KR200465028Y1 - 고부하 얼라인먼트 보정구동플랫폼장치 - Google Patents

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KR200465028Y1 KR2020110002616U KR20110002616U KR200465028Y1 KR 200465028 Y1 KR200465028 Y1 KR 200465028Y1 KR 2020110002616 U KR2020110002616 U KR 2020110002616U KR 20110002616 U KR20110002616 U KR 20110002616U KR 200465028 Y1 KR200465028 Y1 KR 200465028Y1
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Abstract

본 고안은 보정스테이지 위에 무거운 물건이 재치(載置)되어도 중앙부가 변형되지 않고 가공정도(加工精度)에 악영향을 미치게 하고 파손 되는것을 막는 고부하(高負荷) 얼라인먼트(alinment) 보정구동(補正驅動)플랫폼(platform)장치를 제공한다.
본 고안은 고정스테이지(10), 보정스테이지(20), 수동유닛(30) 및 능동유닛(40)을 갖추고 있다.
고정 스테이지(10)와 보정스테이지(20)과의 사이는 간격을 모두 평행으로 배치하고 수동유닛(30) 및 능동유닛(40)은 고정스테이지(10)와 보정스테이지(20)와의 사이에 소정의 방식으로 접속되어 있다.
능동유닛(40)은 지지대(31), 제일 슬라이드 블록(42) 및 제이 슬라이드 블록(43)이 적층으로 구성되어 있다.
제이 슬라이드 블록(43)이 적층으로 구성되어 있다.
제이 슬라이드 블록(43)의 꼭대기면에는 회전베이스(44)가 결착되어 있다.
지지대(31)는 고정스테이지(10)에 접속되어 있다.
회전베이스(44)는 보정스테이지(20)에 접속되어 있다.

Description

고부하 얼라인먼트 보정구동플랫폼장치 { high loading alignment of amendment moving platform system }
본 고안은 고부하 얼라인먼트(alignment)보정구동 플랫폼(platform)장치에 관한 것으로 가공물을 회전시켜 보정(補正)할 수가 있고 보정을 할때에 고부하(高負荷)를 견디어 낼수가 있는 고부하 얼라인먼트 보정구동 플랫폼 장치에 관한 것이다.
도 8 및 도 9 를 참조한다.
도 8 및 도 9 에 나타낸 바와 같이 종래의 얼라인먼트(alignment)보정장치(補正裝置)는 적어도 여러개의 제일 평행이동회전유닛(70)과 여러개의 제이 평행이동회전유닛(700) 및 측정 스테이지(60)으로 구성된다.
제일 평행이동회전유닛(70)은 고정 스테이지(50) 위에 취부된 구동 유닛(71)과 구동 유닛(71)의 구동에 의해 X축 방향으로 변위하는 제일 평행이동부재(72)와 제일 평행이동부재(72)와 같은 방향으로 또는 반대방향으로 변위하는 제이 평행이동부재(73)와 제이 평행이동부재(73)와 함께 변위 회전하는 회전유닛(80)을 가진다.
여러개의 제이 평행이동회전 유닛(700)은 고정스테이지(50) 위에 취부(取付)된 구동유닛(71)과 구동유닛(71)의 구동에 의해 Y축 방향으로 변위하는 제일 평행이동부재(72)와 제일 평행이동부재(72)와 같은 방향 또는 반대 방향으로 변위하는 제이 평행이동부재(73)와 제이 평행이동부재(73)와 같은 방향으로 변위 회전하는 회전유닛(80)을 가진다.
측정 스테이지(60)은 제일 평행이동회전유닛(70)과 제이 평행이동회전 유닛(700)의 회전유닛(80)의 위에 소정의 방식에 의해 고정되어 있다.
소정의 구동유닛(71)이 작동할때에 제일 평행이동회전유닛(70) 및 제이 평행이동회전유닛(700)의 내측에 적어도 하나를 사용한다.
제일 평행이동회전유닛(70)과 제이 평행이동유닛(700)을 협동(協動)하여 사용하고 측정스테이지(60)를 X축(軸) 방향 또는 Y축(軸)방향으로 변위시키고 소정의 방향으로 회전시킨다. 그렇지만 위에서 설명한 종래의 구조는 다음과 같은 결점이 있다.
{1} 측정 스테이지(60)의 하방중앙부가 제외 되어 지지 않고, 받는 압력에 대해 내력(耐力)이 적기 때문에 무거운 물건이 위에 올려지면 변형하고 정밀도에 악영향을 미치게 할 염려가 있다.
{2} 제일 평행이동부재(72), 제이 평행이동부재(73) 및 회전유닛(80)은 슬라이드 레일(slide rail) 또는 리니어 가이드(linear guide)만에 의해 서로 접속되어 있기 때문에 무거운 물건이 위에 올려지면 제일 평행이동회전유닛(70) 및 제이 평행이동회전유닛(700)이 하중(荷重)에 오래 견디지 못하고 슬라이드 레일(slide rail) 또는 리니어 가이드(linear guide)가 파손될 염려가 있다.
본 고안의 목적은 보정스테이지의 중앙부에 배치된 수동유닛에 버팀됨에 의해 보정스테이지 위에 무거운 물건이 올려저도 중앙부가 변형되지 않고 가공정도(加工精度)에 악영향을 미치게 하여 파손되는 것을 방지할 수 있는 고부하 얼라인 먼트 보정구동 플렛폼 장치를 제공하는 것에 있다.
본 고안의 다른 하나의 목적은 하중(荷重)플레이트 및 회전부재의 접촉면적(接觸面積)을 크게 함에 의해 받는 압력을 분산 시켜 약한 접동장치(摺動裝置)위에 무게가 집중되어도 파손 되는것을 방지할 수가 있는 고부하 얼라인먼트 보정구동 플랫폼장치를 제공 하는것에 있다.
본 고안은 이하 " 1 " 및 " 2 "의 장점이 있다
(1) 보정 스테이지(20)의 중앙부에 배치된 수동유닛(30)에 의해 버팀되기 때문에 보정스테이지(20) 위에 무거운 물건이 재치(載置)되어도 중앙부가 변형되지 않고 가공정도에 악 영향을 미치게 하여 파손 하는것을 방지 할수가 있다.
(2) 하중플레이트(36)(47) 및 회전부재(361)(471)는 접촉면적(接觸面積)이 커서 받는 힘을 분산 시킬수가 있기 때문에 강도(强度)가 높지 않아 접동장치 (35)(45)위에 하중이 집중되어 파손되는 것을 방지 할수가 있는것 이다.
도 1은 본 고안의 일 실시예를 표시한 사시도.
도 2는 본 고안의 일 실시예를 표시한 분해사시도.
도 3은 본 고안의 일 실시예의 수동유닛을 표시한 분해사시도.
도 4는 본 고안의 일 실시예의 능동유닛을 표시한 분해사시도.
도 5는 본 고안의 일 실시예를 표시한 단면도.
도 6은 본 고안의 일 실시예를 표시한 평면도.
도 7은 본 고안의 타 실시예를 표시한 평면도.
도 8은 종래의 고안을 표시한 사시도.
도 9는 종래의 고안을 표시한 분해사시도.
본 고안은 상기의 과제를 해결하기 위해 고안한 것으로 본 고안의 제일의 실시형태에 의하면
고정스테이지, 보정스테이지, 수동유닛 및 능동유닛을 갖추고 있는 고부하 얼라인먼트(alignment)보정구동 플렛폼(platform)장치에 있어서
고정스테이지 와 보정스테이지와는 간격을 평행으로 배치하고 고정스테이지의 중앙부에는 수동유닛을 고정하고 상기 수동유닛을 기준으로 사방향의 둘레에는 여러개의 능동유닛을 입설하고 고정스테이지와 보정스테이지의 사이에는 지지대와 제일 슬라이드 블록 및 제이 슬라이드 블록을 적층하여 구성하고, 제이 슬라이드 블록의 꼭대기면에 형성된 회전베이스는 보정 스테이지에 연결하고 하측의 지지대는 고정 스테이지에 고정하고, 능동유닛의 지지대와 제일 슬라이드블록 및 제이 슬라이드 블록의 사이 양측부에는 각각 접동장치를 장착하고 제일 슬라이드 블록의 단부에는 구동장치를 연결하고 능동유닛의 지지대, 제일 슬라이드 블록의 저면과 상면에는 여러개의 회전부재가 결착된 하중 플레이트를 각각 협설(俠設)하고, 하중플레이트 및 회전부재는 큰 접촉면적에 의해 받는 힘을 분산 시키고 접동장치에 무게가 집중하는 것을 방지 할수 있게 한 것이다.
또한 하중플레이트의 회전부재는 원주상인 것이 바람직하다.
또한 능동유닛은 수동유닛을 기준으로 하여 사방향으로 고정스테이지와 보정스테이지와의 사이의 둘레부에 입설되어 있는 것이 바람직하다.
또한 능동유닛은 구동장치를 생략하는 것이 바람직하다.
또한 수동유닛은 지지대, 제일 슬라이드 블록 및 제이 슬라이드 블록이 적층되어 구성되고 제이 슬라이드 블록의 꼭대기 면에는 회전베이스가 결착되고 지지대, 제일 슬라이드 블록 및 제이 슬라이드 블록의 두개의 측부가 접동장치에 의해 접속되어 있는것이 바람직하다.
또한 수동유닛의 지지대, 제일 슬라이드 블록, 제이 슬라이드 블록의 각각의 사이에는 하중 플레이트가 협설(俠設)되고 하중 플레이트에는 여러개의 회전부재가 결착되어 있는 것이 바람직하다.
이하 본 고안의 실시형태에 따라 상세히 설명한다.
도 1 ~ 도 6 을 참조한다.
도 1 ~ 도 6 에 표시된 바와 같이
본 고안은 적어도 간격을 모두 평행으로 배치한 고정 스테이지(10) 및 보정 스테이지(20)으로 구성되어진다.
고정스테이지(10)와 보정스테이지(20)와의 사이에는 수동유닛(30) 및 능동유닛(40)이 소정의 방식으로 접속되어 있다.
수동유닛(30)은 지지대(31), 제일 슬라이드 블록(32) 및 제이 슬라이드 블록(33)이 적층 되어 구성되어 있다.
제이 슬라이드 블록(33)의 꼭대기면에는 회전베이스(34)가 결착되어 있다.
지지대(31)는 고정스테이지(10)에 접속되고, 회전베이스(34)는 보정스테이지(20)에 접속되어 있다.
수동유닛(30)은 고정스테이지(10)과 보정스테이지(20)에 의해 틈에 끼워진 모양으로 중앙부에 입설 되어 있다.
지지대(31), 제일 슬라이드 블록(32) 및 제이 슬라이드 블록(33)의 두개의 측부는 슬라이드 레일(slide rail) 리니어 가이드(linear guide)등의 접동장치(35)에 접속되고 능동유닛(40)에 의해 견인되기 때문에 제일 슬라이드 블록(32) 및 제이 슬라이드 블록(33)이 X축 방향 또는 Y축 방향으로 변이(變移)되고 소정의 방향으로 회전하게 된다.
지지대(31), 제일 슬라이드 블록(32), 제이 슬라이드 블록(33)의 각각의 사이에는 하중플레이트(36)가 끼워저 설치되어 있다.
하중플레이트(36)위에는 여러개의 원주상(圓柱狀)을 이룬 회전부재(361)가 결착 되어 있다.
하중플레이트(36) 및 회전부재(361)는 큰 접촉 면적에 의해 받은 힘을 분산 시키고 접동장치(35) 위의 하중이 집중하는 것을 방지할 수가 있다.
능동유닛(40)은 지지대(41) 제일 슬라이드 블록(42) 및 제이 슬라이드 블록(43)의 적층에 의해 구성되어 있다.
제이 슬라이드 블록(43)의 꼭대기면 에는 회전베이스(44)가 결착되어 있다.
지지대(41)는 고정스테이지(10)에 접속되고 회전베이스(44)는 보정스테이지(20)에 접속되어 있다.
여러개의 능동유닛(40)은 고정스테이지(10)와 보정스테이지(20)와의 사이의 외주부(外周部)에 각각 입설(立設)되어 있다.
지지대(41), 제일 슬라이드블록(42) 및 제이 슬라이드블록(43)의 두개의 측부에는 슬라이드 레일(slide rail) 리니어 가이드(linear guide)등의 접동장치(45)에 의해 접속되어 있다.
제일 슬라이드 블록(42)의 단부에는 구동장치(46)가 배치되어 있다.
구동장치(46)는 모터(motor)이며 볼트와 너트에 의해 고정되고, 제일 슬라이드 블록(42) 및 제이 슬라이드 블록(43)을 구동하고 X축(軸)방향 또는 Y축(軸)방향으로 변이(變移)시키며 소정의 방향으로 회전 시킬수가 있다.
지지대(41), 제일 슬라이드블록(42), 제이 슬라이드블록(43)의 각각의 사이에는 하중플레이트(47)가 끼워저 설치 되어 있다.
하중 플레이트(47) 위에는 여러개의 원주상(圓柱狀)을 이룬 회전부재(471)가 결착되어 있다.
하중 플레이트(47) 및 회전부재(471)는 큰 접촉면적에 의해 받은 힘을 분산(分散)시킬수가 있기 때문에 접동장치(45) 위에 하중이 집중하는 것을 방지 할수가 있는것이다.
상술의 구조에 의해 대각선상(對角線上)에 배치된 두개의 능동유닛(40)의 구동장치(46)가 작동할 경우 수동유닛(30)과 나머지 두개의 능동유닛(40)의 제일 슬라이드 블록(32), (42)및 제이 슬라이드 블록(33), (43)이 구동되고, 다방향으로 접동함에 의해 보정스테이지(20)가 X축 또는 Y축의 동일방향으로 원활하게 변위 한다.
여러개의 능동유닛(40)의 내측의 하나의 구동장치(46)가 단독으로 작동하고 구동장치(46)을 끼워서 대각선상에 배치된 두개의 능동유닛(40)이 반대방향으로 작동할때에 보정 스테이지(20)가 각 회전 베이스(34), (44) 위에서 회전한다.
도 7 을 참조한다.
도 7 에 나타낸 바와 같이
본 고안의 타실시 형태에 의한 고부하 얼라인먼트(alignment) 보정구동 플렛폼(platform)장치는 코스트(cost)를 줄이기 위해 능동유닛(40)의 구동장치(46)를 생략하여도 좋다.
당해 분야의 기술을 숙지하는 것이 이해 될수 있도록 본 고안의 가장 적합한 실시형태를 전술한 바와 같이 개시하였으나 이것들은 결코 본 고안에 한정 되는것은 아니다.
본 고안의 취지와 영역을 벗어나지 않는 범위내에서 각종의 변경이나 수정을 가할 있다. 따라서 본 고안의 실용신안등록 청구의 범위는 이러한 변경이나 수정을 포함하여 넓게 해석되어야만 한다.
10 고정(固定)스테이지(stage)
20 보정(補正)스테이지(stage)
30 수동(受動)유닛(unit)
31 지지대(支持台)
32 제일 슬라이드 블록(slide block)
33 제이 슬라이드 블록(slide block)
34 회전베이스(base)
35 접동장치(摺動裝置)
36 하중(荷重)플레이트(plate)
40 능동(能動)유닛(unit)
41 지지대(支持台)
42 제일 슬라이드 블록(slide block)
43 제이 슬라이드 블록(slide block)
44 회전 베이스(base)
45 접동장치(摺動裝置)
46 구동장치(驅動裝置)
47 하중(荷重)플레이트(plate)
50 고정(固定)스테이지(stage)
60 측정(測定)스테이지(stage)
70 제일 평행이동회전유닛(unit)
71 구동(驅動)유닛(unit)
72 제일 평행이동부재
73 제이 평행이동부재
80 회전(回轉)유닛(unit)
361 회전부재(回轉部材)
471 회전부재(回轉部材)
700 제이 평행이동회전유닛(unit)

Claims (6)

  1. 고정스테이지, 보정스테이지, 수동유닛 및 능동유닛을 갖추고 있는 고부하 얼라인먼트(alignment) 보정구동 플렛폼(platform)장치에 있어서,
    고정스테이지 와 보정스테이지와는 간격을 평행으로 배치하고 고정스테이지의 중앙부에는 수동유닛을 고정하고 상기 수동유닛을 기준으로 사방향의 둘레부에는 여러개의 능동유닛을 입설하고 고정스테이지와 보정스테이지의 사이에는 지지대와 제일 슬라이드 블록 및 제이 슬라이드 블록을 적층하여 구성하고, 제이 슬라이드 블록의 꼭대기면에 형성된 회전베이스는 보정스테이지에 연결하고 하측의 지지대는 고정스테이지에 고정하고, 능동유닛의 지지대와 제일 슬라이드 블록, 및 제이 슬라이드 블록의 사이 양측부에는 각각 접동장치를 장착하고 제일 슬라이드 블록의 단부에는 구동장치를 연결하고, 능동유닛의 지지대, 제일 슬라이드 블록의 저면과 상면에는 여러개의 회전부재가 결착된 하중플레이트를 각각 협설(俠設)하고, 하중플레이트 및 회전부재는 큰 접촉면에 의해 받는 힘을 분산시키고 접동장치에 무게가 집중 하는것을 방지 할수 있게 하여서 됨을 특징으로 하는 고부하 얼라인먼트(alignment) 보정구동 플렛폼(platform)장치.



  2. 제 1 항에 있어서,
    하중플레이트의 회전부재는 원주상(圓柱狀)인 것을 특징으로 하는 고부하 얼라인먼트(alignment) 보정구동 플랫폼(platform)장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    능동유닛은 수동유닛을 기준으로 하여 사방향으로 고정스테이지와 보정스테이지와의 사이의 둘레부에 입설되어 있는것을 특징으로 하는 고부하 얼라인먼트(alignment) 보정구동 플랫폼(platform).

  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서
    수동유닛은 지지대, 제일 슬라이드 블록 및 제이 슬라이드 블록이 적층되어 구성되고 제이 슬라이드 블록의 꼭대기면에는 회전 베이스가 결착되고 지지대, 제일 슬라이드 블록 및 제이 슬라이드 블록의 두개의 측부가 접동장치에 의해 접속되어 있게 하여서 됨을 특징으로 하는 고부하 얼라인먼트(alignment) 보정구동 플랫폼(platform)장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    수동유닛의 지지대, 제일 슬라이드 블록, 제이 슬라이드 블록의 각각의 사이에는 하중플레이트가 협설(俠設)되고 하중플레이트에는 여러개의 회전부재가 결착되어 있는 것을 특징으로 하는 고부하 얼라인먼트(alignment) 보정구동 플랫폼(platform)장치.
KR2020110002616U 2011-03-29 2011-03-29 고부하 얼라인먼트 보정구동플랫폼장치 KR200465028Y1 (ko)

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