JP2002131605A - 保持装置、光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被保持部材の位置決めを、容易にかつ精度よ
く行うことができる保持装置、光学素子保持装置及び鏡
筒を提供する。また、露光精度の向上可能な露光装置及
びマイクロデバイスの製造方法を提供する。 【解決手段】 光学素子３８をレンズ枠体４２に保持
し、そのレンズ枠体４２を枠体４０上に等角度間隔で３
ヶ所配置されたフレクシャ部材４１を介して支持する。
このフレクシャ部材４１のフレクシャ本体８４におい
て、前記レンズ枠体４２に接続される接続ブロック８４
ａと、前記枠体４０に固定されるフレクシャ固定部９１
とを、光学素子３８の略中心を原点とした極座標系内で
その光学素子３８の径方向のＲ、周方向のθ、光軸方向
のＺの各軸に沿った移動と各軸周りの回転との６つの運
動自由度が確保されるように、いわゆるキネマティック
に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体素
子、液晶表示素子、撮像素子、薄膜磁気ヘッド等のマイ
クロデバイス、あるいはレチクル、フォトマスク等のマ
スクなどの製造プロセスにおけるフォトリソグラフィ工
程で使用される露光装置において、投影光学系等の光学
素子やマスク、基板等を保持するための保持装置、その
保持装置を用いた光学素子保持装置に関するものであ
る。また、その光学素子保持装置を備えた鏡筒、及びそ
の鏡筒を備えた露光装置に関するものである。さらに、
その露光装置を用いたマイクロデバイスの製造方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の光学素子を保持する光学素子保
持装置としては、例えば図３０及び図３１に示すような
構成のものが知られている。この従来構成においては、
レンズ等の光学素子２０１を収容するための枠体２０２
が円環状に形成されている。その枠体２０２の内周面に
は、光学素子２０１を支持するための幅の狭い３つの座
面２０４が等角度間隔おきに形成されている。それらの
座面２０４と対応するように、枠体２０２の上面にはネ
ジ孔２０５が形成されている。また、枠体２０２の上面
には、３つのクランプ部材２０６が各ネジ孔２０５に対
するボルト２０７の螺合により等角度間隔おきに取り付
けられている。

【０００３】そして、これらのボルト２０７の締め付け
により、光学素子２０１の外周フランジ部２０１ａが各
クランプ部材２０６と座面２０４との間で挟み込まれ
る。これにより、光学素子２０１が枠体２０２内で所定
位置に保持されるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年におけ
る半導体素子等の著しい高度集積化に伴って、パターン
がますます微細化してきている。このため、半導体装置
製造用の露光装置では、波面収差やディストーションの
極めて少ない投影光学系が要求されるようになってきて
いる。このような要求に対応するため、投影光学系内に
レンズ等の光学素子２０１を、その光軸がより厳密に位
置決めされた状態で装着する必要が生じてきている。

【０００５】このような正確な光学素子２０１の位置決
めを行うために、投影光学系をなす鏡筒内にレンズ等の
光学素子２０１を保持した枠体２０２を装着する際に、
枠体２０２の外周面２０２ａ及び底面２０２ｂと、鏡筒
の内周面及び受け部との係合により、光学素子２０１の
光軸の位置決めが行われている。このため、前記枠体２
０２を鏡筒内に装着する際にも自由度がほとんどない。
従って、この枠体２０２の鏡筒に対する装着時にも、細
心の注意を払う必要があり大変手間がかかって煩わしい
という問題があった。

【０００６】また、光学素子２０１は、各クランプ部材
２０６と座面２０４とにより、ほとんど自由度のない状
態で枠体２０２に保持されている。ここで、例えば枠体
２０２が鏡筒に対してわずかに傾いたような状態で挿入
され、その枠体２０２に過剰な荷重をかけて鏡筒内に装
着したような場合には、枠体２０２に歪みが生じるおそ
れもある。このように、枠体２０２に歪みが生じると、
その歪みにより光学素子２０１に予測不能な応力が発生
し、その光学素子２０１の光学面の精度が低下するおそ
れがあるという問題があった。

【０００７】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的とし
ては、被保持部材の位置決めを、極めて厳密な加工を施
すことなく、容易かつ精度よく行うことができる保持装
置及び光学素子保持装置を提供することにある。

【０００８】また、本発明のその他の目的は、より正確
な位置決めされた光学素子を収容する鏡筒、及びそのよ
うな鏡筒を有し露光精度の向上可能な露光装置を提供す
ることにある。

【０００９】さらに、本発明のその上の目的は、露光精
度の向上可能なマイクロデバイスの製造方法を提供する
ことにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本願請求項１に記載の発明は、被保持部材を保持す
る保持部を備える保持装置において、前記保持部は、前
記被保持部材の略中心を原点とした互いに交差する３つ
の座標軸に沿う３つの移動と、前記３つの座標軸のうち
少なくとも２つの座標軸周りに回転する２つの回転とを
前記被保持部材に与える駆動機構とを有することを特徴
とするものである。

【００１１】この本願請求項１に記載の発明では、駆動
機構が駆動されると、被保持部材に対して、互いに交差
する３つの座標軸に沿う３つの移動と、前記３つの座標
軸のうち少なくとも２つの座標軸周りの回転との５つの
運動自由度が付与することができる。

【００１２】また、本願請求項２に記載の発明は、前記
請求項１に記載の発明において、前記保持部は、前記被
保持部材を支持する支持部材と、前記保持部が取り付け
られる固定部とを有し、前記駆動機構は、前記支持部材
と、前記固定部との間に配置されることを特徴とするも
のである。

【００１３】この本願請求項２に記載の発明では、前記
請求項１に記載の発明の作用に加えて、駆動機構を作動
させることで、支持部材に支持された被保持部材を前記
５つの運動自由度をもって変位させることが可能にな
る。

【００１４】また、本願請求項３に記載の発明は、前記
請求項２に記載の発明において、前記駆動機構は、所定
の長さを有する６本の剛体で構成されることを特徴とす
るものである。

【００１５】この本願請求項３に記載の発明では、前記
請求項２に記載の発明の作用に加えて、前述のように５
つの運動自由度を有する所定の長さの６本の剛体を介し
て、支持部材と固定部とが接続されることになる。これ
により、各剛体は、前記支持部材または固定部に対して
みそすり運動（歳差運動）可能なものとなる。そして、
前記支持部材により支持される被保持部材は、前記３つ
の座標軸系において、各座標軸方向への平行移動及び少
なくとも各座標軸方向のうち２方向への傾斜が可能とな
って、キネマティックに支持される。

【００１６】また、本願請求項４に記載の発明は、前記
請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の発明に
おいて、前記駆動機構は、前記支持部材と前記固定部と
の間の距離を調整する距離調整機構を有することを特徴
とするものである。

【００１７】この本願請求項４に記載の発明では、前記
請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の発明の
作用に加えて、支持部材と固定部との間の距離を調整す
ることにより、被保持部材の変位の範囲を拡大すること
が可能となる。

【００１８】また、本願請求項５に記載の発明は、前記
請求項４に記載の発明において、前記距離調整機構は、
前記６本の剛体のうち特定の剛体の長さを調整する長さ
調整機構を有することを特徴とするものである。

【００１９】この本願請求項５に記載の発明では、前記
請求項４に記載の発明の作用に加えて、特定の剛体の長
さを調整することで、被保持部材を特定の方向に変位さ
せることが可能となる。

【００２０】また、本願請求項６に記載の発明は、前記
請求項１に記載の発明において、前記駆動機構は、前記
被保持部材に取り付けられる複数のフレクシャ部材と、
前記複数のフレクシャ部材のうち、少なくとも一つのフ
レクシャ部材に取り付けられ、前記３つの移動と前記２
つの回転とを前記被保持部材に与えるために、前記フレ
クシャ部材を変位させる変位部材とを有することを特徴
とするものである。

【００２１】この本願請求項６に記載の発明では、前記
請求項１に記載の発明の作用に加えて、変位部材により
フレクシャ部材が変位され、このフレクシャ部材の変位
が被保持部材に伝達され、その被保持部材が変位され
る。このように、前記被保持部材の変位はフレクシャ部
材を介して行うこととなり、前記被保持部材に予想外の
ひずみが生じたりするのが抑制される。

【００２２】また、本願請求項７に記載の発明は、前記
請求項６に記載の発明において、前記複数のフレクシャ
部材は、前記被保持部材の周りに等間隔で３つ配置され
ていることを特徴とするものである。

【００２３】また、本願請求項８に記載の発明は、前記
請求項６または請求項７に記載の発明において、前記複
数のフレクシャ部材は、前記保持部が取り付けられる固
定部に固定される固定基部と、前記被保持部材に接続さ
れる接続ブロックと、前記固定基部と前記接続ブロック
とを互いに異なる方向に沿って拘束し、かつ前記互いに
異なる方向のそれぞれの周りに回転可能に支持する一対
のリンク機構とを備えたことを特徴とするものである。

【００２４】この本願請求項８に記載の発明では、前記
請求項６または請求項７に記載の発明の作用に加えて、
固定基部と一対のリンク機構との協働により、接続ブロ
ックに前記少なくとも５つの運動自由度を与えることが
できる。特に、請求項７に記載の発明の下では、被保持
部材の略中心を原点とした互いに交差する３つの座標軸
に沿う３つの移動と、その３つの座標軸の座標軸周りの
回転との６つの運動自由度を、前記被保持部材に与える
ことができる。

【００２５】また、本願請求項９に記載の発明は、前記
請求項８に記載の発明において、前記一対のリンク機構
は、前記固定基部と前記接続ブロックとを水平方向に沿
って拘束し、かつ前記水平方向の周りに回転可能に連結
する水平方向拘束リンクと、前記固定基部と前記接続ブ
ロックとを前記水平方向と交差する交差方向に沿って拘
束し、かつ前記交差方向の周りに回転可能に連結する交
差方向拘束リンクとからなることを特徴とするものであ
る。

【００２６】この本願請求項９に記載の発明では、前記
請求項８に記載の発明の作用に加えて、水平方向拘束リ
ンクとそれに交差する交差方向拘束リンクとから一対の
リンク機構を構成している。

【００２７】また、本願請求項１０に記載の発明は、前
記請求項８または請求項９に記載の発明において、前記
固定基部と前記接続ブロックと前記リンク機構とを回転
ピボットで連結したことを特徴とするものである。

【００２８】また、本願請求項１１に記載の発明は、前
記請求項８〜請求項１０のうちいずれか一項に記載の発
明において、前記駆動機構は、前記変位部材に付与され
る所定方向の駆動力を、前記所定方向の駆動力と前記所
定方向とは異なる方向の駆動力との少なくとも一方に変
換する変換機構を有することを特徴とするものである。

【００２９】また、本願請求項１２に記載の発明は、前
記請求項１１に記載の発明において、前記変換機構は、
前記変位部材に付与される上下方向の駆動力を前記複数
のフレクシャ部材を介して前記被保持部材に対する水平
方向への駆動力に変換することを特徴とするものであ
る。

【００３０】この本願請求項１２に記載の発明では、前
記請求項１１に記載の発明の作用に加えて、フレクシャ
部材の外部において付与された上下方向の駆動力により
被保持部材が水平方向に変位可能となる。

【００３１】また、本願請求項１３に記載の発明は、前
記請求項１１に記載の発明において、前記変換機構は、
前記変位部材に付与される上下方向の駆動力を前記複数
のフレクシャ部材を介して前記被保持部材に対する上下
方向の駆動力に変換することを特徴とするものである。

【００３２】この本願請求項１３に記載の発明では、前
記請求項１１に記載の発明の作用に加えて、フレクシャ
部材の外部において付与された上下方向の駆動力により
被保持部材が上下方向に変位可能になる。

【００３３】また、本願請求項１４に記載の発明は、前
記請求項８〜請求項１３のうちいずれか一項に記載の発
明において、前記フレクシャ部材のそれぞれは、前記固
定基部と前記接続ブロックと前記一対のリンク機構とが
単一部材で形成され、前記フレクシャ部材は、前記固定
基部、前記接続ブロック及び前記一対のリンク機構を連
結する複数の切欠ばねを有することを特徴とするもので
ある。

【００３４】また、本願請求項１５に記載の発明は、前
記請求項１４に記載の発明において、前記変換機構は、
前記固定基部に形成された複数の切欠ばねを有し、前記
一対のリンク機構のうち、前記交差方向拘束リンクに連
結される第１切欠ばねと、前記フレクシャ部材に前記変
位部材を介して付与される駆動力を、前記所定方向とは
異なる方向への駆動力に変換するために用いられる第２
切欠ばねとを含み、前記第１切欠ばねと前記第２切欠ば
ねとは、前記被保持部材に対する水平方向における同一
面内に配置されることを特徴とするものである。

【００３５】この本願請求項１５に記載の発明では、前
記請求項１４に記載の発明の作用に加えて、第１切欠ば
ねと第２切欠ばねとを水平方向の同一平面上に配置する
ことで、変位部材を介して付与される駆動力により第２
切欠ばねの部分に回転モーメントが生じるのが抑制され
る。

【００３６】また、本願請求項１６に記載の発明は、前
記請求項１５に記載の発明において、前記複数の切欠ば
ねは、前記一対のリンク機構のうち、前記交差方向拘束
リンクと前記接続ブロックとを連結する第３切欠ばねを
有し、前記第１切欠ばねと前記第３切欠ばねとは、前記
被保持部材に対する垂直方向における同一面内に配置さ
れることを特徴とするものである。

【００３７】この本願請求項１６に記載の発明では、前
記請求項１５に記載の発明の作用に加えて、第１切欠ば
ねと第３切欠ばねとを垂直方向の同一平面上に配置する
ことで、変位部材を介して付与される駆動力により第３
切欠ばねの部分に回転モーメントが生じるのが抑制され
る。

【００３８】また、本願請求項１７に記載の発明は、前
記請求項６〜請求項１６のうちいずれか一項に記載の発
明において、前記変位部材は、付与される駆動力を前記
フレクシャ部材に伝達する伝達部を有することを特徴と
するものである。

【００３９】また、本願請求項１８に記載の発明は、前
記請求項１７に記載の発明において、前記伝達部は、前
記変位部材に付与された駆動力を所定の割合で低減して
前記フレクシャ部材に伝達することを特徴とするもので
ある。

【００４０】また、本願請求項１９に記載の発明は、前
記請求項１７または請求項１８に記載の発明において、
前記変位部材には、前記被保持部材の変位量を設定する
変位量設定部材を備えることを特徴とするものである。

【００４１】この本願請求項１９に記載の発明では、前
記請求項１７または請求項１８に記載の発明の作用に加
えて、変位部材に付与される駆動力が不用意に変動する
ことがない。

【００４２】また、本願請求項２０に記載の発明は、前
記請求項１９に記載の発明において、前記変位量設定部
材は、前記伝達部と前記固定部との間に配置され、前記
伝達部と前記固定部との間の間隔を調整することによっ
て、任意の変位量を設定することを特徴とするものであ
る。

【００４３】また、本願請求項２１に記載の発明は、光
学素子の周縁部を保持する保持部を備える光学素子保持
装置において、前記保持部は、前記光学素子の周縁部の
３箇所に対応する位置で前記光学素子を保持する３つの
フレクシャ部材と、前記少なくとも１つのフレクシャ部
材に接続される２つの操作部とを備え、一方の前記操作
部の操作によって、前記３つのフレクシャ部材を介して
前記光学素子を第１の方向へ移動し、他方の前記操作部
の操作によって、前記３つのフレクシャ部材を介して前
記光学素子を前記第１の方向とは異なる第２の方向に移
動するように前記光学素子を保持することを特徴とする
ものである。

【００４４】また、本願請求項２２に記載の発明は、前
記請求項２１に記載の発明において、前記第１の方向が
前記光学素子の接線方向に沿う方向であり、前記第２の
方向が前記光学素子の光軸方向に沿う方向であることを
特徴とするものである。

【００４５】また、本願請求項２３に記載の発明は、光
学素子の周縁部を保持する保持部と、前記保持部が取り
付けられる固定部とを備える光学素子保持装置におい
て、前記保持部は、請求項１〜請求項２０のうちいずれ
か一項に記載の保持装置を介して、前記固定部に連結さ
れていることを特徴とするものである。

【００４６】また、本願請求項２４に記載の発明は、前
記請求項２１〜請求項２３のうちいずれか一項に記載の
発明において、前記保持部は、前記光学素子を収容し、
かつ前記光学素子の周縁部に係合する座面が形成された
複数の座面ブロックを備える枠体を有し、前記３つのフ
レクシャ部材は、前記枠体に対し、前記座面ブロックの
間にそれぞれ配置されることを特徴とするものである。

【００４７】また、本願請求項２５に記載の発明は、内
部に複数の光学素子を保持する鏡筒において、前記光学
素子の少なくとも１つを、請求項２１〜請求項２４のう
ちいずれか一項に記載の光学素子保持装置を介して保持
したことを特徴とするものである。

【００４８】また、本願請求項２６に記載の発明は、１
つ以上の光学素子を収容する少なくとも１つの鏡筒モジ
ュールを有する鏡筒において、前記少なくとも１つの鏡
筒モジュールは、前記光学素子の少なくとも１つを保持
する請求項２１〜請求項２４のうちいずれか一項に記載
の光学素子保持装置を備えたことを特徴とするものであ
る。

【００４９】これら本願請求項２５及び請求項２６に記
載の発明では、内部の光学素子がより正確に位置決めさ
れており、鏡筒全体の結像性能の向上を図ることができ
る。また、本願請求項２７に記載の発明は、マスク上に
形成されたパターンの像を投影光学系を介して基板上に
転写する露光装置において、前記投影光学系は、前記請
求項２５または請求項２６に記載の鏡筒を有することを
特徴とするものである。

【００５０】この本願請求項２７に記載の発明では、投
影光学系の結像性能が向上されて、露光精度の向上を図
ることができる。また、本願請求項２８に記載の発明
は、前記請求項２７に記載の発明において、前記光学素
子保持機構は、前記保持部と前記固定部との間の距離を
検出し、その検出結果と前記投影光学系の像面側に形成
された前記パターンの像に含まれる収差情報とに基づい
て、前記保持部と前記固定部との距離を調整すべく、前
記駆動機構の状態を制御する制御機構を有することを特
徴とするものである。

【００５１】この本願請求項２８に記載の発明では、前
記請求項２７に記載の発明の作用に加えて、投影光学系
に残存または発生する収差をより正確に補正することが
できて、露光精度を一層向上させることができる。

【００５２】また、本願請求項２９に記載の発明は、マ
イクロデバイスの製造方法において、請求項２７または
請求項２８に記載の露光装置を用いてマイクロデバイス
を製造することを特徴とすることを特徴とするものであ
る。

【００５３】この本願請求項２９に記載の発明では、露
光精度を向上することができて、高集積度のデバイスを
歩留まりよく製造することが可能となる。次に、前記各
請求項の下で有用性の認められる技術的思想について、
それらの効果とともに以下に記載する。

【００５４】（１） 前記回転ピボットは、その両側に
連結される部分に対して断面積の小さな首部からなるこ
とを特徴とする前記請求項１０に記載の保持装置。この
ようにすれば、固定基部と接続ブロックとリンク機構と
を、簡単な構成で、しかも一体の部材でもって互いに回
転可能に形成することが可能となる。

【００５５】（２） 前記変位部材は、前記伝達部を前
記固定部側に付勢する付勢部材を設け、その付勢部材の
付勢力によって前記伝達部を前記変位量設定部材に当接
させることで前記変位部材に付与される駆動力を設定す
るようにしたことを特徴とする前記請求項１９または請
求項２０に記載の保持装置。

【００５６】このようにすれば、変位部材に付与される
駆動力に過不足が生じにくく、被保持部材の変位量の設
定をより正確に行うことができる。 （３） 前記保持部には前記フレクシャ部材を等角度間
隔で配置し、前記固定部にはその固定部に隣接配置され
る他の光学素子保持装置の保持部におけるフレクシャ部
材に対応する凹部を設けたことを特徴とする前記請求項
２４に記載の光学素子保持装置。

【００５７】このようにすれば、凹部内に隣接は位置さ
れる他の光学素子保持装置のフレクシャ部材を収容する
ことができて、複数の光学素子保持装置を隣接配置させ
る際に、その全体を小型化することができる。

【００５８】（４） 前記凹部を、前記保持部における
フレクシャ部材とは所定角度分だけ位相をずらした位置
に対応するように設けたことを特徴とする前記（３）に
記載の光学素子保持装置。

【００５９】このようにすれば、複数の光学素子保持装
置を所定角度分だけ位相をずらして、その一部を重ね合
わせて配置することができ、全体をより小型化すること
ができる。

【００６０】（５） 前記固定部の端面が、隣接配置さ
れる他の光学素子保持装置の固定部との重合面をなすこ
とを特徴とする前記（３）または（４）に記載の光学素
子保持装置。

【００６１】このようにすれば、複数の光学素子保持装
置を隙間なく隣接配置させることができ、全体をさらに
小型化することができる。 （６） 前記各剛体の一端に配置され、その剛体と前記
保持部または前記固定部との一方を、その剛体を長手方
向に貫く軸線とその軸線に直交するとともに互いに直交
する２つの軸線との３つの軸線の周りに回転自在に接続
する第１接続部と、各剛体の他端に配置され、その剛体
と前記保持部または前記固定部との他方を、少なくとも
前記２つの軸線の周りに回転自在に接続する第２接続部
とからなる接続機構を有することを特徴とする請求項３
に記載の保持機構。

【００６２】このようにすれば、各剛体は、一端の第１
接続部において、その剛体を長手方向に貫く軸線と、そ
の軸線に直交するとともに互いに直交する２つの軸線と
の３つの軸線の周りの回転の自由度（３自由度）が確保
される。また、各剛体は、他端の第２接続部において、
その剛体を長手方向に貫く軸線に直交するとともに互い
に直交する２つの軸線の周りの回転の自由度（少なくと
も２自由度）が確保される。これにより、各剛体が前記
第１接続部を中心としてみそすり運動（歳差運動）が可
能な状態で保持部及び固定部に接続され、被保持部材を
上下移動及びチルト移動可能に、すなわちキネマティッ
クに支持することができる。

【００６３】（７） 前記接続機構は、前記各剛体の両
端に配置された第１接続部と第２接続部とを結ぶ６本の
直線を仮定したとき、１つの同一点で交差する前記直線
が最大でも２本となるように構成したことを特徴とする
もの前記（６）に記載の保持機構。

【００６４】このようにすれば、第１接続部と第２接続
部とを結ぶ６本の直線を仮定したとき、３本以上の直線
が１つの同一点で交差することがなく、キネマティック
の特異点が生じることがない。このため、被保持部材の
位置決めをより確実に行うことが可能になる。従って、
キネマティックの特異点が生じることがなく、被保持部
材の位置決めをより確実に行うことができる。

【００６５】（８） 前記接続機構は、少なくとも一対
の隣接する前記剛体が前記第１接続部または第２接続部
を共有することを特徴とする前記（７）に記載の保持機
構。このようにすれば、第１接続点または第２接続点の
数を減らすことができて、構成の簡素化を図ることがで
きる。

【００６６】（９） 前記接続機構は、少なくとも２つ
の前記剛体が単一部材に形成されていることを特徴とす
る前記（６）〜（８）のうちいずれか一項に記載の保持
機構。

【００６７】このようにすれば、部品点数が削減され、
接続機構の保持装置に対する組付作業を容易に行うこと
ができる。 （１０） 前記第１接続部及び前記第２接続部の少なく
とも一方が、弾性体からなることを特徴とする前記
（６）〜（９）のうちいずれか一項に記載の保持機構。

【００６８】このようにすれば、弾性体の弾性変形力を
利用して、各接続部における回転の自由度を容易に確保
することができる。 （１１） 前記弾性体が単一部材に形成された２つの剛
体間に形成される切欠ばねからなることを特徴とする前
記（１０）に記載の保持機構。

【００６９】このようにすれば、２つの剛体間に形成さ
れる切欠ばねの構成は簡素であり、その簡素な構成でも
って、前記（１０）に記載の効果を実現することができ
る。 （１２） 前記距離調整機構は、前記剛体の長さを調整
する長さ調整機構を含むことを特徴とする請求項４に記
載の保持機構。

【００７０】（１３） 前記距離調整機構は、前記剛体
の少なくとも一方の端部と前記保持部または固定部との
相対位置を調整する位置調整機構を含むことを特徴とす
る請求項４、請求項５または前記（１２）のうちいずれ
か一項に記載の保持機構。

【００７１】これらの（１２）及び（１３）のようにす
れば、簡単な構成で、前記保持部と前記固定部との間の
距離を調整できて、被保持部材の上下移動及びチルト移
動の範囲を拡大することができる。

【００７２】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下に、本発明
の露光装置及び光学素子保持装置を、半導体素子製造用
の露光装置とその内部のレンズ等の光学素子を保持する
光学素子保持装置とに具体化した第１実施形態について
図１〜図１９に基づいて説明する。

【００７３】図１に示すように、この実施形態の露光装
置３１は、光源３２と、照明光学系３３と、マスクとし
てのレチクルＲｔを保持するレチクルステージ３４と、
投影光学系３５と、基板としてのウエハＷを保持するウ
エハステージ３６とから構成されている。

【００７４】前記光源３２は、例えば波長１９３ｎｍの
ＡｒＦエキシマレーザを発振する。照明光学系３３は、
図示しないフライアイレンズやロッドレンズ等のオプテ
ィカルインテグレータ、リレーレンズ、コンデンサレン
ズ等の各種レンズ系及び開口絞り等を含んで構成されて
いる。そして、光源３２から出射される露光光ＥＬが、
この照明光学系３３を通過することにより、レチクルＲ
ｔ上のパターンを均一に照明するように調整される。

【００７５】前記レチクルステージ３４は、照明光学系
３３の射出側、すなわち、後述する投影光学系３５の物
体面側（露光光ＥＬの入射側）において、そのレチクル
Ｒｔの載置面が投影光学系３５の光軸方向とほぼ直交す
るように配置されている。投影光学系３５は、複数の鏡
筒モジュール３７ａからなる鏡筒３７内に複数のレンズ
等の光学素子３８（例えば図２参照）を、後述する光学
素子保持装置３９を介してほぼ水平（いわゆる横置きタ
イプ）に収容保持するように構成されている。ウエハス
テージ３６は、投影光学系３５の像面側（露光光ＥＬの
射出側）において、ウエハＷの載置面が投影光学系３５
の光軸方向と交差するように配置されている。そして、
前記露光光ＥＬにて照明されたレチクルＲｔ上のパター
ンの像が、投影光学系３５を通して所定の縮小倍率に縮
小された状態で、ウエハステージ３６上のウエハＷに投
影転写されるようになっている。

【００７６】次に、前記光学素子保持装置３９の詳細構
成について説明する。図２は前記光学素子保持装置３９
を示す斜視図であり、図３は前記光学素子保持装置３９
の平面図であり、図４は前記光学素子保持装置３９の側
面図であり、図５は図３の５−５線における断面図であ
る。前記光学素子３８は合成石英等の所定以上の破壊強
度を有する硝材からなり、その周縁部にはフランジ部３
８ａ（図５参照）が形成されている。光学素子保持装置
３９は、外部の装置をなす鏡筒３７に連結される固定部
としての枠体４０と、３つのフレクシャ部材４１と、保
持部としてのレンズ枠体４２と、支持部材４３とからな
っている。その枠体４０上には、等角度間隔をおいて３
つのフレクシャ部材４１が固定されている。そのフレク
シャ部材４１の上面にはレンズ枠体４２が固定され、そ
のレンズ枠体４２上には等角度間隔をおいて３つの支持
部材４３が配設されている。

【００７７】図６は、前記レンズ枠体４２における光学
素子３８を保持する支持部材４３の部分を中心に示す部
分斜視図であり、図７はその支持部材４３を中心に示す
拡大部分分解斜視図である。支持部材４３は、大きく分
けて基台部材４５とクランプ部材４６とを備える。そし
て、前記レンズ枠体４２は、円環状をなす鉄、アルミニ
ウム等の金属材料からなり、その一方の表面には前記ク
ランプ部材４６が取り付付けられる取付溝４４が等角度
間隔おきに形成されている。さらに、レンズ枠体４２の
内周面には、後述する基台部材４５における座面ブロッ
ク５０ａを含む上半部を収容するための保持部収容凹部
６０が取付溝４４と対応する位置に形成されている。こ
の保持部収容凹部６０によって、レンズ枠体４２の大口
径化を防止している。

【００７８】このように、レンズ枠体４２の一方の表面
に取付溝４４を形成することにより、クランプ部材４６
が一対のボルト６８でレンズ枠体４２に取り付けられた
際に、一対のボルト６８の頭がレンズ枠体４２の一方の
表面から突出しない。従って、一方の面を、他のレンズ
枠体４２及び枠体４０に対して重ねた際に、他のレンズ
枠体４２及び枠体４０に対するボルト６８の干渉を防ぐ
ことができる。なお、１つのレンズ枠体４２の表面と、
他のレンズ枠体４２及び枠体４０の裏面との間には、各
レンズ枠体４２が保持する光学素子３８の光軸方向にお
ける位置を決定するために、レンズ枠体４２間の間隔を
調整するスペーサが配置される。従って、レンズ枠体４
２表面から光学素子３８が若干突出したとしても、スペ
ーサの厚さ以内であれば、光学素子３８は他のレンズ枠
体４２の裏面と接触しない。そして、基台部材４５は、
レンズ枠体４２に形成された取付溝４４とは反対側の表
面、すなわち、レンズ枠体４２の他方の面に対して、図
示しない一対のボルトにより固定されている。

【００７９】次に、支持部材４３の具体的構成を説明す
る。図６及び図７に示すように、基台部材４５には、前
記光学素子３８のフランジ部３８ａの一方のフランジ面
に係合する座面４９を有する座面ブロック５０ａと、そ
の座面ブロック５０ａの姿勢を調整可能に支持する座面
ブロック支持機構５１が形成される保持部支持ブロック
５０ｂとを備えている。前記座面ブロック５０ａは、そ
の長手方向が前記光学素子３８の接線方向に沿って配置
され、前記座面４９はその座面ブロック５０ａの長手方
向の両端部に形成されている。すなわち、座面４９は、
座面ブロック５０ａに対して、光学素子３８のフランジ
部３８ａに向かって突出して形成されている。この座面
４９は、所定の面積を有する平面状をなすとともに、そ
の周縁が所定の曲率をもった曲面状に形成されている。
これは、その座面４９が、光学素子３８のフランジ部３
８ａに対する角当たりによる損傷を回避するためであ
る。また、この座面４９の表面には、金の層がメッキ、
蒸着等により設けられており、その座面４９の表面の光
学素子３８のフランジ部３８ａに対する摩擦係数が高め
られている。

【００８０】なお、座面４９と、光学素子３８のフラン
ジ部３８ａとの摩擦係数を高めるために、フランジ部３
８ａに対して、光学素子３８の表面に形成される膜、例
えば、反射防止膜と同様の金属膜を構成する。例えば、
フランジ部３８ａに対し、金属膜として、ＭｇＦ₂（フ
ッ化マグネシウム）、ＡｌＦ₃（フッ化アルミニウ
ム）、ＺｒＯ₂（ジルコニア）、Ａｌ₂Ｏ₃（アルミナ）
等を用いて、単層もしくは複数の層（２層、４層もしく
はそれ以上の層）を真空蒸着法等で形成すればよい。ま
た、座面４９とフランジ部３８ａとの摩擦係数を向上す
るために、フランジ部３８ａの表面積を、座面ブロック
５０ａの長手方向に沿って増加してもよい。

【００８１】座面ブロック５０ａと保持部支持ブロック
５０ｂとの間、及び保持部支持ブロック５０ｂには、光
学素子３８の径方向（図７のＸ軸方向）に貫通する複数
のスリット５３が形成されている。この複数のスリット
５３を形成する際、全部のスリット５３が互いに連続し
ないように、スリット５３の間に加工を施さない部分を
残す。そして、この加工を施さない部分に対して、彫り
込み部５４が、光学素子３８の径方向の中心側から彫り
込む加工と、同方向の外側から彫り込む加工とにより形
成されている。ここで、この彫り込み部５４における光
学素子３８の径方向の外側には、大きな穴が形成されて
いる。この両方向からの加工によって、座面ブロック５
０ａと保持部支持ブロック５０ｂとの間、及び保持部支
持ブロック５０ｂには、複数の保持部首部５５ａ〜５５
ｄ（屈曲部）が形成される。

【００８２】この保持部首部５５ａ〜５５ｄに予測不能
な歪みが残存するのを回避するために、各掘り込み部５
４の深さ方向における首部５５ａ〜５５ｄの近傍は、そ
の保持部首部５５ａ〜５５ｄの両側が同じ加工方法によ
り切削加工が施されている。この加工方法としては、例
えば型彫放電加工、機械的切削加工等が有効である。

【００８３】ここで、保持部支持ブロック５０ｂは、前
記複数のスリット５３により、大きく３つの部分に分割
されている。すなわち、保持部支持ブロック５０ｂは、
前記レンズ枠体４２に固着される保持部固定部５６と、
第１保持ブロック５７ａ、第２保持ブロック５８ａとに
分割されている。さらに、彫り込み加工によって、固定
部５６と第１保持ブロック５７ａとを連結する第１保持
部首部５５ａと、保持部固定部５６と第２保持ブロック
５８ａとを連結する第２保持部首部５５ｂと、第１保持
ブロック５７ａと第２保持ブロック５８ａとを連結する
第３保持部首部５５ｃと、第２保持ブロック５８ａと座
面ブロック５０ａとを連結する第４保持部首部５５ｄと
が形成される。これらの複数の保持部首部５５ａ〜５５
ｄは、断面正方形をなし、第１保持ブロック５７ａ、第
２保持ブロック５８ａ、保持部固定部５６、座面ブロッ
ク５０ａの断面積に比べて著しく小さな断面積を有す
る。

【００８４】そして、第１保持ブロック５７ａは、第１
保持部首部５５ａ及び第３保持部首部５５ｃによって、
第２保持ブロック５８ａと保持部固定部５６とに固定さ
れる。第１保持ブロック５７ａは、第１保持部首部５５
ａ及び第３保持部首部５５ｃの協働により、光学素子３
８の接線方向周りに回転可能に保持されるが、同接線方
向への変位は拘束される。従って、第１保持ブロック５
７ａ、第１保持部首部５５ａ及び第３保持部首部５５ｃ
により、光学素子の接線方向への変位を拘束する接線方
向拘束リンク５７が形成される。

【００８５】また、第２保持ブロック５８ａは、第２保
持部首部５５ｂ及び第４保持部首部５５ｄによって、座
面ブロック５０ａと保持部固定部５６とに固定される。
第２保持ブロック５８ａは、第２保持部首部５５ｂ及び
第４保持部首部５５ｄの協働により、光学素子３８の光
軸と平行な方向周りに回転可能に保持されるが、同光軸
と平行な方向への変位は拘束される。従って、第２保持
ブロック５８ａ、第２保持部首部５５ｂ及び第４保持部
首部５５ｄにより、光学素子３８の光軸と平行な方向へ
の変位を拘束する光軸方向拘束リンク５８が形成され
る。

【００８６】この接線方向拘束リンク５７の拘束方向
と、光軸方向拘束リンク５８の拘束方向とは、互いにほ
ぼ直交する。言い換えれば、接線方向拘束リンク５７の
回転軸と、光軸方向拘束リンク５８の回転軸とが、互い
にほぼ直交する。

【００８７】そして、座面ブロック５０ａは、第４保持
部首部５５ｄによって、保持部支持ブロック５０ｂに連
結されている。すなわち、座面ブロック５０ａは、保持
部固定部５６に対して、接線方向拘束リンク５７と光軸
方向拘束リンク５８とを備える一対のリンク機構によっ
て、支持される。

【００８８】また、これらの保持部首部５５ａ〜５５ｄ
のうち、第２及び第４保持部首部５５ｂ，５５ｄは、光
学素子３８の光軸に平行で前記座面ブロック５０ａの両
座面４９の中間位置を通る線上に配置されている。この
線は、一対の座面４９を結ぶ線に直交する。一方、第１
及び第３保持部首部５５ａ，５５ｃは、一対の座面４９
を結ぶ線と平行な線上に配置されている。さらに、第３
保持部首部５５ｃは、第４保持部首部５５ｄの近傍に配
置されている。

【００８９】このように構成された基台部材４５におい
て、座面ブロック５０ａは、接線方向拘束リンク５７及
び光軸方向拘束リンク５８により、保持部固定部５６に
対して、光学素子３８の径方向（Ｘ方向）、光学素子３
８の接線方向（Ｙ方向）及び光学素子３８の光軸と平行
な方向（Ｚ方向）の各方向周りに回転可能に、かつＹ方
向、Ｚ方向への変位が抑制されるように支持されてい
る。さらに、座面ブロック５０ａは、第４保持部首部５
５ｄにより、Ｘ方向に変位可能に支持されている。すな
わち、座面ブロック支持機構５１は、接線方向拘束リン
ク５７と、光軸方向拘束リンク５８と、Ｘ方向に変位可
能な第４保持部首部５５ｄとを含む構成である。

【００９０】なお、前記基台部材４５には、座面ブロッ
ク５０ａは、座面４９に対してＺ方向（すなわち、光学
素子３８のフランジ部３８ａの厚さ方向）に延びて形成
される座面側取付部５９を備える。

【００９１】前記クランプ部材４６は、前記座面ブロッ
ク５０ａの上方に対応して配置され、クランプ本体６２
とパッド部材４７とからなっている。クランプ本体６２
は、押さえ面ブロック６３と、その押さえ面ブロック６
３を支持するための押さえ面ブロック支持機構６４とが
装備されている。押さえ面ブロック６３の下面の両端に
は、前記座面ブロック５０ａの座面４９に対向するよう
に押さえ面６５が形成されている。この押さえ面６５
は、光学素子３８の接線方向にほぼ沿った稜線を有する
断面三角形状に形成されている。この両押さえ面６５の
稜線は、その２つの稜線を結ぶ直線の中点が、前記座面
ブロック５０ａと光軸方向拘束リンク５８とを連結する
第４保持部首部５５ｄの上方に位置するように形成され
ている。

【００９２】前記押さえ面ブロック支持機構６４は、腕
部６６と押さえ面側取付部６７とからなっており、その
押さえ面側取付部６７と前記押さえ面ブロック６３とは
所定の間隔をおいて離間されている。そして、この押さ
え面側取付部６７と前記座面側取付部５９とを前記パッ
ド部材４７を介して接合させた状態でボルト６８により
締結することにより、クランプ部材４６が前記座面ブロ
ック５０ａに対して固定されるようになっている。ま
た、前記腕部６６は、前記押さえ面ブロック６３と押さ
え面側取付部６７との両端を接続するように一対設けら
れている。各腕部６６は、平面コ字状をなし、押さえ面
側取付部６７と前記座面側取付部５９とを前記パッド部
材４７を介して接合させた状態で弾性変形可能なだけの
長さをもって形成されている。さらに、この腕部６６
は、レンズ枠体４２に装着した状態で、そのレンズ枠体
４２の取付溝４４内にその内周面とは離間した状態で収
容されるようになっている。

【００９３】前記パッド部材４７は、前記両取付部５
９，６７の間に挟持される挟持部７１と、前記押さえ面
６５と光学素子３８のフランジ部３８ａとの間に介装さ
れる作用部７２と、それら挟持部７１と作用部７２とを
連結するとともに弾性変形可能な薄板状の薄板部７３と
からなっている。前記作用部７２の下面には、光学素子
３８にフランジ部３８ａに係合する作用面７４が、前記
座面４９に対応するように平面状に形成されている。こ
の作用面７４の周縁は、そのフランジ部３８ａに対する
角当たりによる損傷を回避するため、所定の曲率をもっ
た曲面状に形成されている。また、この作用面７４の表
面には、前記座面４９と同様に金の層がメッキ、蒸着等
により設けられており、その作用面７４の表面における
光学素子３８のフランジ部３８ａに対する摩擦係数が高
められている。

【００９４】そして、このように構成されたクランプ部
材４６は、前記ボルト６８を締め込むことにより、前記
腕部６６が弾性変形されて、押さえ面ブロック６３の押
さえ面６５に座面ブロック５０ａ側への押圧力を付与す
る。この押圧力は、パッド部材４７の作用面７４を介し
て、光学素子３８のフランジ部３８ａに作用する。これ
により、光学素子３８のフランジ部３８ａが、座面ブロ
ック５０ａの座面４９と、押さえ面ブロック６３の押さ
え面６５との間に挟持される。

【００９５】図７及び図１８に示すように、隣り合う支
持部材４３間において、レンズ枠体４２には複数の重量
支持機構７５が配設されている。各重量支持機構７５は
板バネから構成されている。この板バネでは、光学素子
３８のフランジ部３８ａの下面に当接する当接部と、一
対のボルトによりレンズ枠体４２に取り付け支持される
一対の支持部との間が一対の屈曲部により接続されてい
る。そして、この板バネの弾性作用により、光学素子３
８の重量の一部が支持されるようになっている。この重
量支持機構７５の数は、光学素子３８の重量、厚さ、直
径、形状、材質及び支持部材４３の数の少なくとも１つ
に応じて設定されている。ちなみに、この実施形態で
は、隣り合う支持部材４３間に、それぞれ３つの重量支
持機構７５が配設されている。

【００９６】さらに、レンズ枠体４２の前記各取付溝４
４近傍の外周面上には、後述するレンズ枠体位置検出機
構８２に対向するように、四角柱状の位置検出用突部７
６が突設されている。また、レンズ枠体４２の上面にお
ける各支持部材４３の中間には、前記フレクシャ部材４
１に接合する平板状のフレクシャ接合部７７が外方に延
出するように形成されている。

【００９７】次に、枠体４０の具体的構成を主に図８〜
図１３に基づいて説明する。図８は枠体４０全体を示す
斜視図であり、図９はその枠体４０のフレクシャ部材４
１の取付部分を拡大して示す部分平面図であり、図１０
はその取付部分を中心とした部分側面図である。図８に
示すように、前記枠体４０は、鉄、アルミニウム等の金
属材料からなり、円環状をなしている。図８〜図１０に
示すように、その枠体４０の上面の内周面側には、前記
フレクシャ部材４１を取り付けるための３つのフレクシ
ャ取付部８０が等角度間隔おきに形成されている。そし
て、枠体４０の内周面及び下面には、枠体４０同士を積
み重ねた際に、光学素子保持装置３９のフレクシャ部材
４１を収容するためのフレクシャ収容凹部８１が、前記
各フレクシャ取付部８０の中間位置に対応するように３
つ凹設されている。このフレクシャ収容凹部８１では、
後述のフレクシャ本体８４を収容する本体収容部８１ａ
が中心に形成され、その両側端に連続するように後述の
各駆動レバー８５ａ，８５ｂを収容するレバー収容部８
１ｂが形成されている。ここで、フレクシャ取付部８０
とフレクシャ収容凹部８１とは、枠体４０の周方向にお
いて交互に、しかも１８０°位相がずれた状態で形成さ
れている。

【００９８】また、図８に示すように、枠体４０におけ
る前記フレクシャ収容凹部８１の近傍の外周面上には、
レンズ枠体位置検出機構８２を取着するための検出機構
取付座８３が形成されている。この検出機構取付座８３
には、例えば静電容量検出形の断面Ｌ字状をなすレンズ
枠体位置検出機構８２が、枠体４０の外方に突出するよ
うに取着される。この枠体４０上に前記レンズ枠体４２
が前記フレクシャ部材４１を介して取着されたとき、そ
のレンズ枠体位置検出機構８２と、前記レンズ枠体４２
の位置検出用突部７６とが所定の隙間をおいて対向配置
されるようになっている。そして、レンズ枠体４２が枠
体４０に対して相対移動されると、前記位置検出用突部
７６がレンズ枠体位置検出機構８２に対して変位して、
その変位量がレンズ枠体位置検出機構８２により検出さ
れるようになっている。

【００９９】次に、前記フレクシャ部材４１の詳細構成
について、図９〜図１３に基づいて説明する。図８〜図
１０に示すように、前記フレクシャ部材４１は、フレク
シャ本体８４と、変位部材及び伝達部をなす一対の垂直
方向駆動レバー８５ａ及び同じく変位部材及び伝達部を
なす水平方向駆動レバー８５ｂとからなっている。前記
フレクシャ本体８４は、前記レンズ枠体４２のフレクシ
ャ接合部７７と、前記枠体４０のフレクシャ取付部８０
とに挟持されるように取り付けられている。このフレク
シャ本体８４には、前記レンズ枠体４２のフレクシャ接
合部７７がボルト９８を介して接合固定される接続ブロ
ック８４ａとその接続ブロック８４ａの姿勢を調整可能
に支持する接続ブロック支持機構９２が形成されるフレ
クシャ支持ブロック８４ｂとを備えている。

【０１００】ここで、図１１は前記枠体４０におけるフ
レクシャ本体８４の取付部分を拡大して示す部分側面図
であり、図１２はフレクシャ部材４１及び枠体４０を両
駆動レバー８５ａ，８５ｂに沿って破断した部分断面図
である。また、図１３は、フレクシャ部材４１及び枠体
４０をフレクシャ本体８４のほぼ中央において光学素子
３８の径方向に沿って破断した拡大部分断面図である。

【０１０１】図１１〜図１３に示すように、このフレク
シャ本体８４は、略直方体状をなしており、接続ブロッ
ク８４ａとフレクシャ支持ブロック８４ｂとの間、及び
フレクシャ支持ブロック８４ｂには、図１１のＸ軸方向
に貫通する複数の第１スリット８６及び第２スリット８
７が形成されている。この第１スリット８６は、フレク
シャ本体８４に各スリット８６，８７を加工する際の基
準孔８４ｃより上部側に形成されており、前記第２スリ
ット８７は、同基準孔８４ｃの下部側に形成されてい
る。

【０１０２】この第１及び第２スリット８６，８７を形
成する際、全部のスリット８６，８７が互いに連続しな
いように、スリット８６，８７の間に加工を施さない部
分を残す。この第１スリット８６に対応して加工を施さ
ない部分に対して、彫り込み部８６ａがＸ方向の＋方向
（図１１の紙面の手前側）から彫り込む加工と、Ｘ方向
の−方向（図１１の紙面の向こう側）から彫り込む加工
とにより形成される。ここで、この彫り込み部８６ａ
は、図１３に示すように、光学素子３８の径方向に沿う
ように形成される。そして、この彫り込み部８６ａの両
端側には、大きな穴が形成されている。このＸ方向の＋
方向からの加工と−方向からの加工とによって、接続ブ
ロック８４ａとフレクシャ支持ブロック８４ｂとの間、
及びフレクシャ支持ブロック８４ｂには、回転ピボット
及び切欠ばねとしての複数のフレクシャ首部８９ａ〜８
９ｄが形成される。そして、各フレクシャ首部８９ａ〜
８９ｄの両側には、光学素子３８の径方向に貫通する貫
通孔としての矩形貫通孔８８ａが形成される。

【０１０３】このフレクシャ首部８９ａ〜８９ｄに予測
不能な歪みが残存するのを回避するために、各矩形貫通
孔８８ａの深さ方向におけるフレクシャ首部８９ａ〜８
９ｄの近傍は、そのフレクシャ首部８９ａ〜８９ｄの両
側が同じ加工方法により切削加工が施されている。この
加工方法としては、例えば型彫放電加工、機械的切削加
工等が有効である。

【０１０４】また、前記第２スリット８７に対応して加
工を施さない部分（２ヶ所）の両側には、断面略円形状
をなし、光学素子３８の径方向に貫通する円形貫通孔８
８ｂが形成されている。この対向する一対の円形貫通孔
８８ｂの間には、変換機構及び第１切欠ばねをなす第１
及び第２薄肉部９０ａ，９０ｂが形成されている。

【０１０５】ここで、フレクシャ支持ブロック８４ｂ
は、前記第１及び第２スリット８６，８７により、大き
く６つの部分に分割されている。すなわち、フレクシャ
支持ブロック８４ｂは、固定基部としてのフレクシャ固
定部９１と、第１拘束ブロック９３ａと、第２拘束ブロ
ック９４ａと、第１駆動ブロック９５ａと、第２駆動ブ
ロック９６ａとに分割されている。前記フレクシャ固定
部９１は、前記枠体４０のフレクシャ取付部８０にボル
ト９７を介して固定されている（図８及び図１１参
照）。

【０１０６】そして、彫り込み加工によって、前記第１
駆動ブロック９５ａと第１拘束ブロック９３ａとを連結
する第１フレクシャ首部８９ａと、前記第２駆動ブロッ
ク９６ａと第２拘束ブロック９４ａとを連結する第２フ
レクシャ首部８９ｂと、第１拘束ブロック９３ａと第２
拘束ブロック９４ａとを連結する第３フレクシャ首部８
９ｃと、第１拘束ブロック９３ａと接続ブロック８４ａ
とを連結する第４フレクシャ首部８９ｄとが形成され
る。これら複数のフレクシャ首部８９ａ〜８９ｄは断面
略正方形をなし、各拘束ブロック９３ａ，９４ａ、各駆
動ブロック９５ａ，９６ａ、接続ブロック８４ａの断面
積に比べて著しく小さな断面積を有する。

【０１０７】そして、第１拘束ブロック９３ａは、第１
フレクシャ首部８９ａ及び第４フレクシャ首部８９ｄに
よって、第１駆動ブロック９５ａと接続ブロック８４ａ
とに固定される。この第１拘束ブロック９３ａは、第１
フレクシャ首部８９ａ及び第４フレクシャ首部８９ｄの
協働により、Ｚ方向（光学素子３８の光軸方向）周りに
回転可能に保持されるが、Ｚ方向への変位は拘束され
る。従って、第１拘束ブロック９３ａ、第１フレクシャ
首部８９ａ及び第４フレクシャ首部８９ｄにより光学素
子３８の垂直方向（光軸方向）への変位を拘束する交差
方向拘束リンクとしての垂直方向拘束リンク９３が形成
される。

【０１０８】また、第２拘束ブロック９４ａは、第２フ
レクシャ首部８９ｂ及び第３フレクシャ首部８９ｃによ
って、第２駆動ブロック９６ａと第１拘束ブロック９３
ａとに固定される。この第２拘束ブロック９４ａは、第
２フレクシャ首部８９ｂ及び第３フレクシャ首部８９ｃ
の協働により、Ｙ方向（光学素子３８の接線方向）周り
に回転可能に保持されるが、Ｙ方向への変位は拘束され
る。従って、第２拘束ブロック９４ａ、第２フレクシャ
首部８９ｂ及び第３フレクシャ首部８９ｃにより光学素
子３８の水平方向（接線方向）への変位を拘束する水平
方向拘束リンク９４が形成される。

【０１０９】この垂直方向拘束リンク９３の拘束方向
と、水平方向拘束リンク９４の拘束方向とは、互いにほ
ぼ直交する。言い換えれば、垂直方向拘束リンク９３の
回転軸と、水平方向拘束リンク９４の回転軸とが、互い
にほぼ直交する。

【０１１０】そして、前記接続ブロック８４ａは、第４
フレクシャ首部８９ｄによって、フレクシャ支持ブロッ
ク８４ｂに連結されている。すなわち、接続ブロック８
４ａは、垂直方向拘束リンク９３と水平方向拘束リンク
９４とを備える一対のリンクリンク機構によって支持さ
れている。

【０１１１】また、図１１〜図１３に示すように、これ
らのフレクシャ首部８９ａ〜８９ｄのうち、第１及び第
４フレクシャ首部８９ａ，８９ｄは、前記接続ブロック
８４ａのほぼ中心を通り前記Ｚ軸に平行な線上に配置さ
れている。一方、第２及び第３フレクシャ首部８９ｂ，
８９ｃは、前記接続ブロック８４ａの表面にほぼ平行な
線上に配置されている。さらに、第３フレクシャ首部８
９ｃは、第４フレクシャ首部８９ｄの近傍に配置されて
いる。

【０１１２】このように構成されたフレクシャ本体８４
において、接続ブロック８４ａは、垂直方向拘束リンク
９３及び水平方向拘束リンク９４により、第１及び第２
駆動ブロック９５ａ，９６ａに対して、Ｘ方向、Ｙ方
向、Ｚ方向周りに回転可能に、かつＹ方向、Ｚ方向への
変位が抑制されるよう支持されている。さらに、接続ブ
ロック８４ａは、第４フレクシャ首部８９ｄによりＸ方
向に変位可能に支持されている。

【０１１３】ところで、第１駆動ブロック９５ａは、第
１フレクシャ首部８９ａにより第１拘束ブロック９３ａ
に連結され、第１薄肉部９０ａによりフレクシャ固定部
９１に連結されている。そして、その第１駆動ブロック
９５ａの外端には、長尺状をなす前記垂直方向駆動レバ
ー８５ａが前記光学素子３８の接線方向に沿って延びる
ように一体形成されている。この第１駆動ブロック９５
ａは、変換機構及び第１切り欠きばねとしての第１薄肉
部９０ａの作用により、前記垂直方向駆動レバー８５ａ
に光学素子３８の光軸と平行な方向（上下方向）に駆動
力が付与されたとき、その駆動力を接続ブロック８４ａ
側の第２切欠ばねとしての第１フレクシャ首部８９ａに
対して上下方向の駆動力として伝達する。従って、第１
駆動ブロック９５ａ、第１フレクシャ首部８９ａ及び第
１薄肉部９０ａにより、垂直方向駆動レバー８５ａに付
与された上下方向の駆動力を前記垂直方向拘束リンク９
３に上下方向の駆動力として伝達する垂直方向駆動リン
ク９５が形成される。

【０１１４】一方、第２駆動ブロック９６ａは、第２フ
レクシャ首部８９ｂにより第２拘束ブロック９４ａに連
結され、第２薄肉部９０ｂによりフレクシャ固定部９１
に連結されている。そして、その第２駆動ブロック９６
ａの外端には、長尺状をなす前記水平方向駆動レバー８
５ｂが前記光学素子３８の接線方向に沿って延びるよう
に一体形成されている。この第２駆動ブロック９６ａ
は、変換機構及び第１切り欠きばねとしての第２薄肉部
９０ｂの作用により、前記水平方向駆動レバー８５ｂに
光学素子３８の光軸と平行な方向（上下方向）に駆動力
が付与されたとき、その駆動力を接続ブロック８４ａ側
の第３切欠ばねとしての第２フレクシャ首部８９ｂに対
して光学素子３８の接線方向（水平方向）の駆動力とし
て伝達する。従って、第２駆動ブロック９６ａ、第２フ
レクシャ首部８９ｂ及び第２薄肉部９０ｂにより、水平
方向駆動レバー８５ｂに付与された上下方向の駆動力を
前記水平方向拘束リンク９４に水平方向の駆動力として
伝達する水平方向駆動リンク９６が形成される。

【０１１５】ここで、前記第１フレクシャ首部８９ａ
は、前記第１薄肉部９０ａの中央を通り前記光学素子３
８の接線方向に沿う直線上に配置されている。一方、前
記第２フレクシャ首部８９ｂは、前記第２薄肉部９０ｂ
の中央を通り前記光学素子３８の光軸方向に沿う直線上
に配置されている。

【０１１６】図８〜図１０及び図１２に示すように、前
記枠体４０における前記両駆動レバー８５ａ，８５ｂの
先端の上面には、変位量設定手段をなす調整ワッシャ９
９及び同じく変位量設定手段をなす調整ボタン１００が
交換部材（例えば、ボルト、プラグ等）１０１により交
換可能に固定されている。この調整ワッシャ９９はその
厚さが例えば１μｍおきで、調整ボタン１００はその厚
さが例えば１０μｍおきで、予めそれぞれ複数用意され
ている。すなわち、調整ワッシャ９９が微調整用に、ま
た調整ボタン１００が祖調整用に使われる。そして、こ
れらの調整ワッシャ９９及び調整ボタン１００を選択的
に嵌合することで、前記両駆動レバー８５ａ，８５ｂと
枠体４０との間の間隔が調整され、これにより前記両駆
動レバー８５ａ，８５ｂに付与される駆動力が設定され
るようになっている。

【０１１７】しかも、前記両駆動レバー８５ａ，８５ｂ
は、前記光学素子３８の接線方向に沿って所定の長さを
有するように形成されている。このため、前記調整ワッ
シャ９９及び調整ボタン１００で設定され、両駆動レバ
ー８５ａ，８５ｂに付与される駆動力は、その長さに応
じた割合で低減されて前記フレクシャ本体８４に伝達さ
れるようになっている。

【０１１８】また、これら調整ワッシャ９９及び調整ボ
タン１００の近傍で、かつフレクシャ本体８４側の枠体
４０の上面には、操作部をなすリフトレバー１０２が上
下移動可能かつ前記両駆動レバー８５ａ，８５ｂに接離
可能に設けられている。さらに、両駆動レバー８５ａ，
８５ｂには、そのリフトレバー１０２の近傍で、かつフ
レクシャ本体８４側の部分において、一端が枠体４０に
固定された引っ張りばねからなる復帰ばね１０３の他端
が取着されている。これにより、両駆動レバー８５ａ，
８５ｂは枠体４０側に付勢され、前記リフトレバー１０
２が当接していない状態では、両駆動レバー８５ａ，８
５ｂの先端が前記調整ボタン１００の上面に当接するよ
うになっている。

【０１１９】このリフトレバー１０２を駆動レバー８５
ａ，８５ｂに当接させたまま、枠体４０から離れる方
向、すなわち上方向に移動させることによって、各駆動
レバー８５ａ，８５ｂが復帰ばね１０３の付勢力に抗し
て枠体４０から離れるように移動する。このように、各
駆動レバー８５ａ，８５ｂが、調整ボタン１００から離
れた状態で、調整ボタン１００及び調整ワッシャ９９の
交換が行われる。調整ボタン１００及び調整ワッシャ９
９の交換が完了した後、リフトレバー１０２を元の位置
に戻すことによって、各駆動レバー８５ａ，８５ｂが復
帰ばね１０３の付勢力によって調整ボタン１００の上面
に当接する。

【０１２０】図２及び図１４に示すように、前記枠体４
０の上面及び下面の外周側部分には、枠体４０同士が積
み重ねられた際に、他の枠体４０との重合面４０ａが形
成されている。そして、以上のように構成された複数の
光学素子保持装置３９が、それぞれその位相を１８０°
ずつずらした状態で、その枠体４０の重合面４０ａにお
いて間隔調整用スペーサを介して互いに積層されるよう
になっている。このように、複数の光学素子保持装置３
９が重合配置された状態では、下方に配置される光学素
子保持装置３９のレンズ枠体４２は、上方に配置される
光学素子保持装置３９の枠体４０内に収容される。ま
た、このとき、下方側の光学素子保持装置３９のフレク
シャ部材４１は、上方側の枠体４０のフレクシャ収容凹
部８１内に収容される。

【０１２１】次に、この光学素子保持装置３９の作用に
ついて、説明する。本実施形態における光学素子保持装
置３９は、前述のように、光学素子３８を支持する支持
部材をなすレンズ枠体４２と、そのレンズ枠体４２を鏡
筒モジュール３７ａに固定する固定部をなす枠体４０と
の間が、３つのフレクシャ部材４１で接続されている。
この鏡筒モジュール３７ａは、互いに積層された他のレ
ンズ枠体４２を示し、全てのレンズ枠体４２が積層され
て鏡筒３７が構成される。この光学素子保持装置３９の
フレクシャ部材４１を６本の剛体に置き換えて示すと、
図１５に示すようになる。この図１５に示すように、各
フレクシャ部材４１は、それぞれ２本の剛体１０６ａ，
１０６ｂと、剛体１０６ａの両端に設けられた回転ピボ
ット１０７ａ，１０７ｂと、剛体１０６ｂの両端に設け
られた回転ピボット１０７ｃ，１０７ｄとを有してい
る。つまり、光学素子保持装置３９全体では、６本の剛
体と、その各剛体の両端にそれぞれ回転ピボットが配設
されている。また、回転ピボット１０７ａ，１０７ｂ〜
１０７ｄは、剛体１０６ａの長手方向を貫く軸線と、そ
の軸線に直交するとともに互いに直交する２つの軸線と
の３つの軸線周りの３方向の回転が可能になっている。
回転ピボット１０７ｃ，１０７ｄは、剛体１０６ｂの長
手方向を貫く軸線と、その軸線に直交するとともに互い
に直交する２つの軸線との３つの軸線周りの３方向の回
転が可能になっている。

【０１２２】また、前記各剛体１０６ａ，１０６ｂは、
剛体１０６ａの回転ピボット１０７ａ，１０７ｂを結ぶ
直線と、剛体１０６ｂの回転ピボット１０７ｃ，１０７
ｂを結ぶ直線とを仮定したときに、（本実施形態では、
剛体１０６ａ，１０６ｂの組合せが３つあるので、６本
の直線が仮定される）、３本以上の直線が同一点で交差
しないように配置されている。この場合、各剛体１０６
ａ，１０６ｂが直線状なので、各剛体１０６ａ，１０６
ｂの両端の回転ピボット１０７ａと１０７ｂ、１０７ｃ
と１０７ｄを結ぶ直線は、各剛体１０６ａ，１０６ｂの
延長線と等価である。なお、剛体１０６ａの一端の回転
ピボット１０７ｂと、剛体１０６ｂの一端の回転ピボッ
ト１０７ｄとが非常に近接して配置されているために、
全体的に見るとほぼ同一の回転ピボット１０７ｂ，１０
７ｄからなる。言い換えると、２本の剛体１０６ａ，１
０６ｂが、１つの回転ピボットを共有している。

【０１２３】さらに、各剛体１０６ａ，１０６ｂの他端
には、その各剛体１０６ａ，１０６ｂの枠体４０との相
対位置を調整する距離調整機構としての位置調整機構１
０８が装備されている。そして、この位置調整機構１０
８により、前記各剛体１０６ａ，１０６ｂの端部の位置
を変位させることで、枠体４０とレンズ枠体４２との間
の距離を調整するようになっている。

【０１２４】ここで、前記モデルと本実施形態のフレク
シャ部材４１とを対比して考えると、剛体１０６ａには
第２拘束ブロック９４ａが対応し、剛体１０６ｂには第
１拘束ブロック９３ａが対応している。また、回転ピボ
ット１０７ａは第２フレクシャ首部８９ｂに対応し、回
転ピボット１０７ｂは第３フレクシャ首部８９ｃに対応
し、回転ピボット１０７ｃは第１フレクシャ首部８９ａ
に対応し、回転ピボット１０７ｄは第４フレクシャ首部
８９ｄに対応している。

【０１２５】そして、前記第２拘束ブロック９４ａの一
端の第３フレクシャ首部８９ｃは、前記第１拘束ブロッ
ク９３ａの一端の第４フレクシャ首部８９ｄのすぐ近傍
に接続されている。このため、この両フレクシャ首部８
９ｃ，８９ｄは、全体として一体的な回転ピボット１０
７ｂ，１０７ｄとして見るとことができる。さらに、前
記位置調整機構１０８には、調整ワッシャ９９、調整ボ
タン１００、垂直方向駆動レバー８５ａ、水平方向駆動
レバー８５ｂ、第１駆動ブロック９５ａ及び第２駆動ブ
ロック９６ａが対応している。

【０１２６】なお、設計の都合上、各拘束ブロック９３
ａ，９４ａの変位の方向は、上下または左右方向となっ
ており、前記モデルにおける２本の剛体１０６ａ，１０
６ｂの斜め方向とは異ってはいるが、組合せることで実
質的に同一となる。

【０１２７】次に、この光学素子保持装置３９のフレク
シャ本体８４の動作について、さらに詳細に説明する。
図１６は、３つのフレクシャ本体８４のうち、１つのフ
レクシャ本体８４の一部を模式的に描いたものである。

【０１２８】図１６において、垂直方向駆動レバー８５
ａ側の第１薄肉部９０ａではその両側の円形貫通孔８８
ｂが上下に対向するように配列されている。このため、
所定の駆動力Ｆ１を作用させて垂直方向駆動レバー８５
ａの先端部を垂直方向に変位させると、その第１薄肉部
９０ａでは光学素子３８の径方向を軸線とする回動力Ｍ
１に変換される。ここで、第１フレクシャ首部８９ａ
は、前記第１薄肉部９０ａの中心を通るとともに光学素
子３８の接線方向に沿う直線Ｌ１上に形成されている。
このため、前記第１薄肉部９０ａにおける回動力Ｍ１
が、第１駆動ブロック９５ａを介して、第１フレクシャ
首部８９ａにおける垂直方向への直線駆動に変換され
る。この直線駆動が第１拘束ブロック９３ａ及び第４フ
レクシャ首部８９ｄを介して接続ブロック８４ａに伝達
され、レンズ枠体４２内の光学素子３８における光軸方
向に沿った変位が実現される。

【０１２９】一方、水平方向駆動レバー８５ｂ側の第２
薄肉部９０ｂではその両側の円形貫通孔８８ｂが水平に
対向するように配列されている。このため、所定の駆動
力Ｆ２を作用させて水平方向駆動レバー８５ｂの先端部
を垂直方向に変位させると、その第２薄肉部９０ｂでは
光学素子３８の径方向を軸線とする回動力Ｍ２に変換さ
れる。ここで、第２フレクシャ首部８９ｂは、前記第２
薄肉部９０ｂの中心を通るとともに光学素子３８の光軸
方向に沿う直線Ｌ２上に形成されている。このため、前
記第２薄肉部９０ｂにおける回動力Ｍ２が、第２駆動ブ
ロック９６ａを介して、第２フレクシャ首部８９ｂにお
ける水平方向への直線駆動に変換される。この直線駆動
が第２拘束ブロック９４ａ、第３フレクシャ首部８９ｃ
及び第４フレクシャ首部８９ｄを介して接続ブロック８
４ａに伝達され、レンズ枠体４２内の光学素子３８にお
ける接線方向に沿った変位が実現される。

【０１３０】さらに、所定の駆動力Ｆ１，Ｆ２を作用さ
せて両駆動レバー８５ａ，８５ｂの先端部をそれぞれ垂
直方向に変位させると、前記第１拘束ブロック９３ａ、
第２拘束ブロック９４ａ及び第３フレクシャ首部８９ｃ
を介して、前記２つの方向への駆動力が合成される。つ
まり、光学素子３８の光軸をＺ軸とする極座標Ｒ−θ−
Ｚ系を考えた場合、第３フレクシャ首部８９ｃのθ座
標、Ｚ座標が、両駆動レバー８５ａ，８５ｂの動きに応
じた位置に変化する。一方、前記第１拘束ブロック９３
ａ及び第２拘束ブロック９４ａは、駆動力の伝達方向に
沿って拘束され（その長さが変化することなく）、かつ
第３フレクシャ首部８９ｃは、前記第１フレクシャ首部
８９ａと第２フレクシャ首部８９ｂとを結ぶ直線Ｌ３を
中心軸として微少回転することが可能である。すなわ
ち、極座標でいうところのＲ方向（光学素子３８の径方
向）に変位する自由度を有している。従って、レンズ枠
体４２に対して不動な点である第３フレクシャ首部８９
ｃは、極座標で言うところのθ、Ｚ並進移動の自由度
を、望むべく位置に拘束され、かつＲ並進自由度を有し
ている。また、第３フレクシャ首部８９ｃは回転ピポッ
トであるので、Ｒ、θ、Ｚの各軸回りの回転自由度を有
している。

【０１３１】以上の動き及び拘束状態は、枠体４０の３
ヶ所に設置されたフレクシャ本体８４のそれぞれの中で
独立に生じる。従って、レンズ枠体４２に対して固定さ
れた３つの点（第３フレクシャ首部８９ｃ）のそれぞれ
においてレンズ枠体４２の自由度がそれぞれ２ずつ拘束
され、レンズ枠体４２の姿勢（６自由度）は機構学の教
えるところにより過不足なく拘束される。かつ、その姿
勢は、両駆動レバー８５ａ，８５ｂの駆動量と１：１で
対応しているため、レンズ枠体４２及びそれに保持され
る光学素子３８の姿勢を、それらに無理な力、歪みを与
えることなく自在に調節することが可能である。

【０１３２】このように、レンズ枠体４２は、各フレク
シャ部材４１を介して、前記枠体４０に対して、いわゆ
るキネマティックに支持されている。ここで、光学素子
３８の中心を原点、その光学素子３８の光軸方向をＺ
軸、光学素子３８の径方向をＲ軸及び光学素子３８の周
方向をθ軸とする極座標系Ｒ−θ−Ｚ系を考える。この
フレクシャ部材４１のリンク機構１０９によれば、レン
ズ枠体４２とリンク機構１０９との連結点をなす前記第
３フレクシャ首部８９ｃは、所定の範囲内においてＲ、
θ、Ｚの各軸方向に変位可能となる。また、枠体各リン
ク機構１０９における、前記第３フレクシャ首部８９ｃ
の枠体４０からの高さ位置を適宜変更して組み合わせる
ことにより、レンズ枠体４２を前記枠体４０に対して任
意の方向に傾けることができる。これにより、レンズ枠
体４２が枠体４０に対して、いわゆるキネマティック
に、つまりＲ、θ、Ｚの各軸方向への移動とＲ軸、θ軸
及びＺ軸の各軸周りの回転とが可能なように保持され
る。

【０１３３】さて、３つのリンク機構１０９の協働によ
り、光学素子３８をその光軸に垂直な面内で変位させる
場合における動作の一例について、図１７に基づいて説
明する。図１７において、上側のリンク機構１０９ｃの
第３フレクシャ首部８９ｃが、矢印方向に所定の点ＭＰ
に移動されたとする。この移動に伴って、レンズ枠体４
２の中心Ｏは、各リンク機構１０９ａ，１０９ｂのそれ
ぞれの第３フレクシャ首部８９ｃにおける接線ＴＬの交
点ＩＰを中心として、前記リンク機構１０９ｃの移動方
向と平行に前記所定量の２／３の距離だけ変位すること
になる。

【０１３４】これは、以下の理由による。すなわち、各
リンク機構１０９ａ〜１０９ｃは、その枠体４０と各リ
ンク機構１０９ａ〜１０９ｃとの節をなす第３フレクシ
ャ首部８９ｃが、光学素子３８のＸ軸及びＹ軸方向への
並進自由度を確保しつつ、互いの位置関係が固定されて
いる。そして、各リンク機構１０９ａ〜１０９ｃが１２
０°間隔で配置されている。ここで、レンズ枠体４２の
中心Ｏと各リンク機構１０９ａ，１０９ｂの第３フレク
シャ首部８９ｃと、前記接線ＴＬの交点ＩＰとの位置関
係を考えると、それらの４つの点により、３０°、６０
°、９０°の各内角を有する互いに合同な２つの直角三
角形が構成される。そして、前記レンズ枠体４２の中心
Ｏと前記各第３フレクシャ首部８９ｃとの距離（半径）
を１とした場合、前記レンズ枠体４２の中心Ｏと前記交
点ＩＰとの距離は、前記半径の２倍となる。このため、
前記交点ＩＰとリンク機構１０９ｃの第３フレクシャ首
部８９ｃとの距離は、前記半径の３倍となる。このた
め、光学素子３８の中心Ｏが点ＭＰ’へと、前記リンク
機構１０９ｃの第３フレクシャ首部８９ｃの変位方向と
平行にその移動距離の２／３だけ変位する。

【０１３５】次に、この光学素子保持装置３９の組立手
順について説明する。まず、図１８に示すように、レン
ズ枠体４２の取付溝４４とは反対側の表面に対して、支
持部材４３の基台部材４５を図示しないボルトで締め付
け固定する。この状態で、基台部材４５の座面ブロック
支持機構５１をサンドイッチ部材１１２で挟み込んで仮
固定する。これにより、光学素子３８を組み付けるまで
の間に、座面ブロック支持機構５１の各拘束リンク５
７，５８及び各首部５５ａ〜５５ｄに対して、不用意に
過剰な荷重がかかるの防止する。

【０１３６】次いで、光学素子３８を、そのレンズ枠体
４２内に収容するとともに、その光学素子３８のフラン
ジ部３８ａを前記基台部材４５の座面ブロック５０ａ上
の座面４９に載置させる。そして、芯出し装置上におい
て、前記レンズ枠体４２に対する光学素子３８の位置決
めを行い、前記基台部材４５の座面側取付部５９上にパ
ッド部材４７及びクランプ部材４６をボルト６８で締め
付け固定する。これにより、光学素子３８のフランジ部
３８ａを、前記基台部材４５の座面ブロック５０ａの座
面４９と、前記押さえ面ブロック６３の押さえ面６５と
の間に挟持させる。そして、前記サンドイッチ部材１１
２を基台部材４５から取り外し、座面ブロック５０ａの
姿勢を光学素子３８のフランジ部３８ａの形状に応じて
変化させ、光学素子３８の挟持を安定させる。

【０１３７】この状態で、光学素子３８の光学面の精度
を検査する。この検査において、所定値以上の光学面の
変化が生じていることがあきらかになったときには、再
度座面ブロック支持機構５１をサンドイッチ部材１１２
で挟み込んで仮固定して、光学素子３８の装着作業をや
り直す。

【０１３８】次に、図１９に示すように、枠体４０上の
フレクシャ取付部８０に、フレクシャ本体８４をボルト
９７により締め付け固定する。次いで、フレクシャ本体
８４の接続ブロック８４ａを両側方から挟み込むよう
に、肩パット部材１１３を装着、仮固定する。これによ
り、レンズ枠体４２を組み付けるまでの間に、フレクシ
ャ本体８４の各拘束リンク９３，９４、各駆動リンク９
５，９６、各首部８９ａ〜８９ｄ及び各薄肉部９０ａ，
９０ｂに対して、不用意に過剰な荷重がかかるの防止す
る。

【０１３９】ついで、枠体４０上にレンズ枠体４２を、
そのフレクシャ接合部７７が肩パット部材１１３を装着
したフレクシャ本体８４の接続ブロック８４ａ上に接合
するように載置し、ボルト９８で仮固定する。この状態
で、枠体４０全体を、芯出し装置に搭載して回転させ、
光学素子３８の光軸の振れ具合を観察する。その観察結
果に基づいて、前記ボルト９８を緩めレンズ枠体４２の
位置を調整して、再度ボルト９８で仮固定する。そし
て、回転させたときにおける光学素子３８の光軸の振れ
がほとんどなくなるまで、この調整をくり返す。光学素
子３８の振れがほぼ解消されたら、前記ボルト９８を完
全に締め込んで、レンズ枠体４２をフレクシャ本体８４
を介して枠体４０上に固定する。

【０１４０】そして、前記肩パット部材１１３を取り外
し、図２及び図３に示すような光学素子保持装置３９が
構成される。そして、この状態で再度芯出し装置上で回
転させ、光学素子３８の光軸の振れが完全に解消される
ように、芯出し装置のテーブルを平行移動あるいは傾け
る。このときの芯出し装置におけるレンズ枠体４２外径
の偏心量、端面の傾き量を記録しておく。これらの情報
を専用のソフトウェアに入力し、これらの偏心量及び傾
き量を打ち消すような姿勢変化を発生させる調整ワッシ
ャ９９及び調整ボタン１００の組み合わせを計算する。
そして、この計算結果に基づいて、前記調整ワッシャ９
９及び調整ボタン１００を選択的に嵌合する。最後に、
もう一度、芯出し装置により全体を回転させ、光学素子
３８の光軸の振れを確認する。

【０１４１】そして、図１４に示すように、各光学素子
保持装置３９を、その位相が１８０°ずつずらすように
して積層して鏡筒３７の一部を形成する。従って、本実
施形態によれば、以下のような効果を得ることができ
る。

【０１４２】（イ） この光学素子保持装置３９では、
光学素子３８を保持するレンズ枠体４２と枠体４０とが
３つのフレクシャ本体８４を介して連結されている。そ
して、そのフレクシャ本体８４には、前記光学素子３８
の中心を原点とし、その光学素子３８の光軸方向をＺ
軸、径方向をＲ軸、周方向をθ軸とした極座標系Ｒ−θ
−Ｚ系に沿う３つの変位と、前記３つの座標軸Ｒ、θ、
Ｚ周りの回転との６つの運動自由度を与える駆動レバー
８５ａ，８５ｂが設けられている。

【０１４３】このため、駆動レバー８５ａ，８５ｂに所
定の駆動力が与えられると、フレクシャ本体８４の作用
により、光学素子３８には、座標軸Ｒ、θ、Ｚの３つの
座標軸に沿う３つの変位と、前記３つの座標軸Ｒ、θ、
Ｚ周りの回転との６つの運動自由度が付与される。つま
り、光学素子３８が、いわゆるキネマティックに保持さ
れている。これにより、前記光学素子３８の姿勢を微妙
に調整することができて、枠体４０等に厳密な加工を施
すことなく、光学素子３８の位置決めを容易かつ精度よ
く行うことができる。

【０１４４】（ロ） この光学素子保持装置３９では、
３つのフレクシャ本体８４は、光学素子３８の周りに等
間隔で３つ配置されている。このため、光学素子３８の
位置決めを簡単な構成で実現できるとともに、その光学
素子３８を安定して保持することができる。

【０１４５】（ハ） この光学素子保持装置３９では、
３つのフレクシャ本体８４は、枠体４０に固定されるフ
レクシャ固定部９１と、光学素子３８が保持されるレン
ズ枠体４２に接続する接続ブロック８４ａとを有してい
る。そして、それらフレクシャ固定部９１と接続ブロッ
ク８４ａとを互いに異なる方向（垂直方向と水平方向）
への変位を拘束し、かつその互いに異なる方向のそれぞ
れの周りに回転可能に支持する一対の垂直方向拘束リン
ク９３と水平方向拘束リンク９４とが設けられている。

【０１４６】このため、フレクシャ固定部９１と各拘束
リンク９３，９４との協働により、接続ブロック８４ａ
に６つの運動自由度が与えられる。これにより、光学素
子３８の位置決めを容易かつ精度よく行うことができ
る。

【０１４７】（ニ） この光学素子保持装置３９では、
フレクシャ本体８４に形成されたリンク機構の一方が、
フレクシャ固定部９１と接続ブロック８４ａとを水平方
向への変位を拘束し、かつ水平方向の周りに回転可能に
連結する水平方向拘束リンク９４となっている。また、
もう一方は、フレクシャ固定部９１と接続ブロック８４
ａとを垂直方向に沿って拘束し、かつ垂直方向の周りに
回転可能に連結する垂直方向拘束リンク９３となってい
る。

【０１４８】このように、水平方向拘束リンク９４と垂
直方向拘束リンク９３とから一対のリンク機構を構成す
ることで、そのリンク機構、ひいてはフレクシャ本体８
４の構成の簡素化を図ることができる。

【０１４９】（ホ） この光学素子保持装置３９では、
フレクシャ固定部９１と接続ブロック８４ａと各拘束リ
ンク９３，９４とを回転ピボットをなす各フレクシャ首
部８９ａ〜８９ｄで連結したことを特徴とするものであ
る。このため、フレクシャ固定部９１と接続ブロック８
４ａとを連結する各拘束リンク９３，９４の回転を簡単
な構成で実現できる。

【０１５０】（ヘ） この光学素子保持装置３９では、
水平方向駆動レバー８５ｂに付与される上下方向の駆動
力を、水平方向の駆動力に変換する第２薄肉部９０ｂと
第２フレクシャ首部８９ｂとからなる変換機構が設けら
れている。

【０１５１】このため、水平方向への駆動力も垂直方向
の駆動力を変換することで得られるため、フレクシャ本
体８４における設計の自由度を増すことができる。ま
た、フレクシャ本体８４の外部において付与された上下
方向の駆動力により光学素子３８が水平方向に変位され
る。このため、例えば光学素子３８がレンズ枠体４２の
内部に収容されるような場合において、特に有用であ
る。

【０１５２】（ト） この光学素子保持装置３９では、
垂直方向駆動レバー８５ａに付与される上下方向の駆動
力を、上下方向の駆動力に変換する第１薄肉部９０ａと
第１フレクシャ首部８９ａとからなる変換機構が設けら
れている。

【０１５３】このため、フレクシャ本体８４の外部にお
いて付与された上下方向の駆動力により光学素子３８が
上下方向に変位される。このため、例えば光学素子３８
がレンズ枠体４２の内部に収容されるような場合におい
て、特に有用である。

【０１５４】（チ） この光学素子保持装置３９では、
フレクシャ本体８４のそれぞれは、フレクシャ固定部９
１と接続ブロック８４ａと各拘束リンク９３，９４とが
単一部材で形成されている。そして、それら各拘束リン
ク９３，９４は、一対の矩形貫通孔８８ａとその矩形貫
通孔８８ａの間の首部で連結されている。このため、リ
ンク機構を構成するあたって、部品点数の増大を招くこ
となく、しかも簡単な構成で実現することができる。

【０１５５】（リ） この光学素子保持装置３９では、
駆動力が付与される垂直方向駆動レバー８５ａ側の第１
薄肉部９０ａと、その駆動力を光学素子３８に対する上
下方向への駆動力に変換するために用いられる第１フレ
クシャ首部８９ａとが光学素子３８に対する水平方向に
おける同一面内に配置されている。

【０１５６】このように、第１薄肉部９０ａと第１フレ
クシャ首部８９ａとを水平方向の同一平面上に配置する
ことで、垂直方向駆動レバー８５ａに付与された駆動力
により第１フレクシャ首部８９ａの部分に回転モーメン
トが生じるのが抑制される。これにより、垂直方向駆動
レバー８５ａに付与される駆動力を、正確に光学素子３
８に対する上下方向への駆動力に変換することができ
る。

【０１５７】（ヌ） この光学素子保持装置３９では、
水平方向駆動レバー８５ｂ側の第２薄肉部９０ｂと、接
続ブロック８４ａ側の第２フレクシャ首部８９ｂとが、
光学素子３８の上下方向における同一面内に配置されて
いる。

【０１５８】このように、第２薄肉部９０ｂと第２フレ
クシャ首部８９ｂとを上下方向の同一平面上に配置する
ことで、水平方向駆動レバー８５ｂに付与された駆動力
により第２フレクシャ首部８９ｂの部分に回転モーメン
トが生じるのが抑制される。これにより、水平方向駆動
レバー８５ｂに付与される駆動力が、正確に光学素子３
８に対する水平方向への駆動力に変換される。

【０１５９】（ル） この光学素子保持装置３９では、
各駆動レバー８５ａ，８５ｂがその先端に付与された駆
動力を所定の割合で低減してフレクシャ本体８４のリン
ク機構に伝達するようになっている。このため、フレク
シャ本体８４の各リンク９３〜９６を介して光学素子３
８を容易に微小変位させることができる。また、駆動力
の低減率に応じて、光学素子３８における微小変位を正
確にな制御することができる。

【０１６０】（ヲ） この光学素子保持装置３９では、
各駆動レバー８５ａ，８５ｂに付与される駆動力を設定
する調整ワッシャ９９及び調整ボタン１００が設けられ
ている。このため、各駆動レバー８５ａ，８５ｂに付与
される駆動力が不用意に変動することがなく、より正確
に光学素子３８の位置制御を行うことができる。

【０１６１】（ワ） この光学素子保持装置３９では、
調整ワッシャ９９及び調整ボタン１００は、各駆動レバ
ー８５ａ，８５ｂと枠体４０との間に配置され、その間
の間隔を調整することによって、任意の駆動力を設定す
るようになっている。このため、簡単な構成で前記
（ヲ）に記載の効果を実現することができる。

【０１６２】（カ） この光学素子保持装置３９では、
１つのフレクシャ本体８４において２つの駆動レバー８
５ａ，８５ｂを備えている。そして、一方の水平方向駆
動レバー８５ｂの操作によって光学素子３８がその接線
方向へ変位し、他方の垂直方向駆動レバー８５ａの操作
によって光学素子３８が光軸方向に変位するようになっ
ている。

【０１６３】このため、２つの駆動レバー８５ａ，８５
ｂの操作によって光学素子３８の姿勢を容易かつより正
確に制御することができる。しかも、その変位方向を一
方が光学素子３８の接線方向、他方が光学素子３８の光
軸方向とすることで、機構の簡素化を図ることができ
て、設計が容易となる。

【０１６４】（ヨ） この光学素子保持装置３９では、
フレクシャ本体８４が、光学素子３８のフランジ部３８
ａに係合する座面ブロック５０ａの間に配置されてい
る。このため、光学素子保持装置３９の全体構成を小型
化することができる。

【０１６５】（タ） この光学素子保持装置３９では、
フレクシャ本体８４の各拘束リンク９３，９４の両端に
配置される前記回転ピボットが、その両側に連結される
部分に対して断面積の小さな各フレクシャ首部８９ａ〜
８９ｄからなっている。すなわち、これら各フレクシャ
首部８９ａ〜８９ｄは、単一部材に形成された２つの剛
体間に形成される切欠ばねからなっている。このため、
各フレクシャ首部８９ａ〜８９ｄの弾性変形力を利用し
て、フレクシャ固定部９１と接続ブロック８４ａと各拘
束リンク９３，９４とを、簡単な構成で、しかも一体の
部材でもって互いに回転可能に形成することができる。
しかも、フレクシャ部材４１は一体の部材からなるた
め、そのフレクシャ部材４１を枠体４０とレンズ枠体４
２との間に容易に組み付けることができる。

【０１６６】（レ） この光学素子保持装置３９では、
各駆動レバー８５ａ，８５ｂを枠体４０側に付勢する復
帰ばね１０３が設けられている。そして、その復帰ばね
１０３の付勢力によって、各駆動レバー８５ａ，８５ｂ
を調整ボタン１００に当接させることで、各駆動レバー
８５ａ，８５ｂに付与される駆動力を設定するようにな
っている。このため、各駆動レバー８５ａ，８５ｂに付
与される駆動力が、調整ワッシャ９９及び調整ボタン１
００の絶対的な厚みにより設定される。これに対して、
例えばネジ等により前記駆動力を設定する場合では、ネ
ジの締め込み量を厳密に制御するのは困難である。従っ
て、前記駆動力の設定に過不足を生じにくく、その駆動
力の設定をより正確に行うことができる。

【０１６７】（ソ） この光学素子保持装置３９では、
枠体４０上においてフレクシャ本体８４が等角度間隔で
配置されている。そして、フレクシャ本体８４の間に、
その枠体４０に重合配置される他の光学素子保持装置３
９のフレクシャ本体８４に対応するフレクシャ収容凹部
８１が設けられている。このため、フレクシャ収容凹部
８１内に隣接配置される他の光学素子保持装置３９のフ
レクシャ本体８４を収容することができて、複数の光学
素子保持装置３９を重合配置させる際に、その全体を小
型化することができる。

【０１６８】（ツ） この光学素子保持装置３９では、
フレクシャ収容凹部８１が、フレクシャ本体８４とは１
８０°分だけ位相をずらした位置に対応するように設け
られている。このため、複数の光学素子保持装置３９を
１８０°分だけ位相をずらして、その一部を重ね合わせ
て配置することができ、全体をより小型化することがで
きる。

【０１６９】（ネ） この光学素子保持装置３９では、
枠体４０の端面に、他の光学素子保持装置３９の枠体４
０との重合面４０ａが定義されている。この重合面４０
ａの間に間隔調整用のスペーサを配置して、光学素子保
持装置３９の互いの位置を調整することができる。すな
わち、間隔調整用のスペーサで、光学素子保持装置３９
が保持する光学素子３８の位置を粗調整することができ
る。その後、光学素子保持装置３９の各駆動レバー８５
ａ，８５ｂを駆動するとともに、調整ワッシャ９９及び
調整ボタン１００の厚みを変更することにより、光学素
子３８を目的とする位置まで変位させることができる。
なお、この間隔調整スペーサは、重合面４０ａと略同一
形状のリング状のスペーサであってもよく、重合面４０
ａの複数箇所に配置される分割されたスペーサ（例えば
ワッシャ等）であってもよい。

【０１７０】（ナ） この鏡筒３７では、複数の光学素
子３８が上記の光学素子保持装置３９を介して保持され
ている。このため、内部の光学素子３８がより正確に位
置決めされており、鏡筒３７全体の結像性能の向上を図
ることができる。

【０１７１】（ラ） この露光装置３１では、投影光学
系３５がその内部に光学素子３８を光学素子保持装置３
９により保持した鏡筒３７で構成されている。このた
め、投影光学系３５の結像性能が向上されて、露光精度
の向上を図ることができる。

【０１７２】（ム） この露光装置３１では、フレクシ
ャ部材を４１を駆動する駆動レバー８５ａ，８５ｂが、
光学素子３８を支持するレンズ枠体４２と、枠体４０と
の間に配置されている。このため、駆動レバー８５ａ，
８５ｂを作動させることで、光学素子３８を前記６つの
運動自由度をもって変位させることが可能になる。従っ
て、枠体４０やレンズ枠体４２等を厳密に加工すること
なく、光学素子３８の位置決めを容易かつ精度よく行う
ことができる。

【０１７３】（ウ） この露光装置３１では、３つのフ
レクシャ部材４１が、それぞれ所定の長さの剛体をなす
第１拘束ブロック９３ａ及び第２拘束ブロック９４ａを
有している。そして、レンズ枠体４２が、全体では６本
の剛体を介して枠体４０上に支持されている。しかも、
各剛体は、前記６つの運動自由度を有しているため、前
記枠体４０に対してみそすり運動（歳差運動）可能なも
のとなる。このため、前記レンズ枠体４２に支持される
光学素子３８を、簡単な構成でもって、その中心を原点
とし、径方向をＲ、周方向をθ、光軸方向をＺとする３
つの座標軸系Ｒ−θ−Ｚ系においてキネマティックに支
持することができる。

【０１７４】（ヰ） この露光装置３１では、フレクシ
ャ部材４１が、レンズ枠体４２と枠体４０との間の距離
を調整する位置調整機構１０８を有している。このた
め、レンズ枠体４２と枠体４０との間の距離を調整する
ことにより、光学素子３８の変位の範囲を拡大すること
ができる。そして、これを、投影光学系３５の残存収差
の補正に利用することで、投影光学系３５の結像特性が
大きく向上し、露光装置３１の露光精度を向上させるこ
とができる。

【０１７５】（ノ） この露光装置３１では、３つのフ
レクシャ部材４１のフレクシャ本体８４に取り付けられ
た駆動レバー８５ａ，８５ｂを変位させることにより、
そのフレクシャ本体８４を変位させる。そして、このフ
レクシャ本体８４の変位により、光学素子３８の位置決
めをなすようになっている。このように、光学素子３８
の変位はフレクシャ部材４１を介して行うこととなり、
前記光学素子３８に予想外のひずみが生じたりするのが
抑制される。従って、光学素子３８の精度を保ちつつ、
その光学素子３８をより正確に変位させることができ
る。

【０１７６】（オ） ある物体を所定の固定部に対して
６本の剛体を介しキネマティックに保持したとき、その
６本の剛体の延長線のうち３本以上が同一点で交わる
と、キネマティックの特異点が生じる。この特異点で
は、前記物体の保持が不安定となり、その物体の正確な
位置決めが困難となる。これに対して、この露光装置３
１では、各フレクシャ部材４１の剛体をなす各拘束ブロ
ック９３ａ，９４ａにおける両端のフレクシャ首部８９
ａ〜８９ｄを結ぶ６本の直線を仮定したときに、３本以
上の直線が同一点で交わらないようになっている。この
ため、キネマティックの特異点が生じることがなく、光
学素子３８の位置決めをより確実に行うことができる。

【０１７７】（第２実施形態）次に、本発明の光学素子
保持装置の第２実施形態について、前記第１実施形態と
は異なる部分を中心に、図２０〜図２２に基づいて説明
する。

【０１７８】図２０は、この第２実施形態の光学素子保
持装置１２１を模式的に示した斜視図である。図２０に
示すように、この光学素子保持装置で１２１では、光学
素子３８を保持するレンズ枠体１２２がそれぞれ独立し
た６本（図中には５本を記載）の剛体１２３を介して枠
体１２４上に保持されている。

【０１７９】図２１は前記剛体１２３を示す断面図であ
り、図２２はその図２１における２２−２２線での断面
図となっている。図２１及び図２２に示すように、剛体
１２３は金属製の四角柱で形成されており、その両端の
近傍には前記第１実施形態のフレクシャ首部８９ａ〜８
９ｄと同様な構成の回転ピボット１２５が切り欠き形成
されている。そして、前記各剛体１２３は、その一端が
直接前記枠体１２４に固定され、他端が取り付け部材１
２６を介して前記レンズ枠体１２２に固定されている。
なお、この６本の剛体１２３も、各剛体１２３の両端の
回転ピボット１２５を結ぶ６本の直線を仮定したとき、
３本以上の直線が同一点で交わらないように配置されて
いる。

【０１８０】このように構成された第２実施形態によれ
ば、前記第１実施形態に記載の（イ）、（ホ）、
（チ）、（ラ）、（ウ）及び（オ）の効果とほぼ同様の
効果に加えて、次の効果を得ることができる。

【０１８１】（第３実施形態）次に、本発明の光学素子
保持装置の第３実施形態について、前記各実施形態とは
異なる部分を中心に説明する。図２３に模式的に示すよ
うに、この第３実施形態の光学素子保持装置１３１は、
前記第２実施形態の光学素子保持装置１２１のレンズ枠
体１２２が省略されたものとなっている。そして、剛体
１２３の一方の端部には、座面ブロック支持機構や、ク
ランプ部材が取着され、光学素子３８を直接挟持するよ
うになっている。

【０１８２】このようにしても、前記第２実施形態の光
学素子保持装置１２１とほぼ同様の効果が得られる。ま
た、レンズ枠体１２２に設けられた座面ブロック支持機
構や、クランプ部材に限らず、他の機構で光学素子３８
をレンズ枠体１２２に保持してもよい。

【０１８３】（第４実施形態）次に、本発明の光学素子
保持装置の第４実施形態について、前記各実施形態とは
異なる部分を中心に説明する。

【０１８４】図２４は、この第４実施形態の光学素子保
持装置１３６を模式的に示した斜視図である。図２４に
示すように、この光学素子保持装置で１３６は、前記第
１実施形態の光学素子保持装置３９において、位置調整
機構１０８が省略されたものである。具体的には、前記
第１実施形態の光学素子保持装置３９において、垂直方
向駆動レバー８５ａ及び水平方向駆動レバー８５ｂと、
さらに両駆動レバー８５ａ，８５ｂの変位を調整する調
整ワッシャ９９及び調整ボタン１００と、それらの周辺
構成が省略されたものとなっている。

【０１８５】このように構成しても、光学素子３８をレ
ンズ枠体４２に載置したときに、フレクシャ部材４１の
作用により、前記極座標系Ｒ−θ−Ｚ系に沿う３つの移
動と、前記３つの座標軸Ｒ、θ、Ｚ周りの回転との６つ
の運動自由度が確保される。従って、光学素子３８をキ
ネマティックに前記枠体４０上に保持することができ
て、光学素子３８の位置調整の範囲が小さくなるもの
の、前記第１実施形態の光学素子保持装置３９とほぼ同
様の効果が得られる。

【０１８６】（第５実施形態）次に、本発明の光学素子
保持装置の第５実施形態について、前記各実施形態とは
異なる部分を中心に説明する。

【０１８７】図２５は、この第５実施形態の光学素子保
持装置１４１を模式的に示した斜視図である。図２５に
示すように、この光学素子保持装置で１４１では、前記
第２実施形態の光学素子保持装置１２１において、剛体
１４２の形状が変更されているとともに、各剛体１４２
の途中に距離調整機構をなす長さ調整機構１４３が配設
されたものとなっている。また、各剛体１４２は、２本
ずつ、その一端側の回転ピボット１４４が非常に近接配
置され、２本の剛体１４２が１つの回転ピボットをほぼ
共有するようになっている。

【０１８８】図２６は１本の前記剛体１４２を示す断面
図であり、図２７は図２６における２７−２７線での断
面図となっている。図２６及び図２７に示すように、剛
体１４２は金属製の円柱で形成されており、その両端の
近傍には断面略Ｕ字状の環状溝からなる回転ピボット１
４４が切り欠き形成されている。この回転ピボット１４
４は、前記第１実施形態のフレクシャ首部８９ａ〜８９
ｄと同様な作用を奏する。この回転ピボット１４４のご
く近傍に、他の剛体１４２の回転ピボット１４４が接続
されている。そして、前記各剛体１４２は、その一端が
固定部としての前記枠体１２４に直接固定され、他端が
取り付け部材１２６を介して前記レンズ枠体１２２に固
定されている。

【０１８９】前記長さ調整機構１４３は、例えばピエゾ
素子からなり、露光装置３１全体の動作を制御する制御
装置としての主制御装置１４５に接続されている。この
主制御装置１４５では、前記露光装置３１の投影光学系
３５の像面上に形成された前記レチクルＲｔ上のパター
ンの像に基づいて、前記投影光学系３５の収差情報が検
出されるようになっている。また、この主制御装置１４
５には、前記長さ調整装置１４３から自身の伸長長さの
情報が入力され、この主制御装置１４５において、各長
さ調整機構１４３からの伸長長さの情報から前記レンズ
枠体１２２と枠体１２４との距離が求められるようにな
っている。そして、主制御装置１４５は、前記収差情報
と、前記レンズ枠体１２２と枠体１２４との距離とに基
づいて、前記各長さ調整機構１４３の伸長長さを制御す
るようになっている。これにより、前記レンズ枠体１２
２と枠体１２４との距離が調整され、前記投影光学系３
５の収差を補正される。

【０１９０】このように構成された第５実施形態によれ
ば、前記第１実施形態に記載の（イ）、（ホ）、
（チ）、（ラ）、（ウ）及び（オ）の効果とほぼ同様の
効果に加えて、次の効果を得ることができる。

【０１９１】（ヤ） この光学素子保持装置１４１で
は、主制御装置１４５がレンズ枠体１２２と枠体１２４
との間の距離を検出するようになっている。そして、主
制御装置１４５は、その検出結果と投影光学系３５の像
面側に形成されたパターンの像に含まれる収差情報とに
基づいて、前記レンズ枠体１２２と前記枠体１２４との
距離を調整すべく、長さ調整機構１４３の状態を制御す
るようになっている。

【０１９２】このため、投影光学系３５に残存する収差
をより正確に補正することができて、露光精度を一層向
上させることができる。しかも、長さ調整機構１４３に
ピエゾ素子を採用することで、前記レンズ枠体１２２と
前記枠体１２４との距離を調整を電気的にリアルタイム
で行うことができ、投影光学系３５の収差をその投影光
学系３５の状態変化に追従させつつ補正することができ
る。

【０１９３】（ク） この光学素子保持装置１４１で
は、レンズ枠体１２２と枠体１２４との距離を、長さ調
整機構１４３により、それらを接続する剛体１４２の長
さを調整することにより行っている。このようにすれ
ば、簡単な構成で、前記レンズ枠体１２２と前記枠体１
２４ととの間の距離を調整できて、光学素子３８の上下
変位及びチルト変位の範囲を拡大することができる。

【０１９４】（変形例）なお、本発明の実施形態は、以
下のように変形してもよい。 ・ 前記第１実施形態では、調整ワッシャ９９及び調整
ボタン１００を選択的に嵌合させることで各駆動レバー
８５ａ，８５ｂに付与される駆動力を設定するように構
成した。これに対して、例えばピエゾ等のアクチュエー
タを用いて、各駆動レバー８５ａ，８５ｂに付与される
駆動力を設定するようにしてもよい。また、レンズ枠体
４２の位置を常時検出するようなセンサを設けて、リア
ルタイムに光学素子３８の姿勢を制御するようにしても
よい。

【０１９５】・ 前記第１実施形態では、押さえ面ブロ
ック６３がパッド部材４７を介して、光学素子３８のフ
ランジ部３８ａを押圧するように構成した。これに対し
て、パッド部材４７を省略して、押さえ面ブロック６３
が直接フランジ部３８ａを押圧するようにしてもよい。
この場合、押さえ面ブロック６３の押さえ面６５は、座
面４９と同様に平面状に形成することが望ましい。

【０１９６】・ 前記第１実施形態では、座面４９を座
面ブロック５０ａにおける光学素子３８との対向面の両
端に２つ設けたが、その対向面のほぼ全面に座面を形成
してもよいし、３つ以上の座面を形成してもよい。押さ
え面ブロック６３の押さえ面６５も、同様に、その対向
面のほぼ全面に形成してもよいし、３つ以上を形成して
もよい。このように、座面４９を前記対向面の全面にわ
たって形成することで、例えば蛍石等の、さらに破壊強
度の小さな硝材を保持が可能となる。

【０１９７】・ 前記第１実施形態の押さえ面ブロック
支持機構６４では、長く延長された腕部６６の弾性作用
で、押さえ面ブロック６３を付勢するようになってい
る。これに対して、この腕部６６に代えて、例えば板状
の板バネ、コイルバネ等を採用して押さえ面ブロック６
３を付勢するようにしてもよい。

【０１９８】・ 前記各実施形態では、光学素子３８と
してレンズが例示されているが、この光学素子３８は平
行平板、ミラー、ハーフミラー等の他の光学素子であっ
てもよい。

【０１９９】・ この発明の光学素子保持装置３９は、
前記各実施形態の露光装置３１の投影光学系３５におけ
る横置きタイプの光学素子３８の保持構成に限定される
ことなく、例えば露光装置３１の照明光学系３３におけ
る光学素子の保持構成、縦置きタイプの光学素子３８の
保持構成に具体化してもよい。さらに、他の光学機械、
例えば顕微鏡、干渉計等の光学系における光学素子の保
持構成に具体化してもよい。加えて、この発明の保持装
置は、例えばウエハステージ等の位置決め機能を持った
ステージ、鏡筒３７の露光装置３１の架台に対する保持
装置等に具体化してもよい。

【０２００】以上のようにした場合でも、前記実施形態
における効果とほぼ同様の効果が得られる。 ・ また、露光装置として、投影光学系を用いることな
く、マスクと基板とを密接させてマスクのパターンを露
光するコンタクト露光装置、マスクと基板とを近接させ
てマスクのパターンを露光するプロキシミティ露光装置
の光学系にも適用することができる。また、投影光学系
としては、全屈折タイプに限らず、反射屈折タイプであ
ってもよい。

【０２０１】さらに、本発明の露光装置は、縮小露光型
の露光装置に限定されるものではなく、例えば等倍露光
型、拡大露光型の露光装置であってもよい。また、半導
体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装
置、ＥＵＶ露光装置、Ｘ線露光装置、及び電子線露光装
置などで使用されるレチクルまたはマスクを製造するた
めに、マザーレチクルからガラス基板やシリコンウエハ
などへ回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適
用できる。ここで、ＤＵＶ（深紫外）やＶＵＶ（真空紫
外）光などを用いる露光装置では一般に透過型レチクル
が用いられ、レチクル基板としては、石英ガラス、フッ
素がドープされた石英ガラス、蛍石、フッ化マグネシウ
ム、または水晶などが用いられる。また、プロキシミテ
ィ方式のＸ線露光装置や電子線露光装置などでは、透過
型マスク（ステンシルマスク、メンバレンマスク）が用
いられ、マスク基板としてはシリコンウエハなどが用い
られる。

【０２０２】もちろん、半導体素子の製造に用いられる
露光装置だけでなく、液晶表示素子（ＬＣＤ）などを含
むディスプレイの製造に用いられてデバイスパターンを
ガラスプレート上へ転写する露光装置、薄膜磁気ヘッド
等の製造に用いられて、デバイスパターンをセラミック
ウエハ等へ転写する露光装置、及びＣＣＤ等の撮像素子
の製造に用いられる露光装置などにも本発明を適用する
ことができる。

【０２０３】さらに、本発明は、マスクと基板とが相対
移動した状態でマスクのパターンを基板へ転写し、基板
を順次ステップ移動させるスキャニング・ステッパ、マ
スクと基板とが静止した状態でマスクのパターンを基板
へ転写し、基板を順次ステップ移動させるステップ・ア
ンド・リピート方式のステッパとを問わず適用すること
ができる。

【０２０４】・ また、露光装置の光源としては、例え
ばｇ線（４３６ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、ＫｒＦエ
キシマレーザ（２４８ｎｍ）、Ｆ₂レーザ（１５７ｎ
ｍ）、Ｋｒ₂レーザ（１４６ｎｍ）、Ａｒ₂レーザ（１２
６ｎｍ）等を用いてもよい。また、ＤＦＢ半導体レーザ
またはファイバレーザから発振される赤外域、または可
視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム（または
エルビウムとイッテルビウムの双方）がドープされたフ
ァイバアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光
に波長変換した高調波を用いてもよい。

【０２０５】なお、前記実施形態の露光装置３１は、例
えば次のように製造される。すなわち、まず、照明光学
系３３、投影光学系３５を構成する複数のレンズまたは
ミラー等の光学素子３８の少なくとも一部を前記各実施
形態または前記各変形例の実施形態の光学素子保持装置
３９で保持し、この照明光学系３３及び投影光学系３５
を露光装置３１の本体に組み込み、光学調整を行う。次
いで、多数の機械部品からなるウエハステージ３６（ス
キャンタイプの露光装置の場合は、レチクルステージ３
４も含む）を露光装置３１の本体に取り付けて配線を接
続する。そして、露光光ＥＬの光路内にガスを供給する
ガス供給配管を接続した上で、さらに総合調整（電気調
整、動作確認など）を行う。

【０２０６】ここで、光学素子保持装置３９を構成する
各部品は、超音波洗浄などにより、加工油や、金属物質
などの不純物を落としたうえで、組み上げられる。な
お、露光装置３１の製造は、温度、湿度や気圧が制御さ
れ、かつクリーン度が調整されたクリーンルーム内で行
うことが望ましい。

【０２０７】前記実施形態における硝材として、蛍石、
石英などを例に説明したが、フッ化リチウム、フッ化マ
グネシウム、フッ化ストロンチウム、リチウム−カルシ
ウム−アルミニウム−フロオライド、及びリチウム−ス
トロンチウム−アルミニウム−フロオライド等の結晶
や、ジルコニウム−バリウム−ランタン−アルミニウム
からなるフッ化ガラスや、フッ素をドープした石英ガラ
ス、フッ素に加えて水素もドープされた石英ガラス、Ｏ
Ｈ基を含有させた石英ガラス、フッ素に加えてＯＨ基を
含有した石英ガラス等の改良石英を用いた場合にも、前
記実施形態の光学素子保持装置３９を適用することがで
きる。

【０２０８】次に、上述した露光装置３１をリソグラフ
ィ工程で使用したデバイスの製造方法の実施形態につい
て説明する。図２８は、デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半
導体素子、液晶表示素子、撮像素子（ＣＣＤ等）、薄膜
磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造例のフローチャ
ートを示す図である。図２８に示すように、まず、ステ
ップＳ１５１（設計ステップ）において、デバイス（マ
イクロデバイス）の機能・性能設計（例えば、半導体デ
バイスの回路設計等）を行い、その機能を実現するため
のパターン設計を行う。引き続き、ステップＳ１５２
（マスク製作ステップ）において、設計した回路パター
ンを形成したマスク（レクチルＲｔ等）を製作する。一
方、ステップＳ１５３（基板製造ステップ）において、
シリコン、ガラスプレート等の材料を用いて基板（シリ
コン材料を用いた場合にはウエハＷとなる。）を製造す
る。

【０２０９】次に、ステップＳ１５４（基板処理ステッ
プ）において、ステップＳ１５１〜Ｓ１５３で用意した
マスクと基板を使用して、後述するように、リソグラフ
ィ技術等によって基板上に実際の回路等を形成する。次
いで、ステップＳ１５５（デバイス組立ステップ）にお
いて、ステップＳ１５４で処理された基板を用いてデバ
イス組立を行う。このステップＳ１５５には、ダイシン
グ工程、ボンディング工程、及びパッケージング工程
（チップ封入等）等の工程が必要に応じて含まれる。

【０２１０】最後に、ステップＳ１５６（検査ステッ
プ）において、ステップＳ１５５で作製されたデバイス
の動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こう
した工程を経た後にデバイスが完成し、これが出荷され
る。

【０２１１】図２９は、半導体デバイスの場合におけ
る、図２８のステップＳ１５４の詳細なフローの一例を
示す図である。図２０において、ステップＳ１６１（酸
化ステップ）では、ウエハＷの表面を酸化させる。ステ
ップＳ１６２（ＣＶＤステップ）では、ウエハＷ表面に
絶縁膜を形成する。ステップＳ１６３（電極形成ステッ
プ）では、ウエハＷ上に電極を蒸着によって形成する。
ステップＳ１６４（イオン打込みステップ）では、ウエ
ハＷにイオンを打ち込む。以上のステップＳ１６１〜Ｓ
１６４のそれぞれは、ウエハ処理の各段階の前処理工程
を構成しており、各段階において必要な処理に応じて選
択されて実行される。

【０２１２】ウエハプロセスの各段階において、上述の
前処理工程が終了すると、以下のようにして後処理工程
が実行される。この後処理工程では、まず、ステップＳ
１６５（レジスト形成ステップ）において、ウエハＷに
感光剤を塗布する。引き続き、ステップＳ１６６（露光
ステップ）において、先に説明したリソグラフィシステ
ム（露光装置３１）によってマスク（レチクルＲｔ）の
回路パターンをウエハＷ上に転写する。次に、ステップ
Ｓ１６７（現像ステップ）では露光されたウエハＷを現
像し、ステップＳ１６８（エッチングステップ）におい
て、レジストが残存している部分以外の部分の露出部材
をエッチングにより取り去る。そして、ステップＳ１６
９（レジスト除去ステップ）において、エッチングが済
んで不要となったレジストを取り除く。

【０２１３】これらの前処理工程と後処理工程とを繰り
返し行うことによって、ウエハＷ上に多重に回路パター
ンが形成される。以上説明した本実施形態のデバイス製
造方法を用いれば、露光工程（ステップＳ１６６）にお
いて上記の露光装置３１が用いられ、真空紫外域の露光
光ＥＬにより解像力の向上が可能となり、しかも露光量
制御を高精度に行うことができる。従って、結果的に最
小線幅が０．１μｍ程度の高集積度のデバイスを歩留ま
りよく生産することができる。

【０２１４】

【発明の効果】以上詳述したように、本願請求項１に記
載の発明によれば、厳密な加工を施すことなく、被保持
部材の姿勢を微妙に調整することができて、被保持部材
の位置決めを容易かつ精度よく行うことができる。

【０２１５】また、本願請求項２に記載の発明によれ
ば、前記請求項１に記載の発明の効果に加えて、支持部
材と固定部とをともに厳密に加工することなく、被保持
部材の位置決めを容易かつ精度よく行うことができる。

【０２１６】また、本願請求項３に記載の発明によれ
ば、前記請求項２に記載の発明の効果に加えて、簡単な
構成でもって、支持部材により支持される被保持部材
を、簡単な構成でキネマティックに保持することができ
る。

【０２１７】また、本願請求項４に記載の発明によれ
ば、前記請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載
の発明の効果に加えて、被保持部材の変位の範囲を拡大
することができる。

【０２１８】また、本願請求項５に記載の発明によれ
ば、前記請求項１〜請求項４のうちいずれか一項に記載
の発明の作用に加えて、被保持部材を特定の方向に変位
させることができる。

【０２１９】また、本願請求項６に記載の発明によれ
ば、前記請求項１に記載の発明の効果に加えて、被保持
部材の精度を保ちつつ、その被保持部材を変位させるこ
とができる。

【０２２０】また、本願請求項７に記載の発明によれ
ば、前記請求項６に記載の発明の効果に加えて、被保持
部材の位置決めを簡単な構成で実現できるとともに、被
保持部材を安定して保持することができる。

【０２２１】また、本願請求項８に記載の発明によれ
ば、前記請求項６または請求項７に記載の発明の効果に
加えて、固定基部と一対のリンク機構との協働により、
接続ブロックに前記少なくとも５つの運動自由度を与え
ることができる。特に、請求項２に記載の発明の下で
は、被保持部材を、いわゆるキネマティックに保持する
ことができる。

【０２２２】また、本願請求項９に記載の発明によれ
ば、前記請求項８に記載の発明の効果に加えて、リンク
機構の構成の簡素化を図ることができる。また、本願請
求項１０に記載の発明によれば、前記請求項８または請
求項９に記載の発明の効果に加えて、固定基部と接続ブ
ロックとを連結する一対のリンク機構の回転を簡単な構
成で実現できる。

【０２２３】また、本願請求項１１に記載の発明によれ
ば、前記請求項８〜請求項１０のうちいずれか一項に記
載の発明の効果に加えて、設計の自由度を増すことがで
きる。

【０２２４】また、本願請求項１２及び請求項１３に記
載の発明によれば、前記請求項１１に記載の発明の効果
に加えて、例えば被保持部材が枠体の内部に収容される
ような場合において、特に有用である。

【０２２５】また、本願請求項１４に記載の発明によれ
ば、部品点数の増大を招くことなく、しかも簡単な構成
で、前記請求項８〜請求項１３のうちいずれか一項に記
載の発明の効果を実現可能できる。

【０２２６】また、本願請求項１５に記載の発明によれ
ば、前記請求項１４に記載の発明の効果に加えて、駆動
機構に付与される駆動力を、正確に被保持部材に対する
上下方向への駆動力に変換することができる。

【０２２７】また、本願請求項１６に記載の発明によれ
ば、前記請求項１５に記載の発明の効果に加えて、駆動
機構に付与される駆動力を、正確に被保持部材に対する
水平方向への駆動力に変換することができる。

【０２２８】また、本願請求項１７に記載の発明によれ
ば、前記請求項６〜請求項１６のうちいずれか一項に記
載の発明の効果に加えて、フレクシャ部材と変位部材と
を離隔させることができて、設計の自由度を向上するこ
とができる。

【０２２９】また、本願請求項１８に記載の発明によれ
ば、前記請求項１７に記載の発明の効果に加えて、フレ
クシャ部材を介して被保持部材を容易かつ正確に微小変
位させることができる。

【０２３０】また、本願請求項１９に記載の発明によれ
ば、前記請求項１７または請求項１８に記載の発明の効
果に加えて、より正確な被保持部材の位置制御を行うこ
とができる。

【０２３１】また、本願請求項２０に記載の発明によれ
ば、簡単な構成で、前記請求項１９に記載の発明の効果
を実現できる。また、本願請求項２１に記載の発明によ
れば、２つの操作部の操作によって光学素子の姿勢を容
易かつより正確に制御することができる。

【０２３２】また、本願請求項２２に記載の発明によれ
ば、前記請求項２１に記載の発明の効果に加えて、機構
の簡素化を図ることができて、設計を容易に行うことが
できる。

【０２３３】また、本願請求項２３に記載の発明によれ
ば、光学素子保持装置において、前記請求項１〜請求項
２０に記載の発明の優れた効果を実現することができ
る。また、本願請求項２４に記載の発明によれば、前記
請求項２１〜請求項２３のうちいずれか一項に記載の発
明の効果に加えて、光学素子保持装置の全体構成を小型
化することができる。

【０２３４】また、本願請求項２５及び請求項２６に記
載の発明によれば、内部の光学素子をより正確に位置決
めすることができ、鏡筒全体の結像性能の向上を図るこ
とができる。

【０２３５】また、本願請求項２７に記載の発明によれ
ば、投影光学系の結像性能を向上させることができて、
露光精度の向上を図ることができる。また、本願請求項
２８に記載の発明によれば、前記請求項２７に記載の発
明の効果に加えて、投影光学系に残存または発生する収
差をより正確に補正することができて、露光精度を一層
向上させることができる。

【０２３６】また、本願請求項２９に記載の発明によれ
ば、露光精度を向上することができて、高集積度のデバ
イスを歩留まりよく製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施形態の露光装置の概要を示
す構成図。

【図２】 本発明の第１実施形態の光学素子保持装置を
示す斜視図。

【図３】 図２の光学素子保持装置の平面図。

【図４】 図２の光学素子保持装置の側面図。

【図５】 図３の５−５線断面図。

【図６】 図２のレンズ枠体を示す部分拡大斜視図。

【図７】 図２の保持部を示す部分拡大斜視図。

【図８】 図２の枠体を示す斜視図。

【図９】 図２のフレクシャ本体の周辺構成を示す部分
拡大平面図。

【図１０】 図２のフレクシャ本体の周辺構成を示す部
分拡大側面図。

【図１１】 図１０のフレクシャ本体を中心に示す部分
拡大側面図。

【図１２】 図９の１２−１２線断面図。

【図１３】 図９の１３−１３線断面図。

【図１４】 図２の光学素子保持装置を積層状態で示す
斜視図。

【図１５】 図２の光学素子保持装置を模式的に示す説
明図。

【図１６】 図２の１つのフレクシャ部材の動作を模式
的に示す説明図。

【図１７】 光学素子の平行移動に関する説明図。

【図１８】 図２のレンズ枠体の基台部材の取付に関す
る部分斜視図。

【図１９】 図２の枠体のフレクシャ本体の取付に関す
る部分斜視図。

【図２０】 第２実施形態の光学素子保持装置を模式的
に示す説明図。

【図２１】 図２０の剛体を示す断面図。

【図２２】 図２１の２２−２２線断面図。

【図２３】 第３実施形態の光学素子保持装置を模式的
に示す説明図。

【図２４】 第４実施形態の光学素子保持装置を模式的
に示す説明図。

【図２５】 第５実施形態の光学素子保持装置を模式的
に示す説明図。

【図２６】 図２５の剛体を示す断面図。

【図２７】 図２６の２７−２７線断面図。

【図２８】 デバイスの製造例のフローチャート。

【図２９】 半導体デバイスの場合における図２８の基
板処理に関する詳細なフローチャート。

【図３０】 従来構成の光学素子保持装置を示す分解斜
視図。

【図３１】 図３０の光学素子保持装置の断面図。

【符号の説明】

３１…露光装置、３５…投影光学系、３７…鏡筒、３７
ａ…鏡筒モジュール、３８…被保持部材としての光学素
子、３８ａ…周縁部をなすフランジ部、３９，１２１，
１３１，１３６，１４１…光学素子保持装置、４０，１
２４…固定部としての枠体、４１…フレクシャ部材、４
２，１２２…保持部としてのレンズ枠体、４３…支持部
材、４９…座面、５０…座面ブロック、８４ａ…接続ブ
ロック、８５ａ…変位部材及び伝達部をなす垂直方向駆
動レバー、８５ｂ…変位部材及び伝達部をなす水平方向
駆動レバー、８８ａ…貫通孔としての矩形貫通孔、８９
ａ…回転ピボット及び第２切欠ばねをなす第１フレクシ
ャ首部、８９ｂ…回転ピボット及び第３切欠ばねをなす
第２フレクシャ首部、８９ｃ…回転ピボット及び切欠ば
ねをなす第３フレクシャ首部、８９ｄ…回転ピボット及
び切欠ばねをなす第４フレクシャ首部、９０ａ…変換機
構及び第１切欠ばねとしての第１薄肉部、９０ｂ…変換
機構及び第１切欠ばねとしての第２薄肉部、９１…固定
基部としてのフレクシャ固定部、９３…交差方向拘束リ
ンクとしての垂直方向拘束リンク、９３ａ…剛体をなす
第１拘束ブロック、９４…水平方向拘束リンク、９４ａ
…剛体をなす第２拘束ブロック、９９…変位量設定部材
としての調整ワッシャ、１００…変位量設定部材として
の調整ボタン、１０２…操作部をなすリフトレバー、１
０６ａ，１０６ｂ，１２３，１４２…剛体、１０７ａ〜
１０７ｄ，１２５，１４４…回転ピボット、１０８…駆
動機構及び距離調整機構をなす位置調整機構、１４３…
駆動機構及び距離調整機構をなす長さ調整機構、１４５
…制御機構としての主制御装置、Ｒｔ…マスクとしての
レチクル、Ｗ…基板としてのウエハ。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５１５Ｄ

Claims (29)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被保持部材を保持する保持部を備える保
   持装置において、 前記保持部は、前記被保持部材の略中心を原点とした互
   いに交差する３つの座標軸に沿う３つの移動と、前記３
   つの座標軸のうち少なくとも２つの座標軸周りに回転す
   る２つの回転とを前記被保持部材に与える駆動機構とを
   有することを特徴とする保持装置。
2. 【請求項２】 前記保持部は、前記被保持部材を支持す
   る支持部材と、前記保持部が取り付けられる固定部とを
   有し、 前記駆動機構は、前記支持部材と、前記固定部との間に
   配置されることを特徴とする請求項１に記載の保持装
   置。
3. 【請求項３】 前記駆動機構は、所定の長さを有する６
   本の剛体で構成されることを特徴とする請求項２に記載
   の保持装置。
4. 【請求項４】 前記駆動機構は、前記支持部材と前記固
   定部との間の距離を調整する距離調整機構を有すること
   を特徴とする請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に
   記載の保持装置。
5. 【請求項５】 前記距離調整機構は、前記６本の剛体の
   うち特定の剛体の長さを調整する長さ調整機構を有する
   ことを特徴とする請求項４に記載の保持装置。
6. 【請求項６】 前記駆動機構は、前記被保持部材に取り
   付けられる複数のフレクシャ部材と、前記複数のフレク
   シャ部材のうち、少なくとも一つのフレクシャ部材に取
   り付けられ、前記３つの移動と前記２つの回転とを前記
   被保持部材に与えるために、前記フレクシャ部材を変位
   させる変位部材とを有することを特徴とする請求項１に
   記載の保持装置。
7. 【請求項７】 前記複数のフレクシャ部材は、前記被保
   持部材の周りに等間隔で３つ配置されていることを特徴
   とする請求項６に記載の保持装置。
8. 【請求項８】 前記複数のフレクシャ部材は、前記保持
   部が取り付けられる固定部に固定される固定基部と、前
   記被保持部材に接続される接続ブロックと、前記固定基
   部と前記接続ブロックとを互いに異なる方向に沿って拘
   束し、かつ前記互いに異なる方向のそれぞれの周りに回
   転可能に支持する一対のリンク機構とを備えたことを特
   徴とする請求項６または請求項７に記載の保持装置。
9. 【請求項９】 前記一対のリンク機構は、前記固定基部
   と前記接続ブロックとを水平方向に沿って拘束し、かつ
   前記水平方向の周りに回転可能に連結する水平方向拘束
   リンクと、前記固定基部と前記接続ブロックとを前記水
   平方向と交差する交差方向に沿って拘束し、かつ前記交
   差方向の周りに回転可能に連結する交差方向拘束リンク
   とからなることを特徴とする請求項８に記載の保持装
   置。
10. 【請求項１０】 前記固定基部と前記接続ブロックと前
    記リンク機構とを回転ピボットで連結したことを特徴と
    する請求項８または請求項９に記載の保持装置。
11. 【請求項１１】 前記駆動機構は、前記変位部材に付与
    される所定方向の駆動力を、前記所定方向の駆動力と前
    記所定方向とは異なる方向の駆動力との少なくとも一方
    に変換する変換機構を有することを特徴とする請求項８
    〜請求項１０のうちいずれか一項に記載の保持装置。
12. 【請求項１２】 前記変換機構は、前記変位部材に付与
    される上下方向の駆動力を前記複数のフレクシャ部材を
    介して前記被保持部材に対する水平方向への駆動力に変
    換することを特徴とする請求項１１に記載の保持装置。
13. 【請求項１３】 前記変換機構は、前記変位部材に付与
    される上下方向の駆動力を前記複数のフレクシャ部材を
    介して前記被保持部材に対する上下方向の駆動力に変換
    することを特徴とする請求項１１に記載の保持装置。
14. 【請求項１４】 前記フレクシャ部材のそれぞれは、前
    記固定基部と前記接続ブロックと前記一対のリンク機構
    とが単一部材で形成され、前記フレクシャ部材は、前記
    固定基部、前記接続ブロック及び前記一対のリンク機構
    を連結する複数の切欠ばねを有することを特徴とする請
    求項８〜請求項１３のうちいずれか一項に記載の保持装
    置。
15. 【請求項１５】 前記変換機構は、前記固定基部に形成
    された複数の切欠ばねを有し、前記一対のリンク機構の
    うち、前記交差方向拘束リンクに連結される第１切欠ば
    ねと、前記フレクシャ部材に前記変位部材を介して付与
    される駆動力を、前記所定方向とは異なる方向への駆動
    力に変換するために用いられる第２切欠ばねとを含み、
    前記第１切欠ばねと前記第２切欠ばねとは、前記被保持
    部材に対する水平方向における同一面内に配置されるこ
    とを特徴とする請求項１４に記載の保持装置。
16. 【請求項１６】 前記複数の切欠ばねは、前記一対のリ
    ンク機構のうち、前記交差方向拘束リンクと前記接続ブ
    ロックとを連結する第３切欠ばねを有し、 前記第１切欠ばねと前記第３切欠ばねとは、前記被保持
    部材に対する垂直方向における同一面内に配置されるこ
    とを特徴とする請求項１５に記載の保持装置。
17. 【請求項１７】 前記変位部材は、付与される駆動力を
    前記フレクシャ部材に伝達する伝達部を有することを特
    徴とする請求項６〜請求項１６のいずれか一項に記載の
    保持装置。
18. 【請求項１８】 前記伝達部は、前記変位部材に付与さ
    れた駆動力を所定の割合で低減して前記フレクシャ部材
    に伝達することを特徴とする請求項１７に記載の保持装
    置。
19. 【請求項１９】 前記変位部材には、前記被保持部材の
    変位量を設定する変位量設定部材を備えることを特徴と
    する請求項１７または請求項１８に記載の保持装置。
20. 【請求項２０】 前記変位量設定部材は、前記伝達部と
    前記固定部との間に配置され、前記伝達部と前記固定部
    との間の間隔を調整することによって、任意の変位量を
    設定することを特徴とする請求項１９に記載の保持装
    置。
21. 【請求項２１】 光学素子の周縁部を保持する保持部を
    備える光学素子保持装置において、 前記保持部は、前記光学素子の周縁部の３箇所に対応す
    る位置で前記光学素子を保持する３つのフレクシャ部材
    と、 前記少なくとも１つのフレクシャ部材に接続される２つ
    の操作部とを備え、一方の前記操作部の操作によって、
    前記３つのフレクシャ部材を介して前記光学素子を第１
    の方向へ移動し、他方の前記操作部の操作によって、前
    記３つのフレクシャ部材を介して前記光学素子を前記第
    １の方向とは異なる第２の方向に移動するように前記光
    学素子を保持することを特徴とする光学素子保持装置。
22. 【請求項２２】 前記第１の方向が前記光学素子の接線
    方向に沿う方向であり、前記第２の方向が前記光学素子
    の光軸方向に沿う方向であることを特徴とする請求項２
    １に記載の光学素子保持装置。
23. 【請求項２３】 光学素子の周縁部を保持する保持部
    と、前記保持部が取り付けられる固定部とを備える光学
    素子保持装置において、 前記保持部は、請求項１〜請求項２０のうちいずれか一
    項に記載の保持装置を介して、前記固定部に連結されて
    いることを特徴とする光学素子保持装置。
24. 【請求項２４】 前記保持部は、前記光学素子を収容
    し、かつ前記光学素子の周縁部に係合する座面が形成さ
    れた複数の座面ブロックを備える枠体を有し、前記３つ
    のフレクシャ部材は、前記枠体に対し、前記座面ブロッ
    クの間にそれぞれ配置されることを特徴とする請求項２
    １〜請求項２３のうちいずれか一項に記載の光学素子保
    持装置。
25. 【請求項２５】 内部に複数の光学素子を保持する鏡筒
    において、 前記光学素子の少なくとも１つを、請求項２１〜請求項
    ２４のうちいずれか一項に記載の光学素子保持装置を介
    して保持したことを特徴とする鏡筒。
26. 【請求項２６】 １つ以上の光学素子を収容する少なく
    とも１つの鏡筒モジュールを有する鏡筒において、 前記少なくとも１つの鏡筒モジュールは、前記光学素子
    の少なくとも１つを保持する請求項２１〜請求項２４の
    うちいずれか一項に記載の光学素子保持装置を備えたこ
    とを特徴とする鏡筒。
27. 【請求項２７】 マスク上に形成されたパターンの像を
    投影光学系を介して基板上に転写する露光装置におい
    て、 前記投影光学系は、前記請求項２５または請求項２６に
    記載の鏡筒を有することを特徴とする露光装置。
28. 【請求項２８】 前記光学素子保持装置は、前記保持部
    と前記固定部との間の距離を検出し、その検出結果と前
    記投影光学系の像面側に形成された前記パターンの像に
    含まれる収差情報とに基づいて、前記保持部と前記固定
    部との距離を調整すべく、前記駆動機構の状態を制御す
    る制御機構を有することを特徴とする請求項２７に記載
    の露光装置。
29. 【請求項２９】 請求項２７または請求項２８に記載の
    露光装置を用いてマイクロデバイスを製造することを特
    徴とするマイクロデバイスの製造方法。