JP3708075B2

JP3708075B2 - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法

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Publication number: JP3708075B2
Application number: JP2002360002A
Authority: JP
Inventors: ヤコブスペトリュスアドリアヌスフランケンドミニカス
Original assignee: エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
Priority date: 2001-11-07
Filing date: 2002-11-07
Publication date: 2005-10-19
Anticipated expiration: 2022-11-07
Also published as: KR100767833B1; TWI244119B; TW200407954A; DE60219871T2; US20030090641A1; DE60219871D1; US6734949B2; KR20030075133A; JP2003188066A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、
放射の投影ビームを供給するための放射システムと、
所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成するように使用されるパターン形成手段を支持するための支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するための投影システムとを備えるリソグラフィ投影装置であって、
放射システムおよび／または投影システムが、少なくとも１つの光学部材を備える装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本明細書で使用される用語「パターニング手段」は、基板のターゲット部分に形成するパターンに対応してパターンを付けた断面を入射放射線ビームに与えるために使用することができる手段を表すものと広く解釈すべきである。用語「光バルブ」をこの文脈で使用することもできる。一般に、前記パターンは、集積回路やその他のデバイス（以下参照）などターゲット部分に作成されるデバイス内の特定の機能層に対応する。このようなパターニング手段の例としては、次のようなものが挙げられる。
−マスク。マスクの概念はリソグラフィでよく知られており、二相、交流移相、減衰移相などのマスク・タイプ、ならびに様々なハイブリッド・マスク・タイプを含む。放射線ビーム中にそのようなマスクを配置することにより、マスク上のパターンに従って、マスクに衝突する放射線の選択透過（透過性マスクの場合）または反射（反射性マスクの場合）が生じる。マスクの場合、支持構造は通常マスク・テーブルであり、マスク・テーブルは、入射放射線ビームにおける所望の位置にマスクを保持することができることを保証し、かつ望みであればマスクをビームに対して移動することができることも保証する。
−プログラム可能ミラー・アレイ。そのようなデバイスの一例は、粘弾性制御層および反射表面を有するマトリックス・アドレス可能な表面である。そのような装置の背後にある基本原理は、（例えば）反射表面のアドレスされた領域が入射光を回折光として反射し、アドレスされていない領域が入射光を非回折光として反射することである。適切なフィルタを使用して、前記の非回折光を、反射ビームからフィルタ除去して、後に回折光だけを残すことができる。このようにして、マトリックス・アドレス指定可能表面のアドレス指定パターンに従って、ビームはパターン形成される。必要なマトリックス・アドレス指定は、適当な電子的な手段を使用して行うことができる。そのようなミラー・アレイについて、例えば、米国特許第５，２９６，８９１号および米国特許第５，５２３，１９３号からより多くの情報を収集することができる。これらの特許は、参照により本明細書に組み込む。プログラム可能ミラー・アレイの場合、前記の支持構造は、例えば、フレームまたはテーブルとして具体化することができ、それは、必要に応じて、固定するか、可動にすることができる。
−プログラム可能ＬＣＤアレイ。そのような構造の一例は、米国特許第５，２２９，８７２号に与えられている。この特許は、参照により本明細書に組み込む。上と同様に、この場合の支持構造も、例えばフレームまたはテーブルとして実施することができ、必要に応じて固定することも、可動にすることもできる。
話を簡単にするために、この本文ではここから先、いくつかの箇所でマスクおよびマスク・テーブルに関わる例に特に注目することがある。しかし、そのような例で論じられる一般的な原理は、本明細書で上述したパターニング手段のより広い文脈で見るべきである。
【０００３】
リソグラフィ投影装置は、例えば集積回路（ＩＣ）の製造で使用することができる。そのような場合、パターニング手段は、ＩＣの個々の層に対応する回路パターンを生成することができ、このパターンを、感光性材料（レジスト）の層で被覆されている基板（シリコン・ウェハ）上のターゲット部分（例えば１つまたは複数のダイを備える）に結像することができる。一般に、単一のウェハが、１度に１つずつ投影システムによって連続的に照射される隣接ターゲット部分の回路網全体を含む。マスク・テーブル上のマスクによるパターニングを採用する現行装置では、２つの異なるタイプの機械に区分することができる。１つのタイプのリソグラフィ投影装置では、各ターゲット部分が、マスク・パターン全体を一括してターゲット部分に露光することによって照射される。そのような装置は、一般にウェハ・ステッパと呼ばれる。代替装置（一般にステップアンドスキャン装置と呼ばれる）では、各ターゲット部分が、所与の基準方向（「スキャン」方向）に投影ビーム下でマスク・パターンを漸次スキャンし、それと同時にこの方向に平行に、または反平行に基板テーブルを同期してスキャンすることによって照射される。一般に、投影システムが倍率Ｍ（通常＜１）を有するので、基板テーブルがスキャンされる速度Ｖは、マスク・テーブルがスキャンされる速度のＭ倍となる。ここに記述したリソグラフィ・デバイスに関するより多くの情報は、例えば参照により本明細書に組み込む米国特許第６０４６７９２号から得ることができる。
【０００４】
リソグラフィ投影装置を使用する製造プロセスでは、（例えばマスクでの）パターンが、感光性材料（レジスト）の層によって少なくとも部分的に覆われた基板に結像される。このイメージング・ステップの前に、基板にプライミング、レジスト・コーティング、ソフト・ベークなど様々な処置を施すことができる。露光後に、露光後ベーク（ＰＥＢ）、現像、ハード・ベーク、および結像されたフィーチャの測定／検査など他の処置を基板に施すこともできる。この一連の処置は、デバイス、例えばＩＣの個々の層にパターンを付けるための基礎として使用される。次いで、そのようなパターン付き層に、エッチング、イオン注入（ドーピング）、メタライゼーション、酸化、化学的機械的研磨など様々なプロセスを施すことができる。これらは全て、個々の層を完成させるためのものである。複数の層が必要な場合、手順全体、またはその変形が、各新たな層ごとに繰り返されなければならない。最終的に、デバイスのアレイが基板（ウェハ）上に存在することになる。次いで、これらのデバイスを、ダイシングやソーイングなどの技法によって互いに分離し、個々のデバイスを、例えばキャリアに取り付ける、またはピンなどに接続することができる。そのようなプロセスに関するさらなる情報は、例えば参照により本明細書に組み込むＰｅｔｅｒｖａｎＺａｎｔの著書「ＭｉｃｒｏｃｈｉｐＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎ：ＡＰｒａｃｔｉｃａｌＧｕｉｄｅｔｏＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇ」，ＴｈｉｒｄＥｄｉｔｉｏｎ，ＭｃＧｒａｗＨｉｌｌＰｕｂｌｉｓｈｉｎｇＣｏ．，１９９７，ＩＳＢＮ０−０７−０６７２５０−４から得ることができる。
【０００５】
話を簡単にするために、投影システムを本明細書では以後「レンズ」と呼ぶ場合がある。しかし、この用語は、例えば屈折光学系、反射光学系、反射屈折光学系を含めた様々なタイプの投影システムを包含するものとして広く解釈すべきである。また、放射システムは、放射線の投影ビームを指向する、成形する、または制御するためのこれら設計タイプのいずれかに従って動作する構成要素を含むことができ、そのような構成要素も以下で総称して、または個別に「レンズ」と呼ぶ場合がある。さらに、リソグラフィ装置は、２つ以上の基板テーブル（および／または２つ以上のマスク・テーブル）を有するタイプのものであってよい。そのような「多段」デバイスでは、追加のテーブルを並列に使用することができ、あるいは１つまたは複数のテーブルに関して予備ステップを行い、その一方で１つまたは複数の他のテーブルを露光することができる。二段リソグラフィ装置は、例えば、参照により本明細書に組み込む米国特許第５９６９４４１号およびＷＯ９８／４０７９１号に記載されている。
【０００６】
像を形成することができるフィーチャのサイズを低減するために、放射の投影ビームの波長を短縮することが望ましい。約２００ｎｍ未満、例えば１９３ｎｍ、１５７ｎｍ、または１２６ｎｍの波長を使用することが提案されている。ＥＵＶ（極端紫外線放射、例えば、波長が５〜２０ｎｍの範囲にある）範囲への波長のさらなる短縮が考えられる。そのような波長は特に、ミラーなど反射光学系によってより簡便に合焦し制御される。しかし、リソグラフィ装置におけるミラーは、屈折要素に比べて非常に高い精度で位置決めしなければならない。これは、任意の回転向き誤差が、総計の下流光路長によって拡大されるためである。非常に短い波長の放射を使用する任意の装置で、光路長は２ｍ程度またはそれよりも大きい場合がある。
【０００７】
例えば、良好なオーバーレイ性能を有するために、特にＥＵＶが使用されるとき、約１ｎｍ未満の誤差（ｅ）で、基板レベルの所与の位置でマスクの照射部分の像の位置を安定に保つ必要がある場合がある。ミラーと基板の距離が２ｍである場合、仕様範囲内でシステムを維持するために、反射ビームの最大許容可能回転誤差は、ｅ＝１ｎｍの場合は２８×１０^-9度（１×１０^-9ｍ／２ｍ＝ｔａｎ（２８×１０^-9度））である。ミラーでは、反射角が入射角に等しいので、ミラーの位置の回転誤差は、反射ビームの方向の誤差の２倍の大きさになる。したがって、ミラーは、１４×１０^-9度またはそれよりも良い精度で位置決めしなければならない。ミラーが０．１ｍ程度の幅を有し、片側に回転点を有する場合、その回転点を０．０２４ｎｍ（ｔａｎ１４×１０^-9×０．１＝２．４×１０^-11）以内に位置決めしなければならない。明らかに、そのようなミラーを方向付ける際に必要な精度は非常に高く、像精度に対する仕様が高まるにつれて単に高まる。Ｘ、Ｙ、およびＺでの位置に関する精度要件は、そのような誤差が基板レベルではあまり拡大しないのでそれほど厳しくないが、しかし依然として高い。
【０００８】
「スキャン・モード」（「スキャン・モード」の意味は前に説明した。本明細書では以後、添付図面に関連して説明する）で使用され、ＥＵＶを使用するリソグラフィ投影装置の投影システムは、例えば、反射するため、およびそれにより、パターン形成されたビームを基板のターゲット部分上へ投影するために６つのミラーを含むことができる。この場合、ミラーは、約０．１ｎｍの精度で互いに関して位置決めされる。反射光学要素の位置および／または向きを調節するために複数のアクチュエータを使用することが前に提案されている。例えば、それに対応する構成がＥＰ１１０７０６８Ａ２に記載されている。この文献は、振動が生じる可能性があっても、反射要素を静止状態に保つために位置センサを使用することを記載している。
【０００９】
光学部材は通常、６つの独立の自由度（ＤＯＦ）、すなわち３つの並進ＤＯＦと３つの回転ＤＯＦを有する。２つ以上のＤＯＦに関して光学部材を調節することができる１つの可能性は、複数のアクチュエータを使用することである。アクチュエータは、圧電性、電気抵抗性、または磁気抵抗性のものであってよく、例えば、光学部材に入射する放射のビームに対して横方向に延在する光学部材の表面に垂直に作用する。特に、所望の最大位置誤差が１ｎｍ以下の範囲にあるとき、アクチュエータどうしの組合せ、または少なくとも１つのアクチュエータと重力補償器など他の可動デバイスとの組合せが、例えば、余剰の、かつ／または望ましくない差動力によって光学部材を変形する可能性がある。
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の一目的は、少なくとも１つの光学部材を有するリソグラフィ投影装置であって、光学部材の変形を低減または減少させるための手段を備える装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この目的およびその他の目的は、本発明によれば、
光学部材が、光学部材を少なくとも部分的に閉じ込めて放射システムおよび／または投影システムの少なくとも１つの他の構成要素に接続される取付フレームによって支持され、かつ取付フレームに接続されていることを特徴とする、冒頭のパラグラフで指定したリソグラフィ装置で達成される。
【００１２】
光学部材は、例えばミラーまたはレンズである。どのような場合にも、取付フレームは、フレームが接続されたリソグラフィ投影装置の少なくとも１つの他の構成要素によって発生される、かつ／または移送される可能性がある望ましくない影響から光学部材を保護する。特に、フレームは、フレームの剛性によって光学部材の変形を大幅に低減することができる。
【００１３】
１つの好ましい実施形態によれば、フレームと光学部材との接続が、フレームの切欠き領域内に位置し、外周でフレームによって保持される膜状部分を備える。光学部材は、膜状部分の中心領域に接続される。例えば、膜状部分は、その外周と、光学部材に間接的または直接的に接続される中心領域とを含む平面内で延在する。好ましくは、外周は、円形線に沿って延在する。特に、膜状部分が材料の薄いシートである場合、膜状部分が円形になる場合がある。しかし、膜状部分が、中心領域から外周に延在する複数のスポークを備えることが最も好ましい。スポークは、膜状部分の個別部品であってよく、あるいは膜状部分の少なくとも１つのさらなる部品によって、例えば外周にある、かつ／または中心領域にあるリング状部品によって接続することができる。
【００１４】
一般に、膜状部分は、フレームの剛性にも関わらず生じる可能性があるフレームの変形に対して、フレームから光学部材を切り離す。特に、膜状部分は、膜状部分が延在する第２の方向に垂直な第１の方向で変形することができる。それにより、膜状部分は、第１の方向と反対の方向へのフレームの変形を補償することができる。その結果、光学部材は、変形または移動を伴わずに定位に留まる。膜状部分はまた、膜状部分の平面に垂直な方向に沿ったフレームの並進を緩和することができる。膜状部分がシート状である場合、少なくとも２つ（しかし２つに限定しない）の回転自由度（ＤＯＦ）で、すなわちシート状部分が延在する平面内で延在する２つの垂直な回転軸に関するＤＯＦでのフレームの変形に関して、フレームから光学部材を切り離すことができる。
【００１５】
膜状部分がスポークを備える場合、スポークがその内部で、かつ／またはそこに沿って延在する平面に垂直に、スポークの中心を通って延在する回転軸に関する回転ＤＯＦに関してさえも、光学部材を切り離すことができる。
【００１６】
光学部材が運動または移動される１つまたは２つの直線ＤＯＦでの十分な剛性を提供し、しかし他のＤＯＦでの望ましくない移動を回避する目的で、光学部材をフレームに接続するために膜状部分が使用される場合に、回転ＤＯＦに関する切離しは特に有用である。例えば、望ましいＤＯＦでの移動をもたらす１つのアクチュエータ、または複数のアクチュエータの構成体も、他のＤＯＦでのフレームの望ましくない移動または変形をもたらす可能性がある。
【００１７】
１つの特定の実施形態では、フレームは、光学部材がフレームによって閉じ込められるフレーム平面内部に延在することができる複数のストラットを備える。ストラットは、少なくとも３つのコーナを有するフレーム構造を形成するようにフレームのコーナに接続される。好ましくは、フレーム構造は、ストラットが接続される正確に３つのコーナを有する。この実施形態によれば、フレームは特に堅く軽量である。
【００１８】
ストラットが平面内に延在する場合、平面の一方向でフレームの外側から作用する望ましくない力に対する剛性が特に大きい。他方、プレーナ構造により、ストラットが延在する平面に対して横向きの方向の広いセクタ内で、放射線が光学部材に入射することができるようにする。
【００１９】
フレーム構造は、フレーム構造のコーナの１つにある２つのストラットに接続するコーナ要素を備えることができる。特に、コーナ要素は、装置の少なくとも１つの他の構成要素へのフレームの接続を確立するために使用することができる。例えば、コーナ要素は、光学要素の位置を調節および／または修正するためのアクチュエータ、またはアクチュエータの一部分であってよい。
【００２０】
フレームの剛性はさらに、フレーム構造を補強するための補強部材によってさらに改善することができ、補強部材は、コーナの１つに接続された２つのストラット間に延在して、２つのストラットを接続し、かつ２つのストラットと、補強部材と、コーナとの間に中空スペースを残す。また、同じ中空スペースの表面に位置する補強部材の対またはグループを提供することができる。さらに、剛性は、２つのストラットが接続されるコーナの領域で２つのストラット間の角度を埋める部材を提供することによって改善することができる。
【００２１】
ストラットの外部構成はプレート状にすることができ、これは、外径がプレートの寸法に等しいことを意味する。ストラットは、中実または中空にして、重量を低減することができる。プレート状ストラットはそれぞれ、２つのコーナ間に延在することができ、前記平面に垂直な方向でのストラットの幅は、当該の２つのコーナをつなぐ線に垂直な方向で前記平面内で測定されるストラットの厚さよりも大きい。この構成は、フレーム構造の平面内での方向に関してだけでなく、この平面を横切る方向に関しても軽量であり堅い。
【００２２】
好ましくは、互いに接続されている２つのストラットが、等しい長さを有して、互いに対称的に構成されている。最も好ましくは、コーナ間のフレーム構造の全ての側面の長さが等しい。規則的な対称構造は、様々な方向に関して等しい剛性を備え、特に堅い。
【００２３】
特に、フレーム構造が等しい側面長さを有する場合、光学部材は、好ましくは、コーナの各２つの間の中間にある当該の位置でフレーム構造に接続される。特に、規則的かつ／または対称的に形状を取られた光学部材では、この実施形態は、フレーム構造と光学部材の接続の長さを短く保つことができる。短い接続は、大きな振幅での変形をもたらす可能性が低い。さらに、等しい側面のフレームは、特に、他の構成要素がコーナの１つでフレームに接続されるときに、変形に対して装置の少なくとも１つの他の構成要素から光学要素を効果的に切り離すことができる。
【００２４】
好ましくは、フレームは、フレームが延在する平面に対称的である。さらに、光学部材が平面に対称的に配置されることが好ましい。一般に、対称的な構成は、例えば温度変化による望ましくない変形に対してより耐性がある。
【００２５】
本発明の一実施形態では、フレーム、したがって光学部材の位置および／または向きを調節するための少なくとも１つのアクチュエータがフレームに接続される。好ましくは、アクチュエータによって行われる作動の方向または回転軸が、フレームの対称軸に位置合わせされ、かつ／または作動方向または回転軸が、フレームが延在する平面の一部である。特に、フレームへのアクチュエータの接続は、前記平面内の点または領域を含む位置で確立される。
【００２６】
本発明のさらなる態様によれば、
感放射線材料の層で少なくとも部分的に覆われている基板を提供するステップと、
放射システムを使用して放射の投影ビームを提供するステップと、
パターン形成手段を使用して投影ビームの断面にパターンを与えるステップと、
前記パターン形成された放射のビームを感放射線材料の層の目標部分に投影するステップと、
放射の投影ビームまたはパターン・ビームを反射および／または屈折するための少なくとも１つの反射および／または屈折光学部材を使用するステップと
を含み、装置の他の構成要素に光学部材を取り付けるための取付フレームによって光学部材を支持し、フレームが、光学部材およびフレームへの、または光学部材およびフレームからの放射経路を横切る平面に延在し、それにより前記平面内に光学部材を閉じ込め、光学部材がフレームに接続され、フレームが、少なくとも１つの他の構成要素に接続されていることを特徴とする方法が提供される。
【００２７】
１つの好ましい実施形態では、この方法が、取付フレームの位置および／または向きを調節し、それにより光学部材の位置および／または向きを調節することによって、放射の投影ビーム、またはパターン形成されたビームの伝搬方向を調節するステップを含む。上述した取付フレームの剛性および／または切離し効果により、取付フレームの位置および／または向きを非常に安定に保つことができる。例えば、それにより、特に短波放射、例えばＥＵＶが使用されるときに、基板上にリソグラフィによって生成される構造の寸法を低減することができる。
【００２８】
この本文では、本発明による装置のＩＣ製造での使用に特に言及する場合があるが、そのような装置が多くの他の可能な適用例も有することをはっきりと理解されたい。例えば、集積光学系、磁区メモリ用の誘導および検出パターン、液晶表示パネル、薄膜磁気ヘッドなどの製造に使用することができる。そのような代替適用例の文脈では、この本文における用語「焦点板」、「ウェハ」、または「ダイ」の使用を、より一般的な用語「マスク」、「基板」、および「ターゲット部分」でそれぞれ置き代えられるものとみなすべきであることを当業者は理解されよう。
【００２９】
本文献において、用語「放射」および「ビーム」は、紫外線放射（例えば、波長が、３６５、２４８、１９３、１５７または１２６ｎｍである）およびＥＵＶ（極端紫外線放射、例えば、波長が５〜２０ｎｍの範囲にある）、並びにイオン・ビームまたは電子ビームのような粒子ビームを含んだ、全ての種類の電磁放射を包含するように使用される。
【００３０】
次に、本発明の実施形態を、添付図面に関連して例示としてのみ説明する。
【００３１】
図中、対応する参照符号が、対応する部分を示す。
【００３２】
【発明の実施の形態】
実施形態１
図１は、本発明のある特定の実施形態によるリソグラフィ投影装置を概略的に示す。この装置は、以下のものを備える。
・放射線（例えばＥＵＶ）の投影ビームＰＢを供給するための放射システムＥｘ、ＩＬ。この特定の場合には、放射線源ＬＡも備える。
・マスクＭＡ（例えば焦点板）を保持するためのマスク・ホルダを備え、アイテムＰＬに対してマスクを正確に位置決めするための第１の位置決め手段に接続された第１の対象物テーブル（マスク・テーブル）ＭＴ。
・基板Ｗ（例えばレジスト被覆シリコン・ウェハ）を保持するための基板ホルダを備え、アイテムＰＬに対して基板を正確に位置決めするための第２の位置決め手段に接続された第２の対象物テーブル（基板テーブル）ＷＴ。
・基板Ｗのターゲット部分Ｃ（例えば、１つまたは複数のダイを備える）にマスクＭＡの照射部分を結像するための投影システム（「レンズ」）ＰＬ（例えば、屈折または反射屈折システムまたは反射システム）。本明細書で示すように、この装置は、反射性タイプの（すなわち反射性マスクを有する）ものである。しかし一般には、例えば透過性タイプの（透過性マスクを有する）ものであってもよい。別法として、この装置は、上で言及したタイプのプログラム可能ミラー・アレイなど別の種類のパターニング手段を使用することができる。
【００３３】
放射源ＬＡ（例えば、貯蔵リングまたはシンクロトロン内の電子ビームの経路の周りに提供されるアンジュレータまたはウィグラ、あるいは水銀ランプ）は、放射のビームを生成する。このビームは、直接か、または、例えばビーム拡大器Ｅｘなどのコンディショニング手段を通り抜けた後かいずれかで、照明システム（照明装置）ＩＬに送られる。照明器ＩＬは、ビームの強度分布の外側および／または内側放射範囲（一般にそれぞれσ外側およびσ内側と呼ばれる）を設定するための調節手段ＡＭを備えることができる。さらに、一般には、積分器ＩＮや集光レンズＣＯなど様々な他の構成要素も備える。このようにして、マスクＭＡによって反射されたビームＰＢが、その断面で所望の均一性および強度分布を有するようにする。
【００３４】
図１に関して、放射線源ＬＡは、（例えば放射線源ＬＡが水銀ランプであるときにしばしばそうであるように）リソグラフィ投影装置のハウジング内部にある場合があり、しかしリソグラフィ投影装置から離れていて、生成する放射線ビームが（例えば適切な方向付けミラーによって）装置内に導かれる場合もあることに留意されたい。この後者のシナリオは、放射線源ＬＡがエキシマ・レーザであるときにしばしばそうである。本発明および特許請求の範囲はこれら両方のシナリオを包含する。
【００３５】
ビームＰＢはその後、マスク・テーブルＭＴ上に保持されているマスクＭＡに交差する。ビームＰＢは、マスクＭＡによって選択的に反射された後、レンズＰＬを通過し、レンズＰＬが、基板Ｗのターゲット部分ＣにビームＰＢを合焦する。第２の位置決め手段（および干渉計測定手段ＩＦ）によって、基板テーブルＷＴを、例えばビームＰＢの経路内に様々なターゲット部分Ｃを位置決めするように正確に移動することができる。同様に、第１の位置決め手段を使用して、例えばマスク・ライブラリからマスクＭＡを機械的に検索した後、またはスキャン中に、ビームＰＢの経路に対してマスクＭＡを正確に位置決めすることができる。一般に、対象物テーブルＭＴ、ＷＴの移動は、図１には明示していない長ストローク・モジュール（粗い位置決め）と短ストローク・モジュール（精密位置決め）とを用いて実現される。しかし、（ステップアンドスキャン装置と異なり）ウェハ・ステッパの場合には、マスク・テーブルＭＴを短ストローク・アクチュエータにのみ接続することができる、または固定することができる。
【００３６】
図示した装置は、２つの異なるモードで使用することができる。
１．ステップ・モードでは、マスク・テーブルＭＴが本質的に静止して保たれ、マスク・イメージ全体が、ターゲット部分Ｃに１度に（すなわちただ１回の「フラッシュ」で）投影される。次いで、基板テーブルＷＴがｘおよび／またはｙ方向にシフトされ、それにより別のターゲット部分ＣをビームＰＢによって照射することができる。
２．スキャン・モードでは、所与のターゲット部分Ｃがただ１回の「フラッシュ」で露光されない点を除き、本質的に同じシナリオが適用される。１回のフラッシュで露光するのではなく、マスク・テーブルＭＴが速度ｖで所与の方向（いわゆる「スキャン方向」、例えばｙ方向）に移動可能であり、それにより投影ビームＰＢがマスク・イメージ全体にわたってスキャンするようになっている。それと並行して、基板テーブルＷＴが、速度Ｖ＝Ｍｖで同方向または逆方向に同時に移動される。ここでＭはレンズＰＬの倍率である（典型的にはＭ＝１／４または１／５）。このようにすると、分解能を損なわずに、比較的大きなターゲット部分Ｃを露光することができる。
【００３７】
図２は、三角形フレーム構造を有する取付フレーム１１を示す。図に示される光学要素１３の円形面に入射する放射線を屈折および／または反射するための光学部材１３、特にミラーが取付フレーム１１に接続されている。光学部材１３は、凹形または凸形光学面を有することができ、その円形断面の中心を通って延在する回転対称軸に対称的である。
【００３８】
取付フレームは、三角形構造の３つのコーナに位置決めされる３つのコーナ・ブロック１５を備える。各コーナ・ブロック１５が、２つのプレート状ストラット１２に接続し、ストラット１２が三角形構造の側面を画定し、２つの対向する端部で２つの当該のコーナ・ブロック１５に接続する。好ましくは、コーナ・ブロック１５間の３つのストラット１２の長さは等しく、ストラット１２およびコーナ・ブロック１５が同一の形状を有する。
【００３９】
この構成は、コーナ・ブロック１５の形状および機構に関する概略例と理解すべきである。実際には、各コーナ・ブロック１５は、光学部材１３の位置を調節するための１つのアクチュエータまたは複数のアクチュエータの構成体に接続することができ、またはその一部分にすることができる。
【００４０】
三角形構造の３つのコーナでの鋭角の領域内に、第１および第２の補強部材２１、２３が提供される。光学部材１３の円周の隣に、かつ円周と当該のコーナ・ブロック１５との間に、コーナ当たり各１つの第１の補強部材２１が存在する。第１の補強部材２１はプレート状であり、当該のコーナ・ブロック１５に接続された２つの当該のストラット１２間に延在して、２つのストラット１２を接続する。第１の補強部材２１がストラット１２に接続される全ての位置が、当該のコーナ・ブロック１５に対して同じ距離を有する。さらに、プレート状の第１の補強部材２１が、フレームの対称面に垂直な鉛直方向に延在する。この対称面は、フレームを上半分と下半分に分け、全ての３つのコーナ・ブロック１５を通って延在する。当該のコーナから光学要素１３の中心への方向で測定される第１の補強部材２１の厚さは、当該のストラット１２の２つの当該のコーナ・ブロック１５をつなぎ、対称面内部にある、または対称面と平行である線に垂直な方向で測定されるストラット１２の厚さよりも小さい。好ましくは、第１および／または第２の補強部材２１、２３、および／またはストラット１２の厚さが一定である。
【００４１】
第２の補強部材２３の各１つが、対称面内部で、第１の補強部材２１の当該の１つと当該のコーナ・ブロック１５との間に延在して、第１の補強部材２１とコーナ・ブロック１５の間、および当該のコーナ・ブロック１５に接続された２つの当該のストラット１２間の三角形状ギャップを埋める。例えば、第２の補強部材２３は、第１の補強部材２１と同じ厚さを有する。第２の補強部材２３の厚さは、対称面に垂直な方向で測定される。その結果、第１の補強部材２１が対称面の両側に延在するので、コーナ・ブロック１５と、コーナ・ブロック１５に接続された２つの当該のストラット１２と、当該の第１および第２の補強部材２１、２３との各グループが、対称面の各側に１つずつ２つの中空スペースを画定する。対称面の上側にある３つの上側中空スペースを、図２で見ることができる。「上側」および「下側」または「垂直」および「水平」は、図２に示される図のみに関するものであり、取付フレームおよび光学部材の位置決めの可能性を制限しない。例えば、対称面は、写真投影装置の投影システム内で垂直方向に延在することもできる。
【００４２】
等しい側面長さを有する図２に示される取付フレーム１１の基本三角形構造は、フレームの良好な剛性をもたらす。第１および第２の補強部材２１、２３により、フレームの重量を大幅に増大させることなく剛性がさらに改善される。
【００４３】
コーナ・ブロック１５は、例えば、フレーム、したがって光学部材の位置および／または向きを調節するための各少なくとも１つのアクチュエータがストラット１２に接続される区域を画定する。好ましくは、そのようなアクチュエータは、上半分と下半分にフレームを分ける対称面に対称に接続される。対称面に垂直な方向で測定されるストラット１２の高さは、当該のストラット１２によって接続される２つの当該のコーナ・ブロック１５間のストラット延在部に沿って変わる場合がある。好ましくは、ストラット１２の高さは、コーナ・ブロック１５の１つで最小であり、コーナ・ブロック間の中間の領域へ向かって徐々に増大し、中間領域は一定の高さを有する。ストラット１２は、ストラットに垂直であり、ストラットの高さに平行な中心面の周りで対称的である。２つのコーナ・ブロック１５間の中間領域で、ストラット１２は、図示されるように、好ましくは円形状の切欠き領域を備える。切欠き領域の区域内部で、ストラット１２の高さは、ストラットの剛性および安定性を保証するために切欠き領域の全ての側面で十分な材料が存在するように、大きくなっている。しかし、例えば、コーナ・ブロックの高さがより大きく、かつ／または切欠き領域のサイズがより小さい場合、ストラットの高さの差をより小さくすることができ、あるいは高さを一定にすることさえできる。
【００４４】
各切欠き領域において膜１７が挿入され、外周で切欠き領域のリムに堅く接続される。膜はシート状にすることができ、しかし図２および３に示される膜１７の構成が好ましい。膜１７は、切欠き領域のリムと、光学部材１３の一部分である、または光学部材１３に接続されたジョイント１９との間に延在する複数のスポーク１８（図３）を備える。スポーク１８の数および寸法を変えることができ、特に、膜１７の切離し性質を調節するように調節することができる。一般に、切離しとは、取付フレーム１１に作用する、またはフレームの変形によって生じる望ましくない力などを取付フレームに加える可能性がある悪い機械条件から光学部材を切り離すことを意味する。さらに、スポークを有する膜の形状を異なるものにすることができ、例えば、スポークを、膜の外周および／または内周で膜のリング状部分に接続することができる。
【００４５】
取付フレーム１１と膜１７は、例えば、同じ材料のブロックからなる単一部品であってよい。しかし、少なくとも膜１７は、フレーム１１またはフレーム１１の一部分から離して製造され、フレーム１１またはフレーム１１の一部分に後の製造ステップで接続されることが好ましい。また、ストラット１２、コーナ・ブロック１５、第１および第２の補強部材２１、２３などフレーム１１の一部分を、個別に製造し、一体に接続することができる。これは特に、コーナ・ブロック１５がアクチュエータまたはアクチュエータの一部分である場合に当てはまる。膜１７および／またはフレーム１１の一部分を個別に製造する１つの利点は、最も良く適した適切な材料および／または製造プロセスを、当該の部品または部材に関して選択することができることである。特に、特定の切離し性質を達成するために膜１７に関する特定の材料を選択することが望ましい場合がある。
【００４６】
フレーム１１または少なくともストラット１２に関する好ましい材料は、単一材料としてのＳｉＣ、または他の材料と組み合わせたＳｉＣである。フレーム１１またはその一部分のための材料の他の例は、一般にＩｎｖａｒ、ステンレス鋼、またはセラミック材料である。
【００４７】
図３は、図２に示される構成と同様の取付フレームおよび光学部材１３の一部分の側面図である。図３は、膜１７が位置している切欠き部分の区域内での、１つのストラット１２の一部分を示す。膜１７およびジョイント１９の後方に、光学部材１３の一部を見ることができる。図３に示される膜１７は、図２に示される膜１７とは異なる数のスポーク１８を有する。
【００４８】
図４は、図２に示される構成と同様のフレーム１１に接続された光学部材１３の構成の上面図を示す。しかし、図４に示されるフレーム１１は、図２に示されるフレーム１１のように、第１および第２の補強部材を有さない。さらに、光学部材１３は、図２に示される光学部材１３の円形状ではなく、正多角形状を有する。一般に、光学部材は、円形または多角形と異なる形状、例えば楕円形、またはバナナ状の断面を有することができる。
【００４９】
本発明の特定の実施形態を上述してきたが、本発明を上述した以外の形で実施することもできることを理解されたい。この記述は本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態によるリソグラフィ投影装置を示す図である。
【図２】取付フレームに接続されたミラーの斜視図である。
【図３】図２の構成と同様の取付フレームおよび接続光学部材の詳細を示す図である。
【図４】図２の構成と同様の取付フレームに接続される光学部材の構成の上面図である。
【符号の説明】
ＬＡ放射源
Ｅｘビーム拡大器
ＩＬ照明装置
Ｅｘ，ＩＬ放射システム
ＡＭ調整手段
ＩＮ積分器
ＣＯ集光器
ＰＬ投影システム
ＭＡマスク（レチクル）
ＭＴ第１の物体テーブル（マスク・テーブル）
Ｃ目標部分
ＰＢ投影ビーム
Ｗ基板（ウェーハ）
ＷＴ第２の物体テーブル（基板テーブル）
１１フレーム
１２ストラット
１３光学部材
１５コーナ・ブロック
１７膜
１９ジョイント
２１、２３補強部材

Claims

放射の投影ビームを提供するための放射システムと、
所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成するように使用されるパターン形成手段を支持するための支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するための投影システムと
を備えるリソグラフィ投影装置であって、
放射システムおよび／または投影システムが、少なくとも１つの光学部材を備え、
光学部材が、光学部材を少なくとも部分的に閉じ込めて放射システムおよび／または投影システムの少なくとも１つの他の構成要素に接続される取付フレームによって支持され、かつ前記取付フレームに接続されており、該フレームと光学部材の接続が、フレームの切欠き領域に位置しており、外周でフレームによって保持されている膜状部分を備え、光学部材が、膜状部分の中心領域に接続されていることを特徴とする装置。
膜状部分が、膜状部分の中心領域から外周に延在する複数のスポークを備える請求項１に記載の装置。
フレームが、少なくとも３つのコーナを有するフレーム構造を形成するようにフレームのコーナに接続された複数のストラットを備える請求項１または請求項２に記載の装置。
コーナ間のフレーム構造の全ての側面の長さが等しい請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の装置。
光学部材が、各２つのコーナ間の中間の当該位置でフレーム構造に接続されている請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の装置。
フレーム、したがって光学部材の位置および／または向きを調節するための少なくとも１つのアクチュエータがフレームに接続されている請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の装置。
フレームへのアクチュエータの接続が、フレームの対称面内の点または領域を含む位置で確立される請求項６に記載の装置。
感放射線材料の層で少なくとも部分的に覆われている基板を提供するステップと、
放射システムを使用して放射の投影ビームを提供するステップと、
パターン形成手段を使用して投影ビームの断面にパターンを与えるステップと、
投影システムを使用して、前記パターン形成された放射のビームを感放射線材料の層の目標部分に投影するステップと、
少なくとも１つの光学部材を使用するステップと
を含み、取付フレームによって光学部材を支持し、取付フレームに光学部材を接続し、前記取付フレームが、光学部材を少なくとも部分的に閉じ込めて、放射システムおよび／または投影システムの少なくとも１つの他の構成要素に接続されており、フレームと光学部材の接続が、フレームの切欠き領域に位置しており、外周でフレームによって保持されている膜状部分を備え、光学部材が、膜状部分の中心領域に接続されていることを特徴とする
デバイス製造方法。
放射の投影ビーム、またはパターン形成されたビームの伝搬方向が、取付フレームの位置および／または向きを調節し、それにより光学部材の位置および／または向きを調節することによって調節される請求項８に記載の方法。