CN219590376U - 一种探针台多探针快速定位结构及探针射频测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种探针台多探针快速定位结构及探针射频测试装置，涉及电极测试领域，包括：探针台，在所述探针台上设置有通孔；探针座，用于安装探针，可拆卸的设置在所述探针台上；限位器，设置在所述探针台上限制所述探针座的位置；所述探针台的上表面设置有标示线，所述限位器沿所述标示线设置；所述探针座沿所述限位器贴合设置并且探针座上的探针指向通孔，在本申请中，通过标示线定位和安装限位器，探针座贴合限位器设置，限位器限制了探针座在平面上的一个方向，在后续测试中，探针座沿限位器进行移动，降低了探针移动的误差，减少了撞针几率。

Description

一种探针台多探针快速定位结构及探针射频测试装置

技术领域

本实用新型涉及电极测试领域，特别涉及一种探针台多探针快速定位结构及探针射频测试装置。

背景技术

随着半导体产业的飞速发展，芯片集中度越来越高，芯片检测时的测试电极也越来越多，工厂对芯片测试效率也在不断提出更高的要求。探针台作为芯片性能检测的重要工具，在芯片电性能测试时起到了至关重要的作用。探针台上重复单元的探针测试时，需要更多的探针针尖与与更多的芯片电极接触，从而一次性施加更多的电信号到芯片从而测试更多器件。

目前市面上的探针台可以同时摆放多个探针座，探针座的前端固定一个或者多个与芯片电极接触的针尖，当在显微镜下调整探针时，经常会遇到：

1)芯片电极小为微米级别，需要将显微镜的倍率调节到与之匹配的大倍率下观察和操作，手动操作探针座将其前端微米级别的针尖移动到视野中观察到，需要不断手动调节探针座的位置还要调节显微镜的聚焦旋钮，难度很大，耗时很长；2)显微镜视野很小，手动移动针座微米级移动时，即使操作非常熟练的员工也经常会出现与其他探针相撞，损坏探针的情况；3)由于探针台面有限，摆放8个针座后可供探针座移动的空间很小，会出现探针座对应的针尖都在显微镜视野中，而一个探针座的位移台XY移动时，它的探针臂会与其他探针座的探针臂相撞干涉，探针无法扎针到指定的芯片电极，需要重新摆放探针座情况的情况；4)随着测试的进行，探针磨损并更换探针后重新摆放探针座时需要花很长的时间调整位置到与之前的探针位置匹配。

为此，市面上缺少一种用于快速调整探针座的结构，方便对探针进行初步定位。

实用新型内容

本实用新型提供了一种探针台多探针快速定位结构及探针射频测试装置，其目的是为了解决在电极测试的过程中，因频繁调整探针的位置造成的调节时间过长的问题。

为了达到上述目的，本实用新型的实施例提供了一种探针台多探针快速定位结构，包括：

探针台，在所述探针台上设置有通孔；

探针座，用于安装探针，可拆卸的设置在所述探针台上；

限位器，设置在所述探针台上限制所述探针座的位置；

所述探针台的上表面设置有标示线，所述限位器沿所述标示线设置；

所述探针座沿所述限位器贴合设置并且探针座上的探针指向通孔。

优选地，所述标示线为线条、组合线条和图形。

优选地，所述探针台在所述标示线的附近还设置有螺纹孔，所述限位器通过所述螺纹孔在探针台上与标示线定位安装。

优选地，所述限位器包括一个矩形状的本体，所述本体沿所述标示线固定在所述探针台上，所述探针座贴合在所述本体的侧面以定位探针座的位置。

优选地，所述限位器包括两个矩形状的本体，两个本体构成T型，所述标示线为T型，所述探针座贴合两个本体侧面设置。

优选地，所述限位器包括两个矩形状的本体，两个本体首尾连接形成钝角，所述探针座贴合任一本体的侧面设置。

优选地，所述限位器包括至少三个矩形状的本体，多个本体首尾相连构成正多边形结构，所述正多边形结构的内切圆圆心位于所述通孔的圆心处。

本申请还提供了一种探针射频测试装置，采用前述的探针台多探针快速定位结构，还包括固定架和设置在固定架上的显微镜，显微镜位于通孔的正上方以观测探针和电极的接触情况。

本实用新型的上述方案有如下的有益效果：

在本申请中，通过标示线定位和安装限位器，探针座贴合限位器设置，限位器限制了探针座在平面上的一个方向，在后续测试中，探针座沿限位器进行移动，降低了探针移动的误差，减少了撞针几率。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

图1是探针台多探针快速定位结构；

图2是探针台的示意图；

图3a是一种限位器和探针座的位置示意图；

图3b是第二种限位器和探针座的位置示意图；

图3b-2是第二种限位器和探针座的另一种示意图；

图3c是第三种限位器和探针座的位置示意图；

图3d是第四种限位器和探针座的位置示意图；

图4是一种探针射频测试装置。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

如图1-3d所示，本实用新型的实施例提供了一种探针台多探针快速定位结构，包括探针台1，探针台1的上表面为平面，探针台1的上设置有通孔11，在探针台1上还设置有探针座2，探针座2用于安装探针21，探针座2选择具有磁吸功能的探针座2，探针座2可以吸附在探针台1上，方便移动和固定探针座2。在探针台1的上表面还设置有标示线4，标示线4上设置有限位器3，限位器3沿标示线4设置，探针座2沿着所述限位器3贴合设置，并且保证探针座2的探针21指向通孔11方向。

在本申请中，通过在探针台1上设置标示线4和限位器3，起到定位探针座2的作用，因为限位器3的存在，起到阻挡探针台1移动的作用，减少探针台1一个维度的移动，降低了测试中多次调整探针台1所花费的时间，同时由于探针台1上的探针21指向通孔11的方向，多个探针21交汇在通孔11处，通过限位器3的限制可以降低探针21移动发生的误动，防止多个探针21之间碰撞，损坏探针21。

探针台1在标示线4附近设置有螺纹孔，限位器3通过螺纹孔固定在探针台1上，并且保证限位器3贴合标示线4设置，标示线4起到定位限位器3的作用，限位器3起到限制探针座2的作用。相较于常规的标示线4限制探针座2来说，本申请通过固定限位器3实现限制探针座2，限位器3为有形体，可以防止探针座2跨越标示线4，有效的防止操作人员在移动探针座2时，需要观察探针座2的位置。

优选地，限位器3与探针座2之间设置有滑轨-滑槽结构，以确保探针座2可以沿着滑轨的方向移动而不发生偏移。

进一步的，标示线4依照限位器3的形状不同可以为线条、组合线条和图案。相对应的，限位器3采用与标示线4相同的结构。

具体来说，限位器3有一个或者多个矩形状的本体构成。当限位器3采用一个本体构成，标示线4为直线线条，且多个标示线4以通孔11为圆心进行放射性排布，本体设置在标示线4的一侧，并且本体的长边与标示线4重合，本体通过螺钉固定在探针台1上。探针座2贴合本体的长边，使得多个探针座2上的探针21指向圆孔的方向，当使用者需要调整探针21的位置时，沿着本体进行移动，此时探针21的移动路径与通孔11的径向相同，可以有效的避免探针21左右偏移造成的撞针。

在另一实施例中，限位器3采用两个本体构成，两个本体可以构成T型，也可以首尾相连形成钝角。当采用T型的限位器3时，标示线4也相应的调整为T型，针座贴合两个本体的侧面设置。采用T型的限位器3的优势在于使用者可以根据实际的需求，在两个方向中任一选择一个方向进行移动，另一个方向通过另一个本体进行限制。

当限位器3采用两个本体构成时，还可以将两个限位器平行设置在探针台1上，同时将探针座2设置在两个本体之间，探针座2在两个本体之间沿着本体移动。

当然的，当限位器3采用两个本体构成时，两个本体也可以首尾连接形成钝角，此时标示线4也同样为角度相同的钝角，限位器3探针座2贴合任一本体的侧面设置。

在另一实施例中，限位器3可以采用至少三个矩形状的本体构成，多个本体首尾相连正多边形，多边形结构的内切圆圆心与通孔11的圆心重合，此时探针台1设置在本体的侧面，采用正多边形结构的限位器3可以从多个方向设置多个数量的探针座2，一方面适应多探针21测试试验，另一方面，正多边形结构的限位器3设置在通孔11的周围，可以方便快速的对探针台1进行定位。

本申请还提供了一种探针射频测试装置，包括前述的探针台1多探针21快速定位装置外，还包括固定架6和设置在固定架6上的显微镜5。显微镜5位于通孔11的正上方以观测探针21和电极的接触情况。探针台1设置在圆晶载物台的上方。参照图4，本实施例中采用一个本体构成的限位器3以及与限位器3形状相同的标示线4，该限位器3设置有四个，任意两个相邻的限位器3之间的夹角为直角，探针座2贴合限位器3的侧面，探针台1可以沿着限位器3的长度方向进行移动，能够有效的避免探针台1大幅度移动造成的撞针，当探针座2移动至合适的地方后，将探针座2吸附在探针台1上，完成固定。

在移动探针座2的同时，通过显微镜5观察探针21之间的位置关系，对探针座2进行初步的位置调整，当初步调整后，调节探针座2上的三维结构，进一步的对探针21进行精确调整，遵循由粗到细的调整理念，降低撞针的风险。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种探针台多探针快速定位结构，其特征在于，包括：

探针台(1)，在所述探针台(1)上设置有通孔(11)；

探针座(2)，用于安装探针(21)，可拆卸的设置在所述探针台(1)上；

限位器(3)，设置在所述探针台(1)上限制所述探针座(2)的位置；

所述探针台(1)的上表面设置有标示线(4)，所述限位器(3)沿所述标示线(4)设置；

所述探针座(2)沿所述限位器(3)贴合设置并且探针座(2)上的探针(21)指向通孔(11)。

2.根据权利要求1所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述标示线(4)为线条、组合线条和图形。

3.根据权利要求1所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述探针台(1)在所述标示线(4)的附近还设置有螺纹孔，所述限位器(3)通过所述螺纹孔在探针台(1)上与标示线(4)定位安装。

4.根据权利要求2所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述限位器(3)包括一个矩形状的本体，所述本体沿所述标示线(4)固定在所述探针台(1)上，所述探针座(2)贴合在所述本体的侧面以定位探针座(2)的位置。

5.根据权利要求2所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述限位器(3)包括两个矩形状的本体，两个本体构成T型，所述标示线(4)为T型，所述探针座(2)贴合两个本体侧面设置。

6.根据权利要求2所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述限位器(3)包括两个矩形状的本体，两个本体首尾连接形成钝角，所述探针座(2)贴合任一本体的侧面设置。

7.根据权利要求2所述的探针台多探针快速定位结构，其特征在于：所述限位器(3)包括至少三个矩形状的本体，多个本体首尾相连构成正多边形结构，所述正多边形结构的内切圆圆心位于所述通孔(11)的圆心处。

8.一种探针射频测试装置，其特征在于，采用权利要求4-7任一向所述的探针台多探针快速定位结构：

还包括固定架(6)和设置在固定架(6)上的显微镜(5)，显微镜(5)位于通孔(11)的正上方以观测探针(21)和电极的接触情况。