JPH01242989A - テーブルの縦横移動旋回機構 - Google Patents

テーブルの縦横移動旋回機構

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JPH01242989A
JPH01242989A JP63070625A JP7062588A JPH01242989A JP H01242989 A JPH01242989 A JP H01242989A JP 63070625 A JP63070625 A JP 63070625A JP 7062588 A JP7062588 A JP 7062588A JP H01242989 A JPH01242989 A JP H01242989A
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は精密測定器具、精密加：［機械、■Ｃ製造やバ
イオテクノロジー等に於ける顕微鏡下の作業等に使用す
るテーブルに関し、該テーブルを縦横り向への移動及び
旋回をさせるための機構に関するものである。
（従来の技術およびその問題点） 従来、テーブルを縦横方向に移動可能に構成した、いわ
ゆるＸＹ移動テーブルに於いては、左右の一対の直動案
内軸受と一つの送りねじ機構により一方向に移動可能に
構成した一軸移動Ｉ幾構の２組を、その移動方向が直交
するように上下に重やで組合せることにより、前記の移
動を可能としており、これにテーブルの旋回機構を組み
合せた構成では、支持台からテーブルまでの高さが高く
、不安定であると共に、機構の占有スペースが大きく、
また部品点数が多いという点、組立工数がかかるという
点、そして組立精度を確保するのが比較的離しいという
点等の、種々の問題点がある。
本発明は、かかる従来の問題点を解決することを目的と
するものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の構成を実施例に対応する第１図〜第５図に基づ
いて説明すると、 まず第１項記載の発明は、 テーブル１を軸受２を介して支持台３上に、縦横方向及
び旋回方向に運動可能に支持すると共に、該テーブル１
の適所に互いに直交する平行な２組の案内面４ａ、４ａ
’　　：４ｂ、４ｂ’を構成し、これらの案内面４に当
接してテーブル１の前記運動を規制する案内部材５ａ、
５ａ’　　；５ｂ。
５ｂ′を支持台３に設けると共に、該案内部材５を介し
てテーブル１に前記運動をさせる運動（須構６を構成し
たものである。
また第２項記載の発明は、第１項記載の発明に於いて、
案内部材５は、テーブル１の対応する案内面４に沿って
隔たった少なくとも２点の当接部７ａＪ、　７ａｒ、　
：　７ａＪ！’　、　７ａｒ’　：　７ｂｊ！、　７ｂ
ｒ；７ｂｊ！’　、　７ｂｒ’を構成し、該当接部７ａ
、７ｂを駆動手段８ａ、８ａ’　　：８ｂ、８ｂ’　に
より、夫々案内面４に対して進退移動可能として運動機
構６８．６ａ’　　：６ｂ、ｅｂ’　を構成したもノテ
ある。
また第３項記載の発明は、第２項記載の発明に於いて、
夫々の組の案内部材の一方５ａ′。
５ｂ’　は、駆動手段に代えてばね９ａ、９ｂにより案
内面４ａ’　、４ｂ’方向に付勢したものである。
また第４項記載の発明は、第１項記載の発明に於いて、
夫々の組に於ける案内部材の一方５ａ。
５ｂは、テーブル１の対応する案内面４ａ、４ｂに沿っ
て隔たった少なくとも２点の当接部７ａＪ２゜７ａｒ：
　７ｂｊ！、　７ｂｒを構成し、該当接部７を駆動手段
８ａ、３ｂにより夫々案内面４ａ、４ｂに対して進退移
動可能とすると共に、他方は、少なくとも１点の当接部
７ａ’　、７ｂ’を構成し、該当接部７ａ’　、７ｂ’
　はばね９ａ、９ｂにより前記案内面４ａ’　、４ｂ’
方向に付勢したものである。
（作用及び実施例） 本発明の作用を、まず第１項または第４項記載の発明に
対応する実施例を表わした第２図、第３図につき説明す
る。
第２図の構成に於いて、図中左側の案内面４ａに対応す
る運動機構６ａの左右側の電動機１０ａＲ。
１Ｑａｒを駆動してねじ軸１１ａＪ、１１ａｒを回転し
、かかるねじ軸１１ａＣ１１ａｒに螺合する雌ねじ部材
により案内部材５ａｆ、５ａｒを図中右方に移動させ、
当接部７ａｐ！、７ａｒを等’Ｍ￥ｌｉｆ！１８ｅする
と、テーブル１は案内面４ａを押されて第３図（ａ）に
示すように上下側の当接？１Ｂ７ｂｊ！、　７ｂｒ：　
７ｂ’　により夫々案内面４ｂ、４ｂ’　を支持されて
、この案内面に沿って図中右方に移動する。この際、案
内面４　ａ　／の右方への移動は、これに圧接している
当接部７ａ’　が、ばね９ａを圧縮しながら移動して吸
収する。
次に、第２図（ａ）の状態に於いて、図中下側の案内面
４ｂに対応する運動機構６ｂの左右側の電動機１０じ、
１Ｑｂｒを駆動してばね軸１１じ。
１１ｂｒを回転し、かかるねじ軸１１ｂｊ！、　１１　
ｂｒに螺合する雌ねじ部材により案内部材５ｂｊ！、５
ｂｒを図中下方に移動させ、当接部７ｂｊ！、７ｂｒを
等距１１１Ｊ２２移動すると、テーブル１は案内面４ｂ
’を、当接部７ｂ’　を介してばね９ｂに押され、第３
図（ｂ）示すように左右側の当接部７漏、７ａｒニアａ
’　により夫々案内面４ａ、４ａ’　を支持されて、こ
の案内面に沿って図中下方に移動する。
以上の動作と同様に、ねじ軸１１ａＣ１１ａｒを逆転す
るとテーブル１を図中左方に移動することができ、また
ねじ軸１１ｂｊ！、１１ｂｒを逆転することによりテー
ブル１を図中上方に移ｌｊ）　”ｌることができる。
このようにして、本発明は図中左右側または上下側のい
ずれかの案内部材５ａ、５ｂの運動により、テーブル１
を縦方向または横方向に移動させることができ、またこ
れらの組を同時に駆動して所望方向に移動させることが
できる。
次に第２図（ａ）の状態に於いて、図中左側及び下側の
運動機１＠５ａ、６ｂを連動させ、いずれの案内部材５
ａ、５ｂ側の左側の当接部７ａｊ！、７ｂＡも案内面４
ａ、４ｂに対する前進方向に移動させると共に、右側の
当接部７ａｒ、７ｂｒは案内面４ａ’　、４ｂ’　に対
する後退方向に移動させる。
尚、この際、運ｖＪＲ構６ａ、６ｂは、左側の当接部７
ａｆ！、７ａｒの包絡面と、下側の当接部７ｂ１゜７ｂ
ｒの包絡面が互いに直交状態を維持するように連動させ
る。
以上の連動によりテーブル１は夫々前記案内面４ａ、４
ｂの左側を押され、そして図中右側及び上側の案内面４
ａ’　、４ｂ’を夫々当接部７ａ′。
７ｂ’　を介してばね９ａ、９ｂに圧接支持されて、第
３図（Ｃ）に示すように時計方向に旋回する。また、い
ずれの案内部材５ａ、５ｂ側に於いても右側の当接部７
　ａｒ、　７　ｂｒを案内面４ａ、４ｂに対して前進方
向に移動させると共に、左側の当接部７ａｆｉ、７ｂｊ
！を該案内面に対して後退方向に移動させるように連動
させることにより、テーブル１を図中反時計方向に旋回
させることができる。
以上の如くして本発明は、軸受２を介して支持台３上に
縦横方向及び旋回方向に運動可能に支持したテーブル１
の適所に構成した、互いに直交する２１１の案内面４を
、該案内面４に当接する案内部材５を介して作動するこ
とにより、テーブル１を縦横方向と共に旋回方向の所定
の運動を行うことができるのである。
以上の説明に於いては、案内部材５の駆動手段８は、電
１ｉ２１ｒａ１０により回転させるねじ軸１１に雌ねじ
部材を螺合して成る、ねじ軸による送り機構を適用して
いるが、この他、第４図に模式的に示すように油圧、空
気圧シリンダ装置を適用した構成や、第５図に要部を示
した偏心カム機構を適用した構成等、適宜である。また
、以上の実施例に於いては、駆動手段８に代えて、ばね
９ａ。
９ｂを適用した案内部材５ａ’　、５ｂ’　は当接部７
ａ’　、７ｂ’を１点に構成して、この点の回りにテー
ブル１の案内面４ａ’　、４ｂ’を揺動可能としている
が、この他の、第４図の実施例に示すように、案内部材
５ａ’　、５ｂ’　は当接部を２点以上、叩ち当接部７
ａＪ！’　、７ａｒ’　を有する構成とし、この案内部
材５ａ’　、５ｂ’　の他所に設けた１ヱ動軸１２ａ、
１２ｂにより揺動自在としたり、第１図の実施例のよう
にこれらの当接部７ａｊ！’。
７ａｒ’　毎に案内部材５ａ’、５ｂ’　を有する構成
とすることもできる。更に、第１図の実施例に示すよう
に、全ての案内面４に対応する全ての案内部材５に対応
して駆動手段８を設け、これらを連動するように構成す
ることもできる。
次に、本発明に適用する軸受２は、テーブル１を縦横方
向に移動可能に支持し得る構成であれば、ボール軸受や
流体軸受等の適宜の軸受を適用することができる。第２
図、第５図に示す実施例は、テーブル１の下側に上向支
持面１３Ａと上向支持面１３ＬＪとを有する支持部材１
４を設けると共に、支持台３上に夫々の支持面１３ｆ、
１３ｕに対応する上向支持面、１・向支持面１５ｕ、１
５Ｊを有する支持部材１６を突設し、夫々の対応する支
持面１３１１５ｕ；１３ｕ、１５ｆ間に、ボール１７を
保持部材１８に保持した構成のボール軸受を介装した構
成であり、かかる構成ではテーブル１の上下方向の移動
を防止して確実な支持を行うことができる。尚、偏心カ
ム機構を適用した実施例を表わした第５図に於いて、符
号１９は偏心カム、２０はその軸、２１は電動機（図示
省略）に連なるベルト２２により前記軸２０を回転する
プーリーである。
尚、本発明に於いて、互いに直交する平行な２組の案内
面４を構成するテーブル１の個所は、前述した通り適所
で良く、例えばテーブル１の下側に支持部材１４を突設
して構成したり、テーブル１自体の周縁自体に案内面４
を構成する等、適宜である。
（発明の効果） 本発明は以上の通り、テーブルを軸受を介して支持台上
に、縦横方向及び旋回方向に運動Ｄ（能に支持すると共
に、該テーブルの適所に互いに直交する平行な２組の案
内面を構成し、これらの案内面に当接してテーブルの前
記運動を規制する案内部材を支持台に設けると共に、該
案内部材を介してテーブルに前記運動をさせる運動ａ構
を構成し、かかる案内面に対応する案内部材を介してテ
ーブルを縦横方向並びに旋回方向の所定の運動を行うの
で、縦横方向の運動のための２組の直交案内軸受機構並
びに旋回機構を上下に重ねて組合わせる必要がなく、支
持台からテーブルまでの高さを低くすることができるの
で、デープルを安定して縦横に移動させることができる
と共に、機構の占有スペースが小さく、また部品点数が
少なく、組立工数もかからず、組立精度の確保も容易で
あるという数々の効果がある。
【図面の簡単な説明】
企図とも本発明の実施例に対応するもので、第１図は全
体構成の説明的平面図、第２図（ａＪは他の全体構成の
説明的平面図、（ｂｌは（ａ）のＸ−Ｘ線説明的ｒＦＩ
１１ｆｉ図、第３図（ａ）　、　（ｂ）　、（ｃ）　Ｇ
、［２図の構成の動作を示す説明的平面図、第４図は他
の構成の説明的平面図、第５図は他の構成の要部説明的
断面図である。 符号１・・・テーブル、２・・・軸受、３・・・支持台
、４・・・案内面、５・・・案内部材、６・・・運動機
構、７・・・当接部、８・・・駆動手段、９・−・ばね
、１ｏ・・・電！７Ｊ磯、１１・・・ねじ軸、１２・・
・揺動軸、１３ｕ、１５ｕ・・・上向支持面、１３１１
５１・・・上向支持面、１４゜１６・・・支持部材、１
７・・・ボール、１８・・・保持部材、１９・・・偏心
カム、２０・・・軸、２１・・・プーリー、２２・・・
ベルト。 １１１１！Ｉ 第２図（ａ） ｍ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）テーブルを軸受を介して支持台上に、縦横方向及
    び旋回方向に運動可能に支持すると共に、該テーブルの
    適所に互いに直交する平行な２組の案内面を構成し、こ
    れらの案内面に当接してテーブルの前記運動を規制する
    案内部材を支持台に設けると共に、該案内部材を介して
    テーブルに前記運動をさせる運動機構を構成したことを
    特徴とするテーブルの縦横移動旋回機構
  2. （２）第１項記載のテーブルの縦横移動旋回機構に於い
    て、案内部材は、テーブルの対応する案内面に沿って隔
    たった少なくとも２点の当接部を構成し、該当接部を駆
    動手段により、夫々案内面に対して進退移動可能として
    運動機構を構成したことを特徴とするテーブルの縦横移
    動旋回機構
  3. （３）第２項記載のテーブルの縦横移動旋回機構に於い
    て、夫々の組の案内部材の一方は、駆動手段に代えてば
    ねにより、案内面方向に付勢したことを特徴とするテー
    ブルの縦横移動旋回機構
  4. （４）第１項記載のテーブルの縦横移動旋回機構に於い
    て、夫々の組に於ける案内部材の一方は、テーブルの対
    応する案内面に沿って隔たった少なくとも２点の当接部
    を構成し、該当接部を駆動手段により夫々案内面に対し
    て進退移動可能とすると共に、他方は、少なくとも１点
    の当接部を構成し、該当接部はばねにより前記案内面方
    向に付勢したことを特徴とするテーブルの縦横移動旋回
    機構
JP63070625A 1988-03-24 1988-03-24 テーブルの縦横移動旋回機構 Granted JPH01242989A (ja)

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