本の平行ビームの間隔を所望の間隔(距離L)に合わせるための基準点が設けられている。図6では、ターゲット24aの中央部の十字が、基準点を示している。レーザ光源19からのレーザ光が光路20aを通ってこの基準点に当たるように、ターゲット24aを設置する。
次に、ターゲット24bを、ターゲット24aとの距離が所望の距離Lとなるように設置する。ターゲット24aとターゲット24bとの距離を定めるのには、例えば、マイクロステージなど、数μm単位で位置の調整が可能な機構を用いる。
ターゲット24bには、ターゲット24aと同様に、2本の平行ビームの間隔を所望の間隔(距離L)に合わせるための基準点が設けられている。レーザ光源19からのレーザ光が光路20bを通ってターゲット24bの基準点に当たるように、ミラー22をx軸に平行な方向(x軸平行方向)に移動させて調整する。これにより、光路20aを通る光と光路20bを通る光との間隔を、距離Lに設定することができる。
以上の手順によって調整された、所望の間隔(距離L)の2本の平行ビームを有する光学系(間隔調整系101)を用い、2組のテレセントリックセンサの配置を調整する。
図7は、所望の間隔に設定された2本の平行ビームを有する間隔調整系101を用いて、2組のテレセントリックセンサ100aおよび100bの配置を調整する方法を説明するための図である。テレセントリックセンサ100aおよび100bは、受光機3aおよび3bの間隔が所望の間隔(距離L)になり、受光機3aおよび3bに入射する光が平行になるように、間隔調整系101を用いて配置が調整される。
図7に示すように、間隔調整系101は、テレセントリックセンサ100a、100bのビームエキスパンダ2a、2bとテレセントリックレンズ4a、4bとの間に設置する。テレセントリックレンズ4a、4bは、間隔調整系101のレーザ光が入射するように配置する。
テレセントリックセンサ100aおよび100bの配置の決定には、各テレセントリックセンサ100a、100bのx軸回転方向、y軸回転方向(y軸を回転軸とする回転方向)、z軸回転方向、x軸平行方向、およびz軸平行方向(z軸に平行な方向)という5つの自由度を調整する必要がある。x軸回転方向、y軸回転方向、およびz軸回転方向の自由度により、それぞれの軸のまわりのテレセントリックセンサ100aおよび100bの傾きを調整する。x軸平行方向の自由度により、テレセントリックセンサ100aとテレセントリックセンサ100bとの間の距離を調整する。z軸平行方向の自由度により、テレセントリックセンサ100aおよび100bのxy平面(テレセントリックセンサ100a、100b、および間隔調整系101が設置される面)からの距離を調整する。テレセントリックセンサ100aおよび100bは、これら5つの自由度に対して、角度調整機構や位置調整機構を用いて、各軸を回転方向とする傾きやx軸方向とz軸方向の位置が調整されて、配置が決定される。
図8から図12を用いて、各自由度の調整方法を説明する。以下では、テレセントリックセンサ100aに対する調整方法について説明する。テレセントリックセンサ100bに対しても、テレセントリックセンサ100aと同様の方法で調整する。なお、画素がx軸方向とz軸方向の2次元に配置されたエリアセンサを用いた場合でも、以下に説明する方法を利用して各自由度を調整することができる。
まず、図8および図9を用いて、テレセントリックセンサ100aのx軸回転方向およびz軸回転方向の調整方法を説明する。x軸回転方向とz軸回転方向の調整は、どちらを先に行ってもよい。
図8は、間隔調整系101のレーザ光を用いて、テレセントリックセンサ100aのx軸回転方向を調整する方法を説明するための図である。図8では、x軸方向から見たテレセントリックセンサ100aのテレセントリックレンズ4a、絞り5a、および受光機3aを示している。
テレセントリックセンサ100aがx軸回転方向に傾いていない場合(受光機3aの受光面と光路20aが垂直である場合)には、光路20aで表される間隔調整系101のレーザ光は、テレセントリックレンズ4aと絞り5aを通って、受光機3aに入射する。
しかし、図8に示すように、テレセントリックセンサ100aがx軸回転方向に傾いている場合(受光機3aの受光面と光路20aが垂直でない場合)には、レーザ光の光路20aは、絞り5aによって遮られ、受光機3aに入射しない。そこで、受光機3aにレーザ光が入射するようにテレセントリックセンサ100aの位置を調整することにより、x軸回転方向の位置を決定する。具体的には、x軸を回転軸としてテレセントリックセンサ100aを回転させて、絞り5aを通過した光が受光機3aに入射するようにする。
図9は、間隔調整系101のレーザ光を用いて、テレセントリックセンサ100aのz軸回転方向を調整する方法を説明するための図である。図9では、z軸方向から見たテレセントリックセンサ100aのテレセントリックレンズ4a、絞り5a、および受光機3aを示している。
テレセントリックセンサ100aがz軸回転方向に傾いていない場合(受光機3aの受光面と光路20aが垂直である場合)には、光路20aで表される間隔調整系101のレーザ光は、テレセントリックレンズ4aと絞り5aを通って、受光機3aに入射する。
しかし、図9に示すように、テレセントリックセンサ100aがz軸回転方向に傾いている場合(受光機3aの受光面と光路20aが垂直でいない場合)には、レーザ光の光路20aは、絞り5aによって遮られ、受光機3aに入射しない。そこで、受光機3aにレーザ光が入射するようにテレセントリックセンサ100aの位置を調整することにより、z軸回転方向の位置を決定する。具体的には、z軸を回転軸としてテレセントリックセンサ100aを回転させて、絞り5aを通過した光が受光機3aに入射するようにする。
次に、図10を用いて、テレセントリックセンサ100aのx軸平行方向の調整方法を説明する。テレセントリックセンサ100aのx軸回転方向とz軸回転方向の調整が終了したら、x軸平行方向の調整を行う。図10は、間隔調整系101のレーザ光を用いて、テレセントリックセンサ100aのx軸平行方向を調整する方法を説明するための図である。図10の左図では、z軸方向から見たテレセントリックセンサ100aのテレセントリックレンズ4a、絞り5a、および受光機3aを示しており、右図では、受光機3aを図6と同じ斜め方向から見ている。
間隔調整系101のレーザ光は、テレセントリックレンズ4aと絞り5aを通って、受光機3aに入射する。図10の左図に示すように、受光機3aの画素のうち、光路20aを通ったレーザ光が当たった画素は、他の画素よりも輝度値が大きい。従って、テレセントリックセンサ100aがx軸平行方向にずれていない場合(特定画素10a、10b間の距離がLである場合)には、光路20aを通ったレーザ光が特定画素10aに当たり、特定画素10aで輝度値が最大になる。
しかし、テレセントリックセンサ100aがx軸平行方向にずれている場合には、図10の右図に示すように、特定画素10aと異なる位置の画素40で輝度値が最大となる。そこで、特定画素10aの輝度値が他の画素の輝度値より大きくなるように、テレセントリックセンサ100aの位置を調節することにより、x軸平行方向の位置を決定する。具体的には、テレセントリックセンサ100aをx軸方向に平行移動させていき、受光機3aの画素のうち、特定画素10aにおいて輝度値が最大となるようにする。
次に、図11を用いて、テレセントリックセンサ100aのz軸平行方向の調整方法を説明する。テレセントリックセンサ100aのx軸平行方向の調整が終了したら、z軸平行方向の調整を行う。図11は、間隔調整系101のレーザ光を用いて、テレセントリックセンサ100aのz軸平行方向を調整する方法を説明するための図である。図11の左図では、x軸方向から見たテレセントリックセンサ100aのテレセントリックレンズ4a、絞り5a、および受光機3aを示しており、右図では、受光機3aを図6と同じ斜め方向から見ている。
図11の左図に示すように、間隔調整系101のレーザ光は、テレセントリックレンズ4aと絞り5aを通って、受光機3aに入射する。光路20aを通ったレーザ光は、受光機3aの特定画素10aに当たっている。テレセントリックセンサ100aがz軸平行方向にずれていない場合には、特定画素10aの中心にレーザ光が当たり、特定画素10aの輝度値は、特定画素10aの中心以外にレーザ光が当たる場合よりも大きくなる。
しかし、テレセントリックセンサ100aがz軸平行方向にずれている場合には、図11の右図に示すように、光路20aを通ったレーザ光は、特定画素10aの中心に当たらない。従って、特定画素10aでの輝度値は、特定画素10aの中心にレーザ光が当たる場合に比べて減少する。そこで、特定画素10aに当たるレーザ光の輝度値が最大となるように(すなわち、特定画素10aの中心にレーザ光が当たるように)、テレセントリックセンサ100aの位置を調節することにより、z軸平行方向の位置を決定する。具体的には、テレセントリックセンサ100aをz軸方向に平行移動させて特定画素10aにおける輝度値を変えていき、特定画素10aでの輝度値が最大値をとるようにする。
次に、図12を用いて、テレセントリックセンサ100aのy軸回転方向の調整方法を説明する。テレセントリックセンサ100aのz軸平行方向の調整が終了したら、y軸回転方向の調整を行う。図12は、間隔調整系101のレーザ光を用いて、テレセントリックセンサ100aのy軸回転方向を調整する方法を説明するための図である。図12の上図では、z軸方向から見たテレセントリックセンサ100aのテレセントリックレンズ4a、絞り5a、および受光機3aを示しており、中図では受光機3aを図6と同じ斜め方向から見ている。図12の下図は、テレセントリックセンサ100aをx軸平行方向に移動させたときの、受光機3aの各画素の輝度値を示すグラフである。
上述したx軸平行方向およびz軸平行方向の位置の調整により、光路20aを通るレーザ光は、特定画素10aの中心に当たっている。この後、図12の上図に示すように、テレセントリックセンサ100aをx軸平行方向に移動させる。図12の上図では、テレセントリックセンサ100aを−x方向(図の上方向)に移動させている。このとき、特定画素10aおよび特定画素10a以外の任意の画素について、各々輝度値を測定する。特定画素10a以外の任意の画素としては、例えば、特定画素10aから数画素離れた1つまたは複数の画素を選ぶことができる。
テレセントリックセンサ100aがy軸回転方向に傾いていない場合には、図12の中左図に示すように、テレセントリックセンサ100aをx軸平行方向に移動させても、光路20aで表されるレーザ光は、受光機3aのいずれかの画素の中心に当たる。従って、図12の下左図に示すように、受光機3aに入射するレーザ光の各画素での最大輝度値は、テレセントリックセンサ100aをx軸平行方向に移動させても変化しない。すなわち、特定画素10aと特定画素10a以外の画素とで、最大輝度値は変化しない。
しかし、図12の中右図に示すように、テレセントリックセンサ100aがy軸回転方向に傾いている場合には(傾き角度θ)、テレセントリックセンサ100aをx軸平行方向に移動させていくと、受光機3aの各画素では、光路20aで表されるレーザ光の入射する位置が、z軸方向(図12では+z方向)に移動していく(すなわち、画素の中心から離れていく)。従って、図12の下右図に示すように、受光機3aに入射するレーザ光の各画素での最大輝度値は、テレセントリックセンサ100aをx軸平行方向に移動させていくと変化する。すなわち、特定画素10a以外の画素の最大輝度値は、特定画素10aの最大輝度値より小さくなる。
そこで、特定画素10a以外の画素の最大輝度値が、特定画素10aの最大輝度値と等しくなるように、テレセントリックセンサ100aの位置を調節することにより、y軸回転方向の位置を決定する。具体的には、テレセントリックセンサ100aをx軸平行方向に移動させていったときに、特定画素10aの最大輝度値と特定画素10a以外の画素(例えば、特定画素10aから数画素離れた1つまたは複数の画素)の最大輝度値とが等しくなるように、y軸を回転軸としてテレセントリックセンサ100aを回転させる。
以上のようにして、テレセントリックセンサ100aのy軸回転方向の位置を決定した後、再び、特定画素10aで輝度値が最大となるように、テレセントリックセンサ100aをx軸平行方向に移動させる(光路20aを通ったレーザ光が特定画素10aの中心に当たるようにする)。
なお、上記の図12を用いた説明では、テレセントリックセンサ100aをx軸平行方向に移動させたが、z軸平行方向に移動させてもよい。z軸平行方向に移動させた場合でも、x軸平行方向に移動させた場合と同様にして、テレセントリックセンサ100aのy軸回転方向を調整できる。ただし、テレセントリックセンサ100aをz軸平行方向に移動させた場合には、最後にテレセントリックセンサ100aをz軸平行方向に移動させて、光路20aを通ったレーザ光が特定画素10aの中心に当たるようにする。
テレセントリックセンサ100aの配置の決定後、同様の手順で、テレセントリックセンサ100bの配置を決定する。
テレセントリックセンサ100aおよび100bの配置を決定した後、間隔調整系101を図4に示すように退避させ、測定対象7を配置し、測定対象7の寸法を測定する。
以上説明したような方法と装置を用いることで、2つのテレセントリックセンサを用いる寸法測定において、1つのテレセントリックセンサを用いた測定と同程度の精度で、測定対象の寸法を測定することが可能である。
なお、以上の実施例では、受光機3a、3bに、画素がx軸方向の1列に配置されたラインセンサを用いた場合について説明した。受光機3a、3bが、画素がx軸方向とz軸方向の2次元に配置されたエリアセンサを用いた場合でも、上述した5つの自由度(x軸回転方向、z軸回転方向、x軸平行方向、z軸平行方向、およびy軸回転方向)の調整方法を利用して、テレセントリックセンサ100aおよび100bの配置を決定することができる。この場合には、テレセントリックセンサ100aのx軸平行方向とz軸平行方向の調整方法に、図10を用いて説明した調整方法を利用することができる。エリアセンサを用いた場合でも、特定画素10aとしてエリアセンサの最外周の画素を選んだ場合には、図11を用いて説明した調整方法も利用することができる。
1,1a,1b…光源、2a,2b…ビームエキスパンダ、3,3a,3b…受光機、4,4a,4b…テレセントリックレンズ、5a,5b…絞り、6,6a,6b…投影光、7…測定対象、8a,8b…測定対象端部、10a,10b…特定画素、13…画像取り込みボード、14…バッファメモリ、15…微分処理部、16…寸法算出部、17…画像表示部、18…データ記憶手段、19…レーザ光源、20a,20b…光路、21…ハーフミラー、22…ミラー、24a,24b…ターゲット、25…ミラー、26…基準面、30a,30b…重心画素、40…特定画素と異なる位置の画素、100a,100b…テレセントリックセンサ、101…間隔調整系。
Claims (11)
- 測定対象を照射した光をテレセントリックレンズと前記テレセントリックレンズの瞳の位置に配置した絞りとを用いて受光機に結像させるテレセントリックセンサを2つ用い、2つの前記受光機で受光した光の輝度値の変化と2つの前記受光機の間の距離Lとに基づき、前記測定対象の寸法を測定する寸法測定方法において、
前記受光機の受光素子の画素のうち、前記距離Lを定めるための基準画素を特定画素とし、
間隔がLで平行に設定された2本のレーザ光を用いて、前記テレセントリックセンサの傾き、前記テレセントリックセンサ間の距離、および前記テレセントリックセンサの設置面からの距離を調整することにより、前記テレセントリックセンサの配置を決定する、
ことを特徴とする寸法測定方法。 - 前記テレセントリックセンサの傾きのうち、2つの前記テレセントリックセンサの間の距離方向を軸とする傾きは、
前記軸を回転軸として前記テレセントリックセンサを回転させ、前記レーザ光が前記絞りを通過して前記受光機に入射するように調整する、請求項1記載の寸法測定方法。 - 前記テレセントリックセンサの傾きのうち、前記テレセントリックセンサの設置面に垂直な方向を軸とする傾きは、
前記軸を回転軸として前記テレセントリックセンサを回転させ、前記レーザ光が前記絞りを通過して前記受光機に入射するように調整する、請求項1記載の寸法測定方法。 - 前記テレセントリックセンサ間の距離は、
前記テレセントリックセンサを2つの前記テレセントリックセンサの間の距離方向に移動させ、前記特定画素において前記レーザ光の輝度値が最大となるように調整する、請求項1記載の寸法測定方法。 - 前記テレセントリックセンサの設置面からの距離は、前記受光機の受光素子の画素の配列に応じて、
前記特定画素に前記レーザ光を照射し、前記テレセントリックセンサを前記テレセントリックセンサの設置面に垂直な方向に移動させて前記特定画素における前記レーザ光の輝度値を変えていったとき、前記特定画素での前記輝度値が最大値をとるように調整する、
または、前記テレセントリックセンサを前記テレセントリックセンサの設置面に垂直な方向に移動させ、前記特定画素において前記レーザ光の輝度値が最大となるように調整する、請求項1記載の寸法測定方法。 - 前記テレセントリックセンサの傾きのうち、前記レーザ光の進行方向を軸とする傾きは、
前記テレセントリックセンサを2つの前記テレセントリックセンサの間の距離方向または前記テレセントリックセンサの設置面に垂直な方向に移動させていったときに、前記受光機において、前記レーザ光の前記特定画素での最大輝度値と前記特定画素以外の任意の画素での最大輝度値とが等しくなるように、前記軸を回転軸として前記テレセントリックセンサを回転させて調整する、請求項1記載の寸法測定方法。 - 測定対象を照射した光をテレセントリックレンズと前記テレセントリックレンズの瞳の位置に配置した絞りとを用いて受光機に結像させるテレセントリックセンサを2つ用い、2つの前記受光機で受光した光の輝度値の変化と2つの前記受光機の間の距離Lとに基づき、前記測定対象の寸法を測定する寸法測定方法において、
前記受光機の受光素子の画素のうち、前記距離Lを定めるための基準画素を特定画素とし、
間隔がLで平行に設定された2本のレーザ光を用いて、前記テレセントリックセンサの配置を決定し、
前記テレセントリックセンサの配置の決定は、
2つの前記テレセントリックセンサの間の距離方向を回転軸として前記テレセントリックセンサを回転させ、前記レーザ光が前記絞りを通過して前記受光機に入射するように調整するステップと、
前記テレセントリックセンサの設置面に垂直な方向を回転軸として前記テレセントリックセンサを回転させ、前記レーザ光が前記絞りを通過して前記受光機に入射するように調整するステップと、
前記2つのステップの後に、前記テレセントリックセンサを2つの前記テレセントリックセンサの間の距離方向に移動させ、前記特定画素において前記レーザ光の輝度値が最大となるように、前記テレセントリックセンサ間の距離を調整するステップと、
次に、前記受光機の受光素子の画素の配列に応じて、前記特定画素に前記レーザ光を照射し、前記テレセントリックセンサを前記テレセントリックセンサの設置面に垂直な方向に移動させて前記特定画素における前記レーザ光の輝度値を変えていったとき、前記特定画素での前記輝度値が最大値をとるように、または、前記テレセントリックセンサを前記テレセントリックセンサの設置面に垂直な方向に移動させ、前記特定画素において前記レーザ光の輝度値が最大となるように、前記テレセントリックセンサの設置面からの距離を調整するステップと、
次に、前記テレセントリックセンサを2つの前記テレセントリックセンサの間の距離方向または前記テレセントリックセンサの設置面に垂直な方向に移動させていったときに、前記受光機において、前記レーザ光の前記特定画素での最大輝度値と前記特定画素以外の任意の画素での最大輝度値とが等しくなるように、前記軸を回転軸として前記テレセントリックセンサを回転させて、前記テレセントリックセンサの傾きのうち、前記レーザ光の進行方向を軸とする傾きを調整するステップと、
を備えることを特徴とする寸法測定方法。 - 前記特定画素は、前記受光機の中心にある画素である請求項1〜7のいずれか1項記載の寸法測定方法。
- 光源とテレセントリックレンズと前記テレセントリックレンズの瞳の位置に配置された絞りと受光機とを有するテレセントリックセンサを2つ備え、2つの前記光源から測定対象に光を照射し、2つの前記受光機で受光した光の輝度値の変化と2つの前記受光機の間の距離Lとに基づき、前記測定対象の寸法を測定する寸法測定装置において、
前記受光機は、受光素子の画素のうち、前記距離Lを定めるための基準画素を特定画素として有し、
前記テレセントリックセンサの配置を決定する際には、間隔がLで平行に設定された2本のレーザ光を用いる間隔調整系が前記光源と前記テレセントリックレンズの間に設置され、
前記間隔調整系により、前記テレセントリックセンサの傾き、前記テレセントリックセンサ間の距離、および前記テレセントリックセンサの設置面からの距離が調整される、
ことを特徴とする寸法測定装置。 - 2つの前記テレセントリックセンサの間の距離方向をx軸とし、前記レーザ光の進行方向をy軸とし、前記テレセントリックセンサの設置面に垂直な方向をz軸とし、
これら3軸を回転方向とする前記テレセントリックセンサの傾きをそれぞれ調整する機構と、
前記x軸方向の前記テレセントリックセンサの位置を調整する機構と、
前記z軸方向の前記テレセントリックセンサの位置を調整する機構を備える、請求項9記載の寸法測定装置。 - 前記テレセントリックレンズと前記受光機とが一体となっている請求項9または10記載の寸法測定装置。
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JP2016014557A (ja) * | 2014-07-01 | 2016-01-28 | 株式会社デンソー | 寸法測定装置 |
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2010
- 2010-07-22 JP JP2010164457A patent/JP2012026816A/ja active Pending
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