JPH02202031A

JPH02202031A - 回動テーブル装置

Info

Publication number: JPH02202031A
Application number: JP1021906A
Authority: JP
Inventors: Minoru Takubo; 田久保　稔
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1989-01-31
Filing date: 1989-01-31
Publication date: 1990-08-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、非回動部材と、これに回動可能に支持され
た回動部材と、この回動部材を駆動する駆動機構とを有
する回動テーブル装置の改良に関する。

〔従来の技術〕

従来の回動テーブル装置としては、例えば特開昭５８−
１２８７３４号公報（以下、第１従来例と称す）及び実
開昭６１−９２２６号公報（以下、第２従来例と称す）
に記載されているものがある。

第１従来例は、回転ステージのウェハチャックをこのウ
ェハチャックの回転中心部に配置したボールを介して回
動自在に載置するベースと、前記ウェハチャックの中心
部と外周部近傍とにそれぞれ取着する部材に、そのリン
ク端部を弾性支点を介して支持されると共に、その頂角
部を前記ウェハチャック外周部近傍位置に配置する７字
状のリンクと、前記ベース側に取着され、前記７字状の
リンクの頂角部を前記ウェハチャック回動方向に移動さ
せる伝導手段と、前記７字状のリンクの中間部に弾性支
点を介して支持される電歪素子とを備えた構成を有する
。

また、第２従来例は、回転台上に設けられた回転部のま
わりにほぼ水平に且つ回転可能に支持されるロータリー
テーブル位置固定装置において、前記回転部のまわりに
前記ロータリーテーブルを固定させる釈放可能な真空チ
ャックを設けた構成を有する。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記第１従来例にあっては、被露光部材
を保持するウェハチャックを伝導手段及び電歪素子を使
用して回動させることが可能であるが、その回動機構の
部品点数が多くなると共に、複雑大型化するという課題
があった。

また、第２従来例にあっては、回転台に送りねじによっ
て回動可能に支持されたロータリーテーブルを、真空チ
ャックによって固定するようにしたものであり、露光装
置におけるウェハ等の被露光部材とマスクとのアライメ
ントのような高精度を要求される装置には適用し得ない
という課題があった。

そこで、この発明は、上記各従来例の課題に着目してな
されたものであり、簡易な構成で高精度の回動位置決め
を行うことが可能な回動テーブル装置を従供することを
目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、請求項（１）に係る回動テ
ーブル装置は、非回動部材と、これに回動可能に支持さ
れた回動部材と、該回動部材を駆動する駆動機構とを有
する回動テーブル装置において、前記回動部材は、前記
非回動部材に複数の弾性連結部材を介して連結され、該
弾性連結部材は、前記回動部材の回動中心を通る対称軸
を挾んで対称的に配設された少なくとも一対の弾性要素
と、該弾性要素の一端を連結する連結要素とで構成され
、一方の弾性要素の自由端が前記非回動部材に、他方の
弾性要素の自由端が前記回動部材にそれぞれ連結された
構成を有する。

また、請求項（２）に係る回動テーブル装置は、前記請
求項（１）において、非回動部材、回動部材及び弾性連
結部材が一体成形された構成を有する。

〔作用〕

請求項（１）に係る回動テーブル装置においては、非回
動部材と回動部材との間を少なくとも一対の弾性要素を
有する弾性連結部材で連結しているので、回動部材の非
回動部材に対する回動変位を複数の弾性要素で分割して
受は持つことができる。

したがって、回動部材の回動に伴って弾性要素にかかる
半径方向の引張力が小さくなり、半径方向の変位も小さ
くなるので、回動部材を小さな力で回動させることがで
きると共に、大きな回動変位をとることができる。

また、請求項（２）に係る回動テーブル装置においては
、非回動部材、回動部材及び弾性連結部材が一体成形さ
れているので、これらの組立調整作業が不要となる外、
各部材の材質が同じとなることから雰囲気の温度変化に
よる内部歪の発生を防止することができる。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図〜第１６図はこの発明の一実施例を示す図である
。

図中、１は床面等に固定配置された基台であって、この
基台１にＸＹ力方向粗動調整可能なＸＹ方向粗動機構２
を介してｘＹ方向粗動テーブル３が載置され、この粗動
テーブル３上にＸＹ力方向微動調整可能なＸＹ方向微動
機構４及び円周方向に微回動調整可能な徹回動機横５に
よって微動可能で且つＺ方向の高さ及び傾きを調整可能
な昇降機構６によって支持された微動テーブル７が載置
され、この微動テーブル７に円周方向に粗動調整可能な
粗回動機構８を介して被露光部材９を吸着保持する載置
台１０が載置されている。

基台１は、第１図〜第３図に示すように、上面が平滑面
に形成された長方形の台部１１．１２がその前後端部で
連結部材１３及び１４によって連結されて中央部に前後
方向に延長する案内通路１５が形成された構成を有する
。

また、ＸＹ方向粗動機構２は、第１図〜第４図に示すよ
うに、基台１の前後方向の中央位置に左右方向に延長し
て配設されたＸ方向粗動部２Ｘと、基台１の案内通路１
５内に配設されたＹ方向粗動部２Ｙとを有する。

Ｙ方向粗動部２Ｙは、基台１の連結部材１３及び１４に
回転自在に支承されたねじ軸２１と、このねじ軸２１に
螺合するボールナツト２２に固着された箱状の摺動台２
４と、ねじ軸２１を駆動する駆動モータ２５とを備え、
摺動台２４の左右側面が基台ｌの案内通路１５を形成す
る左右側面に係合されて案内され、駆動モータ２５を回
転駆動することにより、摺動台２４がＹ方向（前後方向
）に摺動される。一方、Ｘ方向粗動部２Ｘは、第３図で
特に明らかなように、Ｙ方向粗動部２Ｙの摺動台２４の
前後方向の中央部に取付板２６を介して固着された断面
凹状の案内部材２７と、この案内部材２７の左右端部に
それぞれ取付けられた支持板２８及び２９に回転自在に
支承されたねじ軸３０と、このねじ軸３０に螺合するポ
ールナツト３１と、このポールナツト３１とＸＹＹ向粗
動テーブル３とを連結する連結ブラケット３２と、ねじ
軸３０を回転駆動する駆動モータ３３とを備え、駆動モ
ータ３３を回転駆動することにより、連結ブラケット３
２を介してＸＹＹ向粗動テーブル３が左右方向に移動さ
れる。なお、案内部材２７の下面における左右端部側位
置に基台１の台部１１゜１２の上面に摺接するポリテト
ラフルオロエチレン等の摩擦抵抗の少ない摺接子３４が
配設されている。

ＸＹＹ向粗動テーブル３は、第２図、第３図及び第１２
図に示すように、前後方向の中央部における左側端下面
が前記連結ブラケット３２を介してボールナツト３１に
連結されていると共に、案内部材２７の前後側面に摺接
する摺接部材４１゜４２が下面に平行に配設され、さら
に、摺接部材４１．４２の外側に底面が基台１の上面に
摺接する摺動案内部材４３．４４が配設されている。そ
して、一方の摺接部材４２の案内部材２７の後側面に摺
接する位置にポリテトラフルオロエチレン等の摩擦抵抗
の少ない摺接子４５が配設され、他方の摺接部材４１に
案内部材２７に対して予圧を与える予圧機構４６が左右
両端部側にそれぞれ摺接子４５と対向して配設されてい
る。この予圧機構４６は、第２図及び第９図に示すよう
に、上下端部に対して中央部が偏心した支持軸４７が摺
接部材４１に回動自在に支持され、この支持軸４７の中
央部に外方即ち前方に延長する回動腕４８が固着されて
いると共に、案内部材２７に対して進退自在に配設され
た押圧子４９が係合され、この押圧子４９の案内部材２
７との摺接面に摺接子４５と同様の摩擦抵抗の少ない摺
接子５０が配設され、さらに回動腕４８と摺接部材４１
との間に引張ばね５１が介挿され、この引張ばね５１に
よって回動腕４８が第２図でみて時計方向に回動偏倚さ
れ、支持軸４７の偏心部の作用により、案内部材２７と
摺接部材４１．４２との間に適度の予圧が与えられて両
者間にがたが生じることを防止している。また、摺動案
内部材４３．４４の基台１との摺接面に摺接子４５と同
様の摩擦抵抗の少ない摺接子５２が配設されている。な
お、図示しないが、Ｙ方向粗動部２Ｙの摺動台２４にも
、Ｘ方向粗動部２Ｘの予圧機構４６に対応する予圧機構
が設けられている。

ＸＹＹ向微動機構４は、第３図〜第５図で特に明らかな
ように、比較的大径の中心開口６１ａが形成され、ＸＹ
Ｙ向粗動テーブル３にボルト等によって固定された固定
板部６１と、この固定板部６１の左端縁にそれぞれ平行
な２本の板ばね６２゜６３で構成される弾性連結体６４
．６５を介して弾性支持されたＹ方向微動体６６と、固
定板部６１の右端縁に弾性連結体６４．６５と同様の弾
性連結体６７．６８を介して弾性支持されたＹ方向微動
体６９と、両Ｙ方向微動体６６．６９の前後端縁に弾性
連結体６４，６５，６７．６８と同様の弾性連結体７０
ａ〜７０ｄを介して弾性支持された方形枠状のＸＹ方方
向動動体７１、このＸＹ方方向動動体７１各側縁の中央
部に僅かな間隙を隔てて対向するようにＸＹＹ向粗動テ
ーブル３上に配設された電磁石７２ａ〜７２ｄとを備え
ている。ここで、ＸＹＹ向微動機構４を構成するには、
１枚の平板の所定部をワイヤカット放電加工機、レーザ
ー加工機、電子ビーム加工機等によって刺り貫くことに
よって固定板部６１９弾性連結体６４．６５、Ｙ方向微
動体６６．６９、弾性連結体６７．６８．７０ａ　〜７
０ｄ及びＸＹ方方向動動体７１一体成形されている。な
お、前記ＸＹＹ向粗動テーブル３のＹ方向微動体６６．
６９及びＸＹ方方向動動体７１対向する上面には、両者
の微動を許容するように浅い深さの凹部５５が形成され
ている。

微回動機構５は、第３図、第４図及び第６図で特に明ら
かなように、ＸＹＹ向微動機構４のＸＹ方方向動動体７
１ボルト等の固着手段によって固定された方形枠状の固
定板部８１と、この固定板部８１内に円周方向に微動可
能に弾性支持された微回動体８２と、固定板部８１と微
回動体８２との間に介挿された微動機構８３Ｌ、８３Ｒ
とを備えている。

固定板部８１には、４隅に内周縁側に開口する凹部８１
ａ〜８１ｄが形成されている。

微回動体８２は、固定板部８１の内周面に対して所定幅
の間隙を形成する大きさの方形枠状部８４と、その４隅
からそれぞれ内方に延長し、回動中心点０で一体に連結
された杆部８５ａ〜８５ｄと、固定板部８１の凹部８１
ａ〜８１ｄ内に挿入される１字状の突出部８６ａ〜８６
ｄとで構成されている。

そして、固定板部８１と微回動体８２とは、４隅の対向
位置で弾性連結部８７ａ〜８７ｄを介して連結されてい
る。各弾性連結部８７ａ〜８７ｄのそれぞれは、微回動
体８２の回動中心点０を通る４等分線Ｌｌ及びＬ！に対
して対称的に配設された弾性連結部材８８．８９を有し
、各弾性連結部材８８．８９のそれぞれは、第１Ｏ図で
拡大図示したように、微回動体８２の回動中心点０を通
る軸線ｌを挟んで対称的に配設された弾性要素としての
一対の平行板ばね９０ａ、９０ｂと、両板ばね９０ａ、
９０ｂの内側自由端間を連結する連結要素としての肉厚
の剛体部９１とで構成され、板ばね９０ａの外側端が固
定板部８１の凹部８１ａ〜８１ｄを形成する側壁に、板
ばね９０ｂの外側端が微回動体８２の突出部８６ａ〜８
６ｄにそれぞれ連結されている。ここで、固定板部８１
、微回動体８２及び弾性連結部８７ａ〜８７ｄは、前記
ＸＹＹ向微動機構４と同様に、１枚の平板を、ワイヤカ
ット放電加工機、レーザー加工機、電子ビーム加工機等
によって所定位置を削り貫くことにより、一体成形され
ている。

また、第１０図に示すように、微回動体８２の方形枠状
部８４の左右側縁の中央部に外方に突出する突出片９１
Ｌ、９１Ｒが固着され、これら突出片９１Ｌ、９１Ｒに
おける先端部の前後端縁に耐摩耗性を有し、押圧子９３
との当接面が球面形状に形成されたチップ９２ａ、９２
ｂが嵌合されている。

微動機構８３Ｌ、８３Ｒのそれぞれは、第１０図に示す
ように、突出片９１Ｌ、９１Ｒのチップ９２ａ、９２ｂ
に押圧子９３が当接され固定板部８１に内装された一対
の圧電アクチュエータ９４ａ及び９４ｂを有し、常時は
圧電アクチュエータ９４ａ及び９４ｂに等しいバイアス
電圧が印加されることにより、微回動体８２が中立位置
となるように予圧が与えられており、この状態から、−
方の圧電アクチュエータ９４ａ（又は９４ｂ）の電圧を
増加させ、他方の圧電アクチュエータ９４ｂ（又は９４
ａ）の電圧を低下させることにより、微回動体８２が時
計方向（又は反時計方向）に微回動される。さらに、微
回動体８２の下面には、円形のテーブル９５が取付けら
れ、この円形テーブル９５の下面に僅かな間隙を隔てて
対向する位置にＸＹＹ向粗動テーブル３に固着された円
筒部９６ａとその上端面を閉塞する上面板部９６ｂとを
有する台座９６が配設され、この台座９６の上面板部９
６ｂと円形テーブル９５の下面との間の間隙に比較的粘
性が高いシリコンオイル等の粘性材９７が注入されて制
振機構９８が構成されている。

微動テーブル７は、第１図、第３図、第４図及び第８図
に示すように、比較的大径の段部を有する中心開口９９
を有し、微回動機構５の上方に所定の間隔を保って、前
記ＸＹ方向粗動テーブル３上に配設された昇降機構６に
よって上下動及び傾動可能に３点支持され、且つ微回動
機構５の微回動体８２に弾性連結部材１００ａ〜１００
ｄを介して連結されている。

昇降機構６は、第１図及び第５図に示すように、前記Ｘ
Ｙ方向粗動テーブル３上のＸＹ方向微動機構４を囲む３
点位置に配設された昇降部１０１ａ〜１０１ｃを有する
。各昇降部１０１ａ〜１０１Ｃのそれぞれは、第５図及
び第１１図（ａ）〜（ｅ）に示すように、ＸＹ方向粗動
テーブル３に固定された下面が水平面で、上面が正面か
らみて右上がりに傾斜する傾斜面に形成され、上面中央
部に突条１０２が形成された断面凸状の傾斜案内板１０
３と、この傾斜案内板１０３の突条１０２の上面と、そ
の両側部に固着された案内プレート１０４ａ及び１０４
ｂとによって案内されて摺動する中心開口１０５を有す
ると共に水平な上面を有する直方体状の斜面スライダ１
０６と、この斜面スライダ１０６の上面に保持器１０７
によって保持された転動体としての複数のボール１０８
を介して載置された微動テーブル７を傾動可能に支持す
る支持板１０９と、前記斜面スライダ１０６を摺動させ
る直線駆動機構１１０とを備えている。ここで、支持板
１０９は、その上面側に円筒部１１１が突設され、この
円筒部１１１の上端面が円筒部１１１の中心を通る直線
上の所定の点を中心とする球面１１２に形成されており
、この球面１１２に保持器１１３によって保持された複
数のボール１１４を介して微回動テーブル７に形成した
段付凹部１２１内に固着された球面１１２に対応する球
面１２２を有する支持座１２３が支持されている。また
、直線駆動機構１１０は、傾斜案内板１０３に固定され
た駆動モータ１１５と、その回転軸にカップリング１１
６を介して連結されたねじ軸１１７と、このねじ軸１１
７に螺合されたポールナツト１１８とを有し、ポールナ
ツト１１８が前記斜面スライダ１０６の中心開口１０５
．内に嵌合されて固着されている。

また、微動テーブル７と微回動機構５の微回動体８２と
を連結する弾性連結部材１００ａ〜１００ｄは、第１２
図（ａ）及び（ロ）で特に明らかなように、微回動体８
２の４隅に植設された支持板部１３１ａ〜１３１ｄを有
し、これら支持板部１３１ａ〜１３１ｄの上端が微動テ
ーブル７に予め形成された貫通孔１２４を貫通して上方
に延長され、その上端と微動テーブル７の上面との間に
、微動テーブル７を下方に押圧する付勢ばね１３２ａ〜
１３２ｄが介挿されζいる。これら付勢ばね１３２ａ〜
１３２ｄのそれぞれは、剛性を有する基部１３３に３枚
の板ばね１３４ａ〜１３４ｃが平行に固定され、そのう
ちの外側の２枚の板ばね１３４ａ及び１３４ｃの自由端
が微動テーブル７の上面にビス等によって固定され、中
央部の板ばね１３４ｂの自由端が支持板部１３１ａ〜１
３１ｄの上端にビス等によって固定されている。したが
って、微動テーブル７は、弾性連結部材１００ａ〜１０
０ｄによって微回動機構５に連結されているので、微回
動機構５の微回動体８２の円周方向の微動に伴って微動
し、この微動が上昇機構６の支持板１０９と斜面スライ
ダ１０６との間に介挿されたポール１０８によって許容
され、上昇機構６による上下動に対しては、弾性連結部
材１００ａ〜１００ｄの付勢ばね１３２ａ−１３２ｄの
撓みによって下方への付勢力を発揮しながら許容される
。

また、微動テーブル７の上面には、Ｙ方向に延長するバ
ーミラー１３５及びＹ方向に延長するバーミラー１３６
が固定配置され、これらバーミラー１３５及び１３６に
よって、第１図に示す基台ｌ上にそれぞれ個別に配設さ
れたレーザー干渉測長機１３７及び１３８からのレーザ
ー光を反射することにより、微回動テーブル６のＸＹ力
方向位置を精密に測定する。

相同動機構８は、第３図、第４図、第７図及び第１３図
で特に明らかなように、前記微動テーブル７の中心開口
９９内に固定配置された十文字状の固定板部１４１と、
この固定板部１４１に弾性連結部１４２ａ〜１４２ｄを
介して弾性支持された偏平円筒状の相同動体１４３と、
この相同動体１４３を回動させる回動機構１４４とを備
えている。

固定板部１４１は、十文字状の板部１４５の各先端部に
、微動テーブル７に対する扇状の取付部１４６が形成さ
れ、板部１４５の中心部における下面に十文字状の板ば
ね１４７が板部１４５に対して４５度ずれた関係で取付
けられ、この板ばね１４７の各先端部が初回動体１４３
の外周縁まで延長された構成を有する。

初回動体１４３は、偏平円筒状に形成され、その内周縁
における９０度の角間隔を保った４つの位置にそれぞれ
固定板部１４１の取付部１４６が挿入される凹部１４８
ａ−１４８ｄが形成されていると共に、各凹部１４８ａ
〜１４８ｄ間に前記板ばね１４７に対向して内方に突出
する凸部１４９ａ〜１４９ｄが形成された構成を有する
。そして、凸部１４９ａ　〜１４９ｄには、第１３図（
ロ）に示すように、内周縁から下面側に貫通する空気吸
引通路１５０が形成され、この空気吸引通路１５０の内
周面側開放端が電磁方向切換弁１５１を介して真空ポン
プ１５２に接続され、他方の下面側開放端が板ばね１４
７の先端部に対向され、電磁方向切換弁１５１を真空ポ
ンプ１５２側に切換えることにより、板ばね１４７の先
端部を吸着して初回動体１４３の回動を規制し、電磁方
向切換弁１５１を大気側に切換えることにより、板ばね
Ｉ４７の吸着を解除して初回動体１４３の回動を許容す
る。また、凸部１４９ｄに、第１３図（ａ）に示すよう
に、内周面から上面における後述するプライマリ−チャ
ック１７１の凹部１７３に対向する位置に貫通する空気
吸引通路１５３が形成され、この空気吸引通路１５３の
内周面側開放端が電磁方向切換弁１５４を介して前記真
空ポンプ１５２に接続されている。

弾性連結部１４２ａ−１４２ｄは、第１３図（ａ）に示
すように、前記微回動機構５の弾性連結部８７ａ〜８７
ｄと同様に、固定板部１４１の中心点０□を通る４等分
線り、及びＬ４に対して対称的に配設された弾性連結部
材１５５．１５６を有し、各弾性連結部材１５５，１５
６のそれぞれは、固定板部１４１の中心点０□を通る軸
線！！を挟んで対称的に配設された弾性要素としての一
対の平行板ばね１５７ａ、１５７ｂと、両板ばね１５７
ａ、１５７ｂの内側自由端間を連結する連結要素として
の肉厚の剛体部１５７ｃとで構成され、板ばね１５７ａ
の外側端が初回動体１４３の凹部１４８ａ〜１４８ｄの
開放端側に、板ばね１５７ｂの外側端が固定板部１４１
の取付部１４６にそれぞれ連結されている。

回動機構１４４は、第７図に示すように、初回動体１４
３の外周縁に２点で接触するように微動テーブル７に枢
着された４つのプーリ１５８によって案内される無端ベ
ルト１５９を有し、この無端ベルト１５９の初回動体１
４３との接触点が係止具１６０によって初回動体１４３
に固着され、前方側のブーＩ７１５８間に微動テーブル
７に固定されたリニアボールベアリング１６１によって
左右方向に摺動自在に配設された摺動軸１６２の一端が
固着されている。そして、摺動軸１６２の他端が直線駆
動機構１６３に連結されている。この直線駆動機構１６
３は、微動テーブル７に固定配置された駆動モータ１６
４と、その回転軸に連結された螺軸１６５と、この螺軸
１６５に螺合された摺動体１６６とを有し、摺動体１６
６が前記摺動軸１６２の他端に連結されている。したが
って、駆動モータ１６４を例えば正転させることにより
、摺動体１６６が左方に摺動して、摺動軸１６２及び無
端ベルト１５９を介して初回動体１４３を弾性連結部１
４２ａ〜１４２ｄに抗して第７図でみて時計方向に回動
させ、駆動モータ１６４を逆転させることにより、初回
動体１４３を弾性連結部１４２ａ〜１４２ｄに抗して反
時計方向に回動させる。

なお、固定板部１４１、弾性連結部材１４２ａ〜１４２
ｄ及び初回動体１４３は、１枚の平板の所定位置をワイ
ヤカット放電加工機、レーザー加工機、電子ビーム加工
機等によって削り貫くことによって一体成形されている
。

載置台１０は、相同動機構８における初回動体１４３の
凸部１４９ａ〜１４９ｄの上面にボルト等の固着手段で
固定配置されたプライマリ−チャック１７１と、このプ
ライマリ−チャック１７１上に真空吸着保持される、ウ
ェハ、マスク等の被露光部材９を真空吸着保持するウェ
ハチャック１７２とで構成されている。

プライマリ−チャック１７１は、第１４図（ａ）、（ｂ
）及び（Ｃ）に示すように、下面における相同動体１４
３の凸部１４９ａ〜１４９ｄの上面に形成された空気吸
引通路１５３の開放端に連通ずる凹部１７３が形成され
ていると共に、この凹部１７３に連通し、上面の中心部
に開口する空気吸引通路１７４が内部に形成され、さら
に上面に中心部から放射状に延長する４本の空気吸引溝
１７５が形成されていると共に、これら空気吸引溝１７
５に連通ずる多数の円弧状溝１７６が同心的に形成され
、最外周側の円弧状溝１７７と凹部１７３とが連通孔１
７８によって連通されている。また、プライマリ−チャ
ック１７１の上面には、ウェハチャック１７２を位置決
めするための３本の係合ビン１７９ａ−１７９ｃが突出
して形成されている。

ウェハチャック１７２は、第１５図（ａ）及び（ｂ）に
示すように、底面が平坦面に形成された円板状に形成さ
れ、その中心位置にプライマリ−チャック１７１の上面
中心位置に開口した空気吸引通路１７４に連通ずる空気
吸引通路１８１が貫通して穿設され、上面の被露光部材
９を載置する載置面に空気吸引通路１８１に連通ずる複
数の空気吸引溝１８２が同心状に刻設され、さらに下面
にプライマリ−チャック１７１に配設された係合ピン１
７９ａ〜１７９ｃに係合する扇状の切欠１８３ａ〜１８
３ｃが形成された構成を有する。

そして、プライマリ−チャック１７１の上面にウェハチ
ャック１７２を載置することによって、プライマリ−チ
ャック１７１の空気吸引溝１７°５〜１７７の開放上面
がウェハチャック１７２の平坦な底面によって閉塞され
ることになり、この状態でウェハチャック１７２に被露
光部材９を載置した後前述した電磁方向切換弁１５１を
真空ポンプ１５２側に切換えることにより、プライマリ
−チャック１７１の空気吸引溝１７５〜１７７によって
ウェハチャック１７２が真空吸着保持されると共に、ウ
ェハチャック１７２の空気吸引溝１８２によって被露光
部材９が真空吸着保持される。

また、この場合、ウェハチャック１７２に被露光部材９
を吸引する真空吸引源と、ウェハチャック１７２とプラ
イマリ−チャック１７１の吸引源を別途に設けてもよい
。

そして、以上の構成を有する複合移動テーブルを縮小投
影露光装置に適用する場合には、第１６図に示すように
、複合移動テーブルを囲むように門形フレーム１９１を
配設し、この門形フレーム１９１の被露光部材９に対向
する位置に、内部に光通路を形成した筒体１９２が固着
され、この筒体１９２の下面に縮小レンズ１９３を保持
した筒体１９４が固着され、この筒体１９４に被露光部
材９との距離を測定する空気マイクロメータ１９５が配
設されている。

筒体１９２の外周面にはベアリング１８６を介して外周
面に歯車１９７を形成した旋回テーブル１９８が回動自
在に配設され、その歯車１９７が門形フレーム１９１に
固設された回転駆動源１９９に連結されて旋回駆動され
る。

旋回テーブル１９８には、種々の光学パターンを形成す
るバリアプルアパーチャ２００が保持され、このバリア
プルアパーチャ２００の上方にコンデンサレンズ２０１
が配設され、このコンデンサレンズ２０１の上方に図示
しないがキセノンランプ等の露光用光源が配設されてい
る。

次に、上記実施例の動作を説明する。先ず、電磁方向切
換弁１５４を大気側に切り換えて、載置台１０の各空気
吸引通路を大気に開放した状態で、露光する被露光部材
９のサイズに応じた大きさのウェハチャック１７２を選
択し、このウェハチャック１７２をプライマリ−チャッ
ク１７１上に位置決めして載置する。この位置決めは、
プライマリ−チャック１７１の上面に突出形成した保合
ビン１７９ａにウェハチャック１７２の切欠１８３ａを
形成する左側面を当接させ、且つ係合ピン１７９ｂ及び
１７９Ｃに切欠１８３ｂ及び１８３Ｃを形成する後側縁
を当接させることにより行い、これによってプライマリ
−チャック１７１に対してウェハチャック１７２が正確
に位置決めされる。

その後、ウェハチャック１７２上に被露光部材９をロー
ディング装置（図示せず）によって載置してから電磁方
向切換弁１５４を真空ポンプ１５２側に切換える。これ
により、プライマリ−チャック１７１の上面に形成され
た空気吸引溝１７５〜１７７が連通孔１７８、凹部１７
３、粗目動機構８の相同動体１４３に形成された空気吸
引通路１５３及び電磁方向切換弁１５４を介して真空ポ
ンプ１５２に連通されて真空状態となり、ウェハチャッ
ク１７２が真空吸着されてプライマリ−チャック１７１
上に固定保持されると共に、ウェハチャック１７２の上
面に形成された空気吸引溝１８２が空気吸引通路１８１
、プライマリ−チャック１７１の空気吸引通路１７４、
凹部１７３を介して粗目動機構８の相同動体１４３に形
成された空気吸引通路１５３に連通されて真空状態とな
り、被露光部材９が真空吸着されてウェハチャック１７
２上に固定保持される。

この被露光部材９の保持が完了した後に、縮小レンズ１
９３に対する被露光部材９のＸＹ力方向露光位置調整を
行う、この露光位置調整は、先ず目標位置の近傍までは
、ＸＹＹ向粗動機構２の駆動モータ２５及び３３を回転
駆動することにより、粗動テーブル３をＸＹ力方向粗動
させる。この粗動テーブル３のＸＹ力方向位置制御は、
粗動テーブル３上に載置された微動テーブル７の上面に
配設されたバーミラー１３５及び１３６に対向して基台
ｌ上に配設されたレーザー測長機１３７及び１３８によ
って測定され、これらレーザー測長機１３７及び１３８
の測定値が目標位置の位置座標と略等しくなったときに
、ＸＹＹ向粗動機構２の駆動モータ２５及び３３を停止
させる。このとき、粗動テーブル３は、摺動案内部材４
３．４４の底面に配設された摩擦抵抗の少ない摺接子５
２が基台１の平滑な上面に接触して、ＸＹ力方向移動す
るので、その上面が水平状態を保った状態で粗動され、
且つＸ方向粗動部２Ｘ及びＹ方向粗動部２Ｙのそれぞれ
に予圧機構４６が配設されているので、Ｘ方向又はＹ方
向粗動時にガタにより、ＸＹ力方向対する角度ずれを生
じることがない。また、ＸＹＹ向粗動機構２による粗動
テーブル３の移動による慣性力が、粗動テーブル３上に
載置された微動テーブル７に伝達されることになるが、
この微動テーブル７は、微回動機構５の微回動体８２、
固定板部８１を介して制振機構９８に連結され、この制
振機構９８の粘性材９７によって制振効果が発揮される
ので、慣性力によって微動テーブル７が不必要に揺動す
ることがなく、正確な位置決めを行うことができる。し
かも、制振機構９８はＸＹＹ向微動機構４の中央部に形
成されており、円形テーブル９５とこれに対向する台座
９６の上面板部９６ｂとの対向面積を広くして広い制振
面を採ることができるので、大きな制振効果を発揮する
ことができる。

次いで、微動テーブル７をＸＹ力方向微動させて、被露
光部材９の露光位置を正確に目標位置に一致させる。こ
の微動テーブル７の微動は、ＸＹＹ向微動機構４の電磁
石７２ａ〜７２ｄの通電量を制御することにより行う。

すなわち、通常状態では、各電磁石７２ａ〜７２ｄに供
給する通電量を等しい値として、これら電磁石７２ａ〜
７２ｄによる微動機構５のＸＹ方方向動動体７１対する
電磁吸引力を等しくして、ＸＹ方方向動動体７１固定板
部６１に対して中立位置に保持する。この状態では、固
定板部７１とＹ方向微動体６６及び６９との間を連結す
る弾性連結体６４．６５及び６７．６８と、Ｙ方向微動
体６６及び６９とｘｙ方方向動動体７１の間を連結する
弾性連結体７０ａ〜７０ｄとには何ら水平方向の力が作
用せず、弾性変形を生じない。

この中立状態から、例えば電磁石７２ａ（又は７２ｃ）
の通電量を増加させると共に、電磁石７２ｃ（又は７２
ａ）の通電量を減少させると、電磁石７２ａ（又は７２
Ｃ）による電磁吸引力が増加し、電磁石７２Ｃ（又は７
２ａ）による電磁吸引力が減少することから、ＸＹ方方
向動動体７１Ｘ軸方向に左方（又は右方）に微動する。

このように、ＸＹ方方向動動体７１左方（又は右方）に
微動すると、Ｘ方向に延長する弾性連結体６４゜６５及
び６７．６８については、引張力（又は圧縮力）及び圧
縮力（又は引張力）が作用するだけでそれらの延長方向
と直交する方向の弾性変位を生じることはないので、Ｙ
方向微動体６６及び６９はＸ方向に変位することなく、
Ｙ方向に延長する弾性連結体７０ａ〜７０ｄについては
、ＸＹ方方向動動体７１ΔＸだけ左方（又は右方）に移
動すると、Ｙ方向微動体６６及び６９がＸ方向に移動し
ないので、移動量ΔＸに対応した弾性変形を生じて、Ｘ
Ｙ方方向動動体７１微動を許容する。

このように、ＸＹ方方向動動体７１Ｘ方向に微動すると
、このＸＹ方方向動動体７１固定された微回動機構５の
固定板部８１も同時にＸ方向に移動量ΔＸだけ移動し、
この微回動機構５の圧電アクチュエータ９４ａ、９４ｂ
に前述したように等しい電圧が印加されているので、微
回動体８２も移動量ΔＸだけ移動し、この微回動体８２
に弾性連結部材１００ａ〜１００ｄを介して連結された
微動テーブル７がＸ方向に移動量ΔＸだけ移動する。こ
のとき、微動テーブル７は、昇降機構６の斜面スライダ
１０６に対してボール１０８を介して支持されているの
で、そのＸ方向の移動がボール１０８が転動することに
より許容され、円滑な移動が確保される。そして、微動
テーブル７に粗目動機構８を介して載置された載置台１
０もＸ方向に移動量ΔＸだけ移動して被露光部材９がＸ
方向にΔＸだけ移動する。そして、この場合の微動も微
動テーブル７上に配設されたバーミラー１３５に対向す
るレーザー測長機１３７によって測定されるので、その
測定値で表される被露光部材９の位置座標と、目標位置
との偏差に応じてＸＹＹ向微動機構４の電磁石？　２　
ａ、　　７２　ｃの通電量を制御することにより、被露
光部材９をミクロン又はサブミクロンオーダで正確に位
置決めすることができる。

同様に、被露光部材９のＹ方向の微動位置決めは、ＸＹ
Ｙ向微動機構４の電磁石７２ｂ、７２ｄの通電量をレー
ザー測長機１３８の測定値と目標位置座標との偏差に基
づいて制御することにより、ミクロン又はサブミクロン
オーダで正確に行うことができる。

また、被露光部材９とバリアプルアパーチャ２００との
アライメントを行うために、被露光部材を回動させるに
は、被露光部材９がウェハであるものとすると、そのオ
リエンテーシジンフラットの位置を例えば光学的に検出
し、その検出値に基づいて粗目動機構８の駆動モータ１
６４及び微回動機構５の圧電アクチュエータ９４ａ、９
４ｂを制御する。

すなわち、先ず粗目動機構８の電磁方向切換弁１５１を
大気側に切換えて、粗目動体１４３による固定板部１４
１に固定された板ばね１４７の真空吸着状態を解除して
、粗目動体１４３を固定板部１４１に対して回動自在と
し、この状態で駆動モータ１６４を正転（又は逆転）駆
動することにより、摺動体１６６及び摺動軸１６２を左
方（又は右方）に摺動させて無端ベルト１５９を時計方
向（又は反時計方向）に移動させ、この無端ベルト１５
９に固着された粗目動体１４３を弾性連結部１４２ａ〜
１４２ｄに抗して時計方向（又は反時計方向）に相同動
させる。このとき、弾性連結部１４２ａ　〜１４２ｄの
各弾性連結部材１５５゜１５６は、粗目動体１４３が回
動角Δθだけ回動したものとすると、各弾性連結部材１
５５，１５６が平行板ばね１５７ａ、１５７ｂとこれら
間を連結する剛体部１５７Ｃとで構成されているので、
粗目動体１４３の時計方向（又は反時計方向）の回動に
応じて、先ず板ばね１５７ａが弾性変位し、その変位力
が剛体部１５７Ｃ及び板ばね１５７ｂに伝達されること
になり、これに応じて剛体部１５７ｃが回動角Δθの半
分だけ時計方向（又は反時計方向）に移動する。このた
め、各板ばね１５７ａ、１５７ｂの回動変位量は、粗目
動体１４３の回動角Δθの１／２となり、しかも剛体部
１５７ｃは半径方向にも移動可能であるので、板ばね１
５７ａ、１５７ｂに大きな引張力が作用することがなく
、粗目動体１４３の回動を軽い力で大きな回動変位を得
ることができる。

因みに、固定板部１４１と粗目動体１４３とを１枚の板
ばねで連結する場合には、板ばねの弾性変位量が粗目動
体１４３の回動角Δθとなるので、中立状態から相同動
体１４３を回動させたときに、回動角Δθが大きくなる
に従って大きな引張力が作用することになり、大きな回
動力を必要とすると共に、回動変位量が小さくなる。

この粗面動機構８の相同動体１４３の回動によってこれ
に直接連結されているプライマリ−チャック１７１が回
動し、これに吸着保持されているウェハチャック１７２
も回動するので、被露光部材９が回動する。そして、被
露光部材９が目標回動角の近傍まで回動すると、駆動モ
ータ１６４の回転を停止させると共に、電磁方向切換弁
１５１を真空ポンプ１５２側に切換え、これによって相
同動体１４３に板ばね１４７が真空吸着されて、相同動
体１４３の回動が阻止されて固定板部１４１に固定され
る。

その後、被露光部材９の回動角の微調整を行うには、微
回動機構４の圧電アクチュエータ９４ａ。

９４ｂの電圧を制御することにより行う。例えば微回動
体８２を時計方向に微回動させるには、圧電アクチュエ
ータ９４ａの電圧をバイアス電圧より徐々に高くし、圧
電アクチュエータ９４ｂの電圧をバイアス電圧より徐々
に低くすることにより、圧電アクチュエータ９４ａの押
圧子９３によって微回動体８２の突出片９１Ｌ及び９１
Ｒが前方及び後方に押圧される。このため、微回動体８
２が弾性連結部８７ａ〜８７ｂに抗して回動中心０を中
心として微回動する。このとき、弾性連結部８７ａ〜８
７ｄは、前述した粗面動機構８と同様に、各連結部材８
８．８９が一対の平行板ばね９０ａ。

９０ｂとこれらの内方端部を連結する剛体部９１とで構
成されているので、微回動体８２の微回動に伴って剛体
部９１が微回動体８２の微回動量δθに対して半分の微
回動量δθ／２だけ回動し、板ばね９０ａ、９０ｂの弾
性変位量もδθ／２となるので、微回動体８２を微回動
させる際の圧電アクチュエータ９４ａによる押圧力が少
なくて済むと共に、大きな微回動量を得ることができる
。

そして、微回動体８２が微回動することにより、これに
弾性連結部材１００ａ〜１００ｄを介して連結された微
動テーブル７が微回動され、この微回動テーブル７に粗
面動機構８を介して載置された載置台１０が微回動して
、被露光部材９が微回動される。そして、被露光部材９
の例えばオリエンテーションフラットが所定の位置に達
したときに、圧電アクチュエータ９４ａ及び９４ｂに対
する印加電圧の増加及び減少を停止し、そのときの印加
電圧を保持する。

以上のようにして、被露光部材８の露光位置に対する位
置決めが完了した後又はその前に、ウェハチャック１７
２に吸着保持した被露光部材８の露光面が反り等に起因
して水平度がでていないときには、昇降機構６を作動さ
せて水平度を保つレベリング処理を行う。このレベリン
グ処理は、被露光部材９の水平度に応じて昇降部１０１
ａ〜１０１ｃの駆動モータ１１５を駆動することによっ
て行い、被露光部材９の露光面が例えば左右方向（Ｘ方
向）の水平度は確保されていて、前方側が高く、後方側
が低い場合には、昇降部１０１ａの駆動モータ１１５は
回転停止状態を維持し、昇降部１０１ｂの駆動モータ１
１５を例えば正転駆動し、昇降部１０１ｃの駆動モータ
１１５を逆転駆動する。したがって、昇降部１０１ｂに
おいては、駆動モータ１１５の正転により、斜面スライ
ダ１０６が第５図でみて左上に摺動し、この斜面スライ
ダ１０６が傾斜案内板１０３の左上がりに傾斜する傾斜
面に沿って摺動するので、斜面スライダ１０６の水平上
面の高さが粗動テーブル３を基準として高くなり、支持
板１０９が上昇して微動テーブル７の後端側を上昇させ
る。一方、昇降部１０１ｂにおいては、駆動モータ１１
５の逆転により、斜面スライダ１０６が第５図でみて右
上に摺動し、この斜面スライダ１０６が傾斜案内板１０
３の左上がりに傾斜する傾斜面に沿って摺動するので、
斜面スライダ１０６の水平上面の高さが粗動テーブル３
を基準として低くなり、支持板１０９が下降して微動テ
ーブル７の前端側を下降させる。その結果、微動テーブ
ル７がその回動中心０を通るＸ軸線を中心として回動す
ることになり、これに伴って載置台ｌＯが回動して被露
光部材９の露光面の水平度を確保することができる。こ
のとき、昇降部１０１ｂ及び１０１ｃの昇降によって微
動テーブル７が回動するが、この回動の際に、微動テー
ブル７がその段付凹部１２１内に固着された球面１２２
を有する支持座１２３と、昇降部１０１ａ−１０１ｃの
支持板１０９の球面１１２との間にボール１１４が介挿
されており、しかも微動テーブル７が粗動テーブル３上
にＸＹ方向微動機構４を介して支持された微回動機構５
の微回動体８２に弾性連結部材１００ａ＝１００ｄを介
して支持され、これら弾性連結部材１００ａ〜１００ｄ
の付勢ばね１３２ａ〜１３２ｄによって下方側に付勢さ
れているので、支持板１０９と支持座１２３とが離間す
ることなく微動テーブル７の回動を円滑に行うことがで
きる。また、斜面スライダ１０６の上面がその移動にか
かわらず水平面を保持するので、この上面と支持板１０
９との間に介挿したボール１０８が斜面スライダ１０６
の摺動に伴って脱落することを防止することができる。

さらに、微動テーブル７が昇降部Ｉｏｔａ〜１０１ｃに
よって３点支持されているので、披露光部材９の露光面
が如何なる方向に傾斜していても、これを補正して水平
度を高精度に確保することができる。

そして、被露光部材９に対してバリアプルアパーチャ２
００で形成したパターンを露光するには、先ず被露光部
際９と縮小レンズ１９３との間隔を所定値に保つ焦点調
整を行う。この焦点調整は、縮小レンズ１９３を保持し
た筒体１９４の下面に配設した空気マイクロメータ１９
５の測定値に基づいて昇降機構６を駆動することにより
行う。すなわち、空気マイクロメータ１９５の測定値と
予め選定した焦点位置に対応する基準値とを比較し、両
者の偏差が零となるように、各昇降部１０１ａ〜１０１
ｃの駆動モータ１１５を同一指令値で正逆転駆動し、被
露光部材９の露光面を水平面に保ちながら焦点調整を行
う。

この゛焦点調整が終了した後に、露光光源からの露光光
線をバリアプルアパーチャ２００及び縮小レンズ１９３
を介して被露光部材９の露光面に照射することにより、
バリアプルアパーチャ２００で形成される所定の露光パ
ターンが被露光部材９に露光される。

そして、露光が終了したときには、被露光部材９０次の
露光位置が縮小レンズ１９３と対向するように、ＸＹ方
向粗動機構２及びＸＹ微動機構４を駆動して位置決めを
行ってから露光を行い、全ての露光位置での露光が完了
したら、電磁方向切換弁１５４を大気側に切換えて、ウ
ェハチャック１７２による被露光部材９の真空吸着を解
除し、露光部の被露光部材９を図示しないアンローディ
ング装置によって外部に取り出し、新たな被露光部材９
をローディング装置によって載置台１ｏのウェハチャッ
ク１７２上に載置して、被露光部材９の露光を行う。

また、被露光部材９のサイズが異なる場合には、電磁方
向切換弁１５４を大気側に切換えて、プライマリ−チャ
ック１７１によるウェハチャック１７２の真空吸着を解
除してから、ウェハチャック１７２を取り外し、これに
代えて被露光部材９に対応するウェハチャック１７２を
選択してプライマリ−チャック１７１上に位置決めして
載置してから、前述と同様の動作を行う。

なお、上記実施例では、微回動機構５及び粗間動機構８
の弾性連結部８７ａ〜８７ｄ及び１４２ａ〜１４２ｄが
回動中心０を通る軸線Ｌ１〜Ｌ４に対して対称的な弾性
連結部材８８．８９及び１５５．１５６で構成されてい
る場合について説明したが、これに限定されるものでは
なく、何れか一方の弾性連結部材を省略することもでき
る。

また、各弾性連結部材８８．８９及び１５５゜１５６が
一対の平行板ばね９０ａ、９０ｂ及び１５７ａ、１５７
ｂと剛性部９１及び１５７ｃとで構成されている場合に
ついて説明したが、これに限らず第１７図に示すように
、奇数の板ばね２１Ｏと偶数の剛性部２１１とを連結し
て構成するようにしてもよく、この場合には各板ばね２
１０の弾性変位をより少なくすることができ、より軽い
回動と大きな回動範囲を得ることができる。さらに、第
１８図に示すように、板ばね９０ａ、９０ｂ及び１５７
ａ、１５７ｂを剛体部９１及び１５７Ｃを挟んで点対称
に配設するようにしてもよく、また剛体部９１及び１５
７Ｃを省略して、Ｕ字状の１枚の板ばねとすることもで
き、さらに板ばね９０ａ、９０ｂ及び１５７ａ、１５７
ｂは平行である必要はなく、回動中心Ｏを中心とする軸
線に対して対称関係を有しさえすればよい。

さらに、上記実施例においては、ＸＹ微動機構４、微回
動機構５及び粗目動機構８を放電加工等によって一体成
形する場合について説明したが、これに限定されるもの
ではなく、各部を別体で構成し、これらを組み立てるよ
うにしてもよい。

またさらに、微回動機構５の駆動機構としては、圧電ア
クチエエータ９４ａ、９４ｂに限定されるものではなく
、電磁石等の微動調整可能な駆動機構を適用することが
でき、粗目動機構８の駆動機構としても無端ベルト１５
９及び直線駆動機構１６３に限らず、歯車等を利用した
他の回動機構を適用し得る。

なおさらに、粗動機構２としては、上記構成に限らず、
他の任意の構成の粗動機構を適用し得るものである。

また、上記実施例では、この発明を縮小投影露光装置に
適用した場合について説明したが、これに限らず他の等
信置光装置等の精密位置決めが必要な装置に適用し得る
ものである。

〔発明の効果〕

以上説明したように、請求項（１）の回動テーブル装置
によれば、非回動部材に対して回動部材を弾性連結部材
を介して回動自在に配設し、弾性連結部材を回動部材の
回動中心を通る対称軸を挟んで対称的に配設された少な
くとも一対の弾性要素と、これら弾性要素の一端を連結
する連結要素とで構成し、一方の弾性要素の自由端を前
記非回動部材に、他方の弾性要素の自由端を前記回動部
材に連結した構成としたので、回動部材の回動量に対す
る各弾性要素の弾性変位量を少なくすることができ、小
さな回動力で大きな回動変位を得ることができ、しかも
回動機構として微回動機構を採用することにより、微回
動を精密に行うことができる等の効果が得られる。

また、請求項（２）の回動テーブル装置によれば、非回
動部材、回動部材及び弾性連結部材が一体成形されてい
るので、各部材の組立調整作業が不要となると共に、高
精度の配置関係を得ることができ、しかも各部材を同一
材料で形成することにより、回動テーブル装置を配置し
た雰囲気の温度変化によって内部歪が発生することを防
止することができる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す概略斜視図、第２図
はＸＹ方向粗動機構を示す平面図、第３図は第２図の■
−■線断面図、第４図は第２図の基台を除いたＩＶ−Ｉ
Ｖ線断面図、第５図は第４図のＶ−Ｖ線断面図、第６図
は第３図のＶｌ−Ｖｌ線断面図、第７図は第３図の■−
■線断面図、第８図は微動テーブルの平面図、第９図は
第２図のＩＸ−ＩＸ線断面図、第１０図は微回動機構の
要部を示す拡大平面図、第１１図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ
）、（ｄ）及び（ｅ）は昇降機構を示す平面図、正面図
、Ｂ−Ｂ線断面図、Ｃ−Ｃ線断面図及び支持部の拡大断
面図、第１２図（ａ）及び（ｂ）は微回動機構及び微動
テーブルの連結関係を示す断面図及びそのＤ−Ｄ線拡大
断面図、第１３図（ａ）及び（ロ）は粗目動機構の拡大
平面図及び断面図、第１４図（ａ）、（９）及び（Ｃ）
はプライマリ−チャックの平面図、Ｅ−Ｅ線断面図及び
Ｆ−Ｆｌ断面図、第１５図（ａ）及び（ｂ）はウェハチ
ャックの平面図及び−部を断面とした側面図、第１６図
は縮小投影露光装置を示す一部を断面とした正面図、第
１７図及び第１８図はそれぞれ弾性連結部材の他の実施
例を示す平面図である。図中、１は基台、２はＸＹ方向粗動機構、３は粗動テー
ブル、４はＸＹ方向微動機構、５は微回動機構、６は昇
降機構、７は微動テーブル、８は粗目動機構、９は被露
光部材、１０は載置台、８１は固定板部（非回動体）、
８２は微回動体（回動部材）、８３は微動機構、８７ａ
〜８７ｄは弾性連結部、８８．８９は弾性連結部材、９
０ａ。９０ｂは板ばね（弾性要素）、９１は剛体部（連結要素
）、９３ａ、９３ｂは圧電アクチュエータ、１４１は固
定板部（非回動部材）、１４２ａ〜１４２ｄは弾性連結
部、１４３は粗目動体（回動体）１４４は回動機構、１
５３，１５４は弾性連結部材、１５７ａ、１５７ｂは板
ばね（弾性要素）、１５７ｃは剛性部（連結要素）、１
５９は無端ベルト、１６２は直線駆動機構、１７１はプ
ライマリ−チャック、１７２はウェハチャックである。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）非回動部材と、これに回動可能に支持された回動
部材と、該回動部材を駆動する駆動機構とを有する回動
テーブル装置において、前記回動部材は、前記非回動部
材に複数の弾性連結部材を介して連結され、該弾性連結
部材は、前記回動部材の回動中心を通る対称軸を挟んで
対称的に配設された少なくとも一対の弾性要素と、該弾
性要素の一端を連結する連結要素とで構成され、一方の
弾性要素の自由端が前記非回動部材に、他方の弾性要素
の自由端が前記回動部材にそれぞれ連結されたことを特
徴とする回動テーブル装置。
（２）前記非回動部材、回動部材及び弾性連結部材が一
体成形されている請求項（１）記載の回動テーブル装置
。