KR200469098Y1 - 얼라인먼트 플랫폼 구조. - Google Patents

얼라인먼트 플랫폼 구조. Download PDF

Info

Publication number
KR200469098Y1
KR200469098Y1 KR2020120002223U KR20120002223U KR200469098Y1 KR 200469098 Y1 KR200469098 Y1 KR 200469098Y1 KR 2020120002223 U KR2020120002223 U KR 2020120002223U KR 20120002223 U KR20120002223 U KR 20120002223U KR 200469098 Y1 KR200469098 Y1 KR 200469098Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
platform
drive unit
alignment
drive
horizontal moving
Prior art date
Application number
KR2020120002223U
Other languages
English (en)
Inventor
창 윤-칭
Original Assignee
지엠티 글로벌 아이엔씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 지엠티 글로벌 아이엔씨 filed Critical 지엠티 글로벌 아이엔씨
Priority to KR2020120002223U priority Critical patent/KR200469098Y1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200469098Y1 publication Critical patent/KR200469098Y1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/18—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for positioning only
    • B23Q3/186—Aligning devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
    • B23Q3/06—Work-clamping means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
    • B23Q5/36—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission in which a servomotor forms an essential element
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q2716/00—Equipment for precise positioning of tool or work into particular locations
    • B23Q2716/08—Holders for tools or work comprising a divider or positioning devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

공작물의 X 축 방향, Y 축 방향의 수평이동 및 회전이동을 보정하는 얼라인먼트 플랫폼구조를 제공한다.
얼라인먼트 플랫폼구조는 고정 플랫폼(10)을 포함한다. 고정 플랫폼(10)은 위쪽 중앙부에 결합된 회전베이스(20)과 측변부에 결합된 복수의 구동유닛(30)을 갖는다. 회전베이스(20)의 위쪽에는, 수평이동장치(40)을 통하여, 부하를 가하는 보정 플랫폼(50)이 접속한다. 수평이동장치(40)은, 수판(41), 복수의 섭동부재(42) 및 잠금 슬라이더(43)을 포함한다. 구동유닛(30)은, 수평방향의 힘을 발생시키고, 저판(31)의 측부에 구동장치(32)가 고정 설정되고 구동장치(32)에 의해 슬라이드 블록(33)을 형행 이동 시키며, 슬라이드 블록(33)에는, 구동장치(32)가 설치되어 있지 않은 쪽의 단부에 암부(34)가 연설된다.

Description

얼라인먼트 플랫폼 구조.{Alinement platform structure}
본 고안은 얼라인컨트 플랫폼에 관 한 것으로, 공작물의 X축 방향, Y축 방향의 수평이동 및 회전이동을 보정(補正) 할 수가 있는 얼라인먼트 플랫폼 구조에 관한 것이다.
도 10 및 도 11 에 도시된 바와 같이, 종래의 얼라인먼트 보정 플랫폼장치의 복수 조의 제 1의 수평이동회전유닛(80)은, 고정플랫폼(60)상에 설치된 구동유닛(81)과, 구동유닛(81)에 의해 X 방향에서 수평이동 가능한 제 1 의 수평이동부재(82)와, 제 1의 수평이동부재(82)에 수반하여 변위 되는 제 2의 수평이동부재(83)과, 제 2의 수평이동부재(83)에 수반하여 회전 가능한 회전유닛(90)을 각각 포함한다. 복 수조의 제 2의 수평이동 회전유닛(800)은, 고정 플랫폼(60)상에 설치된 구동유닛(81)과, 구동유닛(81)에 의해 Y축 방향으로 전위하는 제 1의 수평이동부재(82)와, 제 1의 수평이동부재(82)에 수반하여 변위되는 제 2의 수평이동부재(83)과 제 2의 수평이동부재(83)에 의해 변위되고, 회전이 가능한 회전유닛(90)을 각각 포함한다.측정스테이지(70)은 소정의 방식에 의해 복수의 제 1의 수평 이동회전 유닛(80)과, 제 2의 수평이동유닛(800)의 회전 유닛(90)에 고정되어, 구동유닛(81)이 구동되면 제 1의 수평이동회전 유닛(80) 및 제 2의 수평이동회전 유닛(800)을 통하여, 측정 스테이지 70이 X축 방향 또는 Y축 방향으로 변위 하거나, 소정방향으로 회전하거나 한다.
상술한 종래구조는 아래의 문제점이 존재하였다. 공작물을 장치하면, 측정 스테이지(70)과, 제 1의 수평이동회전 유닛(80) 및 제 2의 수평이동회전 유닛(800)의 위에 수직압력이 가해져서 직접 힘을 받기 때문에, 밀어내리는 힘을 분산 시킬 수가 없다. 그 때문에 공작물과 함께 측정 스테이지(70)을 이동시키기 위해서는, 구동 유닛(81)의 출력을 크게 할 필요가 있는데, 그러한 경우에, 제 1의 수평이동회전 유닛(80), 제 2의 수평이동회전 유닛(800) 및 구동유닛 (81)이 마모되어, 사용수명이 줄어들 우려가 있다.
본 고안의 목적은, 공작물을 보정 플랫폼에 위치하면, 공작물 및 보정 플랫폼의 중량이, 트랙에 의해서 회전 베이스 및 암부에 균등하게 분산되어, 수직의 힘이 직접 가해지는 것이 아니라, 옆으로 향하는 힘으로도 분산되기 때문에, 구동유닛의 구동장치에 가해지는 힘을 대폭 줄일 수가 있고, 구동장치의 힘을 키우지 않더라도, 보정 플랫폼 및 공작물을 원활하게 수평이동시키거나 회전시키거나 할 수가 있고, 이것에 의해서, 구동장치의 마모를 최소한 으로 억제하여 사용수명을 효과적으로 연장시킬 수가 있는 얼라인먼트 플랫폼 구조를 제공하는 것이다.
상기과제를 해결하기 위해서, 본 고안의 제 1의 형태에 의하면, 고정 플랫폼을 포함하는 얼라인먼트 플랫폼구조이고, 고정 플랫폼은, 위쪽 중앙부에 결합된 회전 베이스와, 측변부에 결합된 복수의 구동 유닛이 있고, 회전베이스의 위쪽에는, 수평이동장치를 통하여, 부하를 가하는 보정 플랫폼이 접속되며, 수평이동장치는, 수판, 복수의 접동부재 및 잠금 슬라이더를 포함하고, 구동유닛은, 수평방향의 힘을 발생시켜, 저판의 측부에 구동장치가 고정설치되고, 전기 구동장치에 의해 슬라이드 블록을 평행 이동시키며, 슬라이드 블록에는 구동장치가 설치되어 있지 않은 쪽의 단부에 암부가 연설되고, 암부의 측단하방에는 회전베이스가 결착되고, 회전베이스의 위쪽에는, 가이드 레일이 위치가 벗어나서 접속되며, 수판의 측부에는 접동부재가 각각 설치되고, 수판 및 접동부재가, 잠금 슬라이더와 보정플랫폼의 사이에 배치되어 있기 때문에, 접동부재의 연결에 의해서, 잠금 슬라이더와 보정 플랫폼의 위치가 벗어나서 수평이동하고, 보정 플랫폼의 각에서 트랙이 연신되며, 트랙의 하부에는, 트랙 홈이 형성되고, 트랙 홈에는, 구동유닛의 가이드 레일이 각각 감합되고, 구동유닛에 의해 보정 플랫폼이 구동되며, 고정 플랫폼이 부하를 직접 받아서, 구동 유닛에 의해 보정 플랫폼을 구동시키기 때문에, 이동장치의 플랫폼을 소형화 시키는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 플랫폼 구조가 제공된다.
회전 베이스는, 단차를 가진 원반이며, 복수의 전동체가 그 위에 결착되고, 전동체는 수평이동장치의 잠금 슬라이더의 저면에 밀착되도록 당접되며, 수평이동장치를 보정 플랫폼과 함께, 고정 플랫폼 상에서 변위시키는 것이다.
구동 장치는, 모터에 볼트 및 너트가 조합되어 구성되는 되며,
암부에는, 베어링을 통하여 회전 베이스가 결착된다.
보정 플랫폼에는, 3개의 트랙이 연설되고, 3 개의 트랙에는, 구동유닛이 조합된다.
보정 플랫폼에는, 4개의 트랙이 연설되고, 4 개의 트랙에는, 구동유닛이 조합되된다.
본 고안의 목적은 공작물을 보정 플랫폼에 위치하면, 공작물 및 보정 플랫폼의 중량이, 트랙에 의해서 회전베이스 및 암부에 균등하게 분산되어, 수직의 힘이 직접 가해지는 것이 아니라, 옆으로 향하는 힘으로도 분산되기 때문에, 구동유닛의 구동장치에 가해지는 힘을 대폭 줄일 수가 있고, 구동장치의 힘을 키우지 않더라도, 보정 플랫폼 및 공작물을 원활하게 수평 이동시키거나 회전시키거나 할 수가 있고, 이것에 의해서, 구동장치의 손모를 최소한으로 억제하여 사용수명을 효과적으로 연장시킬 수가 있는 얼라인먼트 플랫폼구조를 제공 하는데 있다.
본 고안은 얼라인먼트 플랫폼 구조는, 아래의 장점이 있다.
보정 플랫폼으로 공작물을 위치하면, 공작물 및 보정 플랫폼의 중량이, 트랙에 의해 회전 베이스 및 암부에 균등하게 분사되고, 수직의 힘이 직접 가해지지 않고, 옆을 향한 힘으로 분산되기 때문에, 구동 유닛의 구동장치에 가해지는 힘을대폭으로 줄일 수가 있다, 그 때문에 구동장치는 큰 힘을 출력하지 않아도 보정 플랫폼 및 공작물을 원활하게 수평 이동시키거나 회전시키거나 할 수가 있다. 그 때문에 구동장치의 마모를 최소한으로 억제하여 그 사용수명을 연장할 수 있다.
도 1 은 본 고안의 제 1 실시형태에 관한 얼라인먼트 플랫폼구조를 나타내는 사시도.
도 2 는 본 고안의 제 1 실시형태에 관한 얼라인먼트 플랫폼구조를 나타내는 분리 사시도.
도 3 은 본 고안의 제 1 실시형태에 관한 얼라인먼트 플랫폼구조를 나타내는 또하나의 분리 사시도.
도 4 는 본 고안의 제 1 실시형태에 관한 얼라인먼트 플랫폼구조를 나타내는 단면도.
도 5 는 본 고안의 제 1 실시형태에 관한 얼라인먼트 플랫폼구조를 나타내는 측면도.
도 6 은 본 고안의 제 1 실시형태에 관한 얼라인먼트 플랫폼구조를 나타내는 평면도.
도 7 은 본 고안의 제 1 실시형태에 관한 보정 플랫폼이 수평이동할 때의 평면도.
도 8 은 본 고안의 제 1 실시형태에 관한 보정 플랫폼이 회전할 때의 상태를 나타내는 평면도.
도 9 는 본 고안의 다른 실시형태에 관한 얼라인먼트 플랫폼구조를 나타내는 평면도.
도 10 은 종래기술의 얼라인먼트 보정 플랫폼장치를 나타내는 사시도.
도 11 은 종래기술의 얼라인먼트 보정 플랫폼장치를 나타내는 분해사시도
본 고안의 실시형태를 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1 ~ 도 6 에 도시한 바와 같이 본 고안의 제 1 실시형태에 관한 얼라이먼트 플랫폼 구조는, 고정 플랫폼(10)을 포함한다.
이 고정 플랫폼(10)은, 위 쪽 중앙부에 결합된 회전베이스(20)과, 측변부에 결합된 복수의 구동유닛(30)을 갖는다.
회전베이스(20)의 위 쪽에는, 측변부에 결합된 복수의 구동유닛(30)을 갖는다. 회전베이스(20)의 위 쪽에는, 수평이동장치(40)을 통하여, 부하를 제공하는 보정 플랫폼(50)이 접속된다.
수평이동장치(40)은, 수판(41), 복수의 접동부재(42) 및 잠금 슬라이더(43)을 포함한다.
회전베이스(20)은, 단차가 있는 원반이고, 복수의 전동체(21)이 그 위에 설치되어 있다. 이들 전동체(21)은, 수평이동장치(40)의 잠금 슬라이더(43)의 저면에 밀착되게 당접되고, 수평이동장치(40)을 보정 플랫폼(50)과 함께 고정 플랫폼(10)위에서 소정방향으로 변위하기 때문에, 구동유닛(30)에 의해서 수평이동 하는 힘이 발생한다.
저판(31)은 측부에 구동장치(32)가 설치된다. 이 구동장치(32)는 모터에 볼트와 너트를 사용함으로써 구동장치(32)를 구동시켜 슬라이드 블록(33)을 평행이동 시키고, 슬라이드 블록(33)에는, 구동장치(32)가 설치되어 있지 않은 측부에 암부(34)가 연설되며, 암부(34)의 측단 하방에는, 베어링(36)을 통하여 회전 베이스(35)가 설치되어 있다.
회전베이스(35)의 위쪽에는, 가이드 레일(37)이 위치가 벗어나도록 접속되며, 가이드 레일(37)과 회전 베이스(35)로 된 협각은 90 도이며 수판(41)의 측부에는 섭동부재(42)가 각각 설치 되어 있다. 섭동부재(42)는 슬라이드 레일 또는 리니어가이드이다.
수판(41) 및 접동부재(42)가, 잠금 슬라이더(43)과 보정 플랫폼(50)과의 사이에 배치되어, 섭동부재(42)가 연결되어 있기 때문에, 잠금 슬라이더(43)과 보정 플랫폼(50)의 위치가 벗어나서 수평이동하고, 보정 플랫폼(50)의 각에서 트랙(51)이 연신되며, 트랙(51)의 하부에는 트랙 홈(52)가 형성되어 있다.
각 트랙 홈(52)에는, 구동유닛(30)의 가이드 레일(37)이 감합되어, 구동유닛(30)에 의해 보정 플랫폼(50)을 구동시킬 수가 있다.
상술한 구성으로, 한쪽에만 배치된 구동장치(32) 또는 연부에 대칭적으로 배치된 구동장치(32)를 구동시키면, 가이드 페일(37)이 트랙 홈(52)를 섭동하여, 잠금 슬라이더(43)과 보정 플랫폼(50)과의 위치가 벗어나고, 보정 플랫폼(50)이 견인되어 단일방향에서 X축 방향 또는 Y축 방향에서 수평이동한다.(도 7 참조).
각 구동장치(32)가 동시에 움직이면, 회전베이스(35)가 회전하여, 수평이동장치(40)을 보정 플랫폼(50)과 함께 회전 베이스(20) 상에서 회전시킨다.(도 8 참조). 이것에 의해서 보정 플랫폼(50)상에 재치된 공작물을 복수의 방향에서 얼라인먼트 시켜 가공을 행한다.
보정 플랫폼(50)의 4 모퉁이로 부터 트랙(51)이 각각 연장되고, 고정 플랫폼(10)상의 구동 유닛(30)의 수가 4 개의 트랙(51)과 같아 지도록 설치되어 지고,(도 9참조).
비용을 줄이기 위해 구동유닛(30)의 수를 줄이고, 3 개의 트랙(51)과 3 개의 구동 유닛(30)을 짜 맞추어도 된다(도1 ~ 도8 참조).
당해분야의 기술을 숙지하는 자가 이해할 수 있도록, 본 고안의 적절한 실시형태를 전술과 같이 공개 했는데, 이것들은 결코 본 고안을 한정하는 것은 아니다. 본 고안의 취지와 영역을 일탈하지 않는 범위에서 각종의 변경이나 수정을 가할 수가 있다. 따라서, 본 고안의 실용신안등록청구의 범위는 이와 같은 변경이나 수정을 포함하여 넓게 해석되어야 한다.
10 고정 플랫폼 80 제 1 의 수평이동 회전 유닛
20 회전 베이스 81 섭동 유닛
30 구동 유닛 82 제 1의 수평이동부재
31 저판 83 제 2의 수평이동부재
32 구동장치 90 회전 유닛
33 슬라이드 블록 800 제 2의 수평이동 회전유닛
34 암부
35 회전 베이스
36 축 베이스
37 가이드 레일
40 수평 이동장치
41 수판
42 섭동부재
43 잠금 슬라이더
50 보정 플랫폼
51 트랙
52 트랙 홈
60 고정 플랫폼
70 측정 스테이지

Claims (6)

  1. 고정 플랫폼을 포함하는 얼라인먼트 플랫홈에 있어서.
    고정 플랫폼은, 위쪽 중앙부에 결합된 회전베이스와, 측변부에 결합된 복수의 구동유닛을 가지며,
    회전베이스의 위쪽에는 수평이동장치를 통하여, 부하를 가하는 보정 플랫폼이 접속되고, 수평이동장치는, 수판, 복수의 섭동부재 및 잠금 슬라이더를 포함하며, 구동유닛은 수평방향의 힘을 발생 시키고, 저판의 측부에 구동장치가 고정 설정되고, 구동장치에 의해서 슬라이드 블록을 평행이동시키고, 슬라이드 블록에는 구동장치가 설치되어 있지 않은 쪽의 단부에 암부가 연설되고, 암부의 측단 하방에는, 회전 베이스가 설치되며, 회전베이스의 위쪽에는, 가이드 레일이 위치가 어긋나 연결되며,수판의 측부에는, 섭동부재가 각각 설치되고, 수판 및 섭동동부재가, 잠금 슬라이더와 보정 플랫폼의 사이에 배치되어 있기 때문에, 접동부재의 연결에 의해서, 잠금 슬라이더와 보정 플랫폼과의 위치가 벗어나 수평이동하고, 보정플랫폼의 각에서 트랙이 연결되고, 트랙의 하부에는, 트랙 홈이 형성되고, 트랙 홈에는 구동유닛의 가이드레일이 각각 결합되고, 구동유닛에 의해서 보정 플랫폼이 구동되며, 고정 플랫폼이 부하를 직접 받아, 구동유닛에 의해서 보정 플랫폼을 구동시키기 때문에, 이동장치의 플랫폼을 소형화시키는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 플랫폼구조.
  2. 제 1 항에 있어서,
    회전 베이스는, 단차가 있는 원반이고, 복수의 전동체가 그 위에 설치되고, 전동체는, 수평이동장치의 잠금 슬라이더의 저면에 밀착되도록 당접되고, 수평이동장치를 보정 플랫폼과 함께, 고정 플랫폼에서 변위 시키는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 플랫폼구조.
  3. 제 1 항에 있어서,
    구동장치는, 모터에 볼트와 너트가 조합되어 구성되는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 플랫폼구조.
  4. 제 1 항에 있어서.
    암부에는, 베어링를 통하여 회전베이스가 설치되는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 플랫폼구조.
  5. 제 1 항에 있어서,
    보정 플랫폼에는, 3개의 트랙이 연설되고, 3개의 트랙에는 구동유닛이 조합되는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 플랫폼구조.
  6. 제 1 항에 있어서,
    보정 플랫폼에는, 4개의 트랙이 연설되고, 4개의 트랙에는, 구동유닛이 조합되는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 플랫폼구조.
KR2020120002223U 2012-03-20 2012-03-20 얼라인먼트 플랫폼 구조. KR200469098Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020120002223U KR200469098Y1 (ko) 2012-03-20 2012-03-20 얼라인먼트 플랫폼 구조.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020120002223U KR200469098Y1 (ko) 2012-03-20 2012-03-20 얼라인먼트 플랫폼 구조.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200469098Y1 true KR200469098Y1 (ko) 2013-09-23

Family

ID=51396761

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020120002223U KR200469098Y1 (ko) 2012-03-20 2012-03-20 얼라인먼트 플랫폼 구조.

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200469098Y1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101706106B1 (ko) * 2016-03-11 2017-02-13 주식회사 삼승엔지니어링 검사장비용 스테이지
US11305399B2 (en) * 2018-08-02 2022-04-19 Ebara Corporation Jig for a polishing apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09155666A (ja) * 1995-12-01 1997-06-17 Kazuya Hirose ステージの縦横移動旋回支持機構
JPH11245128A (ja) * 1998-02-26 1999-09-14 Thk Co Ltd ２軸平行・１軸旋回運動案内機構およびこれを用いた２軸平行・１軸旋回テーブル装置
JP2005148045A (ja) * 2003-06-03 2005-06-09 Fast:Kk ４軸ＸＹθテーブルとその制御方法
TW200832444A (en) * 2007-01-17 2008-08-01 Chiuan Yan Technology Co Ltd Four-drive alignment mechanism

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09155666A (ja) * 1995-12-01 1997-06-17 Kazuya Hirose ステージの縦横移動旋回支持機構
JPH11245128A (ja) * 1998-02-26 1999-09-14 Thk Co Ltd ２軸平行・１軸旋回運動案内機構およびこれを用いた２軸平行・１軸旋回テーブル装置
JP2005148045A (ja) * 2003-06-03 2005-06-09 Fast:Kk ４軸ＸＹθテーブルとその制御方法
TW200832444A (en) * 2007-01-17 2008-08-01 Chiuan Yan Technology Co Ltd Four-drive alignment mechanism

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101706106B1 (ko) * 2016-03-11 2017-02-13 주식회사 삼승엔지니어링 검사장비용 스테이지
US11305399B2 (en) * 2018-08-02 2022-04-19 Ebara Corporation Jig for a polishing apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102774781B (zh) 一种移动式反向自锁举升平台
CN205394043U (zh) 一种四自由度铣削夹具
CN110654160B (zh) 墙纸铺贴机器人的贴紧机构及墙纸铺贴机器人
CN102311060B (zh) 升降装置
CN103111827A (zh) 核电主泵拆装装置
CN201573964U (zh) 传送带支架
KR200469098Y1 (ko) 얼라인먼트 플랫폼 구조.
CN111055072B (zh) 一种顶升旋转机构及焊接设备
CN109911060A (zh) 一种移动机器人的通用底盘
CN201133554Y (zh) 一种微动精密转台机构
US10782209B2 (en) Tire uniformity testing machine and a load wheel carriage assembly for a tire uniformity machine
KR200465028Y1 (ko) 고부하 얼라인먼트 보정구동플랫폼장치
WO2024088126A1 (zh) 一种滑板导向旋转机构
CN105625288A (zh) 一种自升式平台的升降装置
CN103507397B (zh) 一种印刷机用网框升降装置
CN109613024B (zh) 运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法
JP4771859B2 (ja) 電機設備盤の組立作業用装置
CN104020788A (zh) 一种通过多自由度调整支撑装置实现精确找准目标方法
CN203781757U (zh) 大行程重型托盘升降机
CN108328333B (zh) 一种旋转工作台及面板检测装置
CN115365841A (zh) 一种倾斜角度可调的工作台
CN211254043U (zh) 长距离悬浮式环形链条机构
CN210310539U (zh) 可自动转向的车轮及agv设备
CA3117719C (en) Omniwheel track system and platform using the same
KR101698333B1 (ko) 고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170807

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180824

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190805

Year of fee payment: 7