JP2640690B2 - 移動ステージ - Google Patents
移動ステージInfo
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- JP2640690B2 JP2640690B2 JP1188087A JP18808789A JP2640690B2 JP 2640690 B2 JP2640690 B2 JP 2640690B2 JP 1188087 A JP1188087 A JP 1188087A JP 18808789 A JP18808789 A JP 18808789A JP 2640690 B2 JP2640690 B2 JP 2640690B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- orthogonal
- linear guide
- pin
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
この発明は、例えばXYステージ等の移動ステージに関
する。
する。
半導体検査装置においては、測定用ステージを検査対
象となるウェーハやデバイスを受け取る位置からテスト
を行うテスト位置まで移動させると共に、テストピンと
ウェーハやデバイスのテストパッドとの位置合わせを行
うために、測定用ステージをXYZθステージの構造とす
る。 すなわち、測定用ステージのウェーハやデバイスを真
空吸引するチャック（載置台）は、チャック保持部材に
よりその載置面方向θに回転可能とされると共に、Ｚ方
向（載置台を昇降させる方向）に移動可能とされる。そ
して、チャック保持部材は、Ｘステージ上に取り付けら
れる。Ｘステージは、Ｚ方向に垂直な平面上のＸ方向に
伸びるＸレールに移動可能に取り付けられる。Ｘレール
は、Ｚ方向に垂直な平面上であって、Ｘ方向とは直交す
るＹ方向に、このＸステージを移動可能とするＹステー
ジ上に取り付けられる。 Ｙステージは、Ｙ方向に延長されるＹレールに、この
Ｙレールに移動可能に取り付けられるリニアガイドを介
して取り付けられる。 この場合に、検査対象物の位置合わせを正確に行うた
めには、Ｘ方向及びＹ方向の移動が正しく直交するよう
にＸステージ,Yステージの移動方向を調整しなければな
らない。これは、ＸステージはＹステージに上に取り付
けられているから、Ｙレールに対するＹステージの取り
付け方向を調整することによりできる。 従来、このＸ方向とＹ方向の直交調整は、Ｙステージ
の底面のリニアガイドとの取り付け面に設けた直交位置
決め用ガイド片を用いて行っている。すなわち、直交位
置決め用ガイド片は、Ｙステージをリニアガイドに取り
付けたとき、リニアガイドのＹ方向に平行な面に対接す
るように設けられている。そして、Ｙステージをリニア
ガイドにねじ止め等、固定する前に、この直交位置決め
用ガイド片を、リニアガイドのＹ方向に平行な面に押し
当てて、Ｙステージ上のＸレールが、Ｙレールに正しく
直交するように方向調整している。
象となるウェーハやデバイスを受け取る位置からテスト
を行うテスト位置まで移動させると共に、テストピンと
ウェーハやデバイスのテストパッドとの位置合わせを行
うために、測定用ステージをXYZθステージの構造とす
る。 すなわち、測定用ステージのウェーハやデバイスを真
空吸引するチャック（載置台）は、チャック保持部材に
よりその載置面方向θに回転可能とされると共に、Ｚ方
向（載置台を昇降させる方向）に移動可能とされる。そ
して、チャック保持部材は、Ｘステージ上に取り付けら
れる。Ｘステージは、Ｚ方向に垂直な平面上のＸ方向に
伸びるＸレールに移動可能に取り付けられる。Ｘレール
は、Ｚ方向に垂直な平面上であって、Ｘ方向とは直交す
るＹ方向に、このＸステージを移動可能とするＹステー
ジ上に取り付けられる。 Ｙステージは、Ｙ方向に延長されるＹレールに、この
Ｙレールに移動可能に取り付けられるリニアガイドを介
して取り付けられる。 この場合に、検査対象物の位置合わせを正確に行うた
めには、Ｘ方向及びＹ方向の移動が正しく直交するよう
にＸステージ,Yステージの移動方向を調整しなければな
らない。これは、ＸステージはＹステージに上に取り付
けられているから、Ｙレールに対するＹステージの取り
付け方向を調整することによりできる。 従来、このＸ方向とＹ方向の直交調整は、Ｙステージ
の底面のリニアガイドとの取り付け面に設けた直交位置
決め用ガイド片を用いて行っている。すなわち、直交位
置決め用ガイド片は、Ｙステージをリニアガイドに取り
付けたとき、リニアガイドのＹ方向に平行な面に対接す
るように設けられている。そして、Ｙステージをリニア
ガイドにねじ止め等、固定する前に、この直交位置決め
用ガイド片を、リニアガイドのＹ方向に平行な面に押し
当てて、Ｙステージ上のＸレールが、Ｙレールに正しく
直交するように方向調整している。
ところで、最近は、半導体デバイスの高密度化、高集
積化により、半導体デバイスのテストパッドピッチが非
常に狭くなってきている。このようになると、Ｘ−Ｙ直
交方向の調整は、非常に高精度に行う必要がある。 ところが、上述したような、従来のＸ−Ｙステージに
よるＸ−Ｙ直交調整方法では、比較的ラフな精度での直
交補償は可能であるが、上記のような狭ピッチの半導体
デバイスの検査装置のＸ−Ｙステージで必要とする精度
で、直交調整を行うことができない欠点がある。 この発明は、以上の点に鑑み、互いに交差する２方向
に移動可能な移動ステージにおいて、非常に高精度で、
上記２方向間の交差角の調整ができるようにした移動ス
テージを提供しようとすることを目的とする。
積化により、半導体デバイスのテストパッドピッチが非
常に狭くなってきている。このようになると、Ｘ−Ｙ直
交方向の調整は、非常に高精度に行う必要がある。 ところが、上述したような、従来のＸ−Ｙステージに
よるＸ−Ｙ直交調整方法では、比較的ラフな精度での直
交補償は可能であるが、上記のような狭ピッチの半導体
デバイスの検査装置のＸ−Ｙステージで必要とする精度
で、直交調整を行うことができない欠点がある。 この発明は、以上の点に鑑み、互いに交差する２方向
に移動可能な移動ステージにおいて、非常に高精度で、
上記２方向間の交差角の調整ができるようにした移動ス
テージを提供しようとすることを目的とする。
この発明によるXYステージは、 所定の角度を以て交差する第１方向及び第２方向のう
ちの第１方向に移動可能に取り付けられる第１のステー
ジと、 上記第２方向に延長されるレールに移動可能に嵌合さ
れるリニアガイドと、 上記第１のステージが取り付けられると共に、上記リ
ニアガイドに取り付けられ、上記第２方向に移動可能と
される第２のステージとを有する移動ステージにおい
て、 上記第２のステージは、上記リニアガイド上の１点の
位置において、１本のピンにより上記第１方向及び第２
方向を含む平面方向に回動可能に取り付けるようにする
と共に、 上記ピンを回動中心とした上記第２のステージの回動
位置を調整する方向調整手段を設けたことを特徴とす
る。
ちの第１方向に移動可能に取り付けられる第１のステー
ジと、 上記第２方向に延長されるレールに移動可能に嵌合さ
れるリニアガイドと、 上記第１のステージが取り付けられると共に、上記リ
ニアガイドに取り付けられ、上記第２方向に移動可能と
される第２のステージとを有する移動ステージにおい
て、 上記第２のステージは、上記リニアガイド上の１点の
位置において、１本のピンにより上記第１方向及び第２
方向を含む平面方向に回動可能に取り付けるようにする
と共に、 上記ピンを回動中心とした上記第２のステージの回動
位置を調整する方向調整手段を設けたことを特徴とす
る。
以上のような構成のこの発明による移動ステージにお
いては、方向調整手段を調整すると、第２のステージが
ピンを回動中心として回動する。すると、第２のステー
ジ上の第１のステージの移動方向と、レールの方向、す
なわち第２のステージの移動方向とがなす交差角度が変
わる。すなわち、方向調整手段により、２移動方向の交
差角が所定のものとなるように、微細に調整することが
できる。
いては、方向調整手段を調整すると、第２のステージが
ピンを回動中心として回動する。すると、第２のステー
ジ上の第１のステージの移動方向と、レールの方向、す
なわち第２のステージの移動方向とがなす交差角度が変
わる。すなわち、方向調整手段により、２移動方向の交
差角が所定のものとなるように、微細に調整することが
できる。
以下、この発明による移動ステージの一実施例を、半
導体検査装置の測定用ステージに用いられるＸ−Ｙステ
ージの場合を例にとって、図を参照しながら説明しよ
う。 第１図は、この発明の一実施例のＸ−Ｙステージの一
例の構造を示すもので、１はＸステージ、２はＹステー
ジである。 図示しないが、Ｘステージ１にはチャック保持部材が
設けられ、このチャック保持部材には被検査体の載置台
（チャック）が取り付けられている。そして、載置台
は、チャック保持部材により、前述したようにＺ−θ方
向に移動可能とされている。 そして、Ｘステージ１及びＹステージ２は、外観が直
方体とされており、Ｙステージ２上に、Ｘステージ１が
乗る構造となっている。すなわち、Ｙステージ２上に
は、Ｘ方向に延長された互いに平行な２本のレール3,4
が設けられる。そして、このレール3,4の形状に応じた
形状の凹溝を有する４個のリニアガイド5A,5B,5C,5D
が、各１本のレール3,4に２個づつ、移動可能に嵌合さ
れている。 そして、この４個のリニアガイド5A〜5DがＸステージ
１の底面の４隅にねじ止め等されることにより取り付け
られる。 また、Ｘステージ１の底面には、図示しないが、Ｘ方
向に延長するボールねじが取り付けられており、このボ
ールねじをＸ方向駆動モータにより回転させることによ
り、Ｘステージ１がＸレール3,4に案内されてＸ方向に
移動するようにされる。 また、基台６には、Ｙ方向に延長される互いに平行
な、対のＹレール7,8が取り付けられている。そして、
このＹレール7,8には、このＹレール7,8の形状に応じた
形状の凹溝を有する４個のリニアガイド9A,9B,9C,9D
が、各１本のレール7,8に、２個づつ、移動可能に嵌合
されて取り付けられている。そして、この４個のリニア
ガイド9A〜9DがＹステージ２の底面の４隅に、ねじ止め
等されることにより取り付けられている。 そして、Ｙステージ２の底面の中央部には、Ｙ方向に
伸びるボールねじ10が取り付けられており、このボール
ねじ10をＹ方向駆動モータ回転させることにより、Ｙス
テージ２がＹレール7,8に案内されて、Ｙ方向に移動す
るようにされるものである。 第２図は、Ｙステージ２を取り外した状態で、基台５
上のＹレール7,8及び４個のリニアガイド9A〜9Dを上か
ら見た図で、４個のリニアガイド9A,9B,9C,9Dには、Ｙ
ステージ２に取り付けるための４個のねじ孔11がそれぞ
れ設けられている。また、４個のリニアガイド9A,9B,9
C,9Dのうちの１個のリニアガイド9Aの中央には、ピン13
（第１図参照）が挿入されるピン挿入孔12が穿かれてい
る。 一方、第３図は、Ｙステージ２の底面を示す図で、そ
の４隅2A,2B,2C,2Dにはリニアガイド9A,9B,9C,9Dのねじ
孔11の位置に対応した４個ずつのねじ孔14が設けられる
と共に、その１隅2Aのリニアガイド9Aの取り付け位置に
対応する位置の、リニアガイド9Aのピン挿入孔12に対応
する位置に、ピン13が挿入されるピン挿入孔15が設けら
れる。 また、Ｙステージ２の底面の１隅2AとＹ方向に並ぶ１
隅2Bの位置には、互いに平行な直交位置決め用ガイド片
16,17が、その長辺方向がＹ方向になるように取り付け
られる。この場合、リニアガイド9Bにこの部分を取り付
けたとき、直交位置決め用ガイド片16,17が、リニアガ
イド9Bを挾むようにすると共に、リニアガイド9BのＹ方
向に平行な面にそれぞれ対接するようにされる。 さらに、直交位置決め用ガイド片16,17のそれぞれに
は、第４図にも示すように、Ｙステージ２の底面に平行
な方向に凹溝18,19がそれぞれ設けられ、この凹溝18,19
内に平板状の直交調整部材20,21が設けられる。この直
交調整部材20,21は、それぞれ一端がＹステージ２に直
交する方向のピン22,23によって回動自在に、凹溝18,19
内に取り付けられる。そして、直交調整部材20,21のピ
ン22,23とは反対側の端部は、第５図に示すように、Ｙ
方向に対して斜めのテーパ辺24,25とされる。そして、
直交調整用ねじ26,27の先端が、この直交調整部材20,21
のテーパ辺24,25に当接するように、直交位置決め用ガ
イド片16,17には、その凹溝18,19内にＹ方向に連通する
ねじ孔28,29がそれぞれ設けられる。 したがって、直交調整用ねじ26,27を凹溝18,19内に押
し込む方向に捩じ込むと、直交調整部材20,21がピン22,
23を回動中心として回動し、テーパ辺側が凹溝18,19か
ら第５図で一点鎖線で示すように、外部に突出する。こ
の場合、直交調整部材20,21は、テーパ辺側が外部に突
出したとき、これがそれぞれリニアガイド9Bの側面を押
圧するように、直交位置決め用ガイド片16,17に取り付
けられている。 なお、第３図で、30はボールねじ取り付け用ねじ孔で
ある。 以上の構成のＸ−Ｙステージにおいて、直交調整する
動作について、以下説明する。 先ず、リニアガイド9Aのピン挿入孔12にピン13を挿入
しておく。次に、Ｘステージ１が取り付けられたＹステ
ージ２を、Ｙレール7,8に取り付けられているリニアガ
イド9A,9B,9C,9D上に、互いのねじ孔11,14の位置が一致
するように載置する。このとき、Ｙステージ２の底面の
１隅2Aのピン挿入孔15に、リニアガイド9Aのピン挿入孔
12に挿入されているピン13が、挿入されるようにすると
共に、リニアガイド9Bを直交位置決め用ガイド辺16,17
が挾むようにする。この状態で、Ｙステージ２は、Ｘ方
向とＹ方向との直交が従来と同精度で、調整されること
になる。 この発明では、さらに次のようにして、さらに細かい
調整が行なわれる。 すなわち、この例の場合、Ｘステージ１上には、接眼
レンズに第６図に示すようなターゲットマーク31が付さ
れているマイクロスコープ（画像認識装置でも良い）が
設けられる。また、Ｘステージとマイクロスコープとの
間に、第６図に示すように、互いに直交する直線からな
る直交座標マーク32が描かれたガラスマスクが設けられ
る。そして、先ず、Ｘステージ１をＸ方向に移動させ
て、そのターゲットマーク31のＸ方向の移動軌跡が、ガ
ラスマスクの直交座標マーク32のＸ軸と重なるように調
整しておく。この状態で、Ｙステージ２をＹ方向に移動
させる。そして、ターゲットマーク31のＹ方向の移動軌
跡がガラスマスクの直交座標マーク32のＹ軸に一致しな
いときは、直交位置決めようガイド片16,17の直交調整
用ねじ26または27を回動する。すると、リニアガイド9A
のＹ方向に平行な側面を押圧するように直交調整部材20
又は21が、ねじ26又は27の回動に応じて突出し、これに
応じてＹステージ２は、ピン13を回動中心として回動
し、レール7,8に対するＹステージ２の調整が行なわれ
る。こうして、ターゲットマーク31のＹ方向の移動軌跡
が直交座標マーク32のＹ軸に一致するように調整する。
この場合、数μｍの精度で直交調整することができる。
以上のようにして、直交調整したらリニアガイド9A〜9D
に対し、Ｙステージ２をねじ止めする。 以上により、高精度に直交調整されたXYステージを得
ることができる。 なお、以上の例ではＸレールに対してリニアガイドを
取り付け、このリニアガイドにＸステージを取り付ける
ようにしたが、Ｘステージは、Ｙステージ上において、
Ｘ方向に移動するように構成されていれば良く、図の例
のような構成に限られるものではない。 また、以上の例では、Ｙレールに対しリニアガイドは
４個設けたが、１本のレールに細長いリニアガイドを１
個づつ設けても良いことは言うまでもない。その場合に
は一方のリニアガイドの任意の位置にピン挿入孔を設け
れば良い。但し、リニアガイドの一方の端部側に寄った
位置にピン挿入孔を設けたほうが、リニアガイドの中央
にピン挿入孔を設けた場合よりも、直交調整用ねじの１
回転当たりの回動角が小さくなり、より細かい調整が可
能となる。 なお、以上の例では互いに直交する２方向に移動する
移動ステージの方向調整を行う場合を例にとって説明し
たが、直交方向ではなく、互いに任意の角度で交差する
２方向に移動する移動ステージに、この発明は適用可能
である。 また、この発明の移動ステージは、半導体検査装置に
使用するものに限らないことは言うまでもない。
導体検査装置の測定用ステージに用いられるＸ−Ｙステ
ージの場合を例にとって、図を参照しながら説明しよ
う。 第１図は、この発明の一実施例のＸ−Ｙステージの一
例の構造を示すもので、１はＸステージ、２はＹステー
ジである。 図示しないが、Ｘステージ１にはチャック保持部材が
設けられ、このチャック保持部材には被検査体の載置台
（チャック）が取り付けられている。そして、載置台
は、チャック保持部材により、前述したようにＺ−θ方
向に移動可能とされている。 そして、Ｘステージ１及びＹステージ２は、外観が直
方体とされており、Ｙステージ２上に、Ｘステージ１が
乗る構造となっている。すなわち、Ｙステージ２上に
は、Ｘ方向に延長された互いに平行な２本のレール3,4
が設けられる。そして、このレール3,4の形状に応じた
形状の凹溝を有する４個のリニアガイド5A,5B,5C,5D
が、各１本のレール3,4に２個づつ、移動可能に嵌合さ
れている。 そして、この４個のリニアガイド5A〜5DがＸステージ
１の底面の４隅にねじ止め等されることにより取り付け
られる。 また、Ｘステージ１の底面には、図示しないが、Ｘ方
向に延長するボールねじが取り付けられており、このボ
ールねじをＸ方向駆動モータにより回転させることによ
り、Ｘステージ１がＸレール3,4に案内されてＸ方向に
移動するようにされる。 また、基台６には、Ｙ方向に延長される互いに平行
な、対のＹレール7,8が取り付けられている。そして、
このＹレール7,8には、このＹレール7,8の形状に応じた
形状の凹溝を有する４個のリニアガイド9A,9B,9C,9D
が、各１本のレール7,8に、２個づつ、移動可能に嵌合
されて取り付けられている。そして、この４個のリニア
ガイド9A〜9DがＹステージ２の底面の４隅に、ねじ止め
等されることにより取り付けられている。 そして、Ｙステージ２の底面の中央部には、Ｙ方向に
伸びるボールねじ10が取り付けられており、このボール
ねじ10をＹ方向駆動モータ回転させることにより、Ｙス
テージ２がＹレール7,8に案内されて、Ｙ方向に移動す
るようにされるものである。 第２図は、Ｙステージ２を取り外した状態で、基台５
上のＹレール7,8及び４個のリニアガイド9A〜9Dを上か
ら見た図で、４個のリニアガイド9A,9B,9C,9Dには、Ｙ
ステージ２に取り付けるための４個のねじ孔11がそれぞ
れ設けられている。また、４個のリニアガイド9A,9B,9
C,9Dのうちの１個のリニアガイド9Aの中央には、ピン13
（第１図参照）が挿入されるピン挿入孔12が穿かれてい
る。 一方、第３図は、Ｙステージ２の底面を示す図で、そ
の４隅2A,2B,2C,2Dにはリニアガイド9A,9B,9C,9Dのねじ
孔11の位置に対応した４個ずつのねじ孔14が設けられる
と共に、その１隅2Aのリニアガイド9Aの取り付け位置に
対応する位置の、リニアガイド9Aのピン挿入孔12に対応
する位置に、ピン13が挿入されるピン挿入孔15が設けら
れる。 また、Ｙステージ２の底面の１隅2AとＹ方向に並ぶ１
隅2Bの位置には、互いに平行な直交位置決め用ガイド片
16,17が、その長辺方向がＹ方向になるように取り付け
られる。この場合、リニアガイド9Bにこの部分を取り付
けたとき、直交位置決め用ガイド片16,17が、リニアガ
イド9Bを挾むようにすると共に、リニアガイド9BのＹ方
向に平行な面にそれぞれ対接するようにされる。 さらに、直交位置決め用ガイド片16,17のそれぞれに
は、第４図にも示すように、Ｙステージ２の底面に平行
な方向に凹溝18,19がそれぞれ設けられ、この凹溝18,19
内に平板状の直交調整部材20,21が設けられる。この直
交調整部材20,21は、それぞれ一端がＹステージ２に直
交する方向のピン22,23によって回動自在に、凹溝18,19
内に取り付けられる。そして、直交調整部材20,21のピ
ン22,23とは反対側の端部は、第５図に示すように、Ｙ
方向に対して斜めのテーパ辺24,25とされる。そして、
直交調整用ねじ26,27の先端が、この直交調整部材20,21
のテーパ辺24,25に当接するように、直交位置決め用ガ
イド片16,17には、その凹溝18,19内にＹ方向に連通する
ねじ孔28,29がそれぞれ設けられる。 したがって、直交調整用ねじ26,27を凹溝18,19内に押
し込む方向に捩じ込むと、直交調整部材20,21がピン22,
23を回動中心として回動し、テーパ辺側が凹溝18,19か
ら第５図で一点鎖線で示すように、外部に突出する。こ
の場合、直交調整部材20,21は、テーパ辺側が外部に突
出したとき、これがそれぞれリニアガイド9Bの側面を押
圧するように、直交位置決め用ガイド片16,17に取り付
けられている。 なお、第３図で、30はボールねじ取り付け用ねじ孔で
ある。 以上の構成のＸ−Ｙステージにおいて、直交調整する
動作について、以下説明する。 先ず、リニアガイド9Aのピン挿入孔12にピン13を挿入
しておく。次に、Ｘステージ１が取り付けられたＹステ
ージ２を、Ｙレール7,8に取り付けられているリニアガ
イド9A,9B,9C,9D上に、互いのねじ孔11,14の位置が一致
するように載置する。このとき、Ｙステージ２の底面の
１隅2Aのピン挿入孔15に、リニアガイド9Aのピン挿入孔
12に挿入されているピン13が、挿入されるようにすると
共に、リニアガイド9Bを直交位置決め用ガイド辺16,17
が挾むようにする。この状態で、Ｙステージ２は、Ｘ方
向とＹ方向との直交が従来と同精度で、調整されること
になる。 この発明では、さらに次のようにして、さらに細かい
調整が行なわれる。 すなわち、この例の場合、Ｘステージ１上には、接眼
レンズに第６図に示すようなターゲットマーク31が付さ
れているマイクロスコープ（画像認識装置でも良い）が
設けられる。また、Ｘステージとマイクロスコープとの
間に、第６図に示すように、互いに直交する直線からな
る直交座標マーク32が描かれたガラスマスクが設けられ
る。そして、先ず、Ｘステージ１をＸ方向に移動させ
て、そのターゲットマーク31のＸ方向の移動軌跡が、ガ
ラスマスクの直交座標マーク32のＸ軸と重なるように調
整しておく。この状態で、Ｙステージ２をＹ方向に移動
させる。そして、ターゲットマーク31のＹ方向の移動軌
跡がガラスマスクの直交座標マーク32のＹ軸に一致しな
いときは、直交位置決めようガイド片16,17の直交調整
用ねじ26または27を回動する。すると、リニアガイド9A
のＹ方向に平行な側面を押圧するように直交調整部材20
又は21が、ねじ26又は27の回動に応じて突出し、これに
応じてＹステージ２は、ピン13を回動中心として回動
し、レール7,8に対するＹステージ２の調整が行なわれ
る。こうして、ターゲットマーク31のＹ方向の移動軌跡
が直交座標マーク32のＹ軸に一致するように調整する。
この場合、数μｍの精度で直交調整することができる。
以上のようにして、直交調整したらリニアガイド9A〜9D
に対し、Ｙステージ２をねじ止めする。 以上により、高精度に直交調整されたXYステージを得
ることができる。 なお、以上の例ではＸレールに対してリニアガイドを
取り付け、このリニアガイドにＸステージを取り付ける
ようにしたが、Ｘステージは、Ｙステージ上において、
Ｘ方向に移動するように構成されていれば良く、図の例
のような構成に限られるものではない。 また、以上の例では、Ｙレールに対しリニアガイドは
４個設けたが、１本のレールに細長いリニアガイドを１
個づつ設けても良いことは言うまでもない。その場合に
は一方のリニアガイドの任意の位置にピン挿入孔を設け
れば良い。但し、リニアガイドの一方の端部側に寄った
位置にピン挿入孔を設けたほうが、リニアガイドの中央
にピン挿入孔を設けた場合よりも、直交調整用ねじの１
回転当たりの回動角が小さくなり、より細かい調整が可
能となる。 なお、以上の例では互いに直交する２方向に移動する
移動ステージの方向調整を行う場合を例にとって説明し
たが、直交方向ではなく、互いに任意の角度で交差する
２方向に移動する移動ステージに、この発明は適用可能
である。 また、この発明の移動ステージは、半導体検査装置に
使用するものに限らないことは言うまでもない。
以上説明したように、この発明によれば、第１のステ
ージをその上に取り付けた第２のステージを、レールに
取り付けられたリニアガイドに対して１本のピンを回動
中心として、回動自在に取り付けるようにすると共に、
上記ピンを回動中心とした第２ステージのレールに対す
る位置を調整する方向調整手段を設けた構成により、第
１のステージの移動方向と、第２レールに取り付けられ
た第２のステージの移動方向が所定のものとなるよう
に、微細に調整することができる。 しかも、その構成は、１本のピンを回動中心として、
リニアガイドに対して第２のステージを回動させる構成
であるので、非常に簡単であり、コスト的にも安価に済
む。
ージをその上に取り付けた第２のステージを、レールに
取り付けられたリニアガイドに対して１本のピンを回動
中心として、回動自在に取り付けるようにすると共に、
上記ピンを回動中心とした第２ステージのレールに対す
る位置を調整する方向調整手段を設けた構成により、第
１のステージの移動方向と、第２レールに取り付けられ
た第２のステージの移動方向が所定のものとなるよう
に、微細に調整することができる。 しかも、その構成は、１本のピンを回動中心として、
リニアガイドに対して第２のステージを回動させる構成
であるので、非常に簡単であり、コスト的にも安価に済
む。
第１図はこの発明による移動ステージの一実施例の側面
図、第２図はその一部の平面図、第３図はＹステージの
底面図、第４図はその一部の側面図、第５図はその一部
の拡大図、第６図は直交調整方法の説明のための図であ
る。 1;第１のステージ 2;第２のステージ 3,4;Xレール 7,8;Yレール 9A〜9D;リニアガイド 12,15;ピン挿入孔 13;ピン 16,17;直交位置決め用ガイド片 20,21;直交調整用部材 26,27;直交調整用ねじ
図、第２図はその一部の平面図、第３図はＹステージの
底面図、第４図はその一部の側面図、第５図はその一部
の拡大図、第６図は直交調整方法の説明のための図であ
る。 1;第１のステージ 2;第２のステージ 3,4;Xレール 7,8;Yレール 9A〜9D;リニアガイド 12,15;ピン挿入孔 13;ピン 16,17;直交位置決め用ガイド片 20,21;直交調整用部材 26,27;直交調整用ねじ
Claims (1)
- 【請求項１】所定の角度を以て交差する第１方向及び第
２方向のうちの第１方向に移動可能される第１のステー
ジと、 上記第２方向に延長されるレールに移動可能に嵌合され
るリニアガイドと、 上記第１のステージが取り付けられると共に、上記リニ
アガイドに取り付けられ、上記第２方向に移動可能とさ
れる第２のステージとを有する移動ステージにおいて、 上記第２のステージは、上記リニアガイド上の１点の位
置において、１本のピンにより上記第１方向及び第２方
向を含む平面方向に回動可能に取り付けるようにすると
共に、 上記ピンを回動中心とした上記第２のステージの回動位
置を調整する方向調整手段を設けたことを特徴とする移
動ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188087A JP2640690B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 移動ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188087A JP2640690B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 移動ステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353191A JPH0353191A (ja) | 1991-03-07 |
| JP2640690B2 true JP2640690B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=16217477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1188087A Expired - Lifetime JP2640690B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 移動ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2640690B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102117663B (zh) * | 2010-12-17 | 2012-06-27 | 中国科学院光电技术研究所 | 平面二维倾角调整器 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1188087A patent/JP2640690B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0353191A (ja) | 1991-03-07 |
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