JP2655188B2 - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
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- JP2655188B2 JP2655188B2 JP1115081A JP11508189A JP2655188B2 JP 2655188 B2 JP2655188 B2 JP 2655188B2 JP 1115081 A JP1115081 A JP 1115081A JP 11508189 A JP11508189 A JP 11508189A JP 2655188 B2 JP2655188 B2 JP 2655188B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis stage
- probe
- wafer
- rotating
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の目的 （産業上の利用分野） 本発明は、検査装置に関するものである。
（従来の技術） 従来より半導体製造工程において、ウエハに形成した
チップを検査測定するため、導体パターンの形成された
各チップの電極パッドにプローブカードに設けたプロー
ブ針を接触させて各種の電気特性をテスタで測定するよ
うにしている。
チップを検査測定するため、導体パターンの形成された
各チップの電極パッドにプローブカードに設けたプロー
ブ針を接触させて各種の電気特性をテスタで測定するよ
うにしている。
この場合、プローブカードのプローブ針の配列とウエ
ハチャック上のウエハの電極パッドの配列とのθ誤差分
を検出し、この誤差分を回転させてθ調整する必要があ
る。
ハチャック上のウエハの電極パッドの配列とのθ誤差分
を検出し、この誤差分を回転させてθ調整する必要があ
る。
従来よりこのθ調整の方式には、プローブカード自体
を回転させる方法と、ウエハを吸着固定しているウエハ
チャック自体を回転させる方式が知られている。
を回転させる方法と、ウエハを吸着固定しているウエハ
チャック自体を回転させる方式が知られている。
前者は、テストヘッドにワイヤリング等を介して設け
たプローブカードを回転機構の駆動力で回転させる方式
であり、一方、後者は、プローブカードを回転させるこ
となく、モータ等の駆動機構によってθステージを回転
駆動させてウエハチャックを回転調整することによりウ
エハとプローブカードとを位置合わせするものである。
たプローブカードを回転機構の駆動力で回転させる方式
であり、一方、後者は、プローブカードを回転させるこ
となく、モータ等の駆動機構によってθステージを回転
駆動させてウエハチャックを回転調整することによりウ
エハとプローブカードとを位置合わせするものである。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記の従来例の位置合わせ手段による
と、次に示すような欠陥を有していた。
と、次に示すような欠陥を有していた。
即ち、前者の例は、テスタに接続されたテストヘッド
にプローブカードを取付ける際に、この取付位置にワイ
ヤリングや回転制御機構を設ける必要性があるので、テ
ストヘッドとプローブカードとの距離（約50mm程度）を
長く設定しなければならず、そのため、テスタの電気的
特性が低下する等の課題があり、しかも、高周波テスト
ヘッドには特に悪影響を及ぼしやすく、従って、プロー
バとして好ましくない方式といえる。
にプローブカードを取付ける際に、この取付位置にワイ
ヤリングや回転制御機構を設ける必要性があるので、テ
ストヘッドとプローブカードとの距離（約50mm程度）を
長く設定しなければならず、そのため、テスタの電気的
特性が低下する等の課題があり、しかも、高周波テスト
ヘッドには特に悪影響を及ぼしやすく、従って、プロー
バとして好ましくない方式といえる。
後者の例は、プローブカードに位置合わせするため
に、ウエハチャックをθ回転させ、次のチップに移動す
る際に、ＸステージとＹステージの移動が必要になり、
そのため、スピードが遅くなり、プローブの高速化の点
において問題があった。
に、ウエハチャックをθ回転させ、次のチップに移動す
る際に、ＸステージとＹステージの移動が必要になり、
そのため、スピードが遅くなり、プローブの高速化の点
において問題があった。
本発明は、上述した従来の課題を解決するために開発
したもので、プローブ列とテストヘッドの距離を可能な
範囲で近接して設けることにより、テスタの特性の低下
を招来させることなく、更に、被測定体支持台のＸ軸ス
テージ又はＹ軸ステージをθ方向に回転させることによ
りＸまたはＹ方向のみのインデックスでプローブ測定を
可能とし、もってプローブの高速化の向上を図ることを
目的としている。
したもので、プローブ列とテストヘッドの距離を可能な
範囲で近接して設けることにより、テスタの特性の低下
を招来させることなく、更に、被測定体支持台のＸ軸ス
テージ又はＹ軸ステージをθ方向に回転させることによ
りＸまたはＹ方向のみのインデックスでプローブ測定を
可能とし、もってプローブの高速化の向上を図ることを
目的としている。
（課題を解決するための手段） 本発明は、上述のような問題点を解決するため次のよ
うに構成した。
うに構成した。
すなわち、被測定体を回転させてプローブ列に対する
回転方向の位置合わせをする検査装置において、上記被
測定体を支持するＸ軸ステージとこのＸ軸ステージと直
交する座標軸をもつＹ軸ステージを一体として同時に回
転させて位置合わせをする手段を有していることを特徴
とした。
回転方向の位置合わせをする検査装置において、上記被
測定体を支持するＸ軸ステージとこのＸ軸ステージと直
交する座標軸をもつＹ軸ステージを一体として同時に回
転させて位置合わせをする手段を有していることを特徴
とした。
（作用） 本発明は上述のように構成したので、プローブ列のプ
ローブ針の配列と被測定体支持台上に固着されている被
測定体の電極パッドの配列とのθ誤差を、光学的センサ
等の公知の検出手段を介してθ誤差分を検出し、次い
で、Ｘ軸ステージ又はＹ軸ステージを上記のθ誤差分だ
け回転移動させてプローブ針と被測定パッドを位置合わ
せをなし、この状態において各種の電気特性を測定し、
次のチップに移動する際に、Ｘ軸ステージ又はＹ軸ステ
ージのみのインデックスでプロービングができるため、
測定時間の短縮化により高速プローブを可能とした。
ローブ針の配列と被測定体支持台上に固着されている被
測定体の電極パッドの配列とのθ誤差を、光学的センサ
等の公知の検出手段を介してθ誤差分を検出し、次い
で、Ｘ軸ステージ又はＹ軸ステージを上記のθ誤差分だ
け回転移動させてプローブ針と被測定パッドを位置合わ
せをなし、この状態において各種の電気特性を測定し、
次のチップに移動する際に、Ｘ軸ステージ又はＹ軸ステ
ージのみのインデックスでプロービングができるため、
測定時間の短縮化により高速プローブを可能とした。
（実施例） 以下に、本発明装置をウエハプローバに適用した一実
施例を図面に従って説明する。
施例を図面に従って説明する。
第１図において、テストヘッド１の下部にプローブカ
ード２をＸ−Ｙ軸に位置合わせをしながら取付け、この
プローブカード２には、テストヘッド１を介して図示し
ないテスタに接続されたプローブ針３を配列して設け、
測定に際しては、テストヘッド１を被測定位置であるウ
エハ５の上方に位置させ、このウエハ５はウエハチャッ
ク４に吸着固定させ、ウエハチャック４には、Ｘ軸ステ
ージ６とＹ軸ステージ７とがそれぞれ設けられており、
各Ｘ軸ステージ６又はＹ軸ステージ７とは、それぞれレ
ール８、９を介してモータやボールねじ等から成る駆動
機構により各方向に高精度に移動するように設けられて
いる。
ード２をＸ−Ｙ軸に位置合わせをしながら取付け、この
プローブカード２には、テストヘッド１を介して図示し
ないテスタに接続されたプローブ針３を配列して設け、
測定に際しては、テストヘッド１を被測定位置であるウ
エハ５の上方に位置させ、このウエハ５はウエハチャッ
ク４に吸着固定させ、ウエハチャック４には、Ｘ軸ステ
ージ６とＹ軸ステージ７とがそれぞれ設けられており、
各Ｘ軸ステージ６又はＹ軸ステージ７とは、それぞれレ
ール８、９を介してモータやボールねじ等から成る駆動
機構により各方向に高精度に移動するように設けられて
いる。
このＸ軸ステージ６又はＹ軸ステージ７のいずれか一
方側にはＸ軸ステージ６とＹ軸ステージ７を同時にθ回
転するための回転駆動機構11を設けている。この回転駆
動機構11の一例を第４図に示す。同図において、Ｘ軸ス
テージ６のレール８にテーパー部材12を固着し、このテ
ーパー部材12に当接するテーパー移動部材13をボールね
じ14により移動自在に設ける。一方、プローブカード２
のプローブ針３の配列は、例えばテレビカメラ、光学的
センサ等の公知の検出手段で検出すると共に、ウエハチ
ャック４上に固着されているウエハ５の電極パッドの配
列も光学的センサ等の公知の検出手段で検出し、そして
両者を比較してθ誤差分を確認する。次いで、コントロ
ール機構10により、第５図に示すように駆動機構11を駆
動させると、Ｘ軸ステージ６又はＹ軸ステージ７は上記
のθ誤差分だけ回転移動し、他のＹ軸ステージ７又はＸ
軸ステージ６とともにウエハチャック４と一体でステー
ジ等の回転部材の適宜位置に設けた回転軸15を中心に回
転駆動するように構成されている。
方側にはＸ軸ステージ６とＹ軸ステージ７を同時にθ回
転するための回転駆動機構11を設けている。この回転駆
動機構11の一例を第４図に示す。同図において、Ｘ軸ス
テージ６のレール８にテーパー部材12を固着し、このテ
ーパー部材12に当接するテーパー移動部材13をボールね
じ14により移動自在に設ける。一方、プローブカード２
のプローブ針３の配列は、例えばテレビカメラ、光学的
センサ等の公知の検出手段で検出すると共に、ウエハチ
ャック４上に固着されているウエハ５の電極パッドの配
列も光学的センサ等の公知の検出手段で検出し、そして
両者を比較してθ誤差分を確認する。次いで、コントロ
ール機構10により、第５図に示すように駆動機構11を駆
動させると、Ｘ軸ステージ６又はＹ軸ステージ７は上記
のθ誤差分だけ回転移動し、他のＹ軸ステージ７又はＸ
軸ステージ６とともにウエハチャック４と一体でステー
ジ等の回転部材の適宜位置に設けた回転軸15を中心に回
転駆動するように構成されている。
次に、本実施例の作用について説明する。
第１図の状態において、プローブカード２のプローブ針
３のＸ−Ｙ軸の配列とウエハチャック４上に固着されて
いるウエハ５の電極パッドの配列とのθ誤差を、光学的
センサ等の公知の検出手段で検出し、次いで、コントロ
ール機構10の制御によりＸ軸ステージ６又はＹ軸ステー
ジ７を上記のθ誤差分だけ回転駆動機構11を介して回転
移動させてプローブ針３とウエハ５の被測定パッドの位
置合わせを行い、この状態において各種の電気特性を測
定し、次のチップに移動する際に、Ｘ軸ステージ６又は
Ｙ軸ステージ７のみのインデックスでプロービングがで
きるため、測定時間の短縮化により高速プローブを行う
ことができる。
３のＸ−Ｙ軸の配列とウエハチャック４上に固着されて
いるウエハ５の電極パッドの配列とのθ誤差を、光学的
センサ等の公知の検出手段で検出し、次いで、コントロ
ール機構10の制御によりＸ軸ステージ６又はＹ軸ステー
ジ７を上記のθ誤差分だけ回転駆動機構11を介して回転
移動させてプローブ針３とウエハ５の被測定パッドの位
置合わせを行い、この状態において各種の電気特性を測
定し、次のチップに移動する際に、Ｘ軸ステージ６又は
Ｙ軸ステージ７のみのインデックスでプロービングがで
きるため、測定時間の短縮化により高速プローブを行う
ことができる。
なお、上記の実施例は、Ｘ軸ステージ６を回転駆動し
てＹ軸ステージ７を直交する状態に移動させているが、
Ｙ軸ステージ７を回転駆動させてＸ軸ステージ６を直交
させるように回転駆動させても良い。
てＹ軸ステージ７を直交する状態に移動させているが、
Ｙ軸ステージ７を回転駆動させてＸ軸ステージ６を直交
させるように回転駆動させても良い。
上記実施例では、ウエハプローバに適用した例につい
て説明したが、検査装置であれば、デバイスプローバで
も、プリント基板検査でも、チッププローバでも、LCD
プローバでも何れにも適用できることは説明するまでも
ないことである。
て説明したが、検査装置であれば、デバイスプローバで
も、プリント基板検査でも、チッププローバでも、LCD
プローバでも何れにも適用できることは説明するまでも
ないことである。
発明の効果 以上のことから明らかなように、本発明によると、Ｘ
軸ステージ又はＹ軸ステージを、プローブ列と被測定体
とのθ誤差分だけ回転移動させて位置合わせするように
構成したから、Ｘ方向又はＹ方向のみのインデクスでプ
ロービングが可能であるので、従来のようにステージの
θ調整と、Ｘ軸とＹ軸の移動調整が必要な場合と比較し
て位置合わせの時間を短縮化することができ、検査の高
速化に寄与することができる。
軸ステージ又はＹ軸ステージを、プローブ列と被測定体
とのθ誤差分だけ回転移動させて位置合わせするように
構成したから、Ｘ方向又はＹ方向のみのインデクスでプ
ロービングが可能であるので、従来のようにステージの
θ調整と、Ｘ軸とＹ軸の移動調整が必要な場合と比較し
て位置合わせの時間を短縮化することができ、検査の高
速化に寄与することができる。
また、プローブ列を回転するための回転機構等を必要
としないので、テストヘッドに距離をとることなく近接
させた状態でプローブ列を装着することができるため、
テスタの電気的特性の低下を招くこともない。
としないので、テストヘッドに距離をとることなく近接
させた状態でプローブ列を装着することができるため、
テスタの電気的特性の低下を招くこともない。
図面は本発明装置をウエハプローバに適用した一実施例
を示したもので、第１図はウエハプローバの要部を説明
した説明図、第２図はプローブカードの平面図、第３図
はＸ軸またはＹ軸のステージをθ方向に回転させる状態
を説明した平面説明図、第４図はＸ軸またはＹ軸ステー
ジの回転駆動状態を示した平面説明図、第５図は第４図
の回転した状態を示した平面説明図である。 １……テストヘッド ２……プローブカード ３……プローブ針 ４……ウエハチャック ５……ウエハ ６……Ｘ軸ステージ ７……Ｙ軸ステージ ８、９……レール
を示したもので、第１図はウエハプローバの要部を説明
した説明図、第２図はプローブカードの平面図、第３図
はＸ軸またはＹ軸のステージをθ方向に回転させる状態
を説明した平面説明図、第４図はＸ軸またはＹ軸ステー
ジの回転駆動状態を示した平面説明図、第５図は第４図
の回転した状態を示した平面説明図である。 １……テストヘッド ２……プローブカード ３……プローブ針 ４……ウエハチャック ５……ウエハ ６……Ｘ軸ステージ ７……Ｙ軸ステージ ８、９……レール
Claims (1)
- 【請求項１】被測定体を回転させてプローブ列に対する
回転方向の位置合わせをする検査装置において、上記被
測定体を支持するＸ軸ステージとこのＸ軸ステージと直
交する座標軸をもつＹ軸ステージを一体として同時に回
転させて位置合わせをする手段を有していることを特徴
とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1115081A JP2655188B2 (ja) | 1989-05-10 | 1989-05-10 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1115081A JP2655188B2 (ja) | 1989-05-10 | 1989-05-10 | 検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02295145A JPH02295145A (ja) | 1990-12-06 |
| JP2655188B2 true JP2655188B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=14653716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1115081A Expired - Lifetime JP2655188B2 (ja) | 1989-05-10 | 1989-05-10 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655188B2 (ja) |
-
1989
- 1989-05-10 JP JP1115081A patent/JP2655188B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02295145A (ja) | 1990-12-06 |
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