JPH03159148A - 位置決め装置及びこの位置決め装置を利用したic試験装置 - Google Patents
位置決め装置及びこの位置決め装置を利用したic試験装置Info
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- JPH03159148A JPH03159148A JP1298648A JP29864889A JPH03159148A JP H03159148 A JPH03159148 A JP H03159148A JP 1298648 A JP1298648 A JP 1298648A JP 29864889 A JP29864889 A JP 29864889A JP H03159148 A JPH03159148 A JP H03159148A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は例えば面実装型ICを試験するIC試験装置
に利用して好適な位置決め装置及びこの位置決め装置を
用いたIC試験装置に関する。
に利用して好適な位置決め装置及びこの位置決め装置を
用いたIC試験装置に関する。
「従来の技術」
ICの形式をプリント基板への実装形式に関して分類す
るとデイツプ型と、面実装型とに分けることができる。
るとデイツプ型と、面実装型とに分けることができる。
面実装型ICはその端子の構造からIC試験装置の試験
用ソケットの位置に被試験ICを搬送する状態において
ICをガイドレールに跨がせて搬送することができない
。このため面実装型ICは空気の吸引力を利用した吸着
手段に吸着させ、この吸着手段を移動させて試験用ソケ
ットの位置に破滅MICを搬送し、ソケットに装着させ
る方法が採られている。
用ソケットの位置に被試験ICを搬送する状態において
ICをガイドレールに跨がせて搬送することができない
。このため面実装型ICは空気の吸引力を利用した吸着
手段に吸着させ、この吸着手段を移動させて試験用ソケ
ットの位置に破滅MICを搬送し、ソケットに装着させ
る方法が採られている。
ところでICを自動的に試験用ソケットの位置に搬送し
、また試験が終わったICを試験用ソケットから取り外
し、良品と不良品に仕分けして収納部に搬送することを
自動的に実行する部分をオートハンドラと称し、オート
ハンドラによって搬送されて来る破滅MICを試験用ソ
ケットに受けて被試験ICの各端子を試験装置本体に電
気的に接続する部分をテス・トヘッドと称している。
、また試験が終わったICを試験用ソケットから取り外
し、良品と不良品に仕分けして収納部に搬送することを
自動的に実行する部分をオートハンドラと称し、オート
ハンドラによって搬送されて来る破滅MICを試験用ソ
ケットに受けて被試験ICの各端子を試験装置本体に電
気的に接続する部分をテス・トヘッドと称している。
第8図にその配置の一例を示す。図中10はオートハン
ドラ、20はテストヘッド、30は試験装置本体を示す
。
ドラ、20はテストヘッド、30は試験装置本体を示す
。
オートハンドラIOには被試験rCを所望の温度に加熱
または冷却することができる恒温槽と、被試験ICを収
納しておく収納部及び試験が終了して良品と不良品に仕
分けして収納する収納部と、収納部から取り出した被試
験ICを恒温槽に運ぶ搬送装置と、恒温槽で所定の温度
に達したICをテストへフド20の上部位置まで運ぶ搬
送装置と、この搬送装置で搬送されて来た被試験ICを
テストヘッド20の上部に設けた試験用ソケットに装着
し、試験が終了したICを試験用ソケットから取り外す
動作を行う搬送装置と、この搬送装置で試験用ソケット
から取り外したIcを良品と不良品の収納部に搬送する
搬送装置とを具備している。
または冷却することができる恒温槽と、被試験ICを収
納しておく収納部及び試験が終了して良品と不良品に仕
分けして収納する収納部と、収納部から取り出した被試
験ICを恒温槽に運ぶ搬送装置と、恒温槽で所定の温度
に達したICをテストへフド20の上部位置まで運ぶ搬
送装置と、この搬送装置で搬送されて来た被試験ICを
テストヘッド20の上部に設けた試験用ソケットに装着
し、試験が終了したICを試験用ソケットから取り外す
動作を行う搬送装置と、この搬送装置で試験用ソケット
から取り外したIcを良品と不良品の収納部に搬送する
搬送装置とを具備している。
テストヘッド20は上部に試験用ソケットを具備し、こ
の試験用ソケットがケーブル21を通じて試験装置本体
30に接続される。
の試験用ソケットがケーブル21を通じて試験装置本体
30に接続される。
[発明が解決しようとする課題」
オートハンドラlOは機械装置である。これに対しテス
トヘッド20は純粋な電気側路装置である。このためオ
ートハンドラ10とテストヘッド20は別々に作られて
共通のフレーム11によって合体されて設置される。
トヘッド20は純粋な電気側路装置である。このためオ
ートハンドラ10とテストヘッド20は別々に作られて
共通のフレーム11によって合体されて設置される。
然るにオートハンドラ10の搬送装置がテストヘッド2
0に設けた試験用ソケットにICを装着する場合の位置
精度はミクロン単位の精度で位置決めする必要がある。
0に設けた試験用ソケットにICを装着する場合の位置
精度はミクロン単位の精度で位置決めする必要がある。
つまり第5図に示すようにテストヘッド20の上面には
パフォーマンスポード22が設けられ、パフォーマンス
ポード22の中央に試験用ソケット23が設けられる。
パフォーマンスポード22が設けられ、パフォーマンス
ポード22の中央に試験用ソケット23が設けられる。
試験用ソケット23の上部にはオートハンドラIOの搬
送装置13が横動自在に設けられる。つ士りX軸方向に
搬送用レール12が架設され、この搬送用レール12に
+cB送装置13が可動自在に支持される。
送装置13が横動自在に設けられる。つ士りX軸方向に
搬送用レール12が架設され、この搬送用レール12に
+cB送装置13が可動自在に支持される。
IC搬送装置13の下部にはエアチャックのような吸着
装置13Aが設けられ、吸着装置13Aの上部に昇降装
置13Bが設けられる。第1!!送装置16によって運
ばれて来た被試験IC40は吸着装置13Aに吸着され
て第1搬送装置16がら試験用ソケット23の上部に移
動され、試験用ソケット23に装着される。昇降装置1
3Bが作動して試験が終わったICは試験用ソケット2
3から取り外されて第2搬送装置17に移動される。
装置13Aが設けられ、吸着装置13Aの上部に昇降装
置13Bが設けられる。第1!!送装置16によって運
ばれて来た被試験IC40は吸着装置13Aに吸着され
て第1搬送装置16がら試験用ソケット23の上部に移
動され、試験用ソケット23に装着される。昇降装置1
3Bが作動して試験が終わったICは試験用ソケット2
3から取り外されて第2搬送装置17に移動される。
第1搬送装置16と第2搬送装置17はそれぞし直線レ
ール16A、17Aと、この直線レール16A、17A
に案内されて移動する移動台16B、47Bとによって
構成され、第1B送装置は恒温槽から被試験IC40を
テストヘッド20の上部まで運ぶ動作を行う。また第2
′v!i送装置17は試験が終了したICを収納部に戻
す動作を行う。
ール16A、17Aと、この直線レール16A、17A
に案内されて移動する移動台16B、47Bとによって
構成され、第1B送装置は恒温槽から被試験IC40を
テストヘッド20の上部まで運ぶ動作を行う。また第2
′v!i送装置17は試験が終了したICを収納部に戻
す動作を行う。
ここで第1m送装置16に乗せられて来た被試験TC4
0を搬送装置13は吸着装置13Aを降下させて吸着し
、その後吸着装置13Aを上昇させてX軸方向に移動し
、試験用ソケット23の上部で停止して吸着装置13A
を降下させ、被試験IC40を試験用ソケット23に装
着する。
0を搬送装置13は吸着装置13Aを降下させて吸着し
、その後吸着装置13Aを上昇させてX軸方向に移動し
、試験用ソケット23の上部で停止して吸着装置13A
を降下させ、被試験IC40を試験用ソケット23に装
着する。
このとき、被試験IC40の端子を試験用ソケットの所
定のコンタクトに接触させなくてはならない。このため
に搬送装置13によって運ばれて来た被試験IC40と
試験用ソケットとの間の位置が正確に合致していなくて
はならない。
定のコンタクトに接触させなくてはならない。このため
に搬送装置13によって運ばれて来た被試験IC40と
試験用ソケットとの間の位置が正確に合致していなくて
はならない。
試験用ソケット23の上に運ばれた状態にある被試験I
C40の位置と、試験用ソケット23の位置との間の位
置ズレは第6図及び第7図に示すような形態が考えられ
る。つまり、第6図に示したように被試験IC40がX
軸方向またはY軸方向のそれぞれの方向に平行にズして
いる状態と、第7図に示すようにX軸及びY軸方向の双
方に複合して回転ズレを生じている状態が考えられる。
C40の位置と、試験用ソケット23の位置との間の位
置ズレは第6図及び第7図に示すような形態が考えられ
る。つまり、第6図に示したように被試験IC40がX
軸方向またはY軸方向のそれぞれの方向に平行にズして
いる状態と、第7図に示すようにX軸及びY軸方向の双
方に複合して回転ズレを生じている状態が考えられる。
第6図に示した位置ズレはX軸方向への位置ズレは搬送
装置13の停止位置を調整すれば位置合わせすることが
できる。
装置13の停止位置を調整すれば位置合わせすることが
できる。
またY軸方向への位置ズレは第1[送手段16の停止位
置を調整すれば位置合わせすることができる。
置を調整すれば位置合わせすることができる。
更にX軸方向とY軸方向の双方に位置ズレしても各軸に
対して平行した位置ズレであれば搬送装置13と第1搬
送手段16の停止位置を調整して位置合わせすることが
できる。
対して平行した位置ズレであれば搬送装置13と第1搬
送手段16の停止位置を調整して位置合わせすることが
できる。
しかしながら第7図に示すように回転を伴う位置ズレは
搬送装置13及び第1搬送手段16の停止位置を調整し
ても位置合わせすることはできない。
搬送装置13及び第1搬送手段16の停止位置を調整し
ても位置合わせすることはできない。
従って、このような場合はテストヘッド20の取付位置
を調整しなければならないが、テストヘッド20の重量
は大きいため、その位置合わせ作業はむずかしいことと
されている。
を調整しなければならないが、テストヘッド20の重量
は大きいため、その位置合わせ作業はむずかしいことと
されている。
「課題を解決するための手段」
この出願の第1発明では、
互いに直交する二つの面を持ち、この二つの面によって
第1直交座標を規定する第1カムと、この第1カムの互
いに直交する二つの面と対向する二つの直交する面を持
ち、第1カムが規定する第1直交座標に対して座標軸が
任意の角度に変換した向きに装着されて第2直交座標を
規定する第2カムと、 これら第1カムと第2カムのカム面によって囲まれた空
間に配置され、第1カムのカム面と第2カムのカム面に
当接されて第1直交座標と第2直交座標で規定される姿
勢に転換される可動ブロックと、 によって位置決め装置を構成する。
第1直交座標を規定する第1カムと、この第1カムの互
いに直交する二つの面と対向する二つの直交する面を持
ち、第1カムが規定する第1直交座標に対して座標軸が
任意の角度に変換した向きに装着されて第2直交座標を
規定する第2カムと、 これら第1カムと第2カムのカム面によって囲まれた空
間に配置され、第1カムのカム面と第2カムのカム面に
当接されて第1直交座標と第2直交座標で規定される姿
勢に転換される可動ブロックと、 によって位置決め装置を構成する。
この第1発明の構成によれば可動ブロックは第1カムで
規定される姿勢と、第2カムで規定される姿勢に転換す
ることができる。
規定される姿勢と、第2カムで規定される姿勢に転換す
ることができる。
従って任意の角度の回転方向の位置ズレが与えられても
その位置ズレを修正し位置決めすることができる。
その位置ズレを修正し位置決めすることができる。
この出願の第2発明では、第1発明で提案した位置決め
装置を試験用ソケットにICを供給する搬送装置の部分
に適用したIC試験装置を提案するものである。
装置を試験用ソケットにICを供給する搬送装置の部分
に適用したIC試験装置を提案するものである。
この第2発明のIC試験装置によればオートハンドラと
テストヘッドとの位置合わせを簡素に済ませることがで
きる。よって設置が容易なIC試験装置を提供すること
ができる。
テストヘッドとの位置合わせを簡素に済ませることがで
きる。よって設置が容易なIC試験装置を提供すること
ができる。
「実施例」
第1図にこの出願の第1発明の実施例を示す。
図中100は第1カム、200は第2カム、300は可
動ブロックを示す。
動ブロックを示す。
第1カム100は直交する二つの面101と102を有
し、第1直交座標X−Yを規定する。
し、第1直交座標X−Yを規定する。
この例では第1カム100は角形の平板体103の四周
に土手104を突設し、この上手104によって互いに
直交する二つの面101と102を形成した場合を示す
。
に土手104を突設し、この上手104によって互いに
直交する二つの面101と102を形成した場合を示す
。
第2カム200は5字状の金属ブロックによって構成さ
れ互いに直交する二つの面201と202を有する。第
2カム200はツマミ付きのネジ203によって第1カ
ム100を構成する平板体103に締め付けられる。ネ
ジ203のネジ孔は平板体103に形成され、このネジ
孔にネジ203が螺入され、ツマミ部分で第2カム20
0を締め付ける。第2カム200にはネジ203のネジ
部分を貫通させる孔が形成される。この孔の直径はネジ
203のネジ部分の直径より大きく、ツマミの直径より
小さい直径に選定される。従ってネジ203を緩めた状
態では第2カム200はネジ203と、このネジ203
を貫通させる孔の直径の差によって生・しる遊びの範囲
内で二つの而201と202の向きを自由に設定するこ
とができる。
れ互いに直交する二つの面201と202を有する。第
2カム200はツマミ付きのネジ203によって第1カ
ム100を構成する平板体103に締め付けられる。ネ
ジ203のネジ孔は平板体103に形成され、このネジ
孔にネジ203が螺入され、ツマミ部分で第2カム20
0を締め付ける。第2カム200にはネジ203のネジ
部分を貫通させる孔が形成される。この孔の直径はネジ
203のネジ部分の直径より大きく、ツマミの直径より
小さい直径に選定される。従ってネジ203を緩めた状
態では第2カム200はネジ203と、このネジ203
を貫通させる孔の直径の差によって生・しる遊びの範囲
内で二つの而201と202の向きを自由に設定するこ
とができる。
従って、例えば図示するように第1カム100が規定す
る第1直交座標X−Yに対し、この第1直交座標X−Y
からθだけ回転した第2直交座標XX−YYを設定する
ことができる。
る第1直交座標X−Yに対し、この第1直交座標X−Y
からθだけ回転した第2直交座標XX−YYを設定する
ことができる。
可動ブロック300は第1カムlOOと第2カム200
の各面101,102と201,202によって囲まれ
る空間内に配置され、この空間内において平板体103
に沿って移動できるように設けられ、例えばエヤシリン
ダのような直線駆動装置400によって第1カムlOO
に当接する状態と、第2カム200に当接する状態に移
動される。
の各面101,102と201,202によって囲まれ
る空間内に配置され、この空間内において平板体103
に沿って移動できるように設けられ、例えばエヤシリン
ダのような直線駆動装置400によって第1カムlOO
に当接する状態と、第2カム200に当接する状態に移
動される。
直線駆動装置400は一端が軸401によって支持され
、可動ロッド402が平板体103の板面と平行する方
向に回動できるように支持される。
、可動ロッド402が平板体103の板面と平行する方
向に回動できるように支持される。
可動ロッド402の先端に可動ブロック300が回動自
在に取り付けられる。可動ロッド402に対する可動ブ
ロック300の回動面は平板体103の面と平行する面
とされ、平板体103と平行する面内において可動ブロ
ック300が回動することによって可動ブロック300
上ば仮想した座標軸の角度が変更される。
在に取り付けられる。可動ロッド402に対する可動ブ
ロック300の回動面は平板体103の面と平行する面
とされ、平板体103と平行する面内において可動ブロ
ック300が回動することによって可動ブロック300
上ば仮想した座標軸の角度が変更される。
可動ブロック300は例えば正四角形とされ、その中心
部に可動ロンド402が回動自在に連結される。更に四
隅にはローラ301が取り付けられ、各カム面101.
102と201,202との摩擦系数を小さくしている
。
部に可動ロンド402が回動自在に連結される。更に四
隅にはローラ301が取り付けられ、各カム面101.
102と201,202との摩擦系数を小さくしている
。
直線駆動装置400の可動ロッド402の推動方向は第
1カム100のカム面101,102及び第2カム20
0のカム面201,202に対して45°方向とされ、
45°の方向に可動ブロック300を移動させることに
よって可動ブロック300を第1カム100に当接する
状態と、第2カム200に当接する状態に操作すること
ができ、その当接した状態において各二つのカム面lo
tと102及び201と202によって可動ブロック3
00の姿勢が規定され、第1直交座標X−Yの姿勢から
第2直交座標XX−YYの姿勢に転換する動作及び第2
直交座標XX−YYの姿勢から第1直交座標X−Yの姿
勢への転換を行うことができる。
1カム100のカム面101,102及び第2カム20
0のカム面201,202に対して45°方向とされ、
45°の方向に可動ブロック300を移動させることに
よって可動ブロック300を第1カム100に当接する
状態と、第2カム200に当接する状態に操作すること
ができ、その当接した状態において各二つのカム面lo
tと102及び201と202によって可動ブロック3
00の姿勢が規定され、第1直交座標X−Yの姿勢から
第2直交座標XX−YYの姿勢に転換する動作及び第2
直交座標XX−YYの姿勢から第1直交座標X−Yの姿
勢への転換を行うことができる。
第2図及び第3図は第1発明の変形実施例を示す。この
例では直線駆動装置を40OAと400Bの2個を用い
、可動ブロック300をX軸方向とY軸方向に駆動させ
るように構成すると共に第1カム100と第2カム20
0の各一方の面101と201にV溝101Vと201
Vを設け、この■溝101Vと201Vによって可動ブ
ロック300の回動支点を定め、この回動支点を中心に
可動ブロック300を第1直交座標X−Yから第2直交
座標xx−yyへ転換する動作及び第2直交座標xx−
yyから第1直交座標へ転換する動作を行わせるように
構成した場合を示す。
例では直線駆動装置を40OAと400Bの2個を用い
、可動ブロック300をX軸方向とY軸方向に駆動させ
るように構成すると共に第1カム100と第2カム20
0の各一方の面101と201にV溝101Vと201
Vを設け、この■溝101Vと201Vによって可動ブ
ロック300の回動支点を定め、この回動支点を中心に
可動ブロック300を第1直交座標X−Yから第2直交
座標xx−yyへ転換する動作及び第2直交座標xx−
yyから第1直交座標へ転換する動作を行わせるように
構成した場合を示す。
このように構成した場合も、第1図の実施例と同様の作
用効果を得ることができる。
用効果を得ることができる。
なお、第1図に示した実施例において、直線駆動装置4
00を第2図及び第3図に示したように2個用いること
もできる。
00を第2図及び第3図に示したように2個用いること
もできる。
第4図はこの出願の第2発明の実施例を示す。
この出願の第2発明では第1発明で提案した位置決め装
置を利用したIC試験装置を提案するものである。
置を利用したIC試験装置を提案するものである。
この実施例では第5図で説明した平面実装型IC40を
試験用ソケット23に装着する動作を行う搬送装置I3
に、第1発明で提案した位置決め装置を適用した場合を
示す。
試験用ソケット23に装着する動作を行う搬送装置I3
に、第1発明で提案した位置決め装置を適用した場合を
示す。
つまりX軸方向に移動する搬送装置13の昇降装置13
Bの下側に位置決め装置500を実装し、吸着装置13
Aを上述した位置決め装置500を構成する可動ブロッ
ク300 (第1図乃至第3図参照)に支持させる。
Bの下側に位置決め装置500を実装し、吸着装置13
Aを上述した位置決め装置500を構成する可動ブロッ
ク300 (第1図乃至第3図参照)に支持させる。
従って可動ブロック300を駆動することによって吸着
装Wl 3Aの姿勢を第1直交座標X−Yの姿勢から第
2直交座標XX−YYの姿勢に或いは第2直交座標XX
−YYの姿勢から第1直交座標X−Yの姿勢に変換する
ことができる。
装Wl 3Aの姿勢を第1直交座標X−Yの姿勢から第
2直交座標XX−YYの姿勢に或いは第2直交座標XX
−YYの姿勢から第1直交座標X−Yの姿勢に変換する
ことができる。
よって第1搬送装置16から吸着装置13Aに吸着した
状態の被試験IC40の姿勢と、試験用ソケット23の
姿勢に第7図に示す回転方向のズレがあっても、この回
転方向のズレは位置決め装置500の第2カム200の
位置を調整するだけで位置合わせすることができる。
状態の被試験IC40の姿勢と、試験用ソケット23の
姿勢に第7図に示す回転方向のズレがあっても、この回
転方向のズレは位置決め装置500の第2カム200の
位置を調整するだけで位置合わせすることができる。
従ってテストヘッド200の位置を動かすことなく、オ
ートハンドラ10とテストヘッド20の試験用ソケット
23との間の位置合わせを行うことができる。よってI
C試験装置の設置を容易に行うことができる。
ートハンドラ10とテストヘッド20の試験用ソケット
23との間の位置合わせを行うことができる。よってI
C試験装置の設置を容易に行うことができる。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によれば簡単な構造によ
って回転ズレを伴った位置ズレを修正し、位置合わせす
ることができる。従ってICのような精密部品の位置合
わせ等に利用してその効果は頗る大である。
って回転ズレを伴った位置ズレを修正し、位置合わせす
ることができる。従ってICのような精密部品の位置合
わせ等に利用してその効果は頗る大である。
第1図はこの出願の第1発明の実施例を示す平面図、第
2図及び第3図は第1発明の変形実施例を示す平面図、
第4回はこの出願の第2発明の実施例を示す斜視図、第
5図は従来の技術を説明するための斜視図、第6図及び
第7図は位置ズレの形態を説明するための平面図、第8
図は面実装型ICの試験装置の概要を説明するための側
面回である。 100:第1カム、200:第2カム、101゜102
201.202:互いに直交する二つのカム面、30
0:可動ブロック、400:直線駆動装置、X−Y :
第1直交座標、XX−YY:第2直交座標。
2図及び第3図は第1発明の変形実施例を示す平面図、
第4回はこの出願の第2発明の実施例を示す斜視図、第
5図は従来の技術を説明するための斜視図、第6図及び
第7図は位置ズレの形態を説明するための平面図、第8
図は面実装型ICの試験装置の概要を説明するための側
面回である。 100:第1カム、200:第2カム、101゜102
201.202:互いに直交する二つのカム面、30
0:可動ブロック、400:直線駆動装置、X−Y :
第1直交座標、XX−YY:第2直交座標。
Claims (2)
- (1)A、互いに直交する二つの面を持ち、この二つの
面によって第1直交座標を規定する第1カムと、 B、この第1カムの互いに直交する二つの面と対向する
二つの直交する面を持ち、第1カムが規定する第1直交
座標に対して座標軸を任意の角度に変換した向きに装着
されて第2直交座標を規定する第2カムと、 C、上記第1カムと第2カムのカム面によって囲まれた
空間に配置され、第1カムのカム面と第2カムのカム面
に当接されて第1直交座標と第2直交座標で規定される
姿勢に転換される可動ブロックと、 によって構成した位置決め装置。 - (2)請求項1記載の第1カム及び第2カムをIC搬送
装置に装着すると共に、上記可動ブロックにIC吸着装
置を装着し、ICをIC吸着装置に吸着する状態と、I
Cを試験用ソケットに装置する状態とで上記可動ブロッ
クを上記第1カムに当接して位置決めされる状態から、
第2カムに当接して位置決めされる状態に変換し、第2
カムの設定位置に応じて試験用ソケットとIC搬送装置
との間の位置ズレを修正するように構成したことを特徴
とするIC試験装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1298648A JPH03159148A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 位置決め装置及びこの位置決め装置を利用したic試験装置 |
US07/612,434 US5180975A (en) | 1989-11-16 | 1990-11-14 | Positioning device and IC conveyor utilizing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1298648A JPH03159148A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 位置決め装置及びこの位置決め装置を利用したic試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03159148A true JPH03159148A (ja) | 1991-07-09 |
Family
ID=17862456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1298648A Pending JPH03159148A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 位置決め装置及びこの位置決め装置を利用したic試験装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5180975A (ja) |
JP (1) | JPH03159148A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH08190430A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-07-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置決めテーブル |
JPH10142293A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-05-29 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
SE509367C2 (sv) * | 1997-05-16 | 1999-01-18 | Cetelab Ab | Förfarande och anordning för hantering av kretsar |
US6333637B1 (en) | 1998-10-09 | 2001-12-25 | International Business Machines Corporation | Electronic card assembly fixture |
DE19957792A1 (de) | 1998-12-02 | 2000-06-08 | Schlumberger Technologies Inc | Transport und aktive Temperatursteuerung von zu prüfenden integrierten Schaltungen |
WO2000033632A1 (en) | 1998-12-02 | 2000-06-08 | Schlumberger Technologies, Inc. | Apparatus and method for inverting an ic device |
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CN104016117B (zh) * | 2014-05-28 | 2017-01-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种自动调整基板位置的叉板及调整方法 |
CN114952332A (zh) * | 2021-02-24 | 2022-08-30 | 鸿劲精密股份有限公司 | 载具机构及其应用的作业设备 |
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US2298875A (en) * | 1940-05-14 | 1942-10-13 | Hilger Ltd Adam | Coordinate measuring machine |
US2610099A (en) * | 1950-04-22 | 1952-09-09 | Jr Gordon G Mcnamara | Rotating and reciprocating table top |
US3918167A (en) * | 1974-03-01 | 1975-11-11 | Gerber Scientific Instr Co | Apparatus for sensing relative movement of a work table and tool |
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US4527119A (en) * | 1982-05-17 | 1985-07-02 | Testamatic, Incorporated | High speed, low mass, movable probe and/or instrument positioner, tool and like items suitable for use in a controlled environment chamber |
CH647189A5 (fr) * | 1982-06-03 | 1985-01-15 | Meseltron Sa | Dispositif de manipulation d'une piece cylindrique ou spherique. |
US4705016A (en) * | 1985-05-17 | 1987-11-10 | Disco Abrasive Systems, Ltd. | Precision device for reducing errors attributed to temperature change reduced |
US4641866A (en) * | 1985-11-12 | 1987-02-10 | Von Duprin, Inc. | Lever handle door trim |
US4784377A (en) * | 1986-12-23 | 1988-11-15 | Northern Telecom Limited | Apparatus for locating and supporting ceramic substrates |
DE68911330T2 (de) * | 1988-02-08 | 1994-05-26 | Toshiba Kawasaki Kk | Vorrichtung mit einem Ausrichtungsgestell. |
US4797053A (en) * | 1988-02-16 | 1989-01-10 | Huntington Mechanical Laboratories, Inc. | Manipulator for vacuum applications |
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US4958437A (en) * | 1989-02-10 | 1990-09-25 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Coordinate measuring machine with vibration damper |
-
1989
- 1989-11-16 JP JP1298648A patent/JPH03159148A/ja active Pending
-
1990
- 1990-11-14 US US07/612,434 patent/US5180975A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5180975A (en) | 1993-01-19 |
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