JPH09155666A - ステージの縦横移動旋回支持機構 - Google Patents
ステージの縦横移動旋回支持機構Info
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- JPH09155666A JPH09155666A JP7313920A JP31392095A JPH09155666A JP H09155666 A JPH09155666 A JP H09155666A JP 7313920 A JP7313920 A JP 7313920A JP 31392095 A JP31392095 A JP 31392095A JP H09155666 A JPH09155666 A JP H09155666A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ステージの縦横移動旋回支持機構において、ス
テージの中央に窓部を形成して、有用な貫通空間と軽量
化を図る。 【解決手段】内側支持板５と、この内側支持板を挟む外
側支持板６とを備え、内側支持板と外側支持板間に保持
部材７に保持したボール８を介装して、内側支持板と外
側支持板を平面上で相対的に自由運動可能として、夫々
内側支持板側と外側支持板側を取付部とした支持ユニッ
ト３を構成し、この支持ユニットを支持台１とステージ
２間に複数取付けて構成する。
テージの中央に窓部を形成して、有用な貫通空間と軽量
化を図る。 【解決手段】内側支持板５と、この内側支持板を挟む外
側支持板６とを備え、内側支持板と外側支持板間に保持
部材７に保持したボール８を介装して、内側支持板と外
側支持板を平面上で相対的に自由運動可能として、夫々
内側支持板側と外側支持板側を取付部とした支持ユニッ
ト３を構成し、この支持ユニットを支持台１とステージ
２間に複数取付けて構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は精密測定器具、精密
加工機構、精密位置決め装置等に使用される、ステージ
の縦横移動旋回支持機構に関するものである。
加工機構、精密位置決め装置等に使用される、ステージ
の縦横移動旋回支持機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ステージを縦横方向に移動可能に
構成した、いわゆるＸ−Ｙ移動テーブルにおいては、左
右一対の直動案内軸受と一つの送りねじ機構により一方
向に移動可能に構成した一軸移動機構の２組を、その移
動方向が直交するように上下に重ねて組み合わせること
により、上述した移動を可能に構成しており、これに旋
回機構を組み合わせることにより縦横移動と旋回を可能
としている。
構成した、いわゆるＸ−Ｙ移動テーブルにおいては、左
右一対の直動案内軸受と一つの送りねじ機構により一方
向に移動可能に構成した一軸移動機構の２組を、その移
動方向が直交するように上下に重ねて組み合わせること
により、上述した移動を可能に構成しており、これに旋
回機構を組み合わせることにより縦横移動と旋回を可能
としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような構成では、
支持台からステージまでの高さが高くなって、不安定
である、機構の占有スペースが大きい、組立て工数
がかかる、組立精度を確保するのが比較的難しい、等
々の課題がある。
支持台からステージまでの高さが高くなって、不安定
である、機構の占有スペースが大きい、組立て工数
がかかる、組立精度を確保するのが比較的難しい、等
々の課題がある。
【０００４】このような課題を解決するために種々の工
夫がされつつあり、例えば特開平１−２４２９８９号公
報に記載のものでは、縦、横移動機構及び旋回機構を、
夫々の機構の組合せでなく構成している。
夫がされつつあり、例えば特開平１−２４２９８９号公
報に記載のものでは、縦、横移動機構及び旋回機構を、
夫々の機構の組合せでなく構成している。
【０００５】
【発明の目的】本発明では、このような構成を更に発展
させ、軽量で安価な縦横移動旋回支持機構を提供するこ
とを第１の目的とするものである。
させ、軽量で安価な縦横移動旋回支持機構を提供するこ
とを第１の目的とするものである。
【０００６】また本発明では、ステージの中央部分に対
応する位置に機構部材を配置しないようにすることによ
り、このステージの中央部分を有効に利用し得るように
することを第２の目的とするものである。
応する位置に機構部材を配置しないようにすることによ
り、このステージの中央部分を有効に利用し得るように
することを第２の目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明では、内側支持板と、この内側支持板を
挟む外側支持板とを備え、内側支持板と外側支持板間に
保持部材に保持したボールを介装して、内側支持板と外
側支持板を平面上で相対的に自由運動可能として、夫々
内側支持板側と外側支持板側を取付部とした支持ユニッ
トを構成し、この支持ユニットを支持台とステージ間に
複数取付けて構成したステージの縦横移動旋回支持機構
を提案する。
ために、本発明では、内側支持板と、この内側支持板を
挟む外側支持板とを備え、内側支持板と外側支持板間に
保持部材に保持したボールを介装して、内側支持板と外
側支持板を平面上で相対的に自由運動可能として、夫々
内側支持板側と外側支持板側を取付部とした支持ユニッ
トを構成し、この支持ユニットを支持台とステージ間に
複数取付けて構成したステージの縦横移動旋回支持機構
を提案する。
【０００８】そして本発明では、上記の構成において、
２つの外側支持板は内側支持板の外側において結合する
構成とすると共に一方側の外側支持板に遊び孔を形成
し、内側支持板の取付部材を遊び孔を通して外側支持板
の外側に突出させることを提案する。
２つの外側支持板は内側支持板の外側において結合する
構成とすると共に一方側の外側支持板に遊び孔を形成
し、内側支持板の取付部材を遊び孔を通して外側支持板
の外側に突出させることを提案する。
【０００９】また本発明では、上記の構成において、内
側支持板に遊び孔を形成すると共に、２つの外側支持板
を遊び孔を通して結合部材により結合し、内側支持板に
は一方側の外側支持板の外側を経て取付部材を突出させ
ることを提案する。
側支持板に遊び孔を形成すると共に、２つの外側支持板
を遊び孔を通して結合部材により結合し、内側支持板に
は一方側の外側支持板の外側を経て取付部材を突出させ
ることを提案する。
【００１０】また本発明では、上記の構成において、内
側支持板と２つの外側支持板の縁に、夫々の位置をずら
して複数の凹部を構成し、２つの外側支持板を内側支持
板の凹部の位置において結合部材により結合すると共
に、内側支持板の取付部材を一方側の外側支持板の凹部
の位置において突出させることを提案する。
側支持板と２つの外側支持板の縁に、夫々の位置をずら
して複数の凹部を構成し、２つの外側支持板を内側支持
板の凹部の位置において結合部材により結合すると共
に、内側支持板の取付部材を一方側の外側支持板の凹部
の位置において突出させることを提案する。
【００１１】そして本発明では、以上の構成において、
内側支持板側を支持台に取付け、外側支持板側をステー
ジに取付ける構成としたり、または逆に、内側支持板側
をステージに取付け、外側支持板側を支持台に取付ける
構成とすることができる。
内側支持板側を支持台に取付け、外側支持板側をステー
ジに取付ける構成としたり、または逆に、内側支持板側
をステージに取付け、外側支持板側を支持台に取付ける
構成とすることができる。
【００１２】そして本発明では、以上の構成において、
支持ユニットの形状は円形状等適宜であるが、細長形状
に構成することを提案する。
支持ユニットの形状は円形状等適宜であるが、細長形状
に構成することを提案する。
【００１３】また本発明では、上記の構成において、少
なくともステージを枠状に形成して中央部に窓部を構成
し、枠部に複数の支持ユニットを設置することを提案す
る。そして、この場合、上述したように支持ユニットを
細長形状に構成した場合において、ステージの対向する
枠部に一対設置することを提案する。
なくともステージを枠状に形成して中央部に窓部を構成
し、枠部に複数の支持ユニットを設置することを提案す
る。そして、この場合、上述したように支持ユニットを
細長形状に構成した場合において、ステージの対向する
枠部に一対設置することを提案する。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１〜図５は本発明の第１の
実施の形態を示すもので、符号１は支持台、２はこの支
持台１上に支持するステージ、３は支持台１とステージ
２間に設置して、ステージ２を縦横移動旋回可能に支持
する支持ユニットである。図１に示すように、ステージ
２は枠状に形成して、中央部に窓部４ａを構成してい
る。同様に支持台１も枠状に形成して窓部４ｂを構成し
ていて、これらの窓部４ａ，４ｂにより貫通空間を構成
している。尚、支持台１の窓部４ｂはステージ２の窓部
４ａよりも広く構成している。このような枠の形状は、
図に示すように矩形枠とする他、方形枠、円形枠等、適
宜である。このような貫通空間ができることから、例え
ばステージ２にマスク等を設置すると共に、貫通空間を
隔てた適所に露光部を構成する等の使用をすることがで
きる。
図面を参照して説明する。図１〜図５は本発明の第１の
実施の形態を示すもので、符号１は支持台、２はこの支
持台１上に支持するステージ、３は支持台１とステージ
２間に設置して、ステージ２を縦横移動旋回可能に支持
する支持ユニットである。図１に示すように、ステージ
２は枠状に形成して、中央部に窓部４ａを構成してい
る。同様に支持台１も枠状に形成して窓部４ｂを構成し
ていて、これらの窓部４ａ，４ｂにより貫通空間を構成
している。尚、支持台１の窓部４ｂはステージ２の窓部
４ａよりも広く構成している。このような枠の形状は、
図に示すように矩形枠とする他、方形枠、円形枠等、適
宜である。このような貫通空間ができることから、例え
ばステージ２にマスク等を設置すると共に、貫通空間を
隔てた適所に露光部を構成する等の使用をすることがで
きる。
【００１５】支持ユニット３は図２〜図４に示すよう
に、内側支持板５と、この内側支持板５を挟んで一体に
結合した２つの外側支持板６ａ，６ｂとを備え、内側支
持板５と夫々の外側支持板６ａ，６ｂ間に保持部材７に
保持したボール８を介装して、内側支持板５と外側支持
板６ａ，６ｂを平面上で相対的に自由運動可能としてい
る。この実施の形態では外側支持板６ａ，６ｂは内側支
持板５の周囲を囲む構成とすると共に、一方側の外側支
持板６ｂと保持部材７に遊び孔９ａ，９ｂを形成してお
り、内側支持板５の取付部材１０を前記遊び孔９ａ，９
ｂを通して外側支持板６ｂの外側に突出させている。
に、内側支持板５と、この内側支持板５を挟んで一体に
結合した２つの外側支持板６ａ，６ｂとを備え、内側支
持板５と夫々の外側支持板６ａ，６ｂ間に保持部材７に
保持したボール８を介装して、内側支持板５と外側支持
板６ａ，６ｂを平面上で相対的に自由運動可能としてい
る。この実施の形態では外側支持板６ａ，６ｂは内側支
持板５の周囲を囲む構成とすると共に、一方側の外側支
持板６ｂと保持部材７に遊び孔９ａ，９ｂを形成してお
り、内側支持板５の取付部材１０を前記遊び孔９ａ，９
ｂを通して外側支持板６ｂの外側に突出させている。
【００１６】以上の構成において、内側支持板５の取付
部材１０を支持台１の枠部に取り付けると共に、上側の
外側支持板６ａをステージ２の枠部に取り付けることに
より、支持台１上にステージ２を支持することができ
る。この場合、支持ユニット３は夫々の枠部の一辺の両
端と、対向する辺の中間の３個所に設置して、いわゆる
３点支持式に支持している。勿論、支持ユニット３の設
置数は、支持台１やステージ２の形状や大きさ等に応じ
て適宜に設定することができる。また図の構成とは逆
に、図示は省略するが、内側支持板５の取付部材１０を
ステージ２の枠部に取付けると共に、外側支持板６を支
持台１の枠部に取り付けることにより支持台１上にステ
ージ２を支持することもできる。
部材１０を支持台１の枠部に取り付けると共に、上側の
外側支持板６ａをステージ２の枠部に取り付けることに
より、支持台１上にステージ２を支持することができ
る。この場合、支持ユニット３は夫々の枠部の一辺の両
端と、対向する辺の中間の３個所に設置して、いわゆる
３点支持式に支持している。勿論、支持ユニット３の設
置数は、支持台１やステージ２の形状や大きさ等に応じ
て適宜に設定することができる。また図の構成とは逆
に、図示は省略するが、内側支持板５の取付部材１０を
ステージ２の枠部に取付けると共に、外側支持板６を支
持台１の枠部に取り付けることにより支持台１上にステ
ージ２を支持することもできる。
【００１７】以上のようにして、ステージ２は、各支持
ユニット３の移動ストロークに制限されるものの保持部
材７に保持されたボール８により支持台１に対して自由
運動、即ち縦横移動旋回可能に支持することができる。
尚、各支持ユニット３は取付部材１０と遊び孔９ａ，９
ｂ間の間隔により移動ストロークが規定される。
ユニット３の移動ストロークに制限されるものの保持部
材７に保持されたボール８により支持台１に対して自由
運動、即ち縦横移動旋回可能に支持することができる。
尚、各支持ユニット３は取付部材１０と遊び孔９ａ，９
ｂ間の間隔により移動ストロークが規定される。
【００１８】特に本発明では、ステージ２を、複数の支
持ユニット３により支持台１上に支持するので、これら
の複数の支持ユニット３は、ステージ２の周囲側に配置
することができる。そして、この場合には、これまで説
明したとおり、少なくともステージ２を枠状に形成し
て、中央部に窓部４ａを構成し、この窓部４ａは支持ユ
ニット３等に邪魔されない貫通空間とすることができる
のである。
持ユニット３により支持台１上に支持するので、これら
の複数の支持ユニット３は、ステージ２の周囲側に配置
することができる。そして、この場合には、これまで説
明したとおり、少なくともステージ２を枠状に形成し
て、中央部に窓部４ａを構成し、この窓部４ａは支持ユ
ニット３等に邪魔されない貫通空間とすることができる
のである。
【００１９】しかしながら、本発明では、枠状でなく単
なる板状のステージ２にも適用できることはいうまでも
ないことである。
なる板状のステージ２にも適用できることはいうまでも
ないことである。
【００２０】こうして、ステージ２と支持台１間に、適
宜の駆動機構を構成することにより、ステージ２を支持
台１に対して所定の縦横移動旋回を行うことができる。
このような駆動機構は、例えば上述した特開平１−２４
２９８９号公報に記載のもの等、適宜の駆動機構を利用
することができる。
宜の駆動機構を構成することにより、ステージ２を支持
台１に対して所定の縦横移動旋回を行うことができる。
このような駆動機構は、例えば上述した特開平１−２４
２９８９号公報に記載のもの等、適宜の駆動機構を利用
することができる。
【００２１】そこで、駆動機構の実施の形態を説明する
と、図１において、符号１１は直動軸受であり、レール
１２をステージ２の枠部の軸方向と直交する方向に設置
すると共に、このレール１２に軸受本体１３を直線移動
可能に保持している。レール１２は、概ね、支持ユニッ
ト３間のステージ２の枠部、即ち、両端に支持ユニット
３を設置している辺の中間と、この辺に隣接する辺の夫
々に設置しており、図中下側のレール１２と左右側のレ
ール１２は直交している。そして夫々において軸受本体
１３はヒンジ部１４を介してリニアアクチュエータ１５
の作動ロッド１６に固定しており、リニアアクチュエー
タ１５の基部は支持台１の枠部に固定している。
と、図１において、符号１１は直動軸受であり、レール
１２をステージ２の枠部の軸方向と直交する方向に設置
すると共に、このレール１２に軸受本体１３を直線移動
可能に保持している。レール１２は、概ね、支持ユニッ
ト３間のステージ２の枠部、即ち、両端に支持ユニット
３を設置している辺の中間と、この辺に隣接する辺の夫
々に設置しており、図中下側のレール１２と左右側のレ
ール１２は直交している。そして夫々において軸受本体
１３はヒンジ部１４を介してリニアアクチュエータ１５
の作動ロッド１６に固定しており、リニアアクチュエー
タ１５の基部は支持台１の枠部に固定している。
【００２２】以上の構成において、例えば図１の状態で
下側の直動軸受１１を駆動するリニアアクチュエータ１
５の作動ロッド１６を伸長すると、軸受本体１３はレー
ル１２を介してステージ２を図中左方向に押し、この方
向は左右側のレール１２の移動方向であるので、ステー
ジ２は図中左方向に移動する。逆に、下側のリニアアク
チュエータ１５の作動ロッド１６を短縮すると、軸受本
体１３はレール１２を介してステージ２を引っ張り、ス
テージ２は図中右方向に移動する。
下側の直動軸受１１を駆動するリニアアクチュエータ１
５の作動ロッド１６を伸長すると、軸受本体１３はレー
ル１２を介してステージ２を図中左方向に押し、この方
向は左右側のレール１２の移動方向であるので、ステー
ジ２は図中左方向に移動する。逆に、下側のリニアアク
チュエータ１５の作動ロッド１６を短縮すると、軸受本
体１３はレール１２を介してステージ２を引っ張り、ス
テージ２は図中右方向に移動する。
【００２３】次に、図１において図中下側の直動軸受１
１のリニアアクチュエータ１５はそのままで、左右側の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を等量同方
向、即ち図中下方向又は上方向に移動すると、下側のレ
ール１２が軸受本体１３に対して移動してステージ２は
下方に移動する。
１のリニアアクチュエータ１５はそのままで、左右側の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を等量同方
向、即ち図中下方向又は上方向に移動すると、下側のレ
ール１２が軸受本体１３に対して移動してステージ２は
下方に移動する。
【００２４】次に、図中下側の直動軸受１１のリニアア
クチュエータ１５はそのままで、左側の直動軸受１１の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を伸長させ
ると共に、右側の直動軸受１１のリニアアクチュエータ
１５の作動ロッド１６を短縮させると、ステージ２は図
６に示すように時計方向に旋回する。この際の各部材間
の距離の変化は、各ヒンジ部１４の回りの回動と、各軸
受本体１３に対する各レール１２の移動により吸収する
ため、機構上の不都合は起こらない。
クチュエータ１５はそのままで、左側の直動軸受１１の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を伸長させ
ると共に、右側の直動軸受１１のリニアアクチュエータ
１５の作動ロッド１６を短縮させると、ステージ２は図
６に示すように時計方向に旋回する。この際の各部材間
の距離の変化は、各ヒンジ部１４の回りの回動と、各軸
受本体１３に対する各レール１２の移動により吸収する
ため、機構上の不都合は起こらない。
【００２５】次に本発明に適用する支持ユニットの他の
実施の形態を説明する。まず図７、図８は第２の実施形
態を示すもので、図７は図８のＤ−Ｄ断面図、図８は図
７のＣ−Ｃ断面図である。符号１７は内側支持板、１８
ａ，１８ｂは内側支持板１７を挟む２つの外側支持板で
あり、内側支持板１７と外側支持板１８ａ，１８ｂ間に
は保持部材１９に保持したボール２０を介装する構成で
ある。即ち、内側支持板１７と夫々の保持部材１９には
遊び孔２１ａ，２１ｂを形成していて、外側支持板１８
ａ，１８ｂ相互を遊び孔２１ａ，２１ｂを通した結合部
材２２により一体に結合している。内側支持板１７、外
側支持板１８ａ，１８ｂ及び保持部材１９は細長形状に
構成し、結合部材２２は円柱状のものとして２個所に設
置している。また図中下側の外側支持板１８ｂは上側の
外側支持板１８ａよりも幅狭に構成し、内側支持板１７
の両側には、外側支持板１８ｂの外側を経て下方に取付
部材２３を突設している。
実施の形態を説明する。まず図７、図８は第２の実施形
態を示すもので、図７は図８のＤ−Ｄ断面図、図８は図
７のＣ−Ｃ断面図である。符号１７は内側支持板、１８
ａ，１８ｂは内側支持板１７を挟む２つの外側支持板で
あり、内側支持板１７と外側支持板１８ａ，１８ｂ間に
は保持部材１９に保持したボール２０を介装する構成で
ある。即ち、内側支持板１７と夫々の保持部材１９には
遊び孔２１ａ，２１ｂを形成していて、外側支持板１８
ａ，１８ｂ相互を遊び孔２１ａ，２１ｂを通した結合部
材２２により一体に結合している。内側支持板１７、外
側支持板１８ａ，１８ｂ及び保持部材１９は細長形状に
構成し、結合部材２２は円柱状のものとして２個所に設
置している。また図中下側の外側支持板１８ｂは上側の
外側支持板１８ａよりも幅狭に構成し、内側支持板１７
の両側には、外側支持板１８ｂの外側を経て下方に取付
部材２３を突設している。
【００２６】この実施の形態では、内側支持板１７の取
付部材２３を支持台２４に取り付けると共に、上側の外
側支持板１８ａをステージ２５に取り付けることによ
り、支持台２４上にステージ２５を自由運動、即ち縦横
移動旋回可能に支持することができる。
付部材２３を支持台２４に取り付けると共に、上側の外
側支持板１８ａをステージ２５に取り付けることによ
り、支持台２４上にステージ２５を自由運動、即ち縦横
移動旋回可能に支持することができる。
【００２７】この支持ユニット３の移動ストロークは、
結合部材２２と遊び孔２１ａ，２１ｂとの間隔により規
定されるものであるが、この遊び孔２１ａ，２１ｂは内
側支持板１７、外側支持板１８ａ，１８ｂ及び保持部材
１９の細長形状と相俟って、細長形状に構成し、長さ方
向の間隔を長くすることにより、長さ方向の移動ストロ
ークが大きくなるように構成している。
結合部材２２と遊び孔２１ａ，２１ｂとの間隔により規
定されるものであるが、この遊び孔２１ａ，２１ｂは内
側支持板１７、外側支持板１８ａ，１８ｂ及び保持部材
１９の細長形状と相俟って、細長形状に構成し、長さ方
向の間隔を長くすることにより、長さ方向の移動ストロ
ークが大きくなるように構成している。
【００２８】尚、この第２の実施の形態において、内側
支持板１７、外側支持板１８ａ，１８ｂ及び保持部材１
９の形状は、上述した細長形状に限るものではなく、第
１の実施の形態と同様に円形状としたり、正方形状等と
することもできる。
支持板１７、外側支持板１８ａ，１８ｂ及び保持部材１
９の形状は、上述した細長形状に限るものではなく、第
１の実施の形態と同様に円形状としたり、正方形状等と
することもできる。
【００２９】次に本発明に適用する支持ユニットの第３
の実施の形態を、図９〜図１２について説明する。この
実施の形態では、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，
２７ｂは帯板状とし、夫々の長手辺側に位置をずらして
複数の凹部２８ａ，２８ｂを構成している。即ち、外側
支持板２７ａ，２７ｂでは両端と中央に凹部２８ｂを構
成すると共に、内側支持板２６では両端と中央以外の２
個所に凹部２８ａを構成している。
の実施の形態を、図９〜図１２について説明する。この
実施の形態では、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，
２７ｂは帯板状とし、夫々の長手辺側に位置をずらして
複数の凹部２８ａ，２８ｂを構成している。即ち、外側
支持板２７ａ，２７ｂでは両端と中央に凹部２８ｂを構
成すると共に、内側支持板２６では両端と中央以外の２
個所に凹部２８ａを構成している。
【００３０】このため、このような内側支持板２６と外
側支持板２７ａ，２７ｂを重ねると、夫々の凹部２８
ａ，２８ｂは重ならずに交互に位置する。即ち、外側支
持板２７ａ，２７ｂの凹部２８ｂ以外の個所、即ち凸部
２９ｂは内側支持板２６の凹部２８ａに対応するので、
内側支持板２６の両面側に対応する外側支持板２７ａ，
２７ｂの凸部１９ｂ間に、内側支持板２６の凹部２８ａ
を通して結合部材３０により結合することができる。一
方、内側支持板２６の凸部２９ａは外側支持板２７ｂの
凹部２８ｂに対応するので、上記凸部２９ａから外側支
持板２７ｂの凹部２８ｂを通して内側支持板２６の取付
部材３１を突出させることができる。
側支持板２７ａ，２７ｂを重ねると、夫々の凹部２８
ａ，２８ｂは重ならずに交互に位置する。即ち、外側支
持板２７ａ，２７ｂの凹部２８ｂ以外の個所、即ち凸部
２９ｂは内側支持板２６の凹部２８ａに対応するので、
内側支持板２６の両面側に対応する外側支持板２７ａ，
２７ｂの凸部１９ｂ間に、内側支持板２６の凹部２８ａ
を通して結合部材３０により結合することができる。一
方、内側支持板２６の凸部２９ａは外側支持板２７ｂの
凹部２８ｂに対応するので、上記凸部２９ａから外側支
持板２７ｂの凹部２８ｂを通して内側支持板２６の取付
部材３１を突出させることができる。
【００３１】以上のように内側支持板２６の両面側の外
側支持板２７ａ，２７ｂを結合部材３０により結合する
に際して、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ
間に保持部材３２に保持したボール３３を介装すること
により、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂを
平面上で相対的に自由運動可能とすることができる。
尚、保持部材３２には遊び孔３５を形成すると共に内側
支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ間には遊び孔３
５内を通るストッパー３４を設けており、このストッパ
ー３４と遊び孔３５が自由運動のストロークを規定す
る。従って、この遊び孔３５の寸法を適宜設計すること
により、自由運動のストロークを調節することができ
る。
側支持板２７ａ，２７ｂを結合部材３０により結合する
に際して、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ
間に保持部材３２に保持したボール３３を介装すること
により、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂを
平面上で相対的に自由運動可能とすることができる。
尚、保持部材３２には遊び孔３５を形成すると共に内側
支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ間には遊び孔３
５内を通るストッパー３４を設けており、このストッパ
ー３４と遊び孔３５が自由運動のストロークを規定す
る。従って、この遊び孔３５の寸法を適宜設計すること
により、自由運動のストロークを調節することができ
る。
【００３２】以上の構成の支持ユニット３は、上述した
第２の実施の形態のものと同様に、細長形状に構成して
いるが、場合によっては第１の実施の形態と同様に円形
状としたり、正方形状等とすることもできる。
第２の実施の形態のものと同様に、細長形状に構成して
いるが、場合によっては第１の実施の形態と同様に円形
状としたり、正方形状等とすることもできる。
【００３３】図１３は、細長形状の支持ユニット３にお
いてステージの縦横移動旋回支持機構を構成する場合
の、支持ユニット３の配置の実施の形態を示すもので、
図１に示すようにステージ２及び支持台１を枠状に構成
したものにおいて、それらの対向する枠部に一対設置す
ることにより、ステージ２の荷重を支えることができ、
構成が簡素化されて組立てが非常に簡単になると共に軽
量化が図れる。尚、図１３に示すステージ２及び支持台
１の構成並びに駆動機構の具体的構成並びに、その動作
は、図１に示すものと概ね同じであるので、対応する要
素に同一の符号を伏して縦横移動旋回動作の説明は省略
する。
いてステージの縦横移動旋回支持機構を構成する場合
の、支持ユニット３の配置の実施の形態を示すもので、
図１に示すようにステージ２及び支持台１を枠状に構成
したものにおいて、それらの対向する枠部に一対設置す
ることにより、ステージ２の荷重を支えることができ、
構成が簡素化されて組立てが非常に簡単になると共に軽
量化が図れる。尚、図１３に示すステージ２及び支持台
１の構成並びに駆動機構の具体的構成並びに、その動作
は、図１に示すものと概ね同じであるので、対応する要
素に同一の符号を伏して縦横移動旋回動作の説明は省略
する。
【００３４】
【発明の効果】本発明は、以上のとおりであるので、次
のような効果がある。 縦、横移動機構と旋回支持機構を上下に重ねて組み合
わせずにステージの縦横移動旋回支持機構を構成するこ
とができる。 縦横移動旋回させるステージは枠状に構成することが
できるので、機構の軽量化を図ることができる。 枠状のステージにより、縦横移動旋回可能な支持部材
や駆動部材に邪魔されない貫通空間を構成することがで
きるので、この貫通空間を通した露光等、貫通空間を有
効に利用することができる。 精密加工を必要とする支持ユニットの小型化を図れ、
加工が容易となる。 支持ユニットを細長形状に構成して、長さ方向のスト
ロークを大きくすることが可能である。 支持ユニットを細長形状に構成したものでは、最少２
つの設置により枠状のステージを自由運動可能に支持す
ることができる。
のような効果がある。 縦、横移動機構と旋回支持機構を上下に重ねて組み合
わせずにステージの縦横移動旋回支持機構を構成するこ
とができる。 縦横移動旋回させるステージは枠状に構成することが
できるので、機構の軽量化を図ることができる。 枠状のステージにより、縦横移動旋回可能な支持部材
や駆動部材に邪魔されない貫通空間を構成することがで
きるので、この貫通空間を通した露光等、貫通空間を有
効に利用することができる。 精密加工を必要とする支持ユニットの小型化を図れ、
加工が容易となる。 支持ユニットを細長形状に構成して、長さ方向のスト
ロークを大きくすることが可能である。 支持ユニットを細長形状に構成したものでは、最少２
つの設置により枠状のステージを自由運動可能に支持す
ることができる。
【図１】 第１の実施の形態の平面図である。
【図２】 図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】 図２の支持ユニットの部分の要部拡大図であ
る。
る。
【図４】 図３のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】 縦横移動動作を説明する平面図である。
【図６】 旋回動作を説明する平面図である。
【図７】 支持ユニットの他の実施の形態を示すもの
で、図８のＤ−Ｄ線断面図である。
で、図８のＤ−Ｄ線断面図である。
【図８】 図７のＣ−Ｃ線断面図である。
【図９】 支持ユニットの更に他の実施の形態の斜視図
である。
である。
【図１０】 図９の支持ユニットの平面図である。
【図１１】 図９の支持ユニットの正面図である。
【図１２】 図９の支持ユニットの側面図である。
【図１３】 図９〜図１２に示す支持ユニットにより構
成した縦横移動旋回支持機構の平面図である。
成した縦横移動旋回支持機構の平面図である。
１ 支持台 ２ ステージ ３ 支持ユニット ４ａ，４ｂ 窓部 ５ 内側支持板 ６ａ，６ｂ 外側支持板 ７ 保持部材 ８ ボール ９ａ，９ｂ 遊び孔 １０ 取付部材 １１ 直動軸受 １２ レール １３ 軸受本体 １４ ヒンジ部 １５ リニアアクチュエータ １６ 作動ロッド １７ 内側支持板 １８ａ，１８ｂ 外側支持板 １９ 保持部材 ２０ ボール ２１ａ，２１ｂ 遊び孔 ２２ 結合部材 ２３ 取付部材 ２４ 支持台 ２５ ステージ ２６ 内側支持板 ２７ａ，２７ｂ 外側支持板 ２８ａ，２８ｂ 凹部 ２９ａ，２９ｂ 凸部 ３０ 結合部材 ３１ 取付部材 ３２ 保持部材 ３３ ボール ３４ ストッパー ３５ 遊び孔
Claims (9)
- 【請求項１】 内側支持板と、この内側支持板を挟んで
一体に結合した２つの外側支持板とを備え、内側支持板
と夫々の外側支持板間に保持部材に保持したボールを介
装して、内側支持板と外側支持板を平面上で相対的に自
由運動可能として、夫々内側支持板側と外側支持板側を
取付部とした支持ユニットを構成し、この支持ユニット
を支持台とステージ間に複数取付けて構成したことを特
徴とするステージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項２】 ２つの外側支持板は内側支持板の外側に
おいて結合する構成とすると共に一方側の外側支持板に
遊び孔を形成し、内側支持板の取付部材を遊び孔を通し
て外側支持板の外側に突出させることを特徴とする請求
項１記載のステージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項３】 内側支持板に遊び孔を形成すると共に、
２つの外側支持板を遊び孔を通して結合部材により結合
し、内側支持板には一方側の外側支持板の外側を経て取
付部材を突出させることを特徴とする請求項１記載のス
テージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項４】 内側支持板と２つの外側支持板の縁に、
夫々の位置をずらして複数の凹部を構成し、２つの外側
支持板を内側支持板の凹部の位置において結合部材によ
り結合すると共に、内側支持板の取付部材を一方側の外
側支持板の凹部の位置において突出させることを特徴と
する請求項１記載のステージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項５】 内側支持板側を支持台に取付け、外側支
持板側をステージに取付ける構成としたことを特徴とす
る請求項１〜４記載のステージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項６】 内側支持板側をステージに取付け、外側
支持板側を支持台に取付ける構成としたことを特徴とす
る請求項１〜４記載のステージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項７】 支持ユニットを細長形状に構成したこと
を特徴とする請求項１〜６記載のステージの縦横移動旋
回支持機構 - 【請求項８】 少なくともステージを枠状に形成して中
央部に窓部を構成し、枠部に複数の支持ユニットを設置
することを特徴とする請求項１〜７記載のステージの縦
横移動旋回支持機構 - 【請求項９】 支持ユニットは細長形状に構成し、ステ
ージの対向する枠部に一対設置したことを特徴とする請
求項８記載のステージの縦横移動旋回支持機構
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7313920A JP2940663B2 (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ステージの縦横移動旋回支持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7313920A JP2940663B2 (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ステージの縦横移動旋回支持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155666A true JPH09155666A (ja) | 1997-06-17 |
| JP2940663B2 JP2940663B2 (ja) | 1999-08-25 |
Family
ID=18047117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7313920A Expired - Fee Related JP2940663B2 (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ステージの縦横移動旋回支持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2940663B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6196138B1 (en) | 1998-04-15 | 2001-03-06 | Thk Co., Ltd | Movable table unit |
| JP2005148045A (ja) * | 2003-06-03 | 2005-06-09 | Fast:Kk | ４軸ＸＹθテーブルとその制御方法 |
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| JP2012209298A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Hiihaisuto Seiko Kk | 滑動テーブル |
| KR200465028Y1 (ko) * | 2011-03-29 | 2013-02-07 | 지엠티 글로벌 아이엔씨 | 고부하 얼라인먼트 보정구동플랫폼장치 |
| KR200469098Y1 (ko) * | 2012-03-20 | 2013-09-23 | 지엠티 글로벌 아이엔씨 | 얼라인먼트 플랫폼 구조. |
| JP2015117958A (ja) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | 日本精工株式会社 | ＸＹθテーブル装置 |
Citations (7)
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| JPH04128130U (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-24 | エヌテイエヌ株式会社 | 移動テーブル |
| JPH0512678B2 (ja) * | 1988-03-24 | 1993-02-18 | Kazuya Hirose | |
| JPH07181276A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-21 | Toshiba Corp | テーブル装置 |
-
1995
- 1995-12-01 JP JP7313920A patent/JP2940663B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| WO2015093046A1 (ja) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | 日本精工株式会社 | ＸＹθテーブル装置 |
| US9919394B2 (en) | 2013-12-17 | 2018-03-20 | Nsk Ltd. | WYθ table apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2940663B2 (ja) | 1999-08-25 |
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