JP2007201342A - 光学部材保持装置、光学ユニット、及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光学部材を広いストロークで、かつ高精度に調整する。
【解決手段】分割鏡筒12Aに対してミラーM1を移動可能に保持する投影光学系POであって、ミラーM1を保持するインナーリング21と、分割鏡筒12Aの位置を広い範囲で大まかに調整するワッシャ14Aと、分割鏡筒12Aに対するインナーリング21の位置を中程度のストロークで中程度の精度で調整するレバー方式調整機構24と、分割鏡筒12Aに対するインナーリング21の位置を狭いストロークで高精度に調整するパラレルリンク機構22とを有する。
【選択図】図4
【解決手段】分割鏡筒12Aに対してミラーM1を移動可能に保持する投影光学系POであって、ミラーM1を保持するインナーリング21と、分割鏡筒12Aの位置を広い範囲で大まかに調整するワッシャ14Aと、分割鏡筒12Aに対するインナーリング21の位置を中程度のストロークで中程度の精度で調整するレバー方式調整機構24と、分割鏡筒12Aに対するインナーリング21の位置を狭いストロークで高精度に調整するパラレルリンク機構22とを有する。
【選択図】図4
Description
本発明は、光学部材を移動可能に保持する光学部材保持装置、該光学部材保持装置を備える光学ユニット、及び該光学ユニットを投影光学系として具備する露光装置に関する。
従来より、半導体素子、液晶表示素子等を製造するためのリソグラフィ工程では、マスクとしてのレチクルに形成されたパターンを、投影光学系を介してレジスト等が塗布されたウエハ又はガラスプレート等の基板上に転写する露光装置が用いられている。この種の露光装置としては、近年では、ステッパ等の一括露光方式及びスキャニングステッパ等の走査露光型の投影露光装置が主に用いられている。
露光装置では、従来、露光ビーム(露光用の照明光)として水銀ランプからの輝線(例えばi線)やKrFエキシマレーザ光(波長248nm)のような紫外光が使用されていた。最近ではより高い解像度を得るために、露光ビームとしてArFエキシマレーザ光(波長193nm)などの遠紫外光やF2 レーザ光(波長157nm)のような真空紫外光を使用する露光装置の開発も行われている。
これに対して、より微細な半導体素子等を製造するために、最近では、露光ビームとして波長が100nm程度以下の軟X線領域の光、すなわち極端紫外光(以下、EUV(Extreme Ultraviolet)光と呼ぶ。)を使用するEUV露光装置の開発も行われている。このEUV露光装置では、EUV光が透過する光学材料が現時点では存在しないため、照明光学系及び投影光学系は全て反射光学素子(ミラー)によって構成され、レチクルもまた反射型レチクルが使用される。
投影光学系として、屈折系、反射屈折系、及び反射系のいずれを用いる場合であっても、レチクルパターンの像を高解像度でウエハ上に転写するためには投影光学系の結像特性(諸収差)を調整することが必要であり、そのための手段として、投影光学系を構成する少なくとも一部の光学部材の位置・姿勢を調整する調整機構が一般的に採用される。この位置・姿勢の調整機構としては、レバーと、このレバーの動きを機械的に縮小する機構とを用いる機構が知られている(例えば、特許文献1参照)。その他の位置・姿勢の調整機構として、パラレルリンクメカニズムを採用したパラレルリンク式調整機構も知られている。
特開2002−131605号公報
従来の投影光学系としては、屈折系又は反射屈折系が主として用いられていたことから、投影光学系内部で光束が最大でも2〜3回(反射屈折系の場合)反射されるだけであったのに対し、EUV露光装置などで採用される反射系の内部では、光束が複雑に何度も折り返されるような光路を通って、多数回反射される。このような反射系でさらに結像特性を高精度に調整するためには、所定の光学部材をできるだけ広いストロークで、かつ高い精度(分解能)で調整する必要がある。しかしながら、従来のレバーを用いる機構では、調整ストロークは広いが、精度が十分でない場合があった。また、従来のパラレルリンク式調整機構では、高精度に調整できるが、調整ストロークが狭い恐れがあった。
また、投影光学系として屈折系又は反射屈折系を用いる場合でも、今後より高精度に結像特性を調整するためには、所定の光学部材の調整ストロークをより広くして、かつより高精度に調整できるようにしておくことが望まれる。
本発明は斯かる点に鑑み、光学部材の調整のストロークを広くして、かつその調整の精度を高めることができる光学部材保持技術及び光学ユニットを提供することを目的とする。さらに本発明は、そのような光学ユニットを投影光学系として備えた露光装置を提供することをも目的とする。
本発明は斯かる点に鑑み、光学部材の調整のストロークを広くして、かつその調整の精度を高めることができる光学部材保持技術及び光学ユニットを提供することを目的とする。さらに本発明は、そのような光学ユニットを投影光学系として備えた露光装置を提供することをも目的とする。
本発明による第1の光学部材保持装置は、光学部材(M1)を移動可能に保持する光学部材保持装置であって、その光学部材を少なくとも1つの自由度で第1の精度及び第1のストロークで駆動する第1調整機構(22)と、その光学部材を少なくとも1つの自由度で第2の精度及び第2のストロークで駆動する第2調整機構(24)と、その光学部材を少なくとも1つの自由度で第3の精度及び第3のストロークで駆動する第3調整機構(14A)とを備え、その光学部材の駆動精度は、その第3の精度、その第2の精度、及びその第1の精度の順に高くなり、その光学部材を駆動する際のストロークは、その第3のストローク、その第2のストローク、及びその第1のストロークの順に狭くなるものである。
また、本発明による第2の光学部材保持装置は、光学部材(M1)を移動可能に保持する光学部材保持装置であって、その光学部材を収容するベース部材(12A)と、その光学部材を少なくとも1つの自由度で第1の精度及び第1のストロークで駆動する第1調整機構(22)と、その光学部材を少なくとも1つの自由度で、その第1の精度と異なる第2の精度及びその第1のストロークと異なる第2のストロークで駆動する第2調整機構(24)とを有し、その光学部材は、その第2調整機構で駆動された後、その第1調整機構で駆動されるものである。
これらの本発明によれば、3つ又は2つの調整機構を組み合わせることによって、光学部材の調整のストロークを広くして、かつその調整の精度を高めることができる。
これらの本発明によれば、3つ又は2つの調整機構を組み合わせることによって、光学部材の調整のストロークを広くして、かつその調整の精度を高めることができる。
また、本発明による光学ユニットは、複数の光学部材を備える光学ユニットにおいて、その複数の光学部材の少なくとも一つが本発明の光学部材保持装置により保持されているものである。
また、本発明による露光装置は、投影光学系(PO)を介して物体(W)上にパターンを形成する露光装置であって、本発明の光学ユニットをその投影光学系として具備するものである。本発明の光学ユニット中の光学部材は、広いストロークでかつ高精度に駆動できるため、その投影光学系が反射系である場合にも、その投影光学系の結像特性を高精度に調整できる。
なお、以上の本発明の所定要素に付した括弧付き符号は、本発明の一実施形態を示す図面中の部材に対応しているが、各符号は本発明を分かり易くするために本発明の要素を例示したに過ぎず、本発明をその実施形態の構成に限定するものではない。
また、本発明による露光装置は、投影光学系(PO)を介して物体(W)上にパターンを形成する露光装置であって、本発明の光学ユニットをその投影光学系として具備するものである。本発明の光学ユニット中の光学部材は、広いストロークでかつ高精度に駆動できるため、その投影光学系が反射系である場合にも、その投影光学系の結像特性を高精度に調整できる。
なお、以上の本発明の所定要素に付した括弧付き符号は、本発明の一実施形態を示す図面中の部材に対応しているが、各符号は本発明を分かり易くするために本発明の要素を例示したに過ぎず、本発明をその実施形態の構成に限定するものではない。
本発明によれば、狭いストロークで高精度(分解能)の第1調整機構、中程度のストロークで中程度の精度の第2調整機構、及び広いストロークで低い精度の第3調整機構を組み合わせて用いるか、又は精度及びストロークの異なる2つの調整機構を組み合わせて用いることによって、調整対象の光学部材の調整のストロークを広くして、かつその調整の精度を高めることができる。
以下、本発明の実施形態の一例につき図面を参照して説明する。本例は、露光ビームとして極端紫外光、即ちEUV(Extreme Ultraviolet)光を使用するEUV露光装置に本発明を適用したものである。
図1には、本例の露光装置10の全体構成が概略的に示されている。この露光装置10では、後述するように、投影光学系POが使用されているので、以下では、投影光学系POの光軸に平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内で図1における紙面内左右方向にY軸を取り、紙面に直交する方向にX軸を取って説明する。露光装置10は、マスクとしてのレチクルRに形成された回路パターンの一部の像を投影光学系POを介して物体としてのウエハW上に投影しつつ、レチクルRとウエハWとを投影光学系POに対して1次元方向(ここではY方向)に相対走査することによって、レチクルRの回路パターンの全体をウエハW上の複数のショット領域の各々にステップ・アンド・スキャン方式で転写するものである。
図1には、本例の露光装置10の全体構成が概略的に示されている。この露光装置10では、後述するように、投影光学系POが使用されているので、以下では、投影光学系POの光軸に平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内で図1における紙面内左右方向にY軸を取り、紙面に直交する方向にX軸を取って説明する。露光装置10は、マスクとしてのレチクルRに形成された回路パターンの一部の像を投影光学系POを介して物体としてのウエハW上に投影しつつ、レチクルRとウエハWとを投影光学系POに対して1次元方向(ここではY方向)に相対走査することによって、レチクルRの回路パターンの全体をウエハW上の複数のショット領域の各々にステップ・アンド・スキャン方式で転写するものである。
露光装置10は、軟X線領域の光、即ち波長100nm程度以下の極端紫外光(EUV光)を露光用の照明光EL(露光ビーム)として射出する光源装置1、この光源装置1からの照明光ELを反射して所定の入射角、例えば約50mradでレチクルRのパターン面(下面)に入射させる光路折り曲げ用のミラーMを含む照明光学系、レチクルRを保持するレチクルステージRST、レチクルRのパターン面で反射された照明光ELをウエハWの被露光面(上面)に対して垂直に投射する光学ユニットとしての投影光学系PO、及びウエハWを保持するウエハステージWST等を備えている。なお、ミラーMは、平面ミラーで形成され、投影光学系POの鏡筒2の内部に配置されているが、実際には照明光学系の一部である。光源装置1としては、一例として、レーザ励起プラズマ光源が用いられている。また、照明光ELとしては、一例として、主に波長5〜20nm、例えば波長11nmのEUV光が用いられる。照明光ELの気体による吸収を防止するため、露光装置10は不図示の真空チャンバ内に収容されている。
前記照明光学系は、複数の照明用ミラー、波長選択窓等(いずれも図示省略)、及びミラーM等を含んで構成されている。また、光源装置1内の集光ミラーとしての放物面鏡も照明光学系の一部を構成する。光源装置1から射出され、照明光学系の端部のミラーMで反射された照明光ELは、レチクルRのパターンの一部の領域を円弧スリット状で照明する。
前記レチクルステージRSTは、XY平面に沿って配置されたレチクルベース3上に配置され、駆動系4を構成する例えば磁気浮上型2次元リニアアクチュエータが発生する磁気浮上力によってレチクルベース3上に浮上支持されている。レチクルステージRSTは、駆動系4が発生する駆動力によってY方向に所定ストロークで駆動されるとともに、X方向及びθz方向(Z軸回りの回転方向)にも微小量駆動される。また、レチクルステージRSTは、駆動系4が複数箇所で発生する磁気浮上力の調整によってZ方向、X軸回りの回転方向(θx方向)、及びY軸回りの回転方向(θy方向)にも微小量だけ駆動可能である。
前記レチクルステージRSTは、XY平面に沿って配置されたレチクルベース3上に配置され、駆動系4を構成する例えば磁気浮上型2次元リニアアクチュエータが発生する磁気浮上力によってレチクルベース3上に浮上支持されている。レチクルステージRSTは、駆動系4が発生する駆動力によってY方向に所定ストロークで駆動されるとともに、X方向及びθz方向(Z軸回りの回転方向)にも微小量駆動される。また、レチクルステージRSTは、駆動系4が複数箇所で発生する磁気浮上力の調整によってZ方向、X軸回りの回転方向(θx方向)、及びY軸回りの回転方向(θy方向)にも微小量だけ駆動可能である。
レチクルステージRSTの下面側に不図示の静電チャック方式(又はメカチャック方式)のレチクルホルダが設けられ、該レチクルホルダによってレチクルRが保持されている。このレチクルRとしては、照明光ELがEUV光であることから反射型レチクルが用いられている。レチクルRは、シリコンウエハ、石英、低膨張ガラスなどの薄い板から成り、そのパターン面には、EUV光を反射する反射膜が形成されている。この反射膜は、モリブデンMoとベリリウムBeとの膜が交互に約5.5nmの周期で、約50ペア積層された多層膜である。この多層膜は波長11nmのEUV光に対して約70%の反射率を有する。なお、ミラーM、その他の照明光学系及び投影光学系PO内の各ミラーの反射面にも同様の構成の多層膜が形成されている。レチクルRのパターン面に形成された多層膜上には、吸収層として例えばニッケルNi又はアルミニウムAlが一面に塗布され、その吸収層にパターンニングが施されて反射部としての回路パターンが形成されている。その回路パターンで反射されたEUV光(照明光EL)が投影光学系POに向かう。
レチクルステージRST(レチクルR)のXY面内の位置(X,Y,θz)は、レチクルステージRSTに設けられた(又は形成された)反射面にレーザビームを投射するレーザ干渉計(以下、「レチクル干渉計」という)5Rによって、例えば0.5〜1nm程度の分解能で常時検出される。また、レチクルRのZ方向の位置及びXY面に対する傾斜角(θx,θy)は、そのパターン面に対し斜め方向から検出ビームを照射する送光系6Raと、そのパターン面で反射された検出ビームを受光する受光系6Rbとから構成されるフォーカスセンサによって計測されている。このフォーカスセンサとしては、例えば特開平6−283403号公報(対応米国特許第5,448,332号)等に開示される多点焦点位置検出系が用いられている。レチクル干渉計5R及びフォーカスセンサ(6Ra,6Rb)の計測値は、主制御装置(不図示)に供給され、この主制御装置がその計測値に基づいて駆動部4を介してレチクルステージRST(レチクルR)を6自由度で駆動する。
投影光学系POは、開口数NAが例えば0.1で、反射光学素子(ミラー)のみから成る反射光学系が使用されており、本例の投影倍率は1/4倍である。投影光学系POの鏡筒2には、ミラーMに入射する照明光EL及びレチクルRに入射して反射される照明光ELをそれぞれ通過させるための開口2a及び2bが形成され、投影光学系POからウエハWに入射する照明光ELを通過させるための開口(不図示)も形成されている。レチクルRによって反射された照明光ELは、投影光学系POを介してウエハW上に投射され、これによりレチクルR上のパターンは1/4に縮小されてウエハWに転写される。
前記ウエハステージWSTは、XY平面に沿って配置されたウエハベース7上に配置され、例えば磁気浮上型2次元リニアアクチュエータから成る駆動系8によってウエハベース7上に浮上支持されている。このウエハステージWSTは、駆動系8によってX方向及びY方向に例えば300〜400mmの所定ストロ−クで駆動され、θz方向にも微小量駆動される。また、ウエハステージWSTは、駆動系8によってZ方向及びXY面に対する傾斜方向にも微小量だけ駆動可能である。
ウエハステージWSTの上面には、静電チャック方式の不図示のウエハホルダが載置され、該ウエハホルダによってウエハWが吸着保持されている。ウエハステージWSTのX方向、Y方向の位置、及びX軸、Y軸、Z軸の周りの回転角θx,θy,θzは、外部に配置されたレーザ干渉計(以下、「ウエハ干渉計」という)5Wにより、例えば0.5〜1nm程度の分解能で常時検出されている。また、投影光学系POの鏡筒2を基準とするウエハWのZ方向の位置及びXY面に対する傾斜角(θx,θy)は、その被露光面に対し斜め方向から検出ビームを照射する送光系6Waと、その被露光面で反射された検出ビームを受光する受光系6Wbとから構成されるフォーカスセンサによって計測されている。このフォーカスセンサは、レチクルR用のフォーカスセンサ(6Ra,6Rb)と同様の多点焦点位置検出系である。ウエハ干渉計5W及びフォーカスセンサ(6Wa,6Wb)の計測値は、不図示の主制御装置に供給され、主制御装置はその計測値及びレチクルステージRSTの位置の計測値に基づいて、駆動系8を介してウエハステージWST(ウエハW)を6自由度で駆動する。
さらに、本実施形態では、図1に示されるように、投影光学系POの鏡筒2に、ウエハW上のアライメントマークの位置を計測するためのアライメント系ALGが固定されている。このアライメント系ALGとしては、いわゆるFIA(Field Image Alignment)方式のような画像処理方式のセンサやAFM(原子間力顕微鏡)のような走査型プローブ顕微鏡等を用いることができる。ウエハステージWST上面の一端部には、レチクルRに形成されたパターンの投影像の位置とアライメント系ALGとの相対位置関係の計測(いわゆるベースライン計測)等を行うための空間像計測部FMが設けられている。
次に、投影光学系POについて詳細に説明する。図2は、投影光学系POを構成する複数の光学部材としての6枚のミラーM1〜M6の配置を示し、この図2において、レチクルRからウエハWに向かって、反射面を下方(−Z方向)に向けたミラーM2、反射面を下方に向けたミラーM4、反射面を上方(+Z方向)に向けたミラーM3、反射面を上方に向けたミラーM1、反射面を下方に向けたミラーM6、及び反射面を上方に向けたミラーM5が配置され、照明光学系の一部であるミラーMは、ミラーM3及びM4の反射面を延長した2つの面Ca及びCbの間に配置されている。ミラーM1〜M6の反射面は、それぞれ球面又は非球面などの回転対称な面であり、その回転対称軸が投影光学系POの光軸AXにほぼ一致するように位置調整されている。また、ミラーM1,M2,M4,M6は凹面鏡であり、他のミラーM3,M5は凸面鏡である。ミラーM1〜M6それぞれの反射面は、設計値に対して露光波長の約50分の1から60分の1以下の凹凸となる加工精度で加工され、RMS値(標準偏差)で0.2nmから0.3nm以下の平坦度誤差のみが残存している。各ミラーの反射面の形状は、計測と加工とを交互に繰り返しながら形成されている。
図2の構成において、レチクルRで反射された照明光ELは、ミラーM1で上方に反射され、ミラーM2で下方に反射された後、ミラーM3で上方に反射され、ミラーM4で下方に反射される。そして、ミラーM5で上方に反射された照明光ELは、ミラーM6で下方に反射されて、ウエハW上にレチクルRのパターンの像を形成する。
図3(A)は、その6枚のミラーM1〜M6を斜め上方から見た斜視図を示し、図3(B)は、その6枚のミラーM1〜M6を斜め下方から見た斜視図を示している。なお、図3(A)、(B)では、各ミラーの反射面に、ハッチングが付されている。これらの図から分かるように、ミラーM1〜M6は、それぞれ照明光ELを遮光しないような形状に加工されている。
図3(A)は、その6枚のミラーM1〜M6を斜め上方から見た斜視図を示し、図3(B)は、その6枚のミラーM1〜M6を斜め下方から見た斜視図を示している。なお、図3(A)、(B)では、各ミラーの反射面に、ハッチングが付されている。これらの図から分かるように、ミラーM1〜M6は、それぞれ照明光ELを遮光しないような形状に加工されている。
図4は、投影光学系POの鏡筒及びミラーM1〜M6の保持調整機構を示し、この図4において、ミラーM1,M2,M3,M4,M5,M6はそれぞれほぼ円筒状の分割鏡筒12A,12B,12C,12D,12E,12F内に保持調整機構13A,13B,13C,13D,13E,13Fによって、不図示のコラムに対してX方向、Y方向、Z方向の位置、及びX軸、Y軸、Z軸の周りの回転角の6自由度で移動(駆動)可能に保持されている。なお、分割鏡筒12Dのみは、ミラーM4を配置するために+Y方向の側面が切り欠かれており、その−Y方向の内部に照明光学系のミラーMが配置されている。また、分割鏡筒12A,12B,12C,12E,12F内にそれぞれリング状の支持板25A,25B,25C,25E,25Fが固定され、保持調整機構13A,13B,13D,13Fは、それぞれ支持板25A,25B,25C,25F上に固定され、保持調整機構13C,13Eはそれぞれ支持板25C,25Eの底面に固定されている。
また、その不図示のコラムに大型のリング状のフランジ11が固定され、フランジ11の底面にワッシャ14Aを介してボルト15によって分割鏡筒12Aが固定され、分割鏡筒12Aの底面にワッシャ14Fを介してボルト16及びナット17によって分割鏡筒12Fが固定され、分割鏡筒12Fの底面にワッシャ14Eを介してボルト(不図示)によって分割鏡筒12Eが固定され、分割鏡筒12Eの底面にボルト及びナット(不図示)によって、分割鏡筒12E内のミラーM5を覆うように照明光を通過させる開口が形成された分割鏡筒12Hが固定されている。
また、フランジ11の上面にワッシャ14Cを介してボルト(不図示)によって分割鏡筒12Cが固定され、分割鏡筒12Cの上面にボルト(不図示)によって分割鏡筒12Dが固定され、分割鏡筒12Dの上面にワッシャ14Bを介してボルト及びナット(不図示)によって分割鏡筒12Bが固定され、分割鏡筒12Bの上面に、分割鏡筒12B内のミラーM2を覆うようにボルト及びナット(不図示)によって、照明光を通過させる開口が形成された分割鏡筒12Gが固定されている。本例では、フランジ11、分割鏡筒12A〜12H、ワッシャ14A〜14F、及びこれらを固定するためのボルトやナット等から図1の投影光学系POの鏡筒2が構成されている。分割鏡筒12A〜12H及びフランジ11は、ステンレス等の脱ガスの少ない材料にて形成されている。
上記の保持調整機構13A〜13Fのうち、保持調整機構13A〜13Eの構成は、大きさは異なるが基本的に同一であるため、そのうちの保持調整機構13Aの構成につき説明する。即ち、フランジ11の底面にワッシャ14A(第3調整機構)を介して分割鏡筒12A(ベース部材)が固定され、分割鏡筒12A内の支持板25A上に、保持調整機構13Aを介してミラーM1が保持されている。保持調整機構13Aは、ミラーM1を保持するインナーリング21(保持機構)と、これに対してZ方向に離れて配置されたアウターリング23(支持台)と、アウターリング23に対してインナーリング21のX方向、Y方向、Z方向の位置、及びX軸、Y軸、Z軸の周りの角度からなる6自由度の相対位置をアクティブに微調整するパラレルリンク機構22(第1調整機構)と、支持板25Aに対してアウターリング23のX方向、Y方向、Z方向の位置、及びX軸、Y軸、Z軸の周りの角度からなる6自由度の相対位置を調整する半固定式のレバー方式調整機構24(第2調整機構)とを備えている。パラレルリンク機構22は、独立に伸縮量が制御可能な6個のロッド状のリンク47A,47B,47C,47D,47E,47Fを備え(詳細後述)、レバー方式調整機構24は、それぞれ2自由度の変位を制御できる3個のレバー方式駆動部41A,41B,41Cを備えている(詳細後述)。
ワッシャ14Aの厚さを調整することで不図示のコラムに対する分割鏡筒12A、ひいてはミラーM1を保持するインナーリング21のZ方向(ミラーM1の光軸方向)の位置を制御できる。また、ボルト15の径に比べて分割鏡筒12Aに設けられたボルト用の孔の径が或る程度大きいことを利用して、不図示の調整治具を用いて、不図示のコラムに対する分割鏡筒12AのX方向、Y方向の位置を調整することも可能である。この場合、ワッシャ14Aは例えば0.1mm単位で種々の厚さのものが用意されており、それらの中から必要な厚さのワッシャ14Aを選択することによって、分割鏡筒12AのZ方向の位置を数mm程度のストロークで、かつ0.1mm(100μm)程度の分解能(最小設定単位)で制御できる。
また、レバー方式調整機構24によるインナーリング21(ミラーM1)の駆動のストローク及び分解能はそれぞれ数100μm及び数100nm程度であり(詳細後述)、パラレルリンク機構22によるインナーリング21(ミラーM1)の駆動のストローク及び分解能はそれぞれ約10μm及び数10nm程度である(詳細後述)。このように本例では、インナーリング21(ミラーM1)の駆動(移動)のストロークについては、パラレルリンク機構22、レバー方式調整機構24、及びワッシャ14Aの順に広くなり、その駆動時の分解能(最小設定単位)については、パラレルリンク機構22、レバー方式調整機構24、及びワッシャ14Aの順に大きく(粗く)なっている。言い換えると、インナーリング21(ミラーM1)を駆動する際の精度(駆動精度)については、パラレルリンク機構22、レバー方式調整機構24、及びワッシャ14Aの順により低精度になっている。このようにストローク及び駆動精度の異なる3種類の調整機構を組み合わせて用いることによって、インナーリング21(ミラーM1)の位置及び姿勢を広いストロークで、かつ極めて小さい分解能で高精度に調整できる。これは、保持調整機構13B〜13Eにおいても同様である。ただし、保持調整機構13C及び13Dにおいては、ワッシャ14Cは兼用されている。
これに対して、保持調整機構13Fは、ミラーM6を保持する円筒状の保持部材21F(保持機構)と、支持板25Fに対して保持部材21F(ミラーM6)を駆動するレバー方式調整機構24(第2調整機構)とから構成されている。なお、ワッシャ14Fは、ミラーM6に対して第3調整機構として作用している。従って、保持調整機構13Fにおいては、保持調整機構13Aと比べて最もストロークが短く最も分解能が小さい第1調整機構としてのパラレルリンク機構22が省略されている。なお、ミラーM6についても、保持調整機構13Aと同様に3種類の調整機構を設けてもよいことは言うまでもない。また、ミラーM1〜M6のうちの少なくとも1枚のミラーについては、保持調整機構13Aと同様の保持調整機構で保持し、他のミラーについては、保持調整機構13Fと同様の保持調整機構で保持してもよい。さらに、保持調整機構13Fの代わりに、保持調整機構13Aと比べてレバー方式調整機構24を省略したタイプの保持調整機構を使用してもよい。
次に、図4中の保持調整機構13Aの構成につき図5〜図11を参照して詳細に説明する。
図5は、図4中の分割鏡筒12Aの側面の一部を切り欠いて保持調整機構13Aの構成を示し、この図5において、分割鏡筒12A内の凸部上に固定された支持板25A上にほぼ等角度間隔で3箇所に配置されたレバー方式駆動部41A,41B,41C(41Cは不図示)を介してアウターリング23が支持され、アウターリング23上に6本のリンク47A〜47Fを備えたスチュワートプラットホーム型のパラレルリンク機構22を介してインナーリング21が支持され、インナーリング21上にほぼ等角度間隔で3箇所に配置されたほぼ逆U字型のミラー保持部材44A,44B,44Cよりなる機械的なクランプ機構によって、ミラーM1が保持されている。リンク47A〜47Fにはそれぞれ伸縮量を計測するためのセンサ(図6参照)が装着され、その計測データは外部のミラー制御装置(不図示)に供給される。
図5は、図4中の分割鏡筒12Aの側面の一部を切り欠いて保持調整機構13Aの構成を示し、この図5において、分割鏡筒12A内の凸部上に固定された支持板25A上にほぼ等角度間隔で3箇所に配置されたレバー方式駆動部41A,41B,41C(41Cは不図示)を介してアウターリング23が支持され、アウターリング23上に6本のリンク47A〜47Fを備えたスチュワートプラットホーム型のパラレルリンク機構22を介してインナーリング21が支持され、インナーリング21上にほぼ等角度間隔で3箇所に配置されたほぼ逆U字型のミラー保持部材44A,44B,44Cよりなる機械的なクランプ機構によって、ミラーM1が保持されている。リンク47A〜47Fにはそれぞれ伸縮量を計測するためのセンサ(図6参照)が装着され、その計測データは外部のミラー制御装置(不図示)に供給される。
また、ミラーM1には、それぞれほぼX軸及びY軸に垂直な基準平面M1a及びM1bが形成され、投影光学系POの外部に設置されたレーザ干渉計26X,26Yからの測長用レーザビームが、分割鏡筒12Aに設けられた開口12Ax,12Ayを介して基準平面M1a,M1bに照射されている。レーザ干渉計26X,26Yはそれぞれ不図示のコラムに固定された参照鏡を基準として、ミラーM1の基準平面M1aのX方向の位置及び基準平面M1bのY方向の位置を例えば0.5〜1nm程度の分解能で常時検出し、検出結果をそのミラー制御装置に供給する。そのミラー制御装置は、その検出結果に基づいて、例えば露光中にミラーM1の位置がその不図示のコラムに対して所定の位置関係となるように、継続してリンク47A〜47Fの伸縮量を制御する。
なお、ミラーM1の位置は、前述したパラレルリンク機構の伸縮量から算出してもよい。また、レーザ干渉計の代わりに、光学式エンコーダを用いることも可能である。
なお、ミラーM1の位置は、前述したパラレルリンク機構の伸縮量から算出してもよい。また、レーザ干渉計の代わりに、光学式エンコーダを用いることも可能である。
これに対して、レバー方式駆動部41A〜41Cは例えば投影光学系POの組立調整時やメンテナンス時等にマニュアル方式で調整されて、調整終了後は固定される半固定式である。そのため、分割鏡筒12Aのレバー方式駆動部41A〜41Cの近傍にはそれぞれ調整用の窓部12Aa,12Ab,12Ac(12Ab,12Acは不図示)が形成されている。
ここで、パラレルリンク機構22を構成する6本のリンク47A〜47Fの構成について詳細に説明する。これら6本のリンクは図5に示すように、リンク47A及び47B、リンク47C及び47D、リンク47E及び47Fがそれぞれ対をなした状態で配置されている。また、各リンク47A〜47Fにはそれぞれ以下のように駆動機構が組み込まれている。
図6(A)はリンク47A及び47Bを示し、リンク47A及び47Aの上端部は断面が2等辺三角形状の連結部材51(端部)で連結され、連結部材51の上面が図5のインナーリング21の底面に固定される。また、リンク47A及び47Bの下端部はそれぞれ断面が直角三角形状の固定部材57A及び57Bを介して図5のアウターリング23の上面に固定される。連結部材51、固定部材57A,57Bは、例えばチタンあるいはステンレス鋼等より形成されている。リンク47A(リンク47Bも同様)の長手方向の両端部には、リンク47Aが長手方向に直交する方向には小さい力である程度変位できるように、直交する2方向のスリ割リ部を含む弾性ヒンジ部61A及び61Bが形成されている。
リンク47A,47Bは、図6(A)に示すように、概略細長い枠状の本体部53A,53Bと、該本体部53A,53Bの中空部に配置された駆動素子としてのピエゾ素子55A,55Bとを備えている。なお、以下においては、本体部53Aの長手方向をA方向、このA方向に直交する短手方向をB方向、これらA方向及びB方向に直交する方向(厚さ方向)をC方向として説明する。
ピエゾ素子55A,55Bは、積層型圧電素子から成り、例えば所定厚さのPZT(=Pb(Zr・Ti)O3 )と所定厚さの銀・パラジウム(AgPd)合金とから成る内部電極とを交互に積層したものである。ここで圧電素子の厚さ(A方向の長さ)は要求される駆動量(ストローク)によって定められる。本例のピエゾ素子55A,55Bのストロークは一例として50μm程度である。
図6(B)は、図6(A)のリンク47A,47Bの本体部53A,53Bの構成を示し、本体部53Aの上端部に変位縮小機構部59が設けられている。これは本体部53Bも同様である。変位縮小機構部59は、図7(A)に拡大して示すように、概略台形状の第1部分59A、第2部分59B、第1平行テーブル59C及び第2平行テーブル59Dから構成されている。第1部分59Aは、その+B方向側面の+A方向側端部近傍で連結部分59Eを介してガイド部54に連結されている。連結部分59Eは、一種のヒンジとしての機能を有しており、第1部分59Aに+A方向又は−A方向の力が作用した際に、連結部分59Eを支点として第1部分59Aが時計回り又は反時計回りに回動する。第1部分59Aの−A方向の端面には、図6(A)のピエゾ素子55Aの先端面が連結されており、ピエゾ素子55Aの伸縮により、上記の+A方向又は−A方向の力が第1部分59Aに作用する。
また、第1部分59Aの+C方向の面には、図6(A)の検出対象片67が一体的に取り付けられており、この検出対象片67に対向してセンサ163A1が配置されている。このセンサ163A1としては、例えば静電容量センサ(ギャップセンサ)が用いられている。このセンサ163A1は、本体部53Aのガイド部54に固定され、前述した検出対象片67との間の距離の変化(変位)を検出する。センサ163A1の出力は、上記のミラー制御装置に供給されており、ミラー制御装置では、センサ163A1の出力に基づいてピエゾ素子55Aの伸縮量(変位)を安定して精度良く検出することができる。
図7(A)に戻り、前記第2部分59Bは、その−A方向で+B方向の端部近傍で連結部分59Fを介して第1部分59Aと連結され、その+A方向の側面は弾性ヒンジ部61Bを構成するスリ割リ部162c,162dとされている。前記第1平行テーブル59Cは、その+B方向側面で連結部分59Gを介して第2部分59Bに連結され、その−B方向側面で連結部分59Hを介してガイド部54に連結されている。また、前記第2平行テーブル59Dは、第1平行テーブル59Cの+A方向側に配置され、その+B方向側面で連結部分59Iを介して第2部分59Bに連結され、その−B方向側面で連結部分59Jを介してガイド部54に連結されている。
このようにして構成された変位縮小機構部59によると、ピエゾ素子55Aが伸長して、+A方向に力を発生した場合には、図7(B)に示すように、第1部分59Aが連結部分59Eを支点として時計回りに回転駆動され、点線で示される状態から実線で示される状態に変化する。これに伴って、第2部分59Bにも連結部分59Fを介して+A方向の力が作用するが、第1平行テーブル59C及び第2平行テーブル59Dの両者に第2部分59Bが連結されていることから、その力の作用に起因する第2部分59Bの回転が抑制され、結果的に第2部分59Bは+A方向にスライドする(平行移動する)のみである。
このときの第2部分59Bの平行移動量は、ピエゾ素子55Aの伸張量を、変位縮小機構部59により所定の縮小率γで縮小した量である。具体的には、縮小率γは、連結部分59Eと第1部分59Aに対するピエゾ素子55Aからの駆動力の作用点までのB方向の距離をa1、連結部分59Eと連結部分59FとのB方向の距離をa2とすると、γ=a2/a1である。縮小率γは一例として1/5程度である。また、図7(C)に示すように、ピエゾ素子55Aが−A方向に収縮した場合も上記と同様の原理により、ピエゾ素子55Aの変位が縮小されて第2部分59Bに伝達されるようになっている。このように、本実施形態のリンク47Aでは、ピエゾ素子55Aの伸縮量が所定の縮小率γにより縮小された分だけ、リンク47Aの全長を伸縮することが可能な構成となっている。なお、変位縮小機構部59は省略してもよい。
次に、パラレルリンク機構22の動作の一例につき説明する。先ず、リンク47A〜47Fを共通に伸張させることによって、図8(A)に示すように、アウターリング23に対してインナーリング21を光軸方向にL1だけ移動できる。また、リンク47A,47B,47Fを伸張させて、リンク47C,47D,47Eを収縮させることで、図8(B)に示すように、インナーリング21を光軸に直交する方向にL2だけ移動できる。このように、リンク47A〜47Fの伸縮量を独立に制御することによって、アウターリング23に対してインナーリング21(ミラーM1)のX方向、Y方向、Z方向の位置、及びX軸、Y軸、Z軸の周りの角度を制御できる。なお、パラレルリンク機構22の駆動の自由度は1方向(例えばZ方向のみ)でもよい。
次に、図5中のレバー方式駆動部41Aの構成につき図9〜図11を参照して説明する。図9は、図5の支持板25A及びこの上面25Aaで等角度間隔に配置された3箇所の取付部80に、ボルト97によって固定されたレバー方式駆動部41A,41B,41Cよりなるレバー方式調整機構24を示す。この図9において、レバー方式駆動部41Aは、連結ブロック92と、フレクシャ本体84と、このフレクシャ本体84を挟むように連結された垂直方向駆動レバー85a(第1操作部)及び水平方向駆動レバー85b(第2操作部)とを備えており、連結ブロック92の上面に図5のアウターリング23の底面が固定される。
また、駆動レバー85a及び85bの外側の自由端付近にそれぞれ外部からその自由端をZ方向に持ち上げるためのリフトレバー102が形成されている。さらに、駆動レバー85a及び85bの外側の自由端と支持板25Aの上面25aとの間に、それぞれ駆動レバー85a及び85bの自由端のZ方向への移動量を調整して固定するための厚さが調整可能な調整ワッシャ99が配置されている。調整ワッシャ99は、一例として、厚さが約1μm単位で設定されている微調用ワッシャと、厚さが約10μm単位で設定されている粗調用ワッシャとを組み合わせたものであり、この組み合わせを変えることによって、その厚さを数mmの範囲内で約1μmステップで調整することが可能である。本例では、垂直方向駆動レバー85a及び水平方向駆動レバー85bの自由端の調整ワッシャ99の厚さを調整することによって、連結ブロック92、ひいてはその位置でのアウターリング23を垂直方向(Z方向)及び水平方向(支持板25Aの外周に沿った円周方向)に、その調整ワッシャ99の厚さの数分の1程度だけ移動させることができる(詳細後述)。
図10は、図9のレバー方式駆動部41Aの要部を示す拡大図であり、この図10において、支持板25A上面の取付部80に直方体のブロック状のフレクシャ本体84が固定され、フレクシャ本体84と連結ブロック92との間には中央のフレクシャ基部89dを挟むように矩形貫通孔88aが形成され、これらの外側にはスリット86aが形成されている。即ち、フレクシャ本体84と連結ブロック92とはフレクシャ基部89dによって連結されている。また、フレクシャ本体84の下部のフレクシャ固定部91とその上部とを分けるように、3箇所にスリット87が形成され、左右(ほぼX方向)の薄肉部90a及び90bを挟むようにそれぞれ1対の円形貫通孔88bが形成されている。
また、フレクシャ本体84の上部は3箇所のスリット86及び1箇所のスリット86bによって、+X方向から−X方向にかけて駆動ブロック95a、拘束ブロック93a、拘束ブロック94a、及び駆動ブロック96aに分かれ、駆動ブロック96a内の2つのスリット86が交差する位置に基準孔84cが形成されている。また、駆動ブロック95aと拘束ブロック93aとは下方でフレクシャ基部89a(その両端に矩形貫通孔88aがある)によって連結され、拘束ブロック93aと拘束ブロック94aとは上方でフレクシャ基部89c(その両端に矩形貫通孔88aがある)によって連結され、拘束ブロック94aと駆動ブロック96aとは上方でフレクシャ基部89b(その両端に矩形貫通孔88aがある)によって連結されている。さらに、拘束ブロック93aと連結ブロック92とがフレクシャ基部89dによって連結され、駆動ブロック96aの外側面に水平方向駆動レバー85bが連結され、駆動ブロック95aの外側面に垂直方向駆動レバー85aが連結されている。この結果、駆動ブロック95a、拘束ブロック93a、及びフレクシャ基部89aから、垂直方向駆動レバー85aの動きを連結ブロック92のZ方向(ミラーM1の光軸方向)への変位とする垂直方向駆動リンク95(第1駆動部)が形成され、駆動ブロック96a、拘束ブロック94a、及びフレクシャ基部89bから、水平方向駆動レバー85bの動きを連結ブロック92の水平方向(外周方向)への変位とする水平方向駆動リンク96(第2駆動部)が形成される。
図11は、図10におけるレバー方式駆動部41Aの駆動レバー85a及び85bの動きと連結ブロック92(アウターリング23)の動きとの関係を説明するための簡略化した図であり、図11において、垂直方向駆動レバー85aの自由端を上下方向F1に変位させると、駆動ブロック95aにモーメントM1が作用して、駆動ブロック95aの他端が上下方向に変位し、これに対してフレクシャ基部89a、拘束ブロック93a、及びフレクシャ基部89c,89dを介して連結されている連結ブロック92も上下方向に変位する。一方、水平方向駆動レバー85bの自由端を上下方向F2に変位させると、駆動ブロック96aにモーメントM2が作用して、駆動ブロック96aの他端が水平方向に変位し、これに対してフレクシャ基部89b、拘束ブロック94a、及びフレクシャ基部89c,89dを介して連結されている連結ブロック92も水平方向に変位する。
即ち、駆動レバー85a及び85bの自由端の移動によって、てこの原理によって連結ブロック92(アウターリング23)が垂直方向及び水平方向に変位する。この際に、ほぼ駆動ブロック96a及び95aの幅と駆動レバー85b及び85aの長さとの比の値分だけ、駆動レバー85b及び85aの自由端の移動量に対する連結ブロック92の変位は縮小される。なお、図10におけるスリット86,87の配置は、駆動レバー85a及び85bの自由端の移動量を連結ブロック92の異なる方向の変位に変換できるものであればどのような配置であってもよい。
図9に戻り、3箇所に配置されたレバー方式駆動部41A〜41Cは、それぞれZ方向及び支持板25Aの外周方向の2自由度で図5のアウターリング23を駆動できる。この結果、レバー方式調整機構24を用いることによって、支持板25Aに対してX方向、Y方向、Z方向の位置、及びX軸、Y軸、Z軸の周りの角度の6自由度で図5のアウターリング23、ひいてはインナーリング21(ミラーM1)の位置を調整することができる。なお、レバー方式調整機構24の駆動の自由度は1方向(例えばZ方向のみ)でもよい。
図4に戻り、本例の投影光学系POの組立調整時には、ワッシャ14A〜14Fの厚さの調整やX方向、Y方向の位置調整を行うことで、不図示のコラム及びフランジ11に対する分割鏡筒12A〜12H(ミラーM1〜M6及びミラーM)の大まかな相対位置の調整が行われる。本例の投影光学系POは反射系であるため、調整時には、EUV光の代わりに可視光等を使用することができる。その後、保持調整機構13A〜13E内のレバー方式調整機構24を用いてミラーM1〜M6及びミラーMの相対位置の調整が行われ、調整が済んだ状態で、各レバー方式調整機構24の調整量は固定される。
その後、図1の露光装置10を用いた露光開始前又は定期的に、オペレータによってテストプリント等によって投影光学系POの結像特性が計測され、その結像特性の計測結果に基づいて不図示のミラー制御装置により図4の保持調整機構13A〜13E内のパラレルリンク機構22を駆動して、投影光学系POの所定の結像特性、例えば像面湾曲、非点収差、コマ収差、球面収差及び歪曲収差などを補正することもできる。この場合、対応するレーザ干渉計で検出されるミラーM1〜M5(ミラーM6にはパラレルリンク機構22が使用されていないため)の位置情報がそのミラー制御装置に供給され、一例としてそのミラー制御装置では検出されるミラーM1〜M5の駆動方向の位置偏差が0となるようにフィードバック制御によりパラレルリンク機構22を制御する。これによって、常に高精度に露光を行うことができる。
この際に、露光装置10では、極めて波長の短いEUV光を照明光ELとして用い、色収差のない反射系の投影光学系POを介してレチクルRのパターンがウエハW上に転写されるので、レチクルR上の微細パターンをウエハW上の各ショット領域に高精度に転写することができる。具体的には、最小線幅70nm程度以下の微細パターンの高精度な転写が可能である。
なお、上記実施形態では、駆動素子として、ピエゾ素子を採用する場合について説明したが、本発明がこれに限られるものではなく、その長手方向の全長を伸縮させることが可能な駆動素子であれば、種々の駆動素子を採用することができる。また、上記実施形態では、ピエゾ素子の伸縮量を検出するセンサとして、静電容量センサを採用した場合について説明したが、これに限らず、その他のセンサ(例えばリニアエンコーダなど)の、駆動素子の伸縮量を検出することが可能なセンサであれば、種々のセンサを採用することが可能である。
なお、レバー方式駆動部の駆動源としてアクチュエータを用いることによって、自動調整することも可能である。この場合、レバー方式駆動部と、パラレルリンク機構とを協働させることも可能である。
また、投影光学系POの組立調整時に、分割鏡筒の端面の接触だけで、分割鏡筒の精度を確保できる場合には、ワッシャを省略することが可能である。すなわち、本実施形態では、第3調整機構を省略することもできる。
また、投影光学系POの組立調整時に、分割鏡筒の端面の接触だけで、分割鏡筒の精度を確保できる場合には、ワッシャを省略することが可能である。すなわち、本実施形態では、第3調整機構を省略することもできる。
なお、上記実施形態では、6つのミラーのそれぞれを、いずれも6自由度方向に駆動する場合について説明したが、少なくとも1つのミラーが駆動可能であれば良い。また、上記実施形態では、投影光学系PO内の全てのミラーを本発明の光学部材保持装置により保持する場合について説明したが、投影光学系PO内の1つ以上のミラーが本発明の光学部材保持装置により保持されていれば良く、この場合であっても、そのミラーを高精度に微小駆動することが可能であることから、投影光学PO内でのミラーの微調整、ひいては投影光学系POの光学特性の高精度な調整が可能である。
また、上記実施形態では、光学部材がミラーの場合について説明したが、本発明がこれに限られるものではなく、光学部材がレンズであっても良い。
また、上記実施形態では、露光ビームとしてEUV光を用い、6枚のミラーのみから成るオール反射の投影光学系を用いる場合について説明したが、これは一例であって、本発明がこれに限定されないことは勿論である。すなわち、例えば、特開平11−345761号公報に開示されるような4枚のミラーのみから成る投影光学系を備えた露光装置は勿論、光源に波長100〜160nmのVUV光源、例えばAr2 レーザ(波長126nm)を用い、4〜8枚のミラーを有する投影光学系などにも好適に適用することができる。また、レンズのみから成る屈折系の投影光学系、レンズを一部に含む反射屈折系の投影光学系のいずれにも、本発明は好適に適用することができる。
また、上記実施形態では、露光ビームとしてEUV光を用い、6枚のミラーのみから成るオール反射の投影光学系を用いる場合について説明したが、これは一例であって、本発明がこれに限定されないことは勿論である。すなわち、例えば、特開平11−345761号公報に開示されるような4枚のミラーのみから成る投影光学系を備えた露光装置は勿論、光源に波長100〜160nmのVUV光源、例えばAr2 レーザ(波長126nm)を用い、4〜8枚のミラーを有する投影光学系などにも好適に適用することができる。また、レンズのみから成る屈折系の投影光学系、レンズを一部に含む反射屈折系の投影光学系のいずれにも、本発明は好適に適用することができる。
なお、上記実施形態では、本発明の光学ユニットを、露光装置を構成する投影光学系として採用した場合について説明したが、本発明がこれに限られるものではなく、例えば、本発明の光学ユニットを照明光学系として採用することとしても良い。
なお、上記実施形態では、露光光として波長11nmのEUV光を用いる場合について説明したが、これに限らず、露光光として波長13nmのEUV光を用いても良い。この場合には、波長13nmのEUV光に対して約70%の反射率を確保するため、各ミラーの反射膜としてモリブデンMoとケイ素Siとを交互に積層した多層膜を用いる必要がある。また、上記実施形態では、露光光源としてレーザ励起プラズマ光源を用いるものとしたが、これに限らず、SOR(Synchrotron Orbital Radiation)リング、ベータトロン光源、ディスチャージド光源、X線レーザなどのいずれを用いても良い。このように、本発明は上述の実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
なお、上記実施形態では、露光光として波長11nmのEUV光を用いる場合について説明したが、これに限らず、露光光として波長13nmのEUV光を用いても良い。この場合には、波長13nmのEUV光に対して約70%の反射率を確保するため、各ミラーの反射膜としてモリブデンMoとケイ素Siとを交互に積層した多層膜を用いる必要がある。また、上記実施形態では、露光光源としてレーザ励起プラズマ光源を用いるものとしたが、これに限らず、SOR(Synchrotron Orbital Radiation)リング、ベータトロン光源、ディスチャージド光源、X線レーザなどのいずれを用いても良い。このように、本発明は上述の実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
本発明の露光装置によれば、本発明の光学ユニットを用いているため、投影光学系が反射系である場合にも、その結像特性を高精度に調整できる。従って、これをEUV露光装置に適用することによって、微細な回路パターンを有する次世代の半導体素子等のデバイスを高精度に製造できる。
10…露光装置、R…レチクル(マスク)、PO…投影光学系、M1〜M6…ミラー、W…ウエハ(物体)、11…フランジ、12A〜12E…分割鏡筒、13A〜13E…保持調整機構、14A〜14F…ワッシャ、21…インナーリング、22…パラレルリンク機構、23…アウターリング、24…レバー方式調整機構、25A〜25E…支持板、41A〜41C…レバー方式駆動部、47A〜47F…リンク47
Claims (15)
- 光学部材を移動可能に保持する光学部材保持装置であって、
前記光学部材を少なくとも1つの自由度で第1の精度及び第1のストロークで駆動する第1調整機構と、
前記光学部材を少なくとも1つの自由度で第2の精度及び第2のストロークで駆動する第2調整機構と、
前記光学部材を少なくとも1つの自由度で第3の精度及び第3のストロークで駆動する第3調整機構とを備え、
前記光学部材の駆動精度は、前記第3の精度、前記第2の精度、及び前記第1の精度の順に高くなり、前記光学部材を駆動する際のストロークは、前記第3のストローク、前記第2のストローク、及び前記第1のストロークの順に狭くなることを特徴とする光学部材保持装置。 - 前記光学部材を収容するベース部材を有し、
前記第3調整機構は、前記ベース部材の位置を調整することによって、前記光学部材を駆動することを特徴とする請求項1に記載の光学部材保持装置。 - 前記第2調整機構及び前記第1調整機構は、前記ベース部材に対して前記光学部材を当該光学部材の光軸方向に移動させると共に、前記ベース部材に対して前記光学部材を当該光学部材の光軸に対して傾斜させることを特徴とする請求項2に記載の光学部材保持装置。
- 前記第2調整機構及び前記第1調整機構は、前記ベース部材と前記光学部材との間に前記第2調整機構及び前記第1調整機構の順に配置されることを特徴とする請求項2又は3に記載の光学部材保持装置。
- 前記第2調整機構と前記第1調整機構との間に、前記第1調整機構を支持する支持台を有することを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載の光学部材保持装置。
- 前記第2調整機構は、前記ベース部材と前記支持台との間に配置され、前記支持台の位置を調整することによって、前記光学部材を駆動することを特徴とする請求項5に記載の光学部材保持装置。
- 前記第1調整機構は、一端部が前記光学部材に取り付けられ、他端部が前記支持台に取り付けられるパラレルリンク機構と、前記パラレルリンク機構を駆動する駆動機構とを有することを特徴とする請求項5又は6に記載の光学部材保持装置。
- 前記第2調整機構は、第1操作部と、該第1操作部を操作することによって、前記光学部材を当該光学部材の光軸方向に移動させる第1駆動部と、第2操作部と、該第2操作部を操作することによって、前記光学部材を当該光学部材の光軸に対して傾斜させる第2駆動部とを有することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の光学部材保持装置。
- 前記パラレルリンク機構は、前記光学部材を6自由度方向に駆動することを特徴とする請求項7に記載の光学部材保持装置。
- 光学部材を移動可能に保持する光学部材保持装置であって、
前記光学部材を収容するベース部材と、
前記光学部材を少なくとも1つの自由度で第1の精度及び第1のストロークで駆動する第1調整機構と、
前記光学部材を少なくとも1つの自由度で、前記第1の精度と異なる第2の精度及び前記第1のストロークと異なる第2のストロークで駆動する第2調整機構とを有し、
前記光学部材は、前記第2調整機構で駆動された後、前記第1調整機構で駆動されることを特徴とする光学部材保持装置。 - 前記光学部材を少なくとも1つの自由度で、前記第1、第2の精度と異なる第3の精度、及び前記第1、第2のストロークと異なる第3のストロークで駆動する第3調整機構を有し、
前記第3調整機構は、前記ベース部材の位置を調整することによって、前記光学部材を駆動することを特徴とする請求項10に記載の光学部材保持装置。 - 前記光学部材の駆動精度は、前記第3の精度、前記第2の精度、前記第1の精度の順に高くなり、前記光学部材を駆動する際のストロークは、前記第3のストローク、前記第2のストローク、及び前記第1のストロークの順に狭くなることを特徴とする請求項11に記載の光学部材保持装置。
- 複数の光学部材を備える光学ユニットにおいて、
前記複数の光学部材の少なくとも一つが請求項1から12のいずれか一項に記載の光学部材保持装置により保持されていることを特徴とする光学ユニット。 - 投影光学系を介して物体上にパターンを形成する露光装置であって、
請求項13に記載の光学ユニットを前記投影光学系として具備する露光装置。 - 前記マスクとして反射型マスクが用いられ、
前記光学ユニットを構成する全ての光学部材はミラーであり、
前記各ミラーの反射面には極端紫外光を反射させるための多層膜が設けられていることを特徴とする請求項14に記載の露光装置。
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