JPH09219437A - 位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノッチ付きウエハを、０度、９０度の両方向
に高精度な位置決めを行なう。 【解決手段】 Ｙ軸方向に進退自在の嵌合部材２６とＸ
軸方向に進退自在の嵌合部材２８とが設けられ、これら
に対向して各２本の位置決めピン（内１本は共通）が設
けられている。このため、基板Ｗがその切欠きがＹ軸方
向に向いた実線位置にある状態では、嵌合部材２６と、
位置決めピン１６、１８とによって位置決めが行なわ
れ、基板Ｗがその切り欠きがＸ軸方向に向いた仮想線の
位置にある状態では、嵌合部材２８と、位置決めピン１
８、２０とによって位置決めが行なわれる。従って、ノ
ッチ付きウエハＷを、０度、９０度方向の両方向で高精
度に位置決めすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は位置決め装置に係
り、更に詳しくは半導体製造工程におけるウエハのプリ
アライメント用として好適な位置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造のためのリソグラフィ工程で
用いられる露光装置としては、現在縮小投影型露光装置
（ステッパ）が主流となっている。この縮小投影型露光
装置では、原板（レチクル）に形成された回路パターン
をウエハ上に縮小投影して１ショット露光転写しては、
ウエハを一定量移動させることを繰り返す、いわゆるス
テップ・アンド・リピート方式で露光が行なわれる。か
かる光学的リソグラフィ用のステッパは、通常、ウエハ
を高速に２次元移動させるステージを備えているが、こ
のステージ上にウエハが予め定められた誤差範囲内で位
置決めして載置される必要がある。この種の位置決めに
は、一般にウエハの結晶方向を規定する直線的な切り欠
き、すなわちオリエンテーションフラット（以下、「オ
リフラ」と略称する）を用いてウエハを所定の方向に配
向している。また、オリフラは、ウエハ上に既に形成さ
れた回路パターン上に別のパターンを重ね焼きするた
め、別の原板（レチクル）上に描画されている該別のパ
ターンの投影像とを正確に重ね合わせるための概略アラ
イメント（プリアライメント）にも用いられる。

【０００３】通常、このプリアライメントは２段階で行
なわれている。すなわち、ウエハをステージに移送する
前に搬送装置内でまずウエハのプリアライメントが行な
われ、次いで搬送アームやスライダ等を用いてウエハは
ステージ上に載置された後、このステージ上で再度ウエ
ハのプリアライメントが行なわれる。この２回のプリア
ライメントによってステージに対するウエハの位置決め
精度を向上させている。また、各プリアライメントにお
いてはオリフラの方向を０度及び９０度の２方向（すな
わちステージの移動方向である２次元方向）のいずれか
を選択的に指定できるようになっている。それはウエハ
の結晶構造に合わせて半導体チップの特性を変えるとと
もに回路パターンの設計上からくる正方形及び長方形の
露光フィールド等に対応するためである。

【０００４】図５には、不図示のステージ上でオリフラ
を有するウエハのプリアライメントを行なうための、従
来のウエハホルダの平面図が示されている。ここで、図
５を用いて従来のウエハのプリアライメントの様子を説
明する。不図示の搬送アーム及びスライダによってウエ
ハホルダ１２０上にウエハＷが載置されると、このウエ
ハＷは、プランジャ（押圧部材）１２３によって図５に
おける水平方向と垂直方向に対し４５度を成す方向に押
圧され、図５における水平方向に沿って所定間隔で配置
された一対の位置決めローラ１２５ａ、１２５ｂ、及び
垂直方向に沿って所定間隔で配置された位置決めローラ
１２６ａ、１２６ｂの内の所定の３つに当接して位置決
めが行なわれる。すなわち、図５に示される方向（０度
方向）にオリフラＦが配置されている場合には、図６
（ａ）に示されるように、ウエハＷが位置決めローラ１
２５ａ、１２５ｂ、１２６ａに当接し、９０度方向にオ
リフラＦが配置されている場合には、図６（ｂ）に示さ
れるように、ウエハＷが位置決めローラ１２５ｂ、１２
６ａ、１２６ｂに当接して、それぞれ精度よく位置決め
される構成となっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年、米国の半導体製
造装置・材料関係のＳＥＭＩ（Semiconductor Equipmen
t and Materials International ）規格において、８イ
ンチ用ウエハでは図７（ｃ）に示されるようなオリフラ
付きウエハに代わり、図７（ａ）に示されるようなＶ字
形の切り欠き（以下、「ノッチ」という）Ｎが形成され
たウエハ（以下、適宜「ノッチ付きウエハ」という）を
採用するように規定された。図７（ｂ）には、同図
（ａ）の円Ａ部分の拡大図（ノッチ部分の拡大図）が示
されている。このノッチＮは、開角９０度で深さ１ｍｍ
と規定されている。

【０００６】しかしながら、上述した従来のウエハのプ
リアライント装置では、ノッチ付きウエハには対応でき
ず、ノッチ付きウエハを０度、９０度方向の両方向に対
して十分な位置決め精度で位置決め（プリアライメン
ト）できる位置決め装置の出現が待望されていた。

【０００７】本発明は、かかる事情の下になされたもの
で、その目的はノッチ付きウエハに対し、０度、９０度
方向の両方向に対して高精度な位置決めを行なうことが
できる位置決め装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、外周部の一部にＶ字形の切欠きが形成された円板状
の基板を位置決めする位置決め装置であって、前記基板
の切欠きが所定の第１の回転位置にある状態で前記切欠
きに嵌合可能でかつ第１軸方向に進退可能な第１の嵌合
部材と；前記基板の切欠きが前記第１の回転位置と異な
る第２の回転位置にある状態で前記切欠きに嵌合可能で
かつ第２軸に沿って進退可能な第２の嵌合部材と；前記
第１の嵌合部材に対向して且つ前記基板に同時に外接可
能な位置に配置された少なくとも２本の第１軸方向位置
決め用の位置決めピンと；前記第２の嵌合部材に対向し
て且つ前記基板に同時に外接可能な位置に配置された少
なくとも２本の第２軸方向位置決め用の位置決めピンと
を有する。

【０００９】これによれば、搬送段階のプリアライメン
トにより基板の回転方向がある程度追い込まれ、基板の
切欠きが所定の第１の回転位置にある状態では、第１の
嵌合部材が第１軸方向に沿って進んで基板の切り欠きに
嵌合し、さらに第１の嵌合部材がその方向に進むと、第
１軸方向位置決め用の位置決めピンが基板の外周部の２
箇所以上の点に当接し、少なくとも３点（第１の嵌合部
材及び第１軸方向位置決め用の位置決めピン）で基板が
切り欠き方向が第１軸方向に一致する状態で位置決めさ
れる。同様に、搬送段階のプリアライメントにより基板
の回転方向がある程度追い込まれ、基板の切欠きが所定
の第２の回転位置にある状態では、第２の嵌合部材が第
２軸方向に沿って進んで基板の切り欠きに嵌合し、さら
に第２の嵌合部材がその方向に進むと、第２軸方向位置
決め用の位置決めピンが基板の外周部の２箇所以上の点
に当接し、少なくとも３点（第２の嵌合部材及び第２軸
方向位置決め用の位置決めピン）で基板が切り欠き方向
が第２軸方向に一致する状態で位置決めされる。

【００１０】従って、例えば、第１軸方向を０度方向、
第２軸方向を９０度方向（又は−９０度方向）に設定し
ておけば、例えばノッチ付きウエハに対し、０度、９０
度方向の両方向に対して高精度な位置決めを行なうこと
ができる。

【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の位置決め装置において、前記第１軸方向位置決め用の
位置決めピンの内の１本が前記第２軸方向位置決め用の
位置決めピンを兼ねた２方向位置決め用の位置決めピン
であることを特徴とする。

【００１２】これによれば、第１軸方向位置決め用の位
置決めピンの内の１本が第２軸方向位置決め用の位置決
めピンを兼ねた２方向位置決め用の位置決めピンとされ
ていることから、第１軸方向位置決め用の位置決めピン
と第２軸方向位置決め用の位置決めピンとが別々に設け
られている場合に比べて位置決めピンの数を１本少なく
することができる。

【００１３】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の位置決め装置において、前記２方向位置決め用の位置
決めピンを含む合計３本の第１軸方向位置決め用の位置
決めピンと第２軸方向位置決めピンとを備え、これらが
前記基板より幾分大径の円周上に当間隔で配置されてい
ることを特徴とする。これによれば、合計３本という最
低限の数の位置決めピンにより基板の切り欠き方向が第
１軸方向、第２軸方向となる２方向の位置決めができる
他、例えば、相隣合う位置決めピン同士が、第１軸、第
２軸に関して対称となる配置が可能となるため、位置決
め後に各位置決めピンから基板に加わる力が釣り合って
無駄な力が基板に作用することがない。また、第１軸方
向と第２軸方向とが、相互に直交する方向であっても、
基板より幾分大径の円周上に位置決めピンが配置されて
いるので、基板のローディングも円滑に行なわれる。

【００１４】請求項４に記載の発明は、請求項１ないし
３のいずれか一項に記載の位置決め装置において、前記
第１の嵌合部材及び第２の嵌合部材が回転自在のローラ
により構成されていることを特徴とする。これによれ
ば、嵌合部材が基板の切り欠きに嵌合する際に、切り欠
き斜面とローラとが転がり接触をするので、嵌合が円滑
であると共に摩擦により塵埃等が発生するのを防止でき
る。

【００１５】請求項５に記載の発明は、請求項１ないし
４のいずれか一項に記載の位置決め装置において、前記
各位置決めピンが、回転自在のローラにより構成されて
いることを特徴とする。これによれば、基板の外周部が
位置決めピン（回転自在のローラ）に接触した状態で、
基板が容易に回転するので、基板の回転に伴う発塵が防
止され、事前のプリアライメントの際の回転方向の位置
決めにあまり高精度が要求されなくなる。

【００１６】請求項６に記載の発明は、請求項１ないし
５のいずれか一項に記載の位置決め装置において、前記
第１軸方向と第２軸方向とが直交２軸方向に設定されて
いることを特徴とする。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
ないし図３に基づいて説明する。

【００１８】図１には、一実施形態に係る位置決め装置
１０の平面図が示されている。この位置決め装置１０
は、例えば露光装置のウエハステージ１２上にノッチ付
きウエハＷを位置決めするためのものである。この位置
決め装置１０は、略正方形のウエハステージ１２上に載
置された円板状のウエハホルダ１３の中心部に設けられ
た円柱状のセンターアップ１４と、ウエハホルダ１３の
外周部３箇所の所定の位置（この配置については後述す
る）にそれぞれ設けられた位置決めピンとしての基準ロ
ーラ１６、１８、２０と、ノッチが０度方向（図１にお
ける真下方向）に位置する状態でノッチ付きウエハＷを
位置決めするための第１の位置決めハンマ２２と、ノッ
チが９０度方向（図１における右方向）に位置する状態
でノッチ付きウエハＷを位置決めするための第２の位置
決めハンマ２４とを備えている。

【００１９】ここで、前記基準ローラ１６、１８、２０
の配置について詳述する。第１の位置決めハンマ２２の
先端部に設けられた第１の嵌合部材としての第１ローラ
２６の回転中心及びセンターアップ１４の中心を通る第
１軸（図１におけるＹ軸）と、第２の位置決めハンマ２
４の先端部に設けられた第２の嵌合部材としての第２ロ
ーラ２８ＮＯ回転中心及びセンターアップ１４の中心を
通る第２軸（図１におけるＸ軸）とを考える。基準ロー
ラ１６、１８、２０は、以下の位置関係で配置される。

【００２０】すなわち、基準ローラ１６、１８は、第１
軸（Ｙ軸）に関して対称な位置で、ウエハＷの位置決め
時のウエハＷの中心に対する中心角が９０度より若干大
きくなる位置に配置されている。また、基準ローラ１
８、２０は、第２軸（Ｘ軸）に関して対称な位置で、ウ
エハＷの位置決め時のウエハＷの中心に対する中心角が
９０度より若干大きくなる位置に配置されている。以上
の関係を満足する位置の一例として、この装置１０で
は、センターアップ１４の中心を中心とするウエハＷの
半径より幾分大きな半径の円周上でＸ軸、Ｙ軸に対し４
５度の角度を成す３つの位置に基準ローラ１６、１８、
２０がそれぞれ配置されている。従って、相隣合う基準
ローラ１６、１８及び１８、２０の間隔は等しく、かつ
上記のウエハＷの半径より幾分大きな半径の円周上では
周方向に９０度間隔で配置される。このような配置にし
たのは、ウエハＷのローディングの際に、基準ローラ２
０（又は１６）が邪魔になることがなく、かつ２方向の
ウエハ位置決め位置間の中心ずれを小さくして、両方向
の位置決め位置での共通領域をウエハホルダ１３の真空
吸着面積とする際に、この面積を損失なく大きくとるた
めである。真空吸着面積は、ウエハＷの平坦度に影響を
与えるため、この面積は大きい方が望ましい。

【００２１】前記センターアップ１４は、ウエハステー
ジ１２の面に直交する方向（図１の紙面直交方向）に往
復動（上下動）可能とされ、不図示の駆動手段によって
駆動されるようになっている。また、このセンターアッ
プ１４は、その上面にウエハが載置される平坦面が形成
されている。

【００２２】第１の位置決めハンマ２２は、前記の如く
その先端に第１ローラ２６が設けられ、不図示の駆動手
段によって第１軸（Ｙ軸）方向に進退（往復動）可能と
されている。同様に、第２の位置決めハンマ２４はその
先端に第２ローラ２８が設けられ、不図示の駆動手段に
よって第２軸（Ｘ軸）方向に進退（往復動）可能とされ
ている。

【００２３】なお、ウエハホルダ１３のウエハ載置面３
４には、センターアップ１４中心を中心とする同心円状
に複数本の溝３０が所定間隔で形成され、各溝３０には
吸気孔３２がそれぞれ設けられ、ウエハ載置面３４には
エアフロー用の排気孔３６が半径方向に沿って所定間隔
で設けられている。

【００２４】次に、上述のようにして構成された本実施
形態のアライメント装置１０の作用を説明する。まず、
最初にノッチ付きウエハＷをノッチＮを０度方向にして
位置決めする（第１軸方向に位置決めする）場合につい
て説明する。

【００２５】不図示のプリアライメント装置から受け渡
されたウエハは不図示のスライダにより搬送され、セン
ターアップ１４に受け渡される。その後、スライダが後
退し、ウエハＷを保持しているセンターアップ１４が下
降し、ウエハＷが載置面３４上に載置される。このと
き、ウエハＷはノッチＮが第１の位置決めハンマ２２の
先端に設けられた第１ローラ２６に対向し、かつノッチ
Ｎと反対側の外周が第１ローラ２６の反対側に位置する
基準ローラ１６、１８に対向した状態となっている。

【００２６】次に、第１の位置決めハンマ２２がノッチ
Ｎに向けて駆動されると、後述するようにして第１ロー
ラ２６により、図２にの実線で示される位置にウエハＷ
が位置決めされる。この際、第２ローラ２８がウエハＷ
の外周に干渉しない位置に第２の位置決めハンマ２４は
退避している。

【００２７】ここで、図３を参照しつつ、第１の位置決
めハンマ２２によるウエハＷの位置決め時の作用につい
て詳述する。第１の位置決めハンマ２２がＹ軸方向上方
に付勢されると、第１ローラ２６が移動してウエハＷの
ノッチＮに当接する。この当接時の状態が図３に示され
ている。ここで、実際には、第１ローラ２６としては直
径３ｍｍ程度のローラが使用され、ノッチＮは深さが１
ｍｍ、開角９０度に形成されるので、図３では各部材の
大小関係が実際とは多少異なるが、説明を判り易くする
ためこのようにしている。

【００２８】第１ローラ２６が力ＰによってノッチＮの
内部（Ｖ溝内部）に押し込まれると、力ＰはＶ溝の斜面
に沿った分力ＱとウエハＷの回転方向の分力Ｒとに分け
られる。すなわち、第１ローラ２６の押圧力によりウエ
ハＷを回転させる力Ｒを生じ、ウエハＷを所定量微小回
転させる。この状態から更に第１の位置決めハンマがＹ
軸方向上方に付勢されると、第１ローラ２６がＶ溝内に
押し込まれ、ついには第１ローラ２６がＶ溝の両斜面に
接触し、くさび作用でウエハＷを移動させる力は左右で
釣り合い、第１ローラ２６によってウエハＷのノッチＮ
が０度方向（第１軸方向）に回転位置決めされ、最終的
にウエハＷが基準ローラ１６、１８及び第１ローラ２６
によって所定位置に位置決めされる。なお、この場合に
おいて、ウエハＷの外周が基準ローラ１６、１８に当接
した状態で、図３に示される状態になっていたとして
も、前述した回転させる力Ｒの作用によりウエハＷが回
転させられるが、この際基準ローラ１６、１８が回転す
るので、このウエハＷの回転の際の摩擦の作用により塵
埃等が発生することが殆どない。

【００２９】次に、ノッチ付きウエハＷをノッチＮを９
０度方向にして位置決めする場合について説明する。

【００３０】不図示のプリアライメント装置から受け渡
されたウエハＷは不図示のスライダにより搬送され、セ
ンターアップ１４に受け渡される。その後、スライダが
後退し、ウエハＷを保持しているセンターアップ１４が
下降し、ウエハＷが載置面３４上に載置される。このと
き、ウエハＷはノッチＮが第２の位置決めハンマ２４の
先端に設けられた第２ローラ２８に対向し、かつノッチ
Ｎと反対側の外周が第２ローラ２８の反対側に位置する
基準ローラ１８、２０に対向した状態となっている。

【００３１】次に、第２の位置決めハンマ２４がノッチ
Ｎに向けて駆動されると、前述したようにして、第２の
位置決めハンマ２４により図２に仮想線で示される位置
にウエハＷが位置決めされる。この際、第１ローラ２６
がウエハＷの外周に干渉しない位置に第１の位置決めハ
ンマ２２は退避している。

【００３２】以上説明したように、本実施形態の位置決
め装置１０によると、今後８インチで普及が予想され、
あるいは１２インチ等大形ウエハにおいて標準化されつ
つある、オリフラに代わるノッチ付きウエハに対して、
ノッチの０度方向と９０度（又は−９０度）方向との２
方向のウエハ位置決めに対する兼用が可能になると共
に、両方向の位置決め位置間のウエハの中心ずれが極め
て小さいことからウエハホルダ１３の真空吸着面積を損
失なく大きくとれる。また、本実施形態の位置決め装置
１０によると、従来のオリフラ付きウエハの０度−９０
度位置決め装置と殆ど同レベル、同規模のシンプルで可
動部の少ない構成を採用し、しかも基準ローラ（位置決
めピン）の数を減じた基準ローラ３点式を採用している
のでコスト面での問題も生じない。

【００３３】なお、上記の実施形態では、基準ローラを
３つ備えた基準ローラ３点式の位置決め装置について説
明したが、本発明がこれに限定されるものではない。例
えば、図４に示されるように、ノッチの０度方向、９０
度方向に対し各２つ合計４つの基準ローラ５０をウエハ
中心とノッチを通る軸に関し左右対象の位置に配置した
基準ローラ４点式、或いは更に多点式にすることもでき
る。

【００３４】また、上記実施例では、基準ローラが定位
置に固定された場合について説明したが、基準ローラを
位置決めハンマと同様に半径方向に進退可能に構成して
もよい。なお、例えば、図１における第１ローラ２６を
固定にし、基準ローラ１６、１８を同一速度でセンター
アップ中心に向かって同一距離移動させるか、あるいは
基準ローラ１６、１８を一体的に図１のＹ軸方向に沿っ
て下方に移動させるような構成を採用すれば、ウエハＷ
の０度方向の位置決めが可能となる。９０度方向につい
てもこれと同様の構成を採用すれば、ウエハＷの位置決
めが可能となる。

【００３５】さらに、上記の実施形態では、露光装置に
おけるウエハステージ上のウエハホルダにウエハを位置
決めする装置に、本発明が適用された場合を例示した
が、本発明の適用範囲がこれに限定されるものではな
く、搬送系内のプリアライメント装置、イオン注入プリ
アライメント装置、ウエハ外周・オリフラ・ノッチ面取
り研磨装置、ウエハ赤外線測定装置、ウエハ検査装置、
ウエハ表面計測装置等の位置決め装置にも本発明は同様
に適用できるものである。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１の嵌合部材及び第１軸方向位置決め用の位置決めピ
ンにより少なくとも３点で切り欠き方向が第１軸方向に
一致する状態で基板を位置決めできると共に、第２の嵌
合部材及び第２軸方向位置決め用の位置決めピンにより
切り欠き方向が第２軸方向に一致する状態で基板を位置
決めすることができ、例えば、第１軸方向を０度方向、
第２軸方向を９０度方向（又は−９０度方向）に設定し
ておけば、例えばノッチ付きウエハに対し、０度、９０
度方向の両方向に対して高精度な位置決めを行なうこと
ができるという従来にない優れた効果がある。

【００３７】特に、請求項３に記載の発明によれば、合
計３本という最低限の数の位置決めピンにより基板の切
り欠き方向が第１軸方向、第２軸方向となる２方向の位
置決めができる他、０度、９０度方向に第１軸方向、第
２軸方向が定められている場合であっても基板のローデ
ィングを円滑に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態に係る位置決め装置の構成を概略的
に示す平面図である。

【図２】図１の装置の作用を説明するための図である。

【図３】第１ローラ（又は第２ローラ）がウエハのノッ
チに嵌合する際の作用を説明するための図であって、ウ
エハに作用する力を図解的に示す図である。

【図４】変形例を示す説明図である。

【図５】従来のオリフラ付きウエハの位置決め装置の構
成を示す平面図である。

【図６】図５の装置による位置決め状態を示す図であっ
て、（ａ）は０度方向の位置決め状態を示す図、（ｂ）
は９０度方向の位置決め状態を示す図である。

【図７】（ａ）はノッチ付きウエハの外観を示す図、
（ｂ）は（ａ）の円Ａ内の拡大図、（ｃ）はオリフラ付
きウエハの外観を示す図である。

【符号の説明】

１０ 位置決め装置 １６ 第１軸方向位置決め用の位置決めピン １８ ２方向位置決め用の位置決めピン ２０ 第２軸方向位置決め用の位置決めピン ２６ 第１ローラ（第１の嵌合部材） ２８ 第２ローラ（第２の嵌合部材） Ｎ ノッチ（Ｖ字形の切欠き） Ｗ ウエハ（基板）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外周部の一部にＶ字形の切欠きが形成さ
   れた円板状の基板を位置決めする位置決め装置であっ
   て、 前記基板の切欠きが所定の第１の回転位置にある状態で
   前記切欠きに嵌合可能でかつ第１軸方向に進退可能な第
   １の嵌合部材と；前記基板の切欠きが前記第１の回転位
   置と異なる第２の回転位置にある状態で前記切欠きに嵌
   合可能でかつ第２軸に沿って進退可能な第２の嵌合部材
   と；前記第１の嵌合部材に対向して且つ前記基板に同時
   に外接可能な位置に配置された少なくとも２本の第１軸
   方向位置決め用の位置決めピンと；前記第２の嵌合部材
   に対向して且つ前記基板に同時に外接可能な位置に配置
   された少なくとも２本の第２軸方向位置決め用の位置決
   めピンとを有する位置決め装置。
2. 【請求項２】 前記第１軸方向位置決め用の位置決めピ
   ンの内の１本が前記第２軸方向位置決め用の位置決めピ
   ンを兼ねた２方向位置決め用の位置決めピンであること
   を特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
3. 【請求項３】 前記２方向位置決め用の位置決めピンを
   含む合計３本の第１軸方向位置決め用の位置決めピンと
   第２軸方向位置決めピンとを備え、これらが前記基板よ
   り幾分大径の円周上に当間隔で配置されていることを特
   徴とする請求項２に記載の位置決め装置。
4. 【請求項４】 前記第１の嵌合部材及び第２の嵌合部材
   が回転自在のローラにより構成されていることを特徴と
   する請求項１ないし３のいずれか一項に記載の位置決め
   装置。
5. 【請求項５】 前記各位置決めピンが、回転自在のロー
   ラにより構成されていることを特徴とする請求項１ない
   し４のいずれか一項に記載の位置決め装置。
6. 【請求項６】 前記第１軸方向と第２軸方向とが直交２
   軸方向に設定されていることを特徴とする請求項１ない
   し５のいずれか一項に記載の位置決め装置。