JP2630352B2 - 基板の検査装置 - Google Patents
基板の検査装置Info
- Publication number
- JP2630352B2 JP2630352B2 JP63101677A JP10167788A JP2630352B2 JP 2630352 B2 JP2630352 B2 JP 2630352B2 JP 63101677 A JP63101677 A JP 63101677A JP 10167788 A JP10167788 A JP 10167788A JP 2630352 B2 JP2630352 B2 JP 2630352B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adapter
- test head
- substrate
- measuring
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、プリント基板の断線や短絡等を検査する基
板の検査装置に関する。
板の検査装置に関する。
（従来の技術） 近年の高密度実装化により、多層プリント基板が広く
普及しているが、このような基板の多層化により回路パ
ターンの短絡や断線が原因のトラブルも増加している。
そこで、このような高密度化されたプリント基板をロー
コストで検査し、品質保証するための基板検査装置が急
速に普及している。
普及しているが、このような基板の多層化により回路パ
ターンの短絡や断線が原因のトラブルも増加している。
そこで、このような高密度化されたプリント基板をロー
コストで検査し、品質保証するための基板検査装置が急
速に普及している。
第３図は、このような従来の両面実装用プリント配線
基板の検査装置の正面図である。
基板の検査装置の正面図である。
テストヘッド１上には、格子交点状に多数のプローブ
ピンが植設されており、このプローブピン２と被検査プ
リント基板３の下面の電極端子例えばパッドは夫々測定
部となるテスタ４へと接続されている。
ピンが植設されており、このプローブピン２と被検査プ
リント基板３の下面の電極端子例えばパッドは夫々測定
部となるテスタ４へと接続されている。
一方、テストヘッド上方には、上部テストヘッド５が
昇降可能に配設されており、この上部テストヘッド５下
面に、被検査プリント配線基板３が両面実装用基板の場
合には測定用プローブピン７が植設された例えば箱形の
測定用アダプタ８が例えばボルト９等により取付けられ
ている。また、被検査プリント基板３が片面実装用基板
の場合には、上記測定用アダプタ８は不要となるので、
測定用アダプタの代わりにほぼ同形状の枠体であるダミ
ー用アダプタを取付けておく。
昇降可能に配設されており、この上部テストヘッド５下
面に、被検査プリント配線基板３が両面実装用基板の場
合には測定用プローブピン７が植設された例えば箱形の
測定用アダプタ８が例えばボルト９等により取付けられ
ている。また、被検査プリント基板３が片面実装用基板
の場合には、上記測定用アダプタ８は不要となるので、
測定用アダプタの代わりにほぼ同形状の枠体であるダミ
ー用アダプタを取付けておく。
このような基板検査装置による検査方法は、まず、テ
ストヘッド１上に被検査プリント基板３を載置した後、
上部テストヘッド５を下降させて基板の電極とプローブ
ピン２、９とを押圧させて基板両面の検査を同時に行
う。このときの測定結果は、装置CPU10にて処理し、異
常値の判断を行う。
ストヘッド１上に被検査プリント基板３を載置した後、
上部テストヘッド５を下降させて基板の電極とプローブ
ピン２、９とを押圧させて基板両面の検査を同時に行
う。このときの測定結果は、装置CPU10にて処理し、異
常値の判断を行う。
（発明が解決しようとする課題） ところで、上述測定用アダプタは、基板の品種毎に合
わせて交換する必要があり、近年の基板の多品種・少量
生産化にともない、この測定用アダプタの交換作業は頻
繁に行われるようになり、交換時の位置決め作業を迅速
かつ確実に行うことが要求されている。
わせて交換する必要があり、近年の基板の多品種・少量
生産化にともない、この測定用アダプタの交換作業は頻
繁に行われるようになり、交換時の位置決め作業を迅速
かつ確実に行うことが要求されている。
しかしながら、上述した従来の検査装置では、測定用
アダプタの取付け構造が、測定用アダプタ上面のフラン
ジ部を上部テストヘッドに多数のボルトで固定する構造
となっているため、測定用アダプタ交換時における位置
決めは、このボルトを１本１本ゆるめながら測定用アダ
プタのＸ方向、Ｙ方向およびθの調整を行わなければな
らず、迅速な位置決め作業ができないという問題があっ
た。
アダプタの取付け構造が、測定用アダプタ上面のフラン
ジ部を上部テストヘッドに多数のボルトで固定する構造
となっているため、測定用アダプタ交換時における位置
決めは、このボルトを１本１本ゆるめながら測定用アダ
プタのＸ方向、Ｙ方向およびθの調整を行わなければな
らず、迅速な位置決め作業ができないという問題があっ
た。
また、作業員が多数のボルト全てを確実に締付けなけ
ればならず、ボルト締付け時に締め忘れや位置ずれ等が
発生しやすく、取付け作業の正確さにも問題があった。
ればならず、ボルト締付け時に締め忘れや位置ずれ等が
発生しやすく、取付け作業の正確さにも問題があった。
本発明は、上述した問題点を解決するためになされた
もので、測定用アダプタの位置合せ作業を迅速にかつ確
実に行うことができる基板の検査装置を提供することを
目的とする。
もので、測定用アダプタの位置合せ作業を迅速にかつ確
実に行うことができる基板の検査装置を提供することを
目的とする。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明の基板の検査装置は、多数のプローブピンを植
設した下部テストヘッドと、この下部テストヘッド上方
に対向して配置された上部テストヘッドと、この上部テ
ストヘッドの下部に配設され、被検査基板の所定の電極
部に対応するプローブピンを下面に植設した測定用アダ
プタとを備え、上記下部テストヘッドのプローブピンと
上記測定用アダプタのプローブピンを被検査基板の電極
部に接触させて測定する基板の検査装置において、前記
上記テストヘッドと前記測定用アダプタ間に、測定用ア
ダプタを基板表面に対してＸ方向、Ｙ方向およびθ方向
に移動させる測定用アダプタ位置合せ機構を設けたこと
を特徴とするものである。
設した下部テストヘッドと、この下部テストヘッド上方
に対向して配置された上部テストヘッドと、この上部テ
ストヘッドの下部に配設され、被検査基板の所定の電極
部に対応するプローブピンを下面に植設した測定用アダ
プタとを備え、上記下部テストヘッドのプローブピンと
上記測定用アダプタのプローブピンを被検査基板の電極
部に接触させて測定する基板の検査装置において、前記
上記テストヘッドと前記測定用アダプタ間に、測定用ア
ダプタを基板表面に対してＸ方向、Ｙ方向およびθ方向
に移動させる測定用アダプタ位置合せ機構を設けたこと
を特徴とするものである。
（作 用） 基板検査装置の上部テストヘッドと測定用アダプタ間
に、測定用アダプタを基板表面に対してＸ方向、Ｙ方向
およびθ方向に移動させる測定用アダプタ位置合せ機構
を設けることで、測定用アダプタの位置合せ作業を迅速
にかつ確実に行うことができる。
に、測定用アダプタを基板表面に対してＸ方向、Ｙ方向
およびθ方向に移動させる測定用アダプタ位置合せ機構
を設けることで、測定用アダプタの位置合せ作業を迅速
にかつ確実に行うことができる。
（実施例） 以下、本発明の一実施例について図を参照して説明す
る。
る。
例えば長さ10mmのプローブピン11を、例えば192ピン
×130ピンの格子交点状に植設したテストヘッド12上方
には、箱状の測定用アダプタ13がアダプタ位置合せ機構
14を介して昇降自在の上部テストヘッド15に配設されて
いる。
×130ピンの格子交点状に植設したテストヘッド12上方
には、箱状の測定用アダプタ13がアダプタ位置合せ機構
14を介して昇降自在の上部テストヘッド15に配設されて
いる。
上記測定用アダプタ15下面には、テストヘッド12と同
様にプローブピン16が多数植設されており、測定用アダ
プタ13およびテストヘッド12の両プローブピン11、16と
も図示を省略したテスタに配線接続されている。
様にプローブピン16が多数植設されており、測定用アダ
プタ13およびテストヘッド12の両プローブピン11、16と
も図示を省略したテスタに配線接続されている。
上記アダプタ位置合せ機構14は、上部テストヘッド15
下面に減衰機構例えば複数のバネ17により吊設されてお
り、このアダプタ位置合せ機構14に設けられたＸ方向調
整つまみ18、Ｙ方向調整つまみ19およびθ方向調整つま
み20により、測定用アダプタ13のＸ−Ｙ−θ方向の位置
合せが可能となっている。
下面に減衰機構例えば複数のバネ17により吊設されてお
り、このアダプタ位置合せ機構14に設けられたＸ方向調
整つまみ18、Ｙ方向調整つまみ19およびθ方向調整つま
み20により、測定用アダプタ13のＸ−Ｙ−θ方向の位置
合せが可能となっている。
また、上部テストヘッド15下面には、アダプタ位置合
せ機構14の両側面方向を覆うように、アダプタ押圧ブロ
ック21が取付けられている。そして、上部テストヘッド
15が下降してプローブピン16がテストヘッド12上の基板
22に当接した際に、上記押圧ブロック21の下面が、アダ
プタ位置合せ機構14のアダプタ取付板23上面を押圧する
ことにより、アダプタ取付板23下面に取付けられた測定
用アダプタ13が基板22をテストヘッド12上に押圧するよ
うに構成されている。
せ機構14の両側面方向を覆うように、アダプタ押圧ブロ
ック21が取付けられている。そして、上部テストヘッド
15が下降してプローブピン16がテストヘッド12上の基板
22に当接した際に、上記押圧ブロック21の下面が、アダ
プタ位置合せ機構14のアダプタ取付板23上面を押圧する
ことにより、アダプタ取付板23下面に取付けられた測定
用アダプタ13が基板22をテストヘッド12上に押圧するよ
うに構成されている。
以下、このアダプタ位置合せ機構のさらに詳細な説明
を第２図の上平面図を参照して説明する。
を第２図の上平面図を参照して説明する。
アダプタ位置合せ機構14の基台となるベース枠24は、
４本のベースプレート25a、25b、25c、25dにより矩形に
形成した枠体25と、この枠体25上面の各コーナー部に突
設したブロック体26により構成されている。
４本のベースプレート25a、25b、25c、25dにより矩形に
形成した枠体25と、この枠体25上面の各コーナー部に突
設したブロック体26により構成されている。
ベース枠24正面および背面のベースプレート25a、25c
上には、Ｘ方向スライド機構例えばLMローラ27が取付け
られており、これらLMローラ27上に矩形の第１テーブル
28が上記ベース枠24の各ブロック体26と間隙をもうけて
搭載されている。
上には、Ｘ方向スライド機構例えばLMローラ27が取付け
られており、これらLMローラ27上に矩形の第１テーブル
28が上記ベース枠24の各ブロック体26と間隙をもうけて
搭載されている。
第１テーブル28の下側面部には、夫々Ｙ方向スライド
機構例えばLMローラ29が取付けられており、これらLMロ
ーラ29により矩形の第２テーブル30が吊設されている。
機構例えばLMローラ29が取付けられており、これらLMロ
ーラ29により矩形の第２テーブル30が吊設されている。
この第２テーブル30のほぼ中央部には、回転機構例え
ばベアリング31が取付けられており、このベアリング31
により上記第２プレート30が回転可能となっている。
ばベアリング31が取付けられており、このベアリング31
により上記第２プレート30が回転可能となっている。
ところで、Ｘ方向調整つまみ18のシャフト18a先端部
は、１組のベベルギア32に接続されており、このベベル
ギア32を介して、一端が第２テーブル30の一側辺と当接
し、他端が上記シャフト18aに直交するように伸縮機構
例えばボールスクリュー33が接続されている。即ち、第
２テーブル30のＸ方向の調整は、Ｘ方向調整つまみ18を
回転させてボールスクリュー33を伸縮させることによ
り、第１テーブル28をLMローラ27上でスライドさせて行
う。
は、１組のベベルギア32に接続されており、このベベル
ギア32を介して、一端が第２テーブル30の一側辺と当接
し、他端が上記シャフト18aに直交するように伸縮機構
例えばボールスクリュー33が接続されている。即ち、第
２テーブル30のＸ方向の調整は、Ｘ方向調整つまみ18を
回転させてボールスクリュー33を伸縮させることによ
り、第１テーブル28をLMローラ27上でスライドさせて行
う。
また、Ｙ方向調整つまみ19はボールスクリューで構成
されており、そのシャフト先端部19aは、第２テーブル3
0の正面中央端部に当接している。このＹ方向調整つま
み19を回転させることにより、第２テーブル30がLMロー
ラ29上をＹ方向に移動する。
されており、そのシャフト先端部19aは、第２テーブル3
0の正面中央端部に当接している。このＹ方向調整つま
み19を回転させることにより、第２テーブル30がLMロー
ラ29上をＹ方向に移動する。
また、θ方向調整つまみ20は、上記Ｙ方向調整つまみ
19と同様にボールスクリューで構成されており、そのシ
ャフト先端部20aは、第２テーブル30の正面角部に当接
している。このθ方向調整つまみ20を回転させることに
より、第２テーブル30がベアリング31を中心にして回転
する。
19と同様にボールスクリューで構成されており、そのシ
ャフト先端部20aは、第２テーブル30の正面角部に当接
している。このθ方向調整つまみ20を回転させることに
より、第２テーブル30がベアリング31を中心にして回転
する。
また、第２テーブル30両側辺には、ばね取付け治具34
が設けられており、このばね取付け治具34は、両側面の
ベースプレート25b、25dに固定されたばね機構35に接続
されている。これらばね機構35の弾性により、θ方向調
整つまみシャフト先端部20aの進退に第２テーブル30が
追従するように構成されている。
が設けられており、このばね取付け治具34は、両側面の
ベースプレート25b、25dに固定されたばね機構35に接続
されている。これらばね機構35の弾性により、θ方向調
整つまみシャフト先端部20aの進退に第２テーブル30が
追従するように構成されている。
上述構成により、第２テーブル30下面に取付けられた
アダプタ取付板23の位置合せは、上記Ｘ方向調整つまみ
18、Ｙ方向調整つまみ19およびθ方向調整つまみ20によ
り簡単に行うことができる。
アダプタ取付板23の位置合せは、上記Ｘ方向調整つまみ
18、Ｙ方向調整つまみ19およびθ方向調整つまみ20によ
り簡単に行うことができる。
このような測定用アダプタの位置合せ機構を設けるこ
とにより、従来のように、測定用アダプタと上部テスト
ヘッドとの固定ボルトを全てゆるめながら位置合せを行
う必要がなくなり、位置合せ作業の大幅な簡略化が可能
となる。また、ボルトの締め忘れやボルト締め時の位置
ずれ等のトラブルの発生もなくなり、確実な位置合せ作
業が行える。
とにより、従来のように、測定用アダプタと上部テスト
ヘッドとの固定ボルトを全てゆるめながら位置合せを行
う必要がなくなり、位置合せ作業の大幅な簡略化が可能
となる。また、ボルトの締め忘れやボルト締め時の位置
ずれ等のトラブルの発生もなくなり、確実な位置合せ作
業が行える。
ところで、検査時には、プローブピン１本当りに例え
ば100グラムの圧力を加えるため、プローブピン数が例
えば24000本植設されている場合には、約2.4トンの圧力
が測定用アダプタに全体に加わることになり、このよう
な高圧条件下では、上記位置合せ機構の耐久性に問題が
生じる。そこで、本例では、上部テストヘッド15下面に
アダプタ位置合せ機構14の両側面方向を覆うように、ア
ダプタ押圧ブロック22を取付け、この押圧ブロック22の
下面がアダプタ取付板23の上面を押圧することにより、
測定用アダプタ13が基板22に圧接するように構成したの
で、アダプタ位置合せ機構14には圧力が加わらず、上記
問題はない。
ば100グラムの圧力を加えるため、プローブピン数が例
えば24000本植設されている場合には、約2.4トンの圧力
が測定用アダプタに全体に加わることになり、このよう
な高圧条件下では、上記位置合せ機構の耐久性に問題が
生じる。そこで、本例では、上部テストヘッド15下面に
アダプタ位置合せ機構14の両側面方向を覆うように、ア
ダプタ押圧ブロック22を取付け、この押圧ブロック22の
下面がアダプタ取付板23の上面を押圧することにより、
測定用アダプタ13が基板22に圧接するように構成したの
で、アダプタ位置合せ機構14には圧力が加わらず、上記
問題はない。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の基板の検査装置によれ
ば、測定用アダプタの位置合せ作業を迅速にかつ確実に
行うことができる。
ば、測定用アダプタの位置合せ作業を迅速にかつ確実に
行うことができる。
第１図は本発明による一実施例の基板検査装置の測定部
を示す正面図、第２図は第１図のアダプタ位置合せ機構
を示す上平面図、第３図は従来の基板の検査装置の正面
図である。 11、16……プローブピン、13……測定用アダプタ、14…
…位置合せ機構、15……上部テストヘッド、18……Ｘ方
向調整つまみ、19……Ｙ方向調整つまみ、20……θ方向
調整つまみ、22……基板、24……ベース枠、28……第１
テーブル、30……第２テーブル。
を示す正面図、第２図は第１図のアダプタ位置合せ機構
を示す上平面図、第３図は従来の基板の検査装置の正面
図である。 11、16……プローブピン、13……測定用アダプタ、14…
…位置合せ機構、15……上部テストヘッド、18……Ｘ方
向調整つまみ、19……Ｙ方向調整つまみ、20……θ方向
調整つまみ、22……基板、24……ベース枠、28……第１
テーブル、30……第２テーブル。
Claims (2)
- 【請求項１】多数のプローブピンを植設した下部テスト
ヘッドと、 この下部テストヘッド上方に対向して配置された上部テ
ストヘッドと、 この上部テストヘッドの下部に配設され、被検査基板の
所定の電極部に対応するプローブピンを下面に植設した
測定用アダプタとを備え、 上記下部テストヘッドのプローブピンと上記測定用アダ
プタのプローブピンを被検査基板の電極部に接触させて
測定する基板の検査装置において、 前記上部テストヘッドと前記測定用アダプタ間に、測定
用アダプタを基板表面に対してＸ方向、Ｙ方向およびθ
方向に移動させる測定用アダプタ位置合せ機構を設けた
ことを特徴とする基板の検査装置。 - 【請求項２】前記上部テストヘッドは、前記測定用アダ
プタに当接される押圧部材を具備し、 前記測定用アダプタ位置合せ機構は、前記押圧部材によ
って前記測定用アダプタを前記被検査基板に押圧する際
に、上下動を許容して当該測定用アダプタ位置合せ機構
に加わる押圧力を緩和する伸縮機構を介して前記上部テ
ストヘッドに係止されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63101677A JP2630352B2 (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63101677A JP2630352B2 (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 基板の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01272982A JPH01272982A (ja) | 1989-10-31 |
| JP2630352B2 true JP2630352B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=14306981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63101677A Expired - Lifetime JP2630352B2 (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2630352B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5277827B2 (ja) | 2008-09-22 | 2013-08-28 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
| JP7371885B2 (ja) * | 2019-07-08 | 2023-10-31 | ヤマハファインテック株式会社 | 電気検査装置及び保持ユニット |
-
1988
- 1988-04-25 JP JP63101677A patent/JP2630352B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01272982A (ja) | 1989-10-31 |
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