DE3909293C2 - Längs- und Quer-Tischführungsmechanismus - Google Patents

Längs- und Quer-Tischführungsmechanismus

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Description

Die Erfindung betrifft einen Längs- und Quer-Tischführungs­ mechanismus einer X-Y-Verstellvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 oder 2, wie sie für Präzisionsmeßinstrumente, Präzisionsmaschinen, für Arbei­ ten unter einem Mikroskop bei der Herstellung von inte­ grierten Schaltkreisen bzw. ICs oder in der Biotechnologie und dgl. verwendet wird.
Bei einem herkömmlichen X-Y-Verschiebe- oder -Achsentisch sind zwei jeweils längs einer Achse verschiebbare Mecha­ nismen vorgesehen, die jeweils aus zwei Gerad- oder Linear- Leitlagern und einem Vorschubschraubspindel­ mechanismus zur Ermöglichung einer Verschiebung in jeweils einer Richtung bestehen. Diese Mechanismen überlappen sich dabei mit zueinander senkrechten Verschiebungsrichtungen, so daß der Tisch sowohl in Längs- als auch in Querrich­ tung verschiebbar ist.
Nachteilig an dieser Konstruktion ist, daß die Höhe vom tragenden Sockel zum Tisch so groß ist, daß die Anordnung vergleichsweise instabil wird und einen großen Raum ein­ nimmt, die Zahl der Einzelteile groß ist, die Montage bzw. der Zusammenbau einen großen Zeitaufwand bedingt, eine hohe Montagegenauigkeit schwierig sicherzustellen ist usw..
Ein gattungsgemäßer Längs- und Quer-Tischführungsmechanismus ist aus der US 32 70 423 bekannt, wobei bei diesem bekannten Mechanismus ein Tisch über Lager auf einem Sockel in Längs-, Quer- und Drehrichtung geführt gelagert ist. Die Längs- und Querbewegung des Tisches ist über an zueinander senkrechten Paaren paralleler Leitflächen anliegende Leitelemente steuerbar, während die Drehbewegung von einem Antriebsmotor über eine Kette und eine mehrere Zahnräder aufweisende Getriebeanordnung auf den Tisch übertragen wird, wodurch die gesamte Anordnung eine relative größe Bauhöhe aufweist.
Eine Parallelogrammführung für die Höhenverstellung eines Objekttisches ist aus der US 30 10 363 bekannt, wobei der Tisch zusätzlich zur Vermeidung von Verschiebungen in Längs- und Querrichtung aufgrund der parallelogrammartigen Vertikalbewegung mehrere Stopper aufweist, die über Federn in Anlage an zueinander senkrechte Seitenflächen des Tisches gebracht werden und über eine Keilverstellung verstellbar sind.
Ein Verschiebetisch gemäß der US 44 08 830 ist über Keilsegmente, die mittels Schrauben gegen schräge Seitenflächen einer beweglich gelagerten Platte gedrückt werden, in Längs- und Querrichtungen verstellbar.
Die DE 28 00 340 A1 offenbart eine Einstellvorrichtung für optische Messungen, bei dem die Last des Verschiebetisches über Linear-Leitlagermechanismen von an einer Grundplatte befestigten Tragelementen aufgenommen wird, während der Tisch über eine Mikrometerschrauben/-spindelvorrichtung linear bewegbar ist.
Weitere Verschiebetische unterschiedlicher Ausgestaltung der Führungen sind schließlich auch noch aus der US 37 44 902 und der US 41 93 317 bekannt.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Längs- und Quer-Tischführungsmechanismus einer X-Y- Verstellvorrichtung bereitzustellen, der bei Gewährleistung dieser Bewegungsmöglichkeiten einen vergleichsweise einfachen Aufbau mit geringer Teilezahl und eine geringe Bauhöhe besitzt.
Diese Aufgabe wird durch einen Längs- und Quer- Tischführungsmechanismus mit den Merkmalen des Anspruchs 1 oder 2 gelöst.
Mit der Erfindung werden die folgenden Wirkungen erzielt: Da der Tisch auf einem tragenden Sockel über zwei Linear- Lagermechanismen mit zueinander senkrechten Führungs­ richtungen geführt ist und Antriebsmechanismen zum Ver­ schieben des Tisches über ein Paar der Lagermechanismen längs des anderen Paars derselben vorgesehen sind, behindern die beiden Paare der Linear-Leitlagermechanismen einander auch dann nicht, wenn sie in derselben Ebene angeordnet sind; es ist dabei nicht nötig, die beiden Lagermechanismen einander überlappen zu lassen bzw. zueinander zu versetzen. Mit der Erfindung wird daher die genannte Aufgabe voll und ganz gelöst.
Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Er­ findung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1(a) eine Aufsicht auf einen Längs- und Quer-Tisch­ führungsmechanismus gemäß einer Ausführungs­ form,
Fig. 1(b) einen Schnitt längs der Linie X-X in Fig. 1(a),
Fig. 2(a) und 2(b) schematische Aufsichten zur Verdeut­ lichung der Arbeitsweise,
Fig. 3(a) eine Aufsicht auf eine andere Ausführungsform,
Fig. 3(b) einen teilweise weggebrochenen Schnitt längs der Linie Y-Y in Fig. 3(a),
Die Ausführungsform gemäß den Fig. 1(a) und 1(b) umfaßt zwei an zweckmäßigen Stellen an einem Tisch 1 vorgesehene, zueinander senkrechte Paare von parallelen Leitflächen 2 (2a, 2a'; 2b, 2b') und zwei auf einem (tra­ genden) Sockel 3 vorgesehene Paare von ersten Tragelementen 5 (5a, 5a'; 5b, 5b') mit je zwei zueinander senkrechten, parallelen Leitflächen (4a, 4a'; 4b, 4b'), die den be­ treffenden Leitflächen 2 zugewandt sind. Der Tisch 1 ist auf dem Sockel 3 durch die ersten Tragelemente 5 über paarweise angeordnete erste parallele Linear-Leitlagermecha­ nismen 6 (6a, 6a'; 6b, 6b'), die an den Leitflächen 2 und 4 vorgesehen sind, in Längs- und Querrichtung verschieb­ bar geführt. Antriebsmechanismen 7a und 7b dienen zum Verschieben des Tisches 1 längs des einen Paars von Linear-Leitla­ germechanismen 6b und 6a über das andere Paar von Linear-Leitlager­ mechanismen 6a und 6b entsprechend den jeweiligen Paaren von Tragelementen 5a und 5b.
Am Sockel 3 sind ferner (z. B. gemäß den Fig. 2(a) und 2(b)) zweite Tragelemente 9 (9a, 9a'; 9b, 9b') mit zu den gegenüberstehenden Leitflächen 2 des Tisches 1 schrägge­ stellten Leitflächen 8 (8a, 8a'; 8b, 8b') vor­ gesehen. Keilförmige Tragelemente 5 mit beidseitigen, parallel zu den betreffenden Leitflächen 2 und 8 verlau­ fenden Leitflächen 4 und 10 (10a, 10a'; 10b, 10b') sind längs der Leitflächen 8 der zweiten Tragele­ mente 9 verschiebbar zwischen den Leitflächen 2 und 8 des Tisches 1 und den zweiten Tragelementen 9 angeordnet. An den jeweiligen Leitflächen 2 und 4 sind Linear-Leit­ lagermechanismen 6 und 11 (11a, 11a'; 11b, 11b') vorge­ sehen. Auf dem Sockel (3) befinden sich die Antriebsme­ chanismen 7a und 7b darstellende Verschiebeeinrichtungen 12 (12a, 12a'; 12b, 12b') für die keilförmigen Tragele­ mente 5.
Bei der Ausführungsform nach den Fig. 3(a) und 3(b) sind die Tragelemente 5 auf dem Sockel 3 mittels exzentrischer oder Exzenter-Nockenmechanismen, welche die Antriebsme­ chanismen 7 bilden, verschiebbar.
In anderer Ausgestaltung sind Antriebsme­ chanismen für jeweils beide Tragelemente 5 (5a, 5a'; 5b, 5b') der betreffenden Paare vorgesehen.
In weiterer Ausgestaltung sind die jeweiligen Tragelemente 5a und 5b der betreffenden Paare mit den Antriebsmecha­ nismen 7a und 7b versehen, während die anderen Tragele­ mente 5a' und 5b' durch Federn 13a bzw. 13b gegen die Leitflächen 2a' und 2b' des Tisches 1 angedrückt werden.
Die Arbeits- oder Wirkungsweise der einen Ausführungsform ist nachstehend anhand der Fig. 1 und 2 erläutert.
Bei der Anordnung nach Fig. 1 wird ein Motor 21a ange­ steuert, um eine Schraubspindel 22a in Drehung zu ver­ setzen, wobei das keilförmige erste Tragelement 5a über einen mit der Schraubspindel 22a in Eingriff stehenden, nicht dargestellten Innengewindeteil längs der Leitfläche 8a des zweiten Tragelements 9a, abwärts verschoben wird (Fig. 1(a)). Dabei werden die Leitflächen 4a und 4a' zu­ sammen mit den keilförmigen ersten Tragelementen 5a, 5a' über ein Verbindungselement 23a auf die in Fig. 2(a) in strichpunktierten Linien angedeutete Weise nach rechts verschoben, während die Leitfläche 4a den Tisch 1 beauf­ schlagt und über die Leitfläche 2a verschiebt. Dabei wird der Tisch 1 gemäß Fig. 2(a) nach rechts verschoben, und zwar längs der Leitflächen 4b, 4b' der ersten Linear-Leit­ lagermechanismen 6b, 6b', die mit den keilförmigen ersten Trag­ elementen 5b, 5b' an Ober- bzw. Unterseite von Fig. 2(a) in Eingriff stehen. Da die Leitfläche 4a' - wie erwähnt - mit der Leitfläche 4a gekoppelt oder verblockt ist, wird die Verschiebung des Tisches 1 hierdurch nicht behindert.
Wenn die Schraubspindel 22a in entgegengesetzter Richtung gedreht wird, um das keilförmige erste Tragelement 5a gemäß z. B. Fig. 2(a) aufwärts zu verschieben, laufen den be­ schriebenen Vorgängen entgegengesetzte Vorgänge ab. Dies bedeutet, daß die Leitfläche 4a' den Tisch 1 beaufschlagt und nach links verschiebt.
Wenn der andere Motor 21b zum Drehen der betreffenden Schraubspindel 22b angesteuert wird, wird das obere keil­ förmige erste Tragelement 5b gemäß Fig. 1(a) oder 2(a) nach rechts längs der Leitfläche 8b des zweiten Tragelements 9b verschoben, wobei die Leitflächen 4b und 4b' des Tisches 1 durch das betreffende Verbindungselement 23b zu­ sammen mit den ober- und unterseitigen keilförmigen ersten Trag­ elementen 5b, 5b' aufwärts bewegt werden (vgl. strich­ punktierte Linien in Fig. 2(b)). Infolgedessen wird der Tisch 1 längs der Leitflächen 4a, 4a' der ersten Linear-Leit­ lagermechanismen 6a, 6a', die mit den keilförmigen ersten Trag­ elementen 5a, 5a' auf beiden Seiten in Eingriff stehen, aufwärts verschoben (Fig. 1(a) und 2(a)).
Bei der Drehung der Schraubspindel 22b in Gegenrichtung, um das keilförmige erste Tragelement 5 nach links zu verschie­ ben, wird der Tisch 1 in der entgegengesetzten Richtung, d. h. nach unten verschoben.
Auf die beschriebene Weise kann jedes Paar der keilför­ migen ersten Tragelemente 5 an Ober- und Unterseite (Fig. 1(a) und 2(a)) durch die Verschiebeeinrichtung 12 längs der Leitflächen 8 der zweiten Tragelemente 9 verschoben wer­ den, um den Tisch 1 über die ersten Linear-Leitlagermechanismen 6, die mit dem (jeweiligen) anderen Paar der keilförmigen ersten Trag­ elemente 5 in Eingriff bzw. Lagerführungsverbindung stehen, in der Führungsrichtung dieser ersten Linear-Leitlagermechanis­ men 6 zu verschieben, wobei die jeweiligen Paare der letzteren einander nicht behindern. Der Tisch 1 kann so­ mit durch Verschieben eines Paars der ersten keilförmigen Trag­ elemente 5 in Längs- oder Querrichtung verschoben werden; zudem können beide ersten Tragelementpaare 5 auch gleichzeitig betätigt oder angesteuert, d. h. verschoben wer­ den, um den Tisch 1 in jeder gewünschten Richtung in eine gewünschte Stellung zu verschieben.
Die Wirkungsweise der anderen Ausführungsform ist nachstehend anhand der Fig. 3(a) und 3(b) beschrieben.
Wenn bei der Anordnung nach Fig. 3 die Wellen 25a der lin­ ken (Fig. 3(a)) (exzentrischen) Nocken 24a durch mit einem nicht dargestellten Motor verbundene Riemen 26a usw. ent­ gegen dem Uhrzeigersinn (ausgezogene Pfeile) verdreht wer­ den, verschiebt sich die Leitfläche 4a des linken Tragele­ ments 5a nach rechts. Der Tisch 1 wird dabei längs der Leitflächen der (im folgenden einfach als Lagermechanismen bezeichneten) Linear-Leitlagermechanismen 6b, 6b', die mit ober- bzw. unterseitigen Tragelementen 5b, 5b' ver­ bunden sind, nach rechts verschoben (strichpunktierte Linien in Fig. 3(a)). Dabei wird das rechte Tragelement 5a' gegen die Kraft von Federn 13 längs eines mit dem Sockel 3 verbundenen Lagermechanismus 27 ver­ schoben.
Wenn dagegen die Wellen 25a der Nocken 24a an der linken Seite im Uhrzeigersinn verdreht werden, wird die Leit­ fläche 4a des linken Tragelements 5a nach links ver­ schoben; dabei drückt das rechte Tragelement 5a' unter der Kraft der Federn 13a gegen den Tisch 1 an, so daß dieser längs der Leitflächen 4b, 4b' der Lagermechanismen 6b, 6b', die mit ober- bzw. unterseitigen Tragelementen 5b, 5b' verbunden sind, nach links verschoben wird.
Wenn die Wellen 25b von oberseitigen Nocken 24b entgegen dem Uhrzeigersinn verdreht werden, wird die Leitfläche 4b des oberen Tragelements 5b nach unten verschoben (Fig. 3(a)), so daß der Tisch 1 längs der Leitflächen 4a, 4a' der Lagermechanismen 6a, 6a', die mit den beider­ seitigen Tragelementen 5a, 5a' verbunden sind oder in Eingriff stehen, nach unten verschoben wird. Dabei wird das untere Tragelement 5b' gegen die Kraft der Federn 13b längs eines nicht dargestellten, mit dem Sockel 3 verbun­ denen Lagermechanismus verschoben. Wenn die Wellen 25b der oberen Nocken 24b im Uhrzeigersinn verdreht werden (strichpunktierte Linien in Fig. 3(a)), verschiebt sich die Leitfläche 4b des oberen Tragelements 5b aufwärts, wobei der Tisch 1 über das untere Tragelement 5b' mit der Kraft der Federn 13b beaufschlagt und längs der Leitflächen 4a, 4a' der Lagermechanismen 6a, 6a', die mit den beiderseitigen Tragelementen 5a, 5a' verbunden sind, aufwärts verschoben wird.
Wenn bei der beschriebenen Ausführungsform eines der bei­ derseitigen Tragelemente 5 und eines der oberen und un­ teren Tragelemente 5 mittels der betreffenden Nockenme­ chanismen betätigt wird, während die beiden jeweils an­ deren Tragelemente 5 durch die zugeordneten Federn an die Leitflächen 2 des Tisches 1 angedrückt werden, kann der Tisch 1 über die mit den jeweils anderen beiden Trag­ elementen 5 verbundenen Lagermechanismen 6 ohne gegensei­ tige Behinderung in Richtung der betreffenden Leitflächen verschoben werden. Durch Betätigung oder Verschiebung eines der Paare von Tragelementen 5 kann damit der Tisch 1 in der gewünschten Längs- oder Querrichtung verschoben werden; wenn beide Paare von Tragelementen 5 betätigt werden, kann der Tisch 1 in einer beliebigen gewünschten Richtung in eine vorgesehene Stellung bewegt werden.
Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 und 2 sind somit die Antriebsmechanismen 7 als Verschiebeeinrichtungen 12 zum Bewegen der jeweiligen keilförmigen Tragelemente 5 entsprechend zweien der Tragelemente 5 jedes betreffenden Paars vorgesehen. Die Antriebsmechanismen 7 können je­ doch z. B. auch durch die (exzentrischen) Nocken 24 (vgl. Fig. 3) gebildet sein. Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 und 2 sind weiterhin die beiden Tragelemente 5a, 5a' und 5b, 5b' der jeweiligen Paare durch die Verbin­ dungselemente 23a bzw. 23b für gekoppelte bzw. gemeinsame Bewegung verbunden sowie die Trag­ elemente 5a und 5b mit den Schraubspindeln 22a bzw. 22b der verwendenden Verschiebeeinrichtungen 12a bzw. 12b verbunden sind, so daß die beiden Tragelemente 5a, 5a' und 5b, 5b' der betreffenden Paare über die Ver­ bindungselemente 23a bzw. 23b durch die (zugeordneten) Verschiebeeinrichtungen 12a bzw. 12b verschiebbar sind. Weiterhin können die Verschiebe­ einrichtungen 12a, 12b auch durch hydraulische oder pneu­ matische Zylinder o. dgl. gebildet sein.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 3 ist je ein Tragelement 5a, 5b des betreffenden Paars mit einem Antriebsmechanis­ mus 7a bzw. 7b versehen, während die anderen Tragelemente 5a', 5b' durch Federn 13a bzw. 13b an die Leitflächen 2a' bzw. 2b' des Tisches 1 angedrückt werden. Hierbei sind die Antriebsmechanismen 7a, 7b als Exzenter-Nocken­ mechanismen ausgeführt; sie können jedoch auch aus den beschriebenen keilförmigen Tragelementen mit deren Ver­ schiebeeinrichtungen oder aus geeigneten anderen Einrich­ tungen bestehen. Die genannten ersten Lagermechanismen 6 können Kugel-, Rollen- oder Gleitlager oder auch geeignete an­ dere Einrichtungen sein, sofern diese die Verschiebung des Tisches 2 längs der Leitflächen gestatten und die Last oder Belastung des Tisches 1 aufzunehmen vermögen. Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 und 3 sind z. B. durch Halteelemente oder Käfige 36 gehaltene Rollen 35 mit abwechselnd rechtwinkelig zueinander angeordneten Achsen als erste Linear-Leitlagermechanismen 6 (sog. Kreuzrollen­ führungsmechanismen) vorgesehen.
Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen wird der Tisch 1 durch die Tragelemente 5 über die Lagermechanismen 6 für Längs- und Querverschiebung auf dem Sockel 3 geführt.
Bei allen beschriebenen Ausführungsformen sind jeweils zwei zueinander senkrechte oder orthogonale Paare von parallelen Leitflächen 2 an zweckmäßigen Stellen des Tisches 1 vorgesehen. Beispielsweise kann das Tragele­ ment 30 zur Bildung der Leitflächen 2 nach unten vom Tisch 1 abstehen, oder die Stirnflächen des Tisches selbst können als Leitflächen 2 dienen.

Claims (2)

1. Längs- und Quer-Tischführungsmechanismus einer X-Y-Ver­ stellvorrichtung mit
einem parallel zu einer Oberfläche eines Sockels (3) längs- und querverschiebbar geführten Tisch (1),
zwei zueinander senkrecht angeordneten Paaren von parallelen Leitflächen (2a, 2a'; 2b, 2b'), die an einem geeigneten Bereich (30) des Tisches (1) vorgesehen sind,
zwei Paaren von ersten Tragelementen (5a, 5a'; 5b, 5b'), wobei jeweils ein Paar von den ersten Tragelementen (5a, 5a'; 5b, 5b') aus einem aktiv verstellbaren Tragelement (5a; 5b) und einem auf der gegenüberliegenden Seite des Tisches (1) angeordneten, passiv verstellbaren Tragelement (5a'; 5b') be­ steht,
zwei, den zueinander senkrecht angeordneten Paaren von parallelen Leitflächen (2a, 2a'; 2b, 2b') des Tisches (1) zuge­ wandten, gleichfalls parallelen Paaren von an den ersten, aktiv und passiv verstellbaren Tragelementen (5a, 5b; 5a', 5b') angeordneten Leitflächen (4a, 4a'; 4b, 4b'),
zwei Paaren von zwischen den Leitflächen (2a, 2a', 2b, 2b'; 4a, 4a', 4b, 4b') des Tisches (1) und der ersten, aktiv und passiv verstellbaren Tragelemente (5a, 5b; 5a', 5b') vorgese­ henen parallelen, ersten Linear-Leitlagermechanismen (6a, 6a'; 6b, 6b') durch die der Tisch (1) geführt ist,
einem Antriebsmechanismus (7a, 5a, 12a; 7b, 5b, 12b) zum Ver­ schieben des Tisches (1) jeweils längs des einen Paares der parallelen, ersten Linear-Leitlagermechanismen (6a, 6a') über das andere Paar der parallelen, ersten Linear-Leitlagermecha­ nismen (6b, 6b'),
dadurch gekennzeichnet,
daß die parallelen, ersten Linear-Leitlagermechanismen (6a, 6a'; 6b, 6b') die Last des Tisches (1) aufnehmen und über die ersten, aktiv und passiv verstellbaren Tragelemente (5a, 5b; 5a', 5b') eine Krafteinleitung auf, diesen zugeordnete, zweite Tragelemente (9a, 9b; 9a', 9b') über dazwischenliegende, parallele zweite Linear-Leitlagermechanismen (11a, 11a', 11b, 11b') erfolgt, wobei die zweiten Tragelemente (9a, 9b; 9a', 9b') auf dem Sockel (3) fest angeordnet sind, und
daß die ersten, aktiv und passiv verstellbaren Tragelemente (5a, 5b; 5a', 5b') in der X-Y-Verstellebene keilförmig ausgebildet sind.
2. Längs- und Quer-Tischführungsmechanismus einer X-Y-Ver­ stellvorrichtung mit
einem parallel zu einer Oberfläche eines Sockels (3) längs- und querverschiebbar geführten Tisch (1),
zwei zueinander senkrecht angeordneten Paaren von parallelen Leitflächen (2a, 2a'; 2b, 2b'), die an einem geeigneten Bereich (30) des Tisches (1) vorgesehen sind,
zwei Paaren von ersten Tragelementen (5a, 5a'; 5b, 5b'), wobei jeweils ein Paar von den ersten Tragelementen (5a, 5a'; 5b, 5b') aus einem aktiv verstellbaren Tragelement (5a; 5b) und einem auf der gegenüberliegenden Seite des Tisches (1) angeordneten, passiv verstellbaren Tragelement (5a'; 5b') be­ steht,
zwei, den zueinander senkrecht angeordneten Paaren von parallelen Leitflächen (2a, 2a'; 2b, 2b') des Tisches (1) zuge­ wandten, gleichfalls parallelen Paaren von an den ersten, ak­ tiv und passiv verstellbaren Tragelementen (5a, 5b; 5a', 5b') angeordneten Leitflächen (4a, 4a'; 4b, 4b'),
zwei Paaren von zwischen den Leitflächen (2a, 2a', 2b, 2b'; 4a, 4a'; 4b, 4b') des 'Tisches (1) und der ersten, aktiv und passiv verstellbaren Tragelemente (5a, 5b; 5a', 5b') vorgese­ henen parallelen, ersten Linear-Leitlagermechanismen (6a, 6a'; 6b, 6b') durch die der Tisch (1) geführt ist,
einem Antriebsmechanismus (7a, 5a, 24a, 25a, 26a; 7b, 5b, 24b, 25b) zum Verschieben des Tisches (1) jeweils längs des einen Paars der parallelen, ersten Linear-Leitlagermechanismen (6a, 6a') über das andere Paar der parallelen, ersten Linear- Leitlagermechanismen (6b, 6b')
dadurch gekennzeichnet,
daß die parallelen, ersten Linear-Leitlagermechanismen (6a, 6a'; 6b, 6b') die Last des Tisches (1) aufnehmen, daß die Antriebsmechanismen (7a, 5a, 24a, 25a, 26a; 7b, 5b, 24b, 25b) für die ersten, aktiv verstellbaren Tragelemente (5a, 5b) Nocken (24a, 24b) aufweisen und die ersten, passiv verstellbaren Tragelemente (5a', 5b') über Federsysteme (13a, 13b) an fest auf dem Sockel (3) angeordneten, zweiten Trag­ elementen in X- bzw. Y-Richtung abgestützt sind.
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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5425282A (en) * 1991-10-21 1995-06-20 Luigs; Willi Manipulator
DE4141258C2 (de) * 1991-12-14 1995-12-14 Foerster Inst Dr Friedrich Hubvorrichtung, insbesondere für eine Prüfeinrichtung
US5527184A (en) * 1993-02-05 1996-06-18 Ridefilm Theaters Corporation Simulator system having an orthogonal motion base
WO1996021497A1 (en) * 1993-02-05 1996-07-18 Ridefilm Corporation A simulator system having an orthogonal motion base
US5509631A (en) * 1993-10-01 1996-04-23 Ridefilm Corporation Three axis motion platform
US5584697A (en) * 1994-07-05 1996-12-17 Ridefilm Corporation Simulator system having a suspended passenger platform
JP2940663B2 (ja) * 1995-12-01 1999-08-25 和也 廣瀬 ステージの縦横移動旋回支持機構
DE19700549A1 (de) * 1997-01-10 1998-07-16 Alsthom Cge Alcatel Vorrichtung zur präzisen Anordnung von mikrooptischen Bauteilen auf einem Träger
JPH11300557A (ja) 1998-04-15 1999-11-02 Thk Co Ltd 移動テーブル装置
ATE255978T1 (de) * 1998-07-14 2003-12-15 Kummer Freres Sa Antriebseinrichtung für die bewegung einer plattform in einer ebene
SE516222C2 (sv) * 1999-09-29 2001-12-03 Reinhold Andersson Linjär bärare i X, Y, led för mikroskop
AU2002234098A1 (en) * 2000-12-29 2002-07-16 Applied Precision, Inc. Z-axis frame for a high accuracy orthogonal motion stage
US6601524B2 (en) * 2001-03-28 2003-08-05 Newport Corporation Translation table with a spring biased dovetail bearing
JP4020787B2 (ja) * 2001-04-27 2007-12-12 三洋電機株式会社 水処理装置
WO2002091436A1 (en) * 2001-05-09 2002-11-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Apparatus for the measurement or machining of an object, provided with a displacement stage with wedge-shaped guides
CZ299124B6 (cs) * 2001-06-18 2008-04-30 Kovosvit Mas A.S. Paralelní polohovací mechanismus, zvlášte pro obrábení a/nebo manipulaci a/nebo merení
US20060059965A1 (en) * 2004-09-17 2006-03-23 Benstead Evan A Rekeyable lock having 2-piece pin with rotatable member
WO2007026632A1 (ja) * 2005-08-31 2007-03-08 Thk Co., Ltd. ガイドテーブル装置
DE102010027834B4 (de) * 2010-04-15 2012-12-06 Sven Hunze Justierwerkzeug
JP5955964B2 (ja) * 2011-09-12 2016-07-20 マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ． ターゲット処理ツールのためのガイダンス
CN107481767B (zh) * 2017-09-11 2023-01-24 河南理工大学 驱动组件及柔性精密定位平台
JP7180895B2 (ja) * 2020-07-22 2022-11-30 ヒーハイスト株式会社 位置決めテーブル
CN112833288B (zh) * 2020-12-31 2022-09-06 深圳先进技术研究院 二维平面位移微型控制平台

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3010363A (en) * 1958-09-25 1961-11-28 Leitz Ernst Gmbh Parallelogram guide for object tables and the like
US3270423A (en) * 1963-09-30 1966-09-06 Sheffield Corp Positioning device
US3744902A (en) * 1968-10-23 1973-07-10 Siemens Ag Device for producing a photo-varnish mask
DE2800340A1 (de) * 1978-01-04 1979-07-05 Mta Koezponti Fiz Kutato Intez Geradlinige einstellvorrichtung, insbesondere fuer optische messungen
US4193317A (en) * 1977-02-09 1980-03-18 Fuji Photo Film Co., Ltd. Fine position control device
US4408830A (en) * 1981-03-02 1983-10-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Multidirectional translator mechanism

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3849857A (en) * 1973-07-05 1974-11-26 M Murray Machine element alignment positioner
JPS5652142A (en) * 1979-10-01 1981-05-11 Toshiba Corp Device for moving table
US4409866A (en) * 1981-12-28 1983-10-18 Mcbride Joan Tool handle with contoured through passageway and spring biased trigger
JPS58126030A (ja) * 1982-01-19 1983-07-27 Hitachi Ltd テ−ブル摺動装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3010363A (en) * 1958-09-25 1961-11-28 Leitz Ernst Gmbh Parallelogram guide for object tables and the like
US3270423A (en) * 1963-09-30 1966-09-06 Sheffield Corp Positioning device
US3744902A (en) * 1968-10-23 1973-07-10 Siemens Ag Device for producing a photo-varnish mask
US4193317A (en) * 1977-02-09 1980-03-18 Fuji Photo Film Co., Ltd. Fine position control device
DE2800340A1 (de) * 1978-01-04 1979-07-05 Mta Koezponti Fiz Kutato Intez Geradlinige einstellvorrichtung, insbesondere fuer optische messungen
US4408830A (en) * 1981-03-02 1983-10-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Multidirectional translator mechanism

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