JPH0512678B2 - - Google Patents
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- JPH0512678B2 JPH0512678B2 JP63070625A JP7062588A JPH0512678B2 JP H0512678 B2 JPH0512678 B2 JP H0512678B2 JP 63070625 A JP63070625 A JP 63070625A JP 7062588 A JP7062588 A JP 7062588A JP H0512678 B2 JPH0512678 B2 JP H0512678B2
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- Japan
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- guide
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- guide surface
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4852—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
- B23Q1/4866—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は精密測定器具、精密加工機械、IC製
造やバイオテクノロジー等に於ける顕微鏡下の作
業等に使用するテーブルに関し、該テーブルを縦
横方向への移動及び旋回をさせるための機構に関
するものである。
造やバイオテクノロジー等に於ける顕微鏡下の作
業等に使用するテーブルに関し、該テーブルを縦
横方向への移動及び旋回をさせるための機構に関
するものである。
(従来の技術およびその問題点)
従来、テーブルを縦横方向に移動可能に構成し
た、いわゆるXY移動テーブルに於いては、左右
の一対の直動案内軸受と一つの送りねじ機構によ
り一方向に移動可能に構成した一軸移動機構の2
組を、その移動方向が直交するように上下に重ね
て組合せることにより、前記の移動を可能として
おり、この構成では支持台からテーブルまでの高
さが高くなる。またこのようなテーブルでは、
XY方向の移動と共に、XY平面上での旋回を必
要とするものもあり、上述したように移動機構を
上下に重ねたものに更に旋回機構を重ねると、支
持台からテーブルまでの高さが非常に高くなつて
しまい、非常に不安定になると共に、機構の占有
スペースが大きく、また部品点数が多いという
点、組立工数がかかるという点、そして組立精度
を確保するのが比較的難しいという点等の、種々
の問題点がある。
た、いわゆるXY移動テーブルに於いては、左右
の一対の直動案内軸受と一つの送りねじ機構によ
り一方向に移動可能に構成した一軸移動機構の2
組を、その移動方向が直交するように上下に重ね
て組合せることにより、前記の移動を可能として
おり、この構成では支持台からテーブルまでの高
さが高くなる。またこのようなテーブルでは、
XY方向の移動と共に、XY平面上での旋回を必
要とするものもあり、上述したように移動機構を
上下に重ねたものに更に旋回機構を重ねると、支
持台からテーブルまでの高さが非常に高くなつて
しまい、非常に不安定になると共に、機構の占有
スペースが大きく、また部品点数が多いという
点、組立工数がかかるという点、そして組立精度
を確保するのが比較的難しいという点等の、種々
の問題点がある。
本発明は、かかる従来の問題点を解決すること
を目的とするものである。
を目的とするものである。
(問題点を解決するための手段)
本発明の構成を実施例に対応する第1図〜第5
図に基づいて説明する。
図に基づいて説明する。
まず第1項記載の発明は、テーブル1の下側に
下向支持面13lと上向き支持面13uとを有す
る支持部材14を設けると共に、支持台3上に
夫々の支持面13l,13uに対応する上向支持
面、下向支持面15u,15lを有する支持部材
16を突設し、夫々の対応する支持面13l,1
5u;13u,15l間に、ボール17を保持部
材18に支持した構成のボール軸受を介装するこ
とにより、テーブル1を支持台3上に、縦横方向
及び旋回方向に運動可能に支持すると共に、該テ
ーブル1の適所に互いに直交する平行な2組の案
内面4a,4a′;4b,4b′を構成し、これらの
案内面4に当接してテーブル1の前記運動を規制
する案内部材5a,5a′;5b,5b′を支持台3
に設けると共に、該案内部材5を介してテーブル
1に前記運動をさせる運動機構6を構成したもの
である。
下向支持面13lと上向き支持面13uとを有す
る支持部材14を設けると共に、支持台3上に
夫々の支持面13l,13uに対応する上向支持
面、下向支持面15u,15lを有する支持部材
16を突設し、夫々の対応する支持面13l,1
5u;13u,15l間に、ボール17を保持部
材18に支持した構成のボール軸受を介装するこ
とにより、テーブル1を支持台3上に、縦横方向
及び旋回方向に運動可能に支持すると共に、該テ
ーブル1の適所に互いに直交する平行な2組の案
内面4a,4a′;4b,4b′を構成し、これらの
案内面4に当接してテーブル1の前記運動を規制
する案内部材5a,5a′;5b,5b′を支持台3
に設けると共に、該案内部材5を介してテーブル
1に前記運動をさせる運動機構6を構成したもの
である。
また第2項記載の発明は、第1項記載の発明に
於いて、案内部材5は、テーブル1の対応する案
内面4に沿つて隔たつた少なくとも2点の当接部
7al,7ar;7al′,7ar′,7bl,7br;7bl′,
7br′を構成し、該当接部7a,7bを駆動手段
8a,8a′;8b,8b′により、夫々案内面4に
対して進退移動可能として運動機構6a,6a′;
6b,6b′を構成したものである。
於いて、案内部材5は、テーブル1の対応する案
内面4に沿つて隔たつた少なくとも2点の当接部
7al,7ar;7al′,7ar′,7bl,7br;7bl′,
7br′を構成し、該当接部7a,7bを駆動手段
8a,8a′;8b,8b′により、夫々案内面4に
対して進退移動可能として運動機構6a,6a′;
6b,6b′を構成したものである。
また第3項記載の発明は、第2記載の発明に於
いて、夫々の組の案内部材の一方5a,5b′は、
駆動手段に代えてばね9a,9bにより案内面4
a′,4b′方向に付勢したものである。
いて、夫々の組の案内部材の一方5a,5b′は、
駆動手段に代えてばね9a,9bにより案内面4
a′,4b′方向に付勢したものである。
また第4項記載の発明は、第1項記載の発明に
於いて、夫々の組に於ける案内部材の一方5a,
5bは、テーブル1の対応する案内面4a,4b
に沿つて隔たつた少なくとも2点の当接部7al,
7ar;7bl,7brを構成し、該当接部7を駆動手
段8a,8bにより夫々案内面4a,4bに対し
て進退移動可能とすると共に、他方は、少なくと
も1点の当接部7a′,7b′を構成し、該当接部7
a′,7b′はばね9a,9bにより前記案内面4
a′,4b′方向に付勢したものである。
於いて、夫々の組に於ける案内部材の一方5a,
5bは、テーブル1の対応する案内面4a,4b
に沿つて隔たつた少なくとも2点の当接部7al,
7ar;7bl,7brを構成し、該当接部7を駆動手
段8a,8bにより夫々案内面4a,4bに対し
て進退移動可能とすると共に、他方は、少なくと
も1点の当接部7a′,7b′を構成し、該当接部7
a′,7b′はばね9a,9bにより前記案内面4
a′,4b′方向に付勢したものである。
(作用及び実施例)
本発明の作用を、まず第1項または第4項記載
の発明に対応する実施例を表わした第2図、第3
図につき説明する。
の発明に対応する実施例を表わした第2図、第3
図につき説明する。
第2図の構成に於いて、図中左側の案内面4a
に対応する運動機構6aの左右側の電動機10
al,10arを駆動してねじ軸11al,11arを回
転し、かかるねじ軸11al,11arに螺合する雌
ねじ部材により案内部材5al,5arを図中右方に
移動させ、当接部7al,7arを等距離l1移動する
と、テーブル1は案内面4aを押されて第3図a
に示すように上下側の当接部7bl,7br;7b′に
より夫々案内面4b,4b′を支持されて、この案
内面に沿つて図中右方に移動する。この際、案内
面4a′の右方への移動は、これに圧接している当
接部7a′が、ばね9aを圧縮しながら移動して吸
収する。
に対応する運動機構6aの左右側の電動機10
al,10arを駆動してねじ軸11al,11arを回
転し、かかるねじ軸11al,11arに螺合する雌
ねじ部材により案内部材5al,5arを図中右方に
移動させ、当接部7al,7arを等距離l1移動する
と、テーブル1は案内面4aを押されて第3図a
に示すように上下側の当接部7bl,7br;7b′に
より夫々案内面4b,4b′を支持されて、この案
内面に沿つて図中右方に移動する。この際、案内
面4a′の右方への移動は、これに圧接している当
接部7a′が、ばね9aを圧縮しながら移動して吸
収する。
次に、第2図aの状態に於いて、図中下側の案
内面4bに対応する運動機構6bの左右側の電動
機10bl,10brを駆動してばね軸11bl,11
brを回転し、かかるねじ軸11bl,11brに螺合
する雌ねじ部材により案内部材5bl,5brを図中
下方に移動させ、当接部7bl,7brを等距離l2移
動すると、テーブル1は案内面4b′を、当接部7
b′を介してばね9bに押され、第3図b示すよう
に左右側の当接部7al,7ar;7a′により夫々案
内面4a,4a′を支持されて、この案内面に沿つ
て図中下方に移動する。
内面4bに対応する運動機構6bの左右側の電動
機10bl,10brを駆動してばね軸11bl,11
brを回転し、かかるねじ軸11bl,11brに螺合
する雌ねじ部材により案内部材5bl,5brを図中
下方に移動させ、当接部7bl,7brを等距離l2移
動すると、テーブル1は案内面4b′を、当接部7
b′を介してばね9bに押され、第3図b示すよう
に左右側の当接部7al,7ar;7a′により夫々案
内面4a,4a′を支持されて、この案内面に沿つ
て図中下方に移動する。
以上の動作と同様に、ねじ軸11al,11arを
逆転するとテーブル1を図中左方に移動すること
ができ、またねじ軸11bl,11brを逆転するこ
とによりテーブル1を図中上方に移動することが
できる。
逆転するとテーブル1を図中左方に移動すること
ができ、またねじ軸11bl,11brを逆転するこ
とによりテーブル1を図中上方に移動することが
できる。
このようにして、本発明は図中左右側または上
下側のいずれかの案内部材5a,5bの運動によ
り、テーブル1を縦方向または横方向に移動させ
ることができ、またこれらの組を同時に駆動して
所望方向に移動させることができる。
下側のいずれかの案内部材5a,5bの運動によ
り、テーブル1を縦方向または横方向に移動させ
ることができ、またこれらの組を同時に駆動して
所望方向に移動させることができる。
次に第2図aの状態に於いて、図中左側及び下
側の運動機構6a,6bを連動させ、いずれの案
内部材5a,5b側の左側の当接部7al,7blも
案内面4a,4bに対する前進方向に移動させる
と共に、右側の当接部7ar,7brは案内面4a′,
4b′に対する進退方向に移動させる。尚、この
際、運動機構6a,6bは、左側の当接部7al,
7arの包絡面と、下側の当接部7bl,7brの包絡
面が互いに直交状態を維持するように連動させ
る。
側の運動機構6a,6bを連動させ、いずれの案
内部材5a,5b側の左側の当接部7al,7blも
案内面4a,4bに対する前進方向に移動させる
と共に、右側の当接部7ar,7brは案内面4a′,
4b′に対する進退方向に移動させる。尚、この
際、運動機構6a,6bは、左側の当接部7al,
7arの包絡面と、下側の当接部7bl,7brの包絡
面が互いに直交状態を維持するように連動させ
る。
以上の連動によりテーブル1は、夫々前記案内
面4a,4bの左側を押され、そして図中右側及
び上側の案内面4a′,4b′を夫々当接部7a′,7
b′を介してばね9a,9bに圧接支持されて、第
3図cに示すように時計方向に旋回する。また、
いずれの案内部材5a,5b側に於いても右側の
当接部7ar,7brを案内面4a,4bに対して前
進方向に移動させると共に、左側の当接部7al,
7brを該案内面に対して後退方向に移動させるよ
うに連動させることにより、テーブル1を図中反
時計方向に旋回させることができる。
面4a,4bの左側を押され、そして図中右側及
び上側の案内面4a′,4b′を夫々当接部7a′,7
b′を介してばね9a,9bに圧接支持されて、第
3図cに示すように時計方向に旋回する。また、
いずれの案内部材5a,5b側に於いても右側の
当接部7ar,7brを案内面4a,4bに対して前
進方向に移動させると共に、左側の当接部7al,
7brを該案内面に対して後退方向に移動させるよ
うに連動させることにより、テーブル1を図中反
時計方向に旋回させることができる。
以上の如くして本発明は、軸受2を介して支持
台3上に縦横方向及び旋回方向に運動可能に支持
したテーブル1の適所に構成した、互いに直交す
る2組の案内面4を、該案内面4に当接する案内
部材5を介して作動することにより、テーブル1
を縦横方向と共に旋回方向の所定の運動を行うこ
とができるのである。
台3上に縦横方向及び旋回方向に運動可能に支持
したテーブル1の適所に構成した、互いに直交す
る2組の案内面4を、該案内面4に当接する案内
部材5を介して作動することにより、テーブル1
を縦横方向と共に旋回方向の所定の運動を行うこ
とができるのである。
特に本発明では、上述した構成のボール軸受に
より、テーブル1を支持台3上に、縦横方向及び
旋回方向に運動可能に支持しているので、テーブ
ル1は上述した動作に於いて上下方向の移動が阻
止され、常時確実な支持が行われる。
より、テーブル1を支持台3上に、縦横方向及び
旋回方向に運動可能に支持しているので、テーブ
ル1は上述した動作に於いて上下方向の移動が阻
止され、常時確実な支持が行われる。
以上の説明に於いては、案内部材5の駆動手段
8は、電動機10により回転させるねじ軸11に
雌ねじ部材を螺合して成る、ねじ軸による送り機
構を適用しているが、この他、第4図に模式的に
示すように油圧、空気圧シリンダ装置を適用した
構成や、第5図に要部を示した偏心カム機構を適
用した構成等、適宜である。また、以上の実施例
に於いては、駆動手段8に代えて、ばね9a,9
bを適用した案内部材5a′,5b′は当接部7a′,
7b′を1点に構成して、この点の回りにテーブル
1の案内面4a′,4b′を揺動可能としているが、
この他の、第4図の実施例に示すように、案内部
材5a′,5b′は当接部を2点以上、即ち当接部7
al′,7ar′を有する構成とし、この案内部材5a′,
5b′の他所に設けた揺動軸12a,12bにより
揺動自在としたり、第1図の実施例のようにこれ
らの当接部7al′,7ar′毎に案内部材5a′,5
b′を有する構成とすることもできる。更に、第1
図の実施例に示すように、全ての案内面4に対応
する全ての案内部材5に対応して駆動手段8を設
け、これらを連動するように構成することもでき
る。
8は、電動機10により回転させるねじ軸11に
雌ねじ部材を螺合して成る、ねじ軸による送り機
構を適用しているが、この他、第4図に模式的に
示すように油圧、空気圧シリンダ装置を適用した
構成や、第5図に要部を示した偏心カム機構を適
用した構成等、適宜である。また、以上の実施例
に於いては、駆動手段8に代えて、ばね9a,9
bを適用した案内部材5a′,5b′は当接部7a′,
7b′を1点に構成して、この点の回りにテーブル
1の案内面4a′,4b′を揺動可能としているが、
この他の、第4図の実施例に示すように、案内部
材5a′,5b′は当接部を2点以上、即ち当接部7
al′,7ar′を有する構成とし、この案内部材5a′,
5b′の他所に設けた揺動軸12a,12bにより
揺動自在としたり、第1図の実施例のようにこれ
らの当接部7al′,7ar′毎に案内部材5a′,5
b′を有する構成とすることもできる。更に、第1
図の実施例に示すように、全ての案内面4に対応
する全ての案内部材5に対応して駆動手段8を設
け、これらを連動するように構成することもでき
る。
尚、偏心カム機構を適用した実施例を表わした
第5図に於いて、符号19は偏心カム、20はそ
の軸、21は電動機(図示省略)に連なるベルト
22により軸20を回転するプーリーである。
第5図に於いて、符号19は偏心カム、20はそ
の軸、21は電動機(図示省略)に連なるベルト
22により軸20を回転するプーリーである。
また本発明に於いて、互いに直交する平行な2
組の案内面4を構成するテーブル1の個所は、前
述した通り適所で良く、例えばテーブル1の下側
に支持部材14を突設した構成したり、テーブル
1自体の周縁自体に案内面4を構成する等、適宜
である。
組の案内面4を構成するテーブル1の個所は、前
述した通り適所で良く、例えばテーブル1の下側
に支持部材14を突設した構成したり、テーブル
1自体の周縁自体に案内面4を構成する等、適宜
である。
(発明の効果)
本発明は以上の通りであるので、次のような効
果がある。
果がある。
縦横方向の運動のための2組の直交案内軸受
機構並びに旋回機構を上下に重ねて組合わせる
必要がなく、支持台からテーブルまでの高さを
低くすることができる。
機構並びに旋回機構を上下に重ねて組合わせる
必要がなく、支持台からテーブルまでの高さを
低くすることができる。
テーブルを支持台に対して縦横移動、旋回を
可能とするボール軸受は、テーブルの上下方向
の移動を阻止する構成であり、この点と上記
と合わせて、テーブルを安定して縦横移動、旋
回を行わせることができる。
可能とするボール軸受は、テーブルの上下方向
の移動を阻止する構成であり、この点と上記
と合わせて、テーブルを安定して縦横移動、旋
回を行わせることができる。
機構の占有スペースが小さい。
部品点数が少ないので組立工数もかかわら
ず、組立精度の確保も容易である。
ず、組立精度の確保も容易である。
全図とも本発明の実施例に対応するもので、第
1図は全体構成の説明的平面図、第2図aは他の
全体構成の説明的平面図、bはaのX−X線説明
的断面図、第3図a,b,cは第2図の構成の動
作を示す説明的平面図、第4図は他の構成の説明
的平面図、第5図は他の構成の要部説明的断面図
である。 符号、1……テーブル、2……軸受、3……支
持台、4……案内面、5……案内部材、6……運
動機構、7……当接部、8……駆動手段、9……
ばね、10……電動機、11……ねじ軸、12…
…揺動軸、13u,15u……上向支持面、13
l,15l……下向支持面、14,16……支持
部材、17……ボール、18……保持部材、19
……偏心カム、20……軸、21……プーリー、
22……ベルト。
1図は全体構成の説明的平面図、第2図aは他の
全体構成の説明的平面図、bはaのX−X線説明
的断面図、第3図a,b,cは第2図の構成の動
作を示す説明的平面図、第4図は他の構成の説明
的平面図、第5図は他の構成の要部説明的断面図
である。 符号、1……テーブル、2……軸受、3……支
持台、4……案内面、5……案内部材、6……運
動機構、7……当接部、8……駆動手段、9……
ばね、10……電動機、11……ねじ軸、12…
…揺動軸、13u,15u……上向支持面、13
l,15l……下向支持面、14,16……支持
部材、17……ボール、18……保持部材、19
……偏心カム、20……軸、21……プーリー、
22……ベルト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 テーブルの下側に下向支持面と上向き支持面
とを有する支持部材を設けると共に、支持台上に
夫々の支持面に対応する上向支持面、下向支持面
を有する支持部材を突設し、夫々の対応する支持
面間に、ボールを保持部材に支持した構成のボー
ル軸受を介装することにより、テーブルを支持台
上に、縦横方向及び旋回方向に運動可能に支持す
ると共に、該テーブルの適所に互いに直交する平
行な2組の案内面を構成し、これらの案内面に当
接してテーブルの前記運動を規制する案内部材を
支持台に設けると共に、該案内部材を介してテー
ブルに前記運動をさせる運動機構を構成したこと
を特徴とするテーブルの縦横移動旋回機構。 2 第1項記載のテーブルの縦横移動旋回機構に
於いて、案内部材は、テーブルの対応する案内面
に沿つて隔たつた少なくとも2点の当接部を構成
し、該当接部を駆動手段により、夫々案内面に対
して進退移動可能として運動機構を構成したこと
を特徴とするテーブルの縦横移動旋回機構。 3 第2項記載のテーブルの縦横移動旋回機構に
於いて、夫々の組の案内部材の一方は、駆動手段
に代えてばねにより、案内面方向に付勢したこと
を特徴とするテーブルの縦横移動旋回機構。 4 第1項記載のテーブルの縦横移動旋回機構に
於いて、夫々の組に於ける案内部材の一方は、テ
ーブルの対応する案内面に沿つて隔たつた少なく
とも2点の当接部を構成し、該当接部を駆動手段
により夫々案内面に対して進退移動可能とすると
共に、他方は、少なくとも1点の当接部を構成
し、該当接部はばねにより前記案内面方向に付勢
したことを特徴とするテーブルの縦横移動旋回機
構。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63070625A JPH01242989A (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | テーブルの縦横移動旋回機構 |
DE3909292A DE3909292C2 (de) | 1988-03-24 | 1989-03-21 | Längs- und Quer-Tischführungs- und -drehmechanismus |
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