JPH01240246A - テーブルの縦横移動機構 - Google Patents
テーブルの縦横移動機構Info
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- JPH01240246A JPH01240246A JP63067558A JP6755888A JPH01240246A JP H01240246 A JPH01240246 A JP H01240246A JP 63067558 A JP63067558 A JP 63067558A JP 6755888 A JP6755888 A JP 6755888A JP H01240246 A JPH01240246 A JP H01240246A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S248/00—Supports
- Y10S248/913—Two axis article engaging means, e.g. x - y device
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は精密測定器具、精密加Ｉ１Ｍ械、ＩＣ製造やバ
イオテクノロジー等に於ける顕微鏡下の作業等に使用す
る縦横移動テーブル、即らＸＹ移動テーブルに於けるテ
ーブルの縦横移動機構に関するものである。
イオテクノロジー等に於ける顕微鏡下の作業等に使用す
る縦横移動テーブル、即らＸＹ移動テーブルに於けるテ
ーブルの縦横移動機構に関するものである。
（従来の技術およびその問題点）
従来のＸＹ移動テーブルに於いては、左右の一対の直動
案内軸受と一つの送りねじ機構により一方向に移動可能
に構成した一軸移動機構の２組を、その移動方向が直交
するように上下に重ねて組合せることによりテーブルを
縦横に移動可能に構成している。
案内軸受と一つの送りねじ機構により一方向に移動可能
に構成した一軸移動機構の２組を、その移動方向が直交
するように上下に重ねて組合せることによりテーブルを
縦横に移動可能に構成している。
かかる構成では、支持台からテーブルまでの高さが高く
、比較的不安定であると共に機構の占有スペースが大き
く、また部品点数が多いという点、組立工数がかかると
いう点、そして組立精度を確保するのが比較的離しいと
いう点等の、種々の問題点がある。
、比較的不安定であると共に機構の占有スペースが大き
く、また部品点数が多いという点、組立工数がかかると
いう点、そして組立精度を確保するのが比較的離しいと
いう点等の、種々の問題点がある。
本発明は、かかる従来の問題点を解決することを目的と
するものである。
するものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明の構成を実施例に対応する第１図へ・第５図に基
づいて説明すると、 まず第１項記載の発明は、 テーブル１の適所に、互いに直交する平行な２組の案内
面２ （２ａ、２ａ’ ：２ｂ、２ｂ’ ）を構成す
ると共に、支持台３に、夫々の前記案内面２に対向させ
た直交する２組の平行な案内面４（４ａ、４ａ’ ；
４ｂ、４ｂ’ ）を構成する２組の支持部材５ （５ａ
、５ａｌ ；５ｂ、５ｂ’ ）を設け、前記テーブル
１を前記案内面２．４に構成した２組の平行な直動案内
軸受機構６ （６ａ。
づいて説明すると、 まず第１項記載の発明は、 テーブル１の適所に、互いに直交する平行な２組の案内
面２ （２ａ、２ａ’ ：２ｂ、２ｂ’ ）を構成す
ると共に、支持台３に、夫々の前記案内面２に対向させ
た直交する２組の平行な案内面４（４ａ、４ａ’ ；
４ｂ、４ｂ’ ）を構成する２組の支持部材５ （５ａ
、５ａｌ ；５ｂ、５ｂ’ ）を設け、前記テーブル
１を前記案内面２．４に構成した２組の平行な直動案内
軸受機構６ （６ａ。
６ａ’ ：６ｂ、６ｂ’ ）を介して前記支持部材５
により前記支持台３に縦横方向に移動可能に支持する構
成とし、夫々の紺の前記支持部材５ａ。
により前記支持台３に縦横方向に移動可能に支持する構
成とし、夫々の紺の前記支持部材５ａ。
５ｂに対応して、前記テーブル１を、一方の組の前記軸
受機構６ａ、６ｂを介して他方の組の該軸受機構５ｂ、
５ａに沿って移動させる駆動機構７ａ、７ｂを構成した
ものである。
受機構６ａ、６ｂを介して他方の組の該軸受機構５ｂ、
５ａに沿って移動させる駆動機構７ａ、７ｂを構成した
ものである。
また第２項記載の発明は、
第１項記載の縦横移動機構に於いて、テーブル１の対向
する案内面２に対して傾斜させた案内面８ （８ａ、８
ａ’ ：８ｂ、８ｂ’ ）を有する第２の支持部材９
（９ａ、９ａ’ ：９ｂ、９ｂ’ ）を支持台３
に設けると共に、夫々の案内面２．８に平行な案内面４
．１０（１０ａ、１０ａ’ ：１０ｂ、１０ｂ’ ）
を両側に構成した横状支持部材５を前記テーブル１と第
２の支持部材９の案内面２．８間に、該第２の支持部材
９の案内面８に沿って移動可能に介装し、夫々の案内面
２，４；８．１０に直動案内軸受Ｉ！ＮＭ６ ： １１
（１１ａ。
する案内面２に対して傾斜させた案内面８ （８ａ、８
ａ’ ：８ｂ、８ｂ’ ）を有する第２の支持部材９
（９ａ、９ａ’ ：９ｂ、９ｂ’ ）を支持台３
に設けると共に、夫々の案内面２．８に平行な案内面４
．１０（１０ａ、１０ａ’ ：１０ｂ、１０ｂ’ ）
を両側に構成した横状支持部材５を前記テーブル１と第
２の支持部材９の案内面２．８間に、該第２の支持部材
９の案内面８に沿って移動可能に介装し、夫々の案内面
２，４；８．１０に直動案内軸受Ｉ！ＮＭ６ ： １１
（１１ａ。
１１ａ’ ：１１ｂ、１１ｂ’ ）を構成すると共に
、前記楔状支持部材５の移動手段１２ （１２ａ。
、前記楔状支持部材５の移動手段１２ （１２ａ。
１２ｂ）を支持台に設けて駆動機構７ａ、７ｂを構成し
たものである。
たものである。
また第３項記載の発明は、
第１項記載の縦横移動機構に於いて、支持部材５を偏心
カム機構により駆動可能に支持台３に設ジノで、駆動ｖ
ＭＭ４７を構成したものである。
カム機構により駆動可能に支持台３に設ジノで、駆動ｖ
ＭＭ４７を構成したものである。
また第４項記載の発明は、
第１項、第２項または第３項記載の縦横移動機構に於い
て、夫々の組の支持部材５ （５ａ。
て、夫々の組の支持部材５ （５ａ。
５ａ’ ：５ｂ、５ｂ’ ）の両方に対応して駆動機
構７ａ、７ｂを構成したものである。
構７ａ、７ｂを構成したものである。
また第５項記載の発明は、
第１項、第２項または第３項記載の縦横移動機構に於い
て、夫々の組の支持部材の一方５ａ。
て、夫々の組の支持部材の一方５ａ。
５ｂに駆動機構７ａ、７ｂを構成すると共に、他方の支
持部材５ ａｌ 、 ５ ｂ＋ は、ばね１３ａ。
持部材５ ａｌ 、 ５ ｂ＋ は、ばね１３ａ。
１３ｂの付勢によりテーブル１の案内面２ａ′。
２ｂ’方向に付勢する構成としたものである。
次に第６項記載の発明は、
テーブル１を軸受１４を介して支持台３上に縦横方向に
移動可能に支持し、該テーブル１の適所に、互いに直交
する平行な２組の案内面２を構成すると共に、夫々の案
内面２を、その案内方向に移動可能に当接支持する案内
部材１５（１５ａ。
移動可能に支持し、該テーブル１の適所に、互いに直交
する平行な２組の案内面２を構成すると共に、夫々の案
内面２を、その案内方向に移動可能に当接支持する案内
部材１５（１５ａ。
１５ａ’ ： １５ｂ、１５ｂ’ ）を前記支持台３
に設け、該案内部材１５を、対応する案内面２の直交方
向に移動させる駆動機構１６（１６ａ、１６ｂ）を構成
したものである。
に設け、該案内部材１５を、対応する案内面２の直交方
向に移動させる駆動機構１６（１６ａ、１６ｂ）を構成
したものである。
また第７項記載の発明は、
第６項記載の縦横移動機構に於いて、テーブル１の対向
する案内面２に対して傾斜させた案内面１７ （１７ａ
、 １７ｂ）を構成した第２の案内部材１８ （１８ａ
、１８ｂ）を支持台３に設りると共に、該案内面間２．
１７に、夫々の案内面２゜１７に平行な案内面１９ （
１９ａ、１９ｂ）；２０ （２０ａ、２０ｂ）を両面に
構成した楔状案内部材１５を、前記第２の案内部材１８
の案内面１７に沿って移動自在に介装し、該楔状案内部
材１５の移動手段１２を支持台３に設けて駆動機構１６
を構成したものである。
する案内面２に対して傾斜させた案内面１７ （１７ａ
、 １７ｂ）を構成した第２の案内部材１８ （１８ａ
、１８ｂ）を支持台３に設りると共に、該案内面間２．
１７に、夫々の案内面２゜１７に平行な案内面１９ （
１９ａ、１９ｂ）；２０ （２０ａ、２０ｂ）を両面に
構成した楔状案内部材１５を、前記第２の案内部材１８
の案内面１７に沿って移動自在に介装し、該楔状案内部
材１５の移動手段１２を支持台３に設けて駆動機構１６
を構成したものである。
また第８項記載の発明は、
第６項記載の縦横移動機構に於いて、案内部材１５を偏
心カム機構により駆動可能に支持台３に設けて、テーブ
ルの駆動機構１６を構成したものである。
心カム機構により駆動可能に支持台３に設けて、テーブ
ルの駆動機構１６を構成したものである。
また第９項記載の発明は、
第６項、第７項または第８項記載の縦横移動機構に於い
て、夫々の組の案内部０１５ （１５ａ。
て、夫々の組の案内部０１５ （１５ａ。
１５ａ’ ： １５ｂ、１５ｂ’ ）（７）両方に対
応して駆動機＃１ｉ１６ａ、１６ｂを構成したものであ
る。
応して駆動機＃１ｉ１６ａ、１６ｂを構成したものであ
る。
また第１０項記載の発明は、
第６項、第７項または第８項記載の縦横移動機構に於い
て、夫々の組の案内部材の−・方１５ａ。
て、夫々の組の案内部材の−・方１５ａ。
１５ｂに駆動機構１６ａ、１６ｂを構成すると共に、他
方の案内部材１５ａ’ 、１５ｂ’ は、ばね１３ａ’
、１３ｂ’の付勢によりテーブル１の案内面２ａ’
、２ｂ’方向に付勢する構成としたも−９＝ のである。
方の案内部材１５ａ’ 、１５ｂ’ は、ばね１３ａ’
、１３ｂ’の付勢によりテーブル１の案内面２ａ’
、２ｂ’方向に付勢する構成としたも−９＝ のである。
（作用及び実施例）
本発明の作用を、まず第１項、第２項及び第４項記載の
発明に対応する実施例を表わした第１図、第２図につき
説明する。
発明に対応する実施例を表わした第１図、第２図につき
説明する。
第１図の構成に於いて、まず−ｈの電動機２１ａを駆動
してねじ軸２２ａを回転し、このねじ軸２２ａに螺合す
る雌ねじ部（図示省略）により楔状支持部材５ａを第２
の支持部材９ａ側の案内面８ａに沿って図中下方に移動
すると、連結部材２’３ａにより第２図（ａ）に破線で
示すように左右側の楔状支持部材５ａ＋５８’共にテー
ブル１側の案内面４ａ、４ａ’が右方向に移動して、該
案内面４８が案内面２ａを介してテーブル１を押動する
ので、テーブル１は上下側の楔状支持部材５ｂ、５ｂ’
との直動案内軸受機構６ｂ、６ｂ’の案内面４ｂ、４
ｂ’ に沿って図中右方向に移動する。前述したように
、案内面４ ａ ＋ は案内面４ａと連動するのでテー
ブル１の移動を阻害することはない。
してねじ軸２２ａを回転し、このねじ軸２２ａに螺合す
る雌ねじ部（図示省略）により楔状支持部材５ａを第２
の支持部材９ａ側の案内面８ａに沿って図中下方に移動
すると、連結部材２’３ａにより第２図（ａ）に破線で
示すように左右側の楔状支持部材５ａ＋５８’共にテー
ブル１側の案内面４ａ、４ａ’が右方向に移動して、該
案内面４８が案内面２ａを介してテーブル１を押動する
ので、テーブル１は上下側の楔状支持部材５ｂ、５ｂ’
との直動案内軸受機構６ｂ、６ｂ’の案内面４ｂ、４
ｂ’ に沿って図中右方向に移動する。前述したように
、案内面４ ａ ＋ は案内面４ａと連動するのでテー
ブル１の移動を阻害することはない。
以上と逆に、ねじ軸２２ａを逆転して前記楔状支持部材
５ａを図中上方に移動すると、前述と逆の動作、即ち案
内面／Ｉａ′がテーブル１を左方向に押動することＧこ
よりテーブル１を左方向に移動させることができる、。
５ａを図中上方に移動すると、前述と逆の動作、即ち案
内面／Ｉａ′がテーブル１を左方向に押動することＧこ
よりテーブル１を左方向に移動させることができる、。
次に、他方の電動１１２１ｂを駆動してねじ軸２２ｂを
回転し、図中上側の横状支持部＋３’ ５ ｂを第２の
支持部材９ｂ側の案内面８ｂに沿って図中右方向に移動
すると、連結部材２３ｂにより第２図（ｂ）に破線で示
すように上下側の楔状支持部材５ｂ、５ｂ’共に、それ
らのテーブル１側の案内面ａｂ、＝＊ｂ’ が」一方向
に移動するので゛、テーブル１は左右側の横状支持部Ｕ
５ａ、５ａ’ との直動案内軸受機構６ａ、 ６ａ’
の案内面４ａ。
回転し、図中上側の横状支持部＋３’ ５ ｂを第２の
支持部材９ｂ側の案内面８ｂに沿って図中右方向に移動
すると、連結部材２３ｂにより第２図（ｂ）に破線で示
すように上下側の楔状支持部材５ｂ、５ｂ’共に、それ
らのテーブル１側の案内面ａｂ、＝＊ｂ’ が」一方向
に移動するので゛、テーブル１は左右側の横状支持部Ｕ
５ａ、５ａ’ との直動案内軸受機構６ａ、 ６ａ’
の案内面４ａ。
４ａ’ に沿って図中上方向に移動する。
逆にねじｉｌ！ｌｌ＋ ２２ ｂを逆転して楔状支持部
材５ｂを図中左方に移動すると、前）ホと逆の動作によ
りテーブル１を下方向に移動させることができる。
材５ｂを図中左方に移動すると、前）ホと逆の動作によ
りテーブル１を下方向に移動させることができる。
このようにして、本発明は図中左右側または上下側のい
ずれかの組の楔状支持部材５を、それらの第２の支持部
ＪＡＱ側の案内面８に沿って移動手段１２により移動し
、直動案内軸受機構６を介して、駆動することにより、
テーブル１を、他の組の楔状支持部材５どの間に構成し
た直動案内ｑＩ受機構６による案内方向に移動させるこ
とかでき、夫々の組の直動案内軸受機構６は相互に干渉
しない、１かくして本発明はいずれかの紺の楔状支持部
材５の駆動により、テーブル１を縦方向または横方向に
移動させることかでき、またこれらの組を同前に駆動し
て所望方向に移動さぜることもでき、これらの動作によ
りテーブル１を所望位「１にもたらずことができる。
ずれかの組の楔状支持部材５を、それらの第２の支持部
ＪＡＱ側の案内面８に沿って移動手段１２により移動し
、直動案内軸受機構６を介して、駆動することにより、
テーブル１を、他の組の楔状支持部材５どの間に構成し
た直動案内ｑＩ受機構６による案内方向に移動させるこ
とかでき、夫々の組の直動案内軸受機構６は相互に干渉
しない、１かくして本発明はいずれかの紺の楔状支持部
材５の駆動により、テーブル１を縦方向または横方向に
移動させることかでき、またこれらの組を同前に駆動し
て所望方向に移動さぜることもでき、これらの動作によ
りテーブル１を所望位「１にもたらずことができる。
次に第１項、第３項及び第５項記載の発明に対応する実
施例を表わした第３図につき名田を説明する１゜ 即ち、第３図の構成に於いて、図（ａ）中左側の偏心ノ
Ｊム２４ａの軸２５ａを、゛王動機（図示省略）に連な
るベルト２６ａ等により図中実線矢印に示すように反時
ｉｔ回りに回動すると、左側の支持部材５８の案内面４
ａが右方向に移動するので、テ−プル１は上下側の支持
部ＩＵ５ｂ、５ｂ’ との直動案内軸受機構６ｂ、６ｂ
’ の案内面４ｂ。
施例を表わした第３図につき名田を説明する１゜ 即ち、第３図の構成に於いて、図（ａ）中左側の偏心ノ
Ｊム２４ａの軸２５ａを、゛王動機（図示省略）に連な
るベルト２６ａ等により図中実線矢印に示すように反時
ｉｔ回りに回動すると、左側の支持部材５８の案内面４
ａが右方向に移動するので、テ−プル１は上下側の支持
部ＩＵ５ｂ、５ｂ’ との直動案内軸受機構６ｂ、６ｂ
’ の案内面４ｂ。
４ｂ’ に沿って図中右方向に移動する。この際、右側
の支持部材５ａ’ｌ；Ｌ、ばね１３ａの付勢に抗して、
支持台３との軸受２７に沿って移動でる１゜以上と逆に
、図中左側の偏心カム２ ／１． ａの１２５ａをｌｌ
；！ｌ訓回りに回動すると、左側の支持部材５８の案内
面４ａが左方向に移動するので、テーブル１は右側の支
持部＋３５８ ’ を介してばね１３ａの刊勢により押
されて」７下側の支持部材５ ｂ。
の支持部材５ａ’ｌ；Ｌ、ばね１３ａの付勢に抗して、
支持台３との軸受２７に沿って移動でる１゜以上と逆に
、図中左側の偏心カム２ ／１． ａの１２５ａをｌｌ
；！ｌ訓回りに回動すると、左側の支持部材５８の案内
面４ａが左方向に移動するので、テーブル１は右側の支
持部＋３５８ ’ を介してばね１３ａの刊勢により押
されて」７下側の支持部材５ ｂ。
５ｂ’ との直動案内軸受機ＩＭ６ｂ、６ｂ’の案内面
４ｂ、／１ｂ’ に沿って左方向に移動刃る。
４ｂ、／１ｂ’ に沿って左方向に移動刃る。
次に図中上側の偏心カム２４ ｂの軸２５ｂを図中破線
矢印で示すように反時計回りに回動すると、上側の支持
部＋ｉｒ ５ ｂの案内面４ｂが■方向に移動するので
、テーブル１は左右側の支持部材５８゜５ ａ ＋ と
の直動案内軸受機構６ａ、６ａ’の案内面４ａ、４ａ’
に沿って図中下方向に移動する。
矢印で示すように反時計回りに回動すると、上側の支持
部＋ｉｒ ５ ｂの案内面４ｂが■方向に移動するので
、テーブル１は左右側の支持部材５８゜５ ａ ＋ と
の直動案内軸受機構６ａ、６ａ’の案内面４ａ、４ａ’
に沿って図中下方向に移動する。
この際、下側の支持部′）ＩＡ５ｂ′はほね１３ｂのイ
］勢に抗し、支持台３との軸受（図示省略）に沿って移
動する１、上述と逆に図中上側の偏心カム２４ｂの軸２
５ｂを時計回りに回動すると、上側の支持部Ｎ’ ５
ｂの案内面４ｂが上方向に移動するので、テーブル１５
ま下側の支持部材５ｂ′を介してばね１３ｂのイ・」勢
により押されて左右側の支持部材５ａ、５ａ’ の直動
案内軸受機構６ａ、 ６ａ’ の案内面４ａ、４ａ’
に沿って図中上方向に移ｖＪ′７１る。
］勢に抗し、支持台３との軸受（図示省略）に沿って移
動する１、上述と逆に図中上側の偏心カム２４ｂの軸２
５ｂを時計回りに回動すると、上側の支持部Ｎ’ ５
ｂの案内面４ｂが上方向に移動するので、テーブル１５
ま下側の支持部材５ｂ′を介してばね１３ｂのイ・」勢
により押されて左右側の支持部材５ａ、５ａ’ の直動
案内軸受機構６ａ、 ６ａ’ の案内面４ａ、４ａ’
に沿って図中上方向に移ｖＪ′７１る。
このようにして、本発明は図中左右側または上手側のい
ずれかの組の支持部材５の一万を偏心カム機構により駆
動し、他方はばね１３のイづ勢によりテーブル１の案内
面２１ノ向に刊勢することにより、テーブル１を他の組
の支持部材５との間に構成した直動案内軸受機構６によ
り相互に干渉することなく案内方向に移動さぜることが
Ｃぎ、従っていずれかの組の支持部材５の駆動によりテ
ーブル１を縦方向または横方向に、そして両方の組の支
持部材５の駆動により所望方向に移動させることができ
、以ってテーブル１を所望位置にもたらすことができる
。
ずれかの組の支持部材５の一万を偏心カム機構により駆
動し、他方はばね１３のイづ勢によりテーブル１の案内
面２１ノ向に刊勢することにより、テーブル１を他の組
の支持部材５との間に構成した直動案内軸受機構６によ
り相互に干渉することなく案内方向に移動さぜることが
Ｃぎ、従っていずれかの組の支持部材５の駆動によりテ
ーブル１を縦方向または横方向に、そして両方の組の支
持部材５の駆動により所望方向に移動させることができ
、以ってテーブル１を所望位置にもたらすことができる
。
以上説明した通り、第１図、第２図の実施例では、駆動
機１−７は楔状支持部材５を移動手段１２にＪ：り移動
させる機構とし、該駆動機構７を夫々の組の支持部４７
Ｉ５の両方にス・］応して構成しているが、該駆動機構
７は、第３図の実施例のように偏心ＪＪム２／ｌを用い
た構成とする智、適宜の機構を適用することができる。
機１−７は楔状支持部材５を移動手段１２にＪ：り移動
させる機構とし、該駆動機構７を夫々の組の支持部４７
Ｉ５の両方にス・］応して構成しているが、該駆動機構
７は、第３図の実施例のように偏心ＪＪム２／ｌを用い
た構成とする智、適宜の機構を適用することができる。
また第１図、第２図の実施例では、夫々の組の両方の支
持部Ｕ’ ５ ａ 。
持部Ｕ’ ５ ａ 。
５ａ’ ；５ｂ、５ｂ’ を連結部Ｕ２３ａ、２３ｂ
により連結して連動可能とすると共に、一方の支持部材
５ａ、５ｂにねじ軸２２ａ、２２ｂを用いた移動手段１
２ａ、１２ｂを描成し、この移動手段１２ａ、１２ｂに
Ｊ：り連結部＋ａ２３ａ、２３ｂを介して両方の支持部
材５ａ、５ａ’ ；５ｂ。
により連結して連動可能とすると共に、一方の支持部材
５ａ、５ｂにねじ軸２２ａ、２２ｂを用いた移動手段１
２ａ、１２ｂを描成し、この移動手段１２ａ、１２ｂに
Ｊ：り連結部＋ａ２３ａ、２３ｂを介して両方の支持部
材５ａ、５ａ’ ；５ｂ。
５ｂ′を移動させるように構成しているが、かかる移動
手段１２ａ、１２ｂは両方の支持部材５ａ。
手段１２ａ、１２ｂは両方の支持部材５ａ。
５ａ、’ ；５ｂ、５ｂ’ に設けて、これを連動覆
るように構成しても良いし、また移動手段１２ａ。
るように構成しても良いし、また移動手段１２ａ。
１２ｂも、前述の他油圧、空気圧シリンダ等、適宜のも
のを適用することができる。
のを適用することができる。
また、第３図の実施例では、夫々の組の支持部材の一方
５ａ、５ｂに駆動機構７ａ、７ｂを構成するど共に、他
方の支持部材５ａ’ 、５ｂ’ は、ばね１３ａ、１３
ｂによりテーブル１０案内面２ ａ＋ 、 ２ ｂｒ
方向に付勢する構成としており、該駆動機構７ａ、７ｂ
は偏心カム機構としているが、この他の前述したように
、楔状支持部材とその移動手段により構成する等、適宜
の機構を適用することができる。尚、以Ｆの発明に於（
）る直動案内軸受機構６は、テーブル１を、その案内面
２に沿って移動可能どし、そしてテーブル１の荷重を受
ける機構であれば、ボール軸受、ローラー軸受またはす
べり軸受等、適宜である。例えば第１図、第３図に示す
実施例は、ローラー３５を交互に軸方向を直交させて保
持部材３６に保持し、これらのローラー３５を前記案内
面２．４に形成した案内溝３７に係合させて構成する直
動案内軸受機構、いわゆるクロスローラーウェイ機構を
適用したものである。
５ａ、５ｂに駆動機構７ａ、７ｂを構成するど共に、他
方の支持部材５ａ’ 、５ｂ’ は、ばね１３ａ、１３
ｂによりテーブル１０案内面２ ａ＋ 、 ２ ｂｒ
方向に付勢する構成としており、該駆動機構７ａ、７ｂ
は偏心カム機構としているが、この他の前述したように
、楔状支持部材とその移動手段により構成する等、適宜
の機構を適用することができる。尚、以Ｆの発明に於（
）る直動案内軸受機構６は、テーブル１を、その案内面
２に沿って移動可能どし、そしてテーブル１の荷重を受
ける機構であれば、ボール軸受、ローラー軸受またはす
べり軸受等、適宜である。例えば第１図、第３図に示す
実施例は、ローラー３５を交互に軸方向を直交させて保
持部材３６に保持し、これらのローラー３５を前記案内
面２．４に形成した案内溝３７に係合させて構成する直
動案内軸受機構、いわゆるクロスローラーウェイ機構を
適用したものである。
以上の発明は、テーブル１を直動案内軸受機構６を介し
て支持部材５により、支持台３に縦横方向に移動可能に
支持づる構成であるが、次に説明する発明はテーブル１
を、縦横方向に移動可能な軸受１４を介して支持台３上
に支持刃るものである。かかる構成に於いては、テーブ
ル１の適所に構成した、互いに直交する平行な２組の案
内面２ａ、２ａ’ ；２ｂ、２ｂ’ に対応して、夫
々の該案内面２を、その案内り向に移動可能に当接支持
する案内部Ｕ１５ａ、１５ａ’ ；１５ｂ。
て支持部材５により、支持台３に縦横方向に移動可能に
支持づる構成であるが、次に説明する発明はテーブル１
を、縦横方向に移動可能な軸受１４を介して支持台３上
に支持刃るものである。かかる構成に於いては、テーブ
ル１の適所に構成した、互いに直交する平行な２組の案
内面２ａ、２ａ’ ；２ｂ、２ｂ’ に対応して、夫
々の該案内面２を、その案内り向に移動可能に当接支持
する案内部Ｕ１５ａ、１５ａ’ ；１５ｂ。
１５ｂ′を前記支持台３に設け、かかる案内部々Ａ１５
を前述した発明に於ける支持部材５と同様に駆動機構１
６により駆動することにより、テーブル１を縦方向また
は横方向あるいは所望方向に移動させることができる。
を前述した発明に於ける支持部材５と同様に駆動機構１
６により駆動することにより、テーブル１を縦方向また
は横方向あるいは所望方向に移動させることができる。
第４図の実施例に於いては、案内部材の一方１５ａ、１
５ｂは、ねじ軸２２を用いた移動手段１２により移動可
能に構成した楔状の構成とし、これをテーブル１の案内
面２ａ、２ｂと、これに傾斜した第２の案内部材１８ａ
、１８ｂの案内面１７ａ、１７ｂ間に移動させることに
より、前述した発明に於ける楔状支持部祠５と同様な動
作にＪ−りテーブル１を移動させることができる。尚、
他方の案内部材１ Ｊ ａ ’ ＋１５ｂ′は、ばね１
３ａ’ １３ｂ’ の付勢により移動さゼるものであ
る。また第５図の構成に於いては案内部材１５ａは偏心
カム機構によりテーブル１を移動するもので、かかる機
構の動作も前述した発明に於ける支持部材５の動作と同
様である。但し、この発明に於いては、テーブル１の荷
重は軸受１４によって支持するので、案内部材１５はテ
ーブル１を縦、横１ノ向に移動させ１７る構成であれば
良く、第４図の構成の場合にはこの案内部材１５の案内
面１９ａ、１９ａ’ ：１９ｂ。
５ｂは、ねじ軸２２を用いた移動手段１２により移動可
能に構成した楔状の構成とし、これをテーブル１の案内
面２ａ、２ｂと、これに傾斜した第２の案内部材１８ａ
、１８ｂの案内面１７ａ、１７ｂ間に移動させることに
より、前述した発明に於ける楔状支持部祠５と同様な動
作にＪ−りテーブル１を移動させることができる。尚、
他方の案内部材１ Ｊ ａ ’ ＋１５ｂ′は、ばね１
３ａ’ １３ｂ’ の付勢により移動さゼるものであ
る。また第５図の構成に於いては案内部材１５ａは偏心
カム機構によりテーブル１を移動するもので、かかる機
構の動作も前述した発明に於ける支持部材５の動作と同
様である。但し、この発明に於いては、テーブル１の荷
重は軸受１４によって支持するので、案内部材１５はテ
ーブル１を縦、横１ノ向に移動させ１７る構成であれば
良く、第４図の構成の場合にはこの案内部材１５の案内
面１９ａ、１９ａ’ ：１９ｂ。
１９′とテーブル１の案内面２ａ、 ２ａ’ ；２ｂ
。
。
２ｂ’ 間智に適宜の保持機構によりローラー２８を介
在している。また前述した発明と同様、案内部材１５並
びに駆動機構１６は適宜の構成を適用することができる
。。
在している。また前述した発明と同様、案内部材１５並
びに駆動機構１６は適宜の構成を適用することができる
。。
次に、本発明に於ける軸受１４は、テーブル１を縦横方
向に移動可能に支持し得る構成であれば、ボール軸受や
流体軸受等の適宜の軸受を適用する− １８ ＝ ことができる。第４図、第５図に示す実施例は、テーブ
ル１の下側に下向支持面２つと上面支持面２９′ とを
有する支持部材３０を設（プると共に、支持台３上に夫
々の支持面２９．２９’ に対応する下向支持面３１、
下向支持面３１′を有する支持部材３２を突設し、夫々
の対応する支持面２９゜３０’ ；３０．間に、ボー
ル３３を保持部材３４に保持した構成のボール軸受１４
を介装した構成であり、かかる構成ではテーブル１の上
下方向の移動を防止して確実な支持を行うことができる
。
向に移動可能に支持し得る構成であれば、ボール軸受や
流体軸受等の適宜の軸受を適用する− １８ ＝ ことができる。第４図、第５図に示す実施例は、テーブ
ル１の下側に下向支持面２つと上面支持面２９′ とを
有する支持部材３０を設（プると共に、支持台３上に夫
々の支持面２９．２９’ に対応する下向支持面３１、
下向支持面３１′を有する支持部材３２を突設し、夫々
の対応する支持面２９゜３０’ ；３０．間に、ボー
ル３３を保持部材３４に保持した構成のボール軸受１４
を介装した構成であり、かかる構成ではテーブル１の上
下方向の移動を防止して確実な支持を行うことができる
。
尚、以上の全発明に於いて、互いに直交する平行な２組
の案内面２を構成するテーブル１０個所は、前述した通
り適所で良く、例えばテーブル１の下側に支持部材３０
を突設して構成１）たり、テーブル１自体の周縁に案内
面２を構成する等、適宜である。
の案内面２を構成するテーブル１０個所は、前述した通
り適所で良く、例えばテーブル１の下側に支持部材３０
を突設して構成１）たり、テーブル１自体の周縁に案内
面２を構成する等、適宜である。
（発明の効果）
本発明は以上の通り、まず、テーブルを案内方向が直交
する２組の直動案内軸受機構を介して支持台に支持する
と共に、該支持台に、前記テープルを、一方の組の前記
軸受機構を介して他方の組の該軸受機構に沿って移動さ
せる駆動機構を構成したので、これら２組の直動案内軸
受機構を同一平面上に構成しても、夫々相互に干渉する
ことがなく、こうしてこれら２組の直動案内軸受機構を
、上下に重ねて組合せる必要がないので、支持台からテ
ーブルまでの高さを低くすることができ、従ってテーブ
ルを安定して縦横に移動させることができると共に、機
構の占有スペースが小さく、また部品点数が少なく、組
立工数もかからず、組立精度の確保も容易であるという
数々の効果がある。
する２組の直動案内軸受機構を介して支持台に支持する
と共に、該支持台に、前記テープルを、一方の組の前記
軸受機構を介して他方の組の該軸受機構に沿って移動さ
せる駆動機構を構成したので、これら２組の直動案内軸
受機構を同一平面上に構成しても、夫々相互に干渉する
ことがなく、こうしてこれら２組の直動案内軸受機構を
、上下に重ねて組合せる必要がないので、支持台からテ
ーブルまでの高さを低くすることができ、従ってテーブ
ルを安定して縦横に移動させることができると共に、機
構の占有スペースが小さく、また部品点数が少なく、組
立工数もかからず、組立精度の確保も容易であるという
数々の効果がある。
また他の発明は、テーブルを縦横方向に移動可能に軸受
により支持台上に支持すると共に、該テーブルに構成し
た互いに直交する平行な２組の案内面に対応して案内部
材を設け、該案内部材を介してテーブルに移動力を与え
る構成としたので、やはり前述の発明と同様に、支持台
からテーブルまでの高さを低くすることができ、テーブ
ルを安定して縦横に移動さゼることかできると共に、機
構の占有スペースが小さく、また部品点数が少なく、＝
２０− 組立Ｔ数もかからず、組立精度の確保も容易であるとい
う数々の効果がある。
により支持台上に支持すると共に、該テーブルに構成し
た互いに直交する平行な２組の案内面に対応して案内部
材を設け、該案内部材を介してテーブルに移動力を与え
る構成としたので、やはり前述の発明と同様に、支持台
からテーブルまでの高さを低くすることができ、テーブ
ルを安定して縦横に移動さゼることかできると共に、機
構の占有スペースが小さく、また部品点数が少なく、＝
２０− 組立Ｔ数もかからず、組立精度の確保も容易であるとい
う数々の効果がある。
全図とも本発明の実施例に対応するものＣ１第１図（ａ
）は全体構成の説明的平面図、（ｂ）は（ａ）のｘ−Ｘ
線説明的断面図、第２図（ａ） 、（ｂ）は動作を説明
するための説明的平面図、第３図（ａ）は仙の構成の模
式的平面図、（１））は（ａ）のＹ−Ｙ線説明的断面図
、第４図（ａ）は、更に他の構成の説明的平面図、（ｂ
）は（ａ）の７−７線説明的断面図、第５図は他の構成
の要部の説明的断面図である。 符号１・・・テーブル、２．４．８．１０．１７．１９
．２０・・・案内面、３・・・支持台、５・・・（楔状
）支持部材、６，１１・・・直動案内軸受機構、７゜１
６・・・駆動機構、９・・・第２の支持部材、１２・・
・移動手段、１３．１３’・・・ばね、１４・・・（ボ
ール）軸受、１５・・・（楔状）案内部材、１８・・・
第２の案内部材、２１・・・電動機、２２・・・ねじ軸
、２３・・・連結部材、２４・・・偏心カム、２５・・
・軸、２６・・・ベルト、２７・・・軸受、２８・・・
ローラー、２９．３１’・・・下向支持面、２９’ ３
１・・・上向支持面、３０゜３２・・・支持部材、３３
・・・ボール、３４・・・保持部材、３５・・・ローラ
ー、３６・・・保持部材、３７・・・案内面。
）は全体構成の説明的平面図、（ｂ）は（ａ）のｘ−Ｘ
線説明的断面図、第２図（ａ） 、（ｂ）は動作を説明
するための説明的平面図、第３図（ａ）は仙の構成の模
式的平面図、（１））は（ａ）のＹ−Ｙ線説明的断面図
、第４図（ａ）は、更に他の構成の説明的平面図、（ｂ
）は（ａ）の７−７線説明的断面図、第５図は他の構成
の要部の説明的断面図である。 符号１・・・テーブル、２．４．８．１０．１７．１９
．２０・・・案内面、３・・・支持台、５・・・（楔状
）支持部材、６，１１・・・直動案内軸受機構、７゜１
６・・・駆動機構、９・・・第２の支持部材、１２・・
・移動手段、１３．１３’・・・ばね、１４・・・（ボ
ール）軸受、１５・・・（楔状）案内部材、１８・・・
第２の案内部材、２１・・・電動機、２２・・・ねじ軸
、２３・・・連結部材、２４・・・偏心カム、２５・・
・軸、２６・・・ベルト、２７・・・軸受、２８・・・
ローラー、２９．３１’・・・下向支持面、２９’ ３
１・・・上向支持面、３０゜３２・・・支持部材、３３
・・・ボール、３４・・・保持部材、３５・・・ローラ
ー、３６・・・保持部材、３７・・・案内面。
Claims (9)
- （１）テーブルの適所に、互いに直交する平行な２組の
案内面を構成すると共に、支持台に、夫々の前記案内面
に対向させた直交する２組の平行な案内面を構成する２
組の支持部材を設け、前記テーブルを前記案内面に構成
した２組の平行な直動案内軸受機構を介して前記支持部
材により、前記支持台に縦横方向に移動可能に支持する
構成とし、夫々の組の前記支持部材に対応して、前記テ
ーブルを、一方の組の前記軸受機構を介して他方の組の
該軸受機構に沿って移動させる駆動機構を構成したこと
を特徴とするテーブルの縦横移動機構 - （２）第１項記載の縦横移動機構に於いて、テーブルの
対向する案内面に対して傾斜させた案内面を有する第２
の支持部材を支持台に設けると共に、夫々の案内面に平
行な案内面を両側に構成した楔状支持部材を前記テーブ
ルと第２の支持部材の案内面間に、該第２の支持部の案
内面に沿つて移動可能に介装し、夫々の案内面に直動案
内軸受機構を構成すると共に、前記楔状支持部材の移動
手段を支持台に設けて駆動機構を構成したことを特徴と
するテーブルの縦横移動機構 - （３）第１項記載の縦横移動機構に於いて、支持部材を
偏心カム機構により駆動可能に支持台に設けて、駆動機
構を構成したことを特徴とするテーブルの縦横移動機構 - （４）第１項、第２項または第３項記載の縦横移動機構
に於いて、夫々の組の支持部材の両方に対応して駆動機
構を構成したことを特徴とするテーブルの縦横移動機構 - （５）第１項、第２項または第３項記載の縦横移動機構
に於いて、夫々の組の支持部材の一方に駆動機構を構成
すると共に、他方の支持部材は、ばねによりテーブルの
案内面方向に付勢する構成としたことを特徴とするテー
ブルの縦横移動機構 - （６）テーブルを軸受を介して支持台上に縦横方向に移
動可能に支持し、該テーブルの適所に、互いに直交する
平行な２組の案内面を構成すると共に、夫々の案内面を
、その案内方向に移動可能に当接支持する案内部材を前
記支持台に設け、該案内部材を、対応する案内面の直交
方向に移動させる駆動機構を構成したことを特徴とする
テーブルの縦横移動機構 - （７）第６項記載の縦横移動機構に於いて、テーブルの
対向する案内面に対して傾斜した案内面を構成した第２
の案内部材を支持台に設けると共に、該案内面間に、夫
々の案内面に平行な案内面を両側に構成した楔状案内部
材を、前記第２の案内部材の案内面に沿つて移動自在に
介装し、該楔状案内部材の移動手段を支持台に設けて駆
動機構を構成したことを特徴とするテーブルの縦横移動
機構 - （８）第６項記載の縦横移動機構に於いて、案内部材を
偏心カム機構により駆動可能に支持台に設けて、駆動機
構を構成したことを特徴とするテーブルの縦横移動機構 - （９）第６項、第７項または第８項記載の縦横移動機構
に於いて、夫々の組の案内部材の両方に対応してテーブ
ルの駆動機構を構成したことを特徴とするテーブルの縦
横移動機構（１０）第６項、第７項または第８項記載の
縦横移動機構に於いて、夫々の組の案内部材の一方にテ
ーブルの駆動機構を構成すると共に、他方の案内部材は
、ばねによりテーブルの案内面方向に付勢する構成とし
たことを特徴とするテーブルの縦横移動機構
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63067558A JPH01240246A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | テーブルの縦横移動機構 |
| US07/326,032 US4993673A (en) | 1988-03-22 | 1989-03-20 | Mechanism for moving a table in orthogonal directions |
| DE3909293A DE3909293C2 (de) | 1988-03-22 | 1989-03-21 | Längs- und Quer-Tischführungsmechanismus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63067558A JPH01240246A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | テーブルの縦横移動機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01240246A true JPH01240246A (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=13348413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63067558A Pending JPH01240246A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | テーブルの縦横移動機構 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4993673A (ja) |
| JP (1) | JPH01240246A (ja) |
| DE (1) | DE3909293C2 (ja) |
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- 1989-03-21 DE DE3909293A patent/DE3909293C2/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3909293A1 (de) | 1989-10-26 |
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| US4993673A (en) | 1991-02-19 |
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