CN215728339U - 一种用于悬臂探针的定位工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于悬臂探针的定位工装，属于探针定位领域。所述定位工装包括底板和用于定位多个悬臂探针针体的探针固定机构。所述底板上具有针尖点位膜、用于支撑多个所述悬臂探针的斜楔块和用于观察所述针尖点位膜的显微镜，各所述针尖点位膜上具有多个第一凹槽，所述针尖点位膜和所述斜楔块间隔布置。所述探针固定机构位于所底板上，且所述探针固定机构可在所述底板上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，以调节多个所述悬臂探针的位置。本实用新型实施例提供的一种用于悬臂探针的定位工装，可以对多个探针进行辅助定位，不仅能提高定位精度，还能缩短定位周期。

Description

一种用于悬臂探针的定位工装

技术领域

本实用新型属于探针定位领域，更具体地，涉及一种用于悬臂探针的定位工装。

背景技术

在新型显示、半导体等电子部件模块中，在其制造工序中进行导通等性能进行检测。使用探针卡上探针一端直接与被测产品上的金手指接触，探针另一端与转接PCB上的Pad点接触，通过转接PCB的转接与检测装置连接起来，由此形成通路，进行检测。

探针卡的种类繁多，其中悬臂针探针卡应用较为广泛，目前行业中普遍采用的悬臂针探针卡的制造工艺是人工对悬臂探针完成定位，定位完成后将悬臂探针与PCB板进行点焊装针。这种方式存在的问题是：定位过程中，悬臂探针是通过人工手动逐一安装定位的，导致定位精度较差且周期长。

实用新型内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本实用新型提供了一种用于悬臂探针的定位工装，其目的在于通过本装置进行辅助装针，不仅能提高定位精度，还能缩短定位周期。

本实用新型提供了一种用于悬臂探针的定位工装，所述定位工装包括底板和用于定位多个悬臂探针针体的探针固定机构；

所述底板上具有针尖点位膜、用于支撑多个所述悬臂探针的斜楔块和用于观察所述针尖点位膜的显微镜，各所述针尖点位膜上具有多个第一凹槽，所述针尖点位膜和所述斜楔块间隔布置；

所述探针固定机构位于所述底板上，且所述探针固定机构可在所述底板上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，以调节多个所述悬臂探针的位置。

可选地，所述探针固定机构包括用于定位多个所述悬臂探针针头的第一探针固定组件和用于定位多个所述悬臂探针针尾的第二探针固定组件，所述第一探针固定组件和所述第二探针固定组件间隔布置在所底板上，且所述第一探针固定组件和所述第二探针固定组件均可在所述底板上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动。

可选地，所述第一探针固定组件包括两根用于夹装所述悬臂探针针头的钢丝和两个滑台组，两个所述滑台组和两根所述钢丝一一对应，各所述滑台组包括两个第一滑台，各所述第一滑台均可在所述底板上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，对于任意一个所述滑台组，一个所述第一滑台和一根所述钢丝的一端连接在一起，另一个所述第一滑台和一根所述钢丝的另一端连接在一起。

可选地，所述第二探针固定组件包括支撑块和第二滑台，所述支撑块上具有多个用于容置所述悬臂探针针尾的第二凹槽，所述第二滑台可在所述底板上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，所述第二滑台和所述支撑块连接在一起。

可选地，所述底板上具有支架，所述支架上具有高度规，所述高度规的探头与所述第二滑台相抵，以检测所述第二滑台的高度。

可选地，所述定位工装还包括针尖调节组件，所述针尖调节组件包括第三滑台和用于拨动所述悬臂探针针尖的调节针，所述第三滑台可在所述底板上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，所述第三滑台和所述调节针连接在一起。

可选地，所述针尖调节组件还包括第四滑台，所述第四滑台可在所述底板上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，所述第三滑台位于所述第四滑台上。

可选地，所述定位工装还包括箱体，所述底板位于箱体的顶部，所述显微镜位于所述箱体中。

可选地，所述底板可滑动地布置在所述箱体上，所述箱体上具有驱动件，以驱动所述底板滑动。

可选地，所述驱动件包括固定块和螺杆，所述固定块位于所述箱体上，所述螺杆可活动地插装在所述固定块中，且所述螺杆贯穿所述固定块，所述螺杆的一端与所述底板相抵。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

对于本实用新型实施例提供的一种用于悬臂探针的定位工装，在对多个悬臂探针进行定位时，首先，通过探针固定机构对多个悬臂探针针体进行初步定位。然后，调节探针固定机构的位置，这样可以调节多个悬臂探针在三维空间的位置，使得多个悬臂探针针尖与针尖点位膜的多个第一凹槽一一对应，且位于第一凹槽的上方。最后，通过探针固定机构下降悬臂探针，并在显微镜的配合下使得各悬臂探针针尖插装至第一凹槽中，从而在探针固定机构的定位作用下对多个悬臂探针快速实现精确的三维定位。此时，多个悬臂探针针体恰好与斜楔块的斜面接触，再通过在斜面上涂一层树脂即可实现多个悬臂探针的精确定位。

也就是说，本实用新型实施例提供的一种用于悬臂探针的定位工装，可以对多个悬臂探针进行辅助定位，不仅能提高定位精度，还能缩短定位周期。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的悬臂探针的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种用于悬臂探针的定位工装的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的夹具的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的探针固定机构的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的钢丝的使用示意图。

图中各符号表示含义如下：

1、底板；11、针尖点位膜；12、斜楔块；13、显微镜；14、支架；141、高度规；15、夹具；2、探针固定机构；21、第一探针固定组件；211、钢丝；212、第一滑台；22、第二探针固定组件；221、支撑块；222、第二滑台；3、针尖调节组件；31、第三滑台；32、调节针；33、第四滑台；4、箱体；41、驱动件；101、针体；102、针尖。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

为了更好的理解本装置的结构及工作原理，以下简要说明悬臂探针的结构：

图1是本实用新型实施例提供的悬臂探针的结构示意图，如图1所示，悬臂探针包括针体101和针尖102，针体101和针尖102呈一定的夹角布置，针体101的左端为针头，针体101的右端为针尾，针尖102的下端为锥形。

图2是本实用新型实施例提供的一种用于悬臂探针的定位工装的结构示意图，如图2所示，该定位工装包括底板1和用于定位多个悬臂探针针体101的探针固定机构2。

底板1上具有针尖点位膜11、用于支撑多个悬臂探针的斜楔块12和用于观察针尖点位膜11的显微镜13，各针尖点位膜11上具有多个第一凹槽，针尖点位膜11和斜楔块12间隔布置(见图3)。

探针固定机构2位于所底板1上，且探针固定机构2可在底板1上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，以调节多个悬臂探针的位置。

对于本实用新型实施例提供的一种用于悬臂探针的定位工装，在对多个悬臂探针进行定位时，首先，通过探针固定机构2对多个悬臂探针针体101进行初步定位。然后，调节探针固定机构2的位置，这样可以调节多个悬臂探针在三维空间的位置，使得多个悬臂探针针尖102与针尖点位膜11的多个第一凹槽一一对应，且位于第一凹槽的上方。最后，通过探针固定机构2下降悬臂探针，并在显微镜13的配合下使得各悬臂探针针尖102插装至第一凹槽中，从而在探针固定机构2的定位作用下对多个悬臂探针快速实现精确的三维定位。此时，多个悬臂探针针体101恰好与斜楔块12的斜面接触，再通过在斜面上涂一层树脂即可实现多个悬臂探针的精确定位。

也就是说，本实用新型实施例提供的一种用于悬臂探针的定位工装，可以对多个悬臂探针进行辅助定位，不仅能提高定位精度，还能缩短定位周期。

在本实施例中，针尖点位膜11和斜楔块12均布置在夹具15上(见图3)，且夹具15位于底板1的顶面上。

图4是本实用新型实施例提供的探针固定机构的结构示意图，如图4所示，探针固定机构2包括用于定位多个悬臂探针针头的第一探针固定组件21和用于定位多个悬臂探针针尾的第二探针固定组件22，第一探针固定组件21和第二探针固定组件22间隔布置在所底板1上，且第一探针固定组件21和第二探针固定组件22均可在底板1上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动。

在上述实施方式中，通过第一探针固定组件21和第二探针固定组件22可以实现对悬臂探针针体101在平面内的定位，还能实现对悬臂针体101的移动。

具体地，第一探针固定组件21包括两根用于夹装悬臂探针针头的钢丝211和两个滑台组，两个滑台组和两根钢丝211一一对应，各滑台组包括两个第一滑台212，各第一滑台212均可在底板1上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，对于任意一个滑台组，一个第一滑台212和一根钢丝211的一端连接在一起，另一个第一滑台212和一根钢丝211的另一端连接在一起。

在上述实施方式中，通过两个滑台组可以便捷实现对悬臂探针针头的移动。另外，通过两根钢丝211可以便捷实现对不同直径的悬臂探针针头的夹装(见图5)，并且，采用钢丝211对悬臂探针进行夹装占用的空间较小，不易干涉显微镜13观察视角，便于针尖102在第一凹槽中的插装。

在本实施例中，第二探针固定组件22包括支撑块221和第二滑台222，支撑块221上具有多个用于容置悬臂探针针尾的第二凹槽，第二滑台222可在底板1上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，第二滑台222和支撑块221连接在一起。

在上述实施方式中，通过第二滑台222可以实现对悬臂探针针尾的移动，通过支撑块221可以实现对悬臂探针针尾的定位。

示例性地，支撑块221可以为陶瓷块，起到绝缘的作用。

也就是说，通过第一探针固定组件21和第二探针固定组件22可以对多个悬臂探针的针体101在平面内进行初步定位，在此基础上，再通过针尖点位膜11(限制针尖102的朝向和间隔)，即可实现多个悬臂探针整体在三维空间中的精确定位。

示例性地，底板1上具有支架14，支架14上具有高度规141，高度规141的探头与第二滑台222相抵，以检测第二滑台222的高度，从而通过高度规141可以检测第二滑台222的高度，进而检测出悬臂探针的高度。

需要说明的是，悬臂探针在斜楔块12上可以形成单排探针，还可以形成多排探针。因此，通过高度规141还可以检测多排探针之间的间距。

继续参见图4，定位工装还包括针尖调节组件3，针尖调节组件3包括第三滑台31和用于拨动悬臂探针针尖102的调节针32，第三滑台31可在底板1上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，第三滑台31和调节针32连接在一起。

在上述实施方式中，通过移动第三滑台31，使得调节针32可以精调针尖102的朝向及间隔，保证针尖102的间距。

示例性地，针尖调节组件3还包括第四滑台33，第四滑台33可在底板1上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，第三滑台31位于第四滑台33上，从而通过第四滑台33来进一步增大第三滑台31的行程。

在本实施例中，定位工装还包括箱体4，底板1位于箱体4的顶部，显微镜13位于箱体4中，箱体4对显微镜13起到保护的作用。

示例性地，操作人员根据图像，调节各滑台位置，直到图像中针尖102的位置与针尖点位膜11上的预设位置重合。

容易理解的是，显微镜13镜头与针尖点位膜11之间为镂空结构，从而实现对针尖点位膜11的放大观测。

可选地，底板1可滑动地布置在箱体4上，箱体4上具有驱动件41，以驱动底板1滑动，从而可以调节底板1的位置，使得针尖点位膜11可以一直位于显微镜13的视野范围内。

示例性地，驱动件41包括固定块和螺杆，固定块位于箱体4上，螺杆可活动地插装在固定块中，且螺杆贯穿固定块，螺杆的一端与底板1相抵，从而通过旋拧螺杆即可便捷调节底板1在箱体4上的位置。

在本实施例中，第一滑台212、第二滑台222、第三滑台31和第四滑台33均包括三个相互配合的滑板，为常规结构，可以依次实现在X轴、Y轴和Z轴方向的滑动，从而带动相应结构在三维空间中移动。

本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述定位工装包括底板(1)和用于定位多个悬臂探针针体(101)的探针固定机构(2)；

所述底板(1)上具有针尖点位膜(11)、用于支撑多个所述悬臂探针的斜楔块(12)和用于观察所述针尖点位膜(11)的显微镜(13)，各所述针尖点位膜(11)上具有多个第一凹槽，所述针尖点位膜(11)和所述斜楔块(12)间隔布置；

所述探针固定机构(2)位于所述底板(1)上，且所述探针固定机构(2)可在所述底板(1)上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，以调节多个所述悬臂探针的位置。

2.根据权利要求1所述的一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述探针固定机构(2)包括用于定位多个所述悬臂探针针头的第一探针固定组件(21)和用于定位多个所述悬臂探针针尾的第二探针固定组件(22)，所述第一探针固定组件(21)和所述第二探针固定组件(22)间隔布置在所底板(1)上，且所述第一探针固定组件(21)和所述第二探针固定组件(22)均可在所述底板(1)上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动。

3.根据权利要求2所述的一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述第一探针固定组件(21)包括两根用于夹装所述悬臂探针针头的钢丝(211)和两个滑台组，两个所述滑台组和两根所述钢丝(211)一一对应，各所述滑台组包括两个第一滑台(212)，各所述第一滑台(212)均可在所述底板(1)上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，对于任意一个所述滑台组，一个所述第一滑台(212)和一根所述钢丝(211)的一端连接在一起，另一个所述第一滑台(212)和一根所述钢丝(211)的另一端连接在一起。

4.根据权利要求2所述的一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述第二探针固定组件(22)包括支撑块(221)和第二滑台(222)，所述支撑块(221)上具有多个用于容置所述悬臂探针针尾的第二凹槽，所述第二滑台(222)可在所述底板(1)上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，所述第二滑台(222)和所述支撑块(221)连接在一起。

5.根据权利要求4所述的一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述底板(1)上具有支架(14)，所述支架(14)上具有高度规(141)，所述高度规(141)的探头与所述第二滑台(222)相抵，以检测所述第二滑台(222)的高度。

6.根据权利要求1所述的一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述定位工装还包括针尖调节组件(3)，所述针尖调节组件(3)包括第三滑台(31)和用于拨动所述悬臂探针针尖(102)的调节针(32)，所述第三滑台(31)可在所述底板(1)上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，所述第三滑台(31)和所述调节针(32)连接在一起。

7.根据权利要求6所述的一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述针尖调节组件(3)还包括第四滑台(33)，所述第四滑台(33)可在所述底板(1)上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，所述第三滑台(31)位于所述第四滑台(33)上。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述定位工装还包括箱体(4)，所述底板(1)位于箱体(4)的顶部，所述显微镜(13)位于所述箱体(4)中。

9.根据权利要求8所述的一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述底板(1)可滑动地布置在所述箱体(4)上，所述箱体(4)上具有驱动件(41)，以驱动所述底板(1)滑动。

10.根据权利要求9所述的一种用于悬臂探针的定位工装，其特征在于，所述驱动件(41)包括固定块和螺杆，所述固定块位于所述箱体(4)上，所述螺杆可活动地插装在所述固定块中，且所述螺杆贯穿所述固定块，所述螺杆的一端与所述底板(1)相抵。

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