JP2022021726A - 位置決めユニット及び位置決めテーブル - Google Patents

Abstract

【課題】一次元方向または二次元方向（平面方向）での高精度の位置決めを可能にする位置決めユニット及び位置決めテーブルを提供する。【解決手段】基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の軌道に沿う前進後退運動によって第二の摺動部材が軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされた位置決めユニット、そしてこの位置決めユニットを用いた位置決めテーブル。【選択図】図１

Description

本発明は、アライメントステージとも呼ばれる位置決めテーブル、そして特に位置決めテーブルのテーブル移動機構として有利に用いることのできる位置決めユニットに関する。

従来より、各種の材料の加工を行う際にその材料を平面板（テーブルあるいはステージと呼ばれる）の上に載置した状態で平面方向に移動させ、所定の位置で停止させたのち、その平面板の上での材料の加工を行うための装置として、アライメントステージとも呼ばれる位置決めテーブルが一般的に用いられている。

位置決めテーブルの代表的なものタイプには、材料を載置したテーブルの、一次元方向への移動とその後の加工に利用する一次元方向移動テーブル、二次元方向（平面方向）での移動とその後の加工に利用する、ＸＹステージあるいはＸＹθステージと呼ばれる二次元方向移動テーブル、そして三次元方向（平面方向＋高さ方向）での移動とその後の加工に利用する、一般にＸＹＺステージと呼ばれる三次元方向移動テーブルが含まれる。

位置決めテーブルは通常、テーブルあるいはステージと呼ばれる平面板、そしてその平面板に装着されている、平面板を所定の位置に移動させ、その位置で停止仮固定させる機能を持つ一個あるいは複数個の位置決めユニットから構成されている。位置決めユニットは、通常、平面板に装着される一個または複数個の直線滑り移動部材とそれぞれの直線滑り移動部材の一次元方向の移動を駆動する駆動部材とから構成され、その駆動部材は、別に用意された基盤の上に固定されている。そして、載置した材料の一次元方向への移動と所定位置での仮固定を行う一次元移動テーブルでは、基盤に固定された一個の位置決めユニットもしくは一個の位置決めユニットとスライド部材の組み合わせを用いるのが一般的である。

一方、加工材料の二次元方向（平面方向）での移動と所定位置での停止と仮固定とを行う位置決めテーブルでは、通常、基盤に固定された複数個(二乃至四個が一般的）の位置決めユニットを用いて、テーブルを所望の位置に移動させ、仮固定するようにされている。

また、加工材料の三次元方向の移動と所定位置での仮固定とを行う一般にＸＹＺステージと呼ばれる位置決めテーブルでは、一般に、基盤に固定された複数個(二乃至四個が一般的）の位置決めユニットを用いて平面方向の移動ができるように構成し、更に平面板を縦方向(高さ方向）に移動させて、固定する位置決めユニットを組み合わせて、加工材料を所定の位置へ移動させた後、その位置で仮固定させるようにされている。

そしてまた、加工材料を載置した平面板を縦方向(高さ方向）にのみ移動させて、仮固定するＺ軸位置決めユニットやテーブルも知られている。

これまでに説明した位置決め対象の材料の二次元方向の移動と仮固定とを行う位置決めテーブルとしては、さまざまな構成のものが知られている。その例としては、以下に記載する特許文献に開示の構成を挙げることができる。

二次元位置決めテーブル（ＸＹステージ）：特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４
ＸＺテーブル：特許文献５
三次元位置決めテーブル：特許文献６、特許文献７

特開平８－２５２７３３号公報 特開平１０－５１９号公報 特開２００８－３４６４５号公報 特開２０１０－２７４４２９号公報 公開実用６０－１０９８３３号公報 特許第５４９０６５０号公報 特許第５７６７４７３号公報

どのようなタイプの位置決めテーブルであっても、簡素な構成と簡単な操作で、高い精度での位置決めが確実に実現できることが重要となる。しかしながら、これまでに知られている位置決めテーブルの多くは、そのような点で充分満足できるものとは云えない。

従って、本発明の目的は、簡素な構成からなり、簡単な操作により作動して、高い精度の位置決めを可能にする位置決めテーブル、そしてそのような位置決めテーブルのテーブル移動機構として有利に用いることのできる位置決めユニットを提供することにある。

本発明は、以下に記載する位置決めユニット、そして位置決めテーブルにある。

［位置決めユニット］
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材；を含み、
第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニット。

［位置決めテーブル］
（１）本発明の位置決めユニットを用い、その第二の摺動部材の頂面にテーブルが載置されてなる一次元方向位置決めテーブル。

（２）本発明の位置決めユニットの基板を別に用意した基盤の上に、位置決めユニットの第二の軌道に沿った方向が拡げられた形で配置固定させ、この基盤の上には位置決めユニットの第二の軌道と同一の方向に延びた一対の直線ガイドが設置され、また第二の摺動部材の頂面にはテーブルが前記基盤と平行に載置固定されていて、第二の摺動部材の前進後退運動により上記テーブルが、第二の摺動部材の前進後退運動と同一方向に前進後退運動を行った後、その位置にて仮固定されるように構成されてなる一次元位置方向決めテーブル。

（３）平面状基盤の上に設置された本発明の位置決めユニットＡ；位置決めユニットＡの第二の摺動部材の頂面に載置固定されたテーブルＡ；位置決めユニットＡと交差する方向でテーブルＡの上に設置された本発明の位置決めユニットＢ；そして位置決めユニットＢの第二の摺動部材の頂面にテーブルＡと平行に載置固定されたテーブルＢを含み、
位置決めユニットＡの第一の摺動部材の前進後退運動そして位置決めユニットＢの第一の摺動部材の前進後退運動を組み合わせることにより、テーブルＢのＸ軸そしてＹ軸に沿う移動を可能にしたＸＹ軸位置決めテーブル。

（４）三個の本発明の位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃが平面状基盤の上に、位置決めユニットＡと位置決めユニットＣとが互いに平行となり、そして位置決めユニットＢが位置決めユニットＡと交差するように組み合わせ設置されて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブルから構成され、
位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動により発生する各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により、上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動そしてテーブル平面に沿う回転運動を行うことができるように組み合わされてなるＸＹθ位置決めテーブル。

（５）四個の本発明の位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄが平面状基盤の上に、位置決めユニットＡと位置決めユニットＣとが互いにに、そして位置決めユニット１Ｂと位置決めユニット１Ｄとが互いに平行かつ位置決めユニットＡと直角に交差するようにるように組み合わせて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブルから構成され、
位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動そしてテーブル平面に沿う回転運動を行うことができるように組み合わされてなるＸＹθ位置決めテーブル。

本発明の位置決めユニットは、簡素な構成であって、簡単な操作により作動して、高い精度の確実な位置決めが可能な位置決めテーブルのテーブル移動機構として有利に用いることのできる。特に、本発明の位置決めユニットでは、直線運動駆動装置に連絡する摺動部材を、第一の摺動部材と第二の摺動部材に分割し、この第一の摺動部材を直線運動駆動装置に直接連結させる一方、この直線運動駆動装置に第二の摺動部材に連結させることなく、第一の摺動部材から第二の摺動部材への駆動力（移動エネルギー）の伝達を、それぞれの側面に備えられた斜面を互いに接触させることにより実現させるため、第一の摺動部材が自己の移動エネルギーを第二の摺動部材に伝達した後に静止する第一の摺動部材に発生し易い不安定な静止（揺れ）が、第二の摺動部材に伝わりにくいという利点がある。このため、第二の摺動部材そして第二の摺動部材に装着されるテーブルの静止が、より確実となる。

本発明に従う位置決めユニットの一例の構成を示す斜視図である。 図１に示した位置決めユニットの第二の摺動部材の側から見た図として示す斜視図である。 図１に示した位置決めユニットの作動（第一の摺動部材の前進）による第一の摺動部材の移動と第二の摺動部材の移動(後退）を示す説明図である。 図１の状態にある位置決めユニットの上面図、前面図、そして左側側面図である。 図１に示した位置決めユニットの作動（第一の摺動部材の後退）による第一の摺動部材の移動と第二の摺動部材の移動(前進）を示す説明図である。 図５の状態にある位置決めユニットの上面図、前面図、そして左側側面図である。 本発明に従う一次元方向位置決めテーブルの一例の構成を示す上面図と前面図である。 本発明に従う一次元方向位置決めテーブルの別の構成例を示す上面図である。 本発明に従う二次元方向位置決めテーブル（ＸＹステージ）の一例の構成を示す上面図と前面図である。 本発明に従う二次元方向位置決めテーブル（ＸＹθステージ）の一例の構成を示す上面図、前面図、後面図、左側面図、そして右側面図である。 本発明に従う二次元方向位置決めテーブル（ＸＹθステージ）の別の構成例を示す上面図、前面図、後面図、左側面図、そして右側面図である。

次に、添付図面を参照しながら、本発明に従う位置決めユニットと位置決めテーブルを詳しく説明する。

本発明の位置決めユニットの代表的な構成とその作動を、図１乃至図６に示す。図１と図２は、本発明の位置決めユニットが基本位置にある状態を示す斜視図であり、図３と図４、そして図５と図６は、図１の位置決めユニットの二つの摺動部材が移動した状態を示す図である。

添付図面の図１乃至図６において、位置決めユニット１は、基板２；この基板２の上に固定された第一の軌道３；この第一の軌道３に摺動可能に装着されている、基板２に対して垂直な傾斜面４ａを側面に備えた第一の摺動部材４；この第一の摺動部材４に連結している、前記基板２に設置された、第一の摺動部材４の軌道３に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置５；前記基板２の上で、第一の軌道３に交差するように固定された第二の軌道６；そしてこの第二の軌道６に摺動可能に装着されている、前記基板２に対して垂直な傾斜面７ａを側面に備えた第二の摺動部材７；を含み、第一の摺動部材４と第二の摺動部材７とが、それらの傾斜面４ａ、７ａが互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置５の作動により発生する第一の摺動部材４の第一の軌道３に沿う前進後退運動によって第二の摺動部材７が第二の軌道６に沿う後退前進運動を行うように組み合わされて構成されている。

本発明の位置決めユニットの好ましい構成の例としては下記の構成を挙げることができる。
（１）第一の摺動部材４の側面の傾斜面４ａが、直線運動駆動装置５の側とは反対の側で第一の軌道３の側面に近づくような角度の傾斜面とされている。
（２）第二の摺動部材７の頂面に平面部材８が装着されている。
（３）直線運動駆動装置５が、表面に螺旋溝が形成された回転軸９、この回転軸９の一方の端部に連結するモータ１０、そして前記基板２に固定され、上記回転軸９を回転可能に収容支持する回転軸支持具１１から構成されていて；
第一の摺動部材４が、その内部に上記回転軸９の螺旋溝と螺合する螺旋溝が形成された内周面を持つ開口４ｂを持ち、上記直線運動駆動装置５のモータ１０の回転により、上記回転軸９が第一の摺動部材４の開口４ｂの内部で回転することにより第一の摺動部材４を前進後退させるようにされている。
（４）前記第一の摺動部材４の傾斜面４ａと前記第二の摺動部材７の傾斜面７ａのそれぞれに、一対として相互に摺動可能とされた摺動具１２が備えられ、これらの摺動具１２を介して第一の摺動部材４の傾斜面４ａと第二の摺動部材７の傾斜面７ａとが接触している。

次に、本発明の位置決めユニットを構成する基板と各種の部材について詳しく説明する。

本発明の位置決めユニットにおいて、位置決め機能を実現する各種の部品は、基板２の上に直接的もしくは間接的に固定もしくは設置されている。すなわち、第一の軌道３と第二の軌道６は共に、基板上に互いに交差するように設置固定されている。そして、第一の摺動部材４と第二の摺動部材７は、それぞれ、第一の軌道３と第二の軌道６に摺動が可能なように装着されている。

第一の摺動部材４は、第一の軌道３に沿う前進運動と後退運動（即ち、前進後退運動）を行う。この第一の摺動部材４の前進後退運動は、基板に直線運動駆動装置５を設置して、その作動により実現させることが好ましい。直線運動駆動装置５は、表面に螺旋溝が形成された回転軸９、この回転軸９の一方の端部に連結するモータ１０、そして前記基板２に固定され、上記回転軸９を回転可能に収容支持する回転軸支持具１１から構成されていることが好ましい。そして、第一の摺動部材４は、その内部に上記回転軸９の螺旋溝と螺合する螺旋溝が形成された内周面を持つ開口４ｂを持ち、上記直線運動駆動装置５のモータ１０の回転により、上記回転軸９が第一の摺動部材４の開口４ｂの内部で回転して第一の摺動部材４を前進後退させるようにされていることが好ましい。

第一の摺動部材４と第二の摺動部材７とは、それらの傾斜面４ａ、７ａが互いに接触した状態とされるように組み合わされている。そして、直線運動駆動装置５が作動して発生する第一の摺動部材４の第一の軌道３に沿う前進後退運動によって第二の摺動部材７が第二の軌道６に沿う後退前進運動を行うように組み合わされている。すなわち、第一の摺動部材４が前進した時には第二の摺動部材７は後退し、そして第一の摺動部材４が後退した時には第二の摺動部材７は前進する。

なお、第一の摺動部材４の傾斜面４ａと前記第二の摺動部材７の傾斜面７ａのそれぞれには、一対として相互に摺動可能とされた摺動具１２が備えられ、これらの摺動具１２を介して第一の摺動部材４の傾斜面４ａと第二の摺動部材７の傾斜面７ａとを接触させるようにすることが好ましい。

次に、本発明の位置決めテーブルの代表的な構成とその作動を、図７乃至図１１を参照して説明する。本発明の位置決めテーブルは、従来より知られ、使用されている各種の位置決めテーブルにおいて、テーブル(ステージ）に装着されている位置決めユニットを、本発明の位置決めユニットに置き代えた構成を持つものである。必要により、従来より知られ、使用されている各種の位置決めテーブルに装着されている位置決めユニットの一部のみを置き換えた構成とすることもできる。

図７は、本発明に従う一次元方向位置決めテーブルの一例の構成を示す上面図（Ａ）と前面図（Ｂ）である。

図７の一次元方向位置決めテーブルは、本発明の位置決めユニット１の第二の摺動部材の頂面に、平面部材８を介してテーブル（ステージ）１３が載置された構成を持つ。なお、平面部材８は、テーブル（ステージ）１３の第二の摺動部材の頂面での固定の安定性を高めるために用いられるが、この平面部材８は、必ずしも必要な部材とは云えない。

図８は、本発明に従う一次元方向位置決めテーブルの別の構成例を示す上面図である。

図８の一次元方向位置決めテーブルは、本発明の位置決めユニット１の基板２が、別に用意された基盤１４の上に、位置決めユニット１の第二の軌道６に沿った方向が拡げられた形で配置固定され、そして基盤１４の上には位置決めユニット１の第二の軌道６と同一の方向に延びた一対の直線ガイド１５、１６が設置され、また第二の摺動部材７の頂面にはテーブル１３が平面部材８を介して基盤１４と平行に載置固定されていて、第二の摺動部材７の前進後退運動によりテーブル１３が、第二の摺動部材７の前進後退運動（図中で両方向矢印により表示）と同一方向に前進後退運動を行った後、その位置にて仮固定されるように構成されている。

なお、図８の一次元方向位置決めテーブルにおいて、基盤１４を別に用意することなく、位置決めユニット１の基板２を、第二の軌道６に沿った方向に拡げた形とすることにより、基盤１４に代えることもできる。

図９は、本発明に従う二次元方向(二軸）位置決めテーブル（ＸＹステージ）の構成例を示す上面図（Ａ）と前面図（Ｂ）である。

図９の二次元方向位置決めテーブルは、平面状基盤の上に設置された本発明の位置決めユニット１Ａ；位置決めユニット１Ａの第二の摺動部材の頂面に載置固定されたテーブルＡ；位置決めユニット１Ａと交差する方向でテーブルＡの上に設置された本発明の位置決めユニット１Ｂ；そして位置決めユニット１Ｂの第二の摺動部材の頂面にテーブルＡと平行に載置固定されたテーブルＢを含み、
位置決めユニット１Ａの第一の摺動部材の前進後退運動そして位置決めユニット１Ｂ（１３）の第一の摺動部材の前進後退運動を組み合わせることにより、テーブルＢのＸ軸そしてＹ軸に沿う移動を可能にしたＸＹ軸位置決めテーブルである。

なお、図９のＸＹ軸位置決めテーブルにおいて、基盤１４を別に用意することなく、位置決めユニット１の基板２を、第二の軌道６に沿った方向に拡げた形とすることにより、基盤１４に代えることもできる。

図１０は、本発明に従うＸＹθ位置決めテーブル（ＸＹθステージ）の構成例を示す上面図と四方向からの各側面図である。

図１０の位置決めテーブルは、三個の本発明の位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃが平面状基盤１４の上に、位置決めユニット１Ａと位置決めユニット１Ｃとが互いに平行となるように、そして位置決めユニット１Ｂが位置決めユニット１Ａと直角に交差するように組み合わせ設置されて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブル１３から構成されていて、
位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動及びテーブル平面に沿う回転運動を行うように組み合わされて構成されたＸＹθ位置決めテーブルである。

図１１は、本発明に従うＸＹθ位置決めテーブル（ＸＹθステージ）のの別の構成例を示す上面図と四方向からの各側面図である。

図１１の位置決めテーブルは、四個の本発明の位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄが平面状基盤１４の上に、位置決めユニット１Ａと位置決めユニット１Ｃとが互いに平行となるように、そして位置決めユニット１Ｂと位置決めユニット１Ｄとが互いに平行かつ位置決めユニット１Ａと直角に交差するように組み合わせて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブル１３から構成され、
位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動そしてテーブル平面に沿う回転運動が行えるように組み合わされてなるＸＹθ位置決めテーブルである。

１ 位置決めユニット
１Ａ 位置決めユニット
１Ｂ 位置決めユニット
１Ｃ 位置決めユニット
１Ｄ 位置決めユニット
２ 基板
３ 第一の軌道
４ 第一の摺動部材
４ａ 傾斜面
４ｂ 開口
５ 直線運動駆動装置
６ 第二の軌道
７ 第二の摺動部材
７ａ 傾斜面
８ 平面部材
９ 回転軸
１０ モータ
１１ 回転軸支持具
１２ 摺動具
１３ テーブル(ステージ）
１４ 基盤

（５）四個の本発明の位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄが平面状基盤の上に、位置決めユニットＡと位置決めユニットＣとが互いに、そして位置決めユニット１Ｂと位置決めユニット１Ｄとが互いに平行かつ位置決めユニットＡと直角に交差するように組み合わせて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブルから構成され、
位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動そしてテーブル平面に沿う回転運動を行うことができるように組み合わされてなるＸＹθ位置決めテーブル。

Claims (10)

1. 基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材；を含み、
   第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニット。
2. 第一の摺動部材の側面の傾斜面が、直線運動駆動装置の側とは反対の側で第一の軌道の側面に近づくような角度の傾斜面とされている請求項１に記載の位置決めユニット。
3. 第二の摺動部材の頂面に平面部材が装着されている請求項１に記載の位置決めユニット。
4. 直線運動駆動装置が、表面に螺旋溝が形成された回転軸、この回転軸の一方の端部に連結するモータ、そして前記基板に固定され、上記回転軸を回転可能に収容支持する回転軸支持具から構成されており；
   第一の摺動部材が、その内部に上記回転軸の螺旋溝と螺合する螺旋溝が形成された内周面を持つ開口を持ち、上記直線運動駆動装置のモータの回転により、上記回転軸が第一の摺動部材の開口の内部で回転して第一の摺動部材を前進後退させるように構成されている請求項１に記載の位置決めユニット。
5. 前記第一の摺動部材の傾斜面と前記第二の摺動部材の傾斜面のそれぞれに、一対として相互に摺動可能とされた摺動具が備えられ、これらの摺動具を介して第一の摺動部材の傾斜面と第二の摺動部材の傾斜面とが接触している請求項１に記載の位置決めユニット。
6. 請求項１乃至５のいずれかの項に記載の位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にテーブルが載置されてなる一次元方向位置決めテーブル。
7. 請求項１乃至５のいずれかの項に記載の位置決めユニットの基板を別に用意した基盤の上に、位置決めユニットの第二の軌道に沿った方向が拡げた形で配置固定させ、この基盤の上には位置決めユニットの第二の軌道と同一の方向に延びた一対の直線ガイドが設置され、また第二の摺動部材の頂面にはテーブルが前記基盤と平行に載置固定されていて、第二の摺動部材の前進後退運動により上記テーブルが、第二の摺動部材の前進後退運動と同一方向に前進後退運動を行った後、その位置にて仮固定されるように構成されてなる一次元方向位置決めテーブル。
8. 平面状基盤の上に設置された請求項１乃至５のいずれかの項に記載の位置決めユニットＡ；位置決めユニットＡの第二の摺動部材の頂面に載置固定されたテーブルＡ；位置決めユニットＡと交差する方向でテーブルＡの上に設置された請求項１乃至５のいずれかの項に記載の位置決めユニットＢ；そして位置決めユニットＢの第二の摺動部材の頂面にテーブルＡと平行に載置固定されたテーブルＢを含み、
   位置決めユニットＡの第一の摺動部材の前進後退運動そして位置決めユニットＢの第一の摺動部材の前進後退運動を組み合わせることにより、テーブルＢのＸ軸そしてＹ軸に沿う移動を可能にしたＸＹ軸位置決めテーブル。
9. 三個の請求項１乃至５のいずれかの項に記載の位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃが平面状基盤の上に、位置決めユニットＡと位置決めユニットＣとが互いに平行となるように、そして位置決めユニットＢが位置決めユニットＡと交差するように組み合わせ設置されて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブルから構成され、
   位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動及び／またはテーブル平面に沿う回転運動を行えるように組み合わされてなるＸＹθ位置決めテーブル。
10. 四個の請求項１乃至５のいずれかの項に記載の位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄが平面状基盤の上に、位置決めユニットＡと位置決めユニットＣとが互いに平行となり、そして位置決めユニットＢと位置決めユニットＤとが互いに平行でかつ位置決めユニットＡと直角に交差するようにに組み合わせて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブルから構成され、
    位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動及び／またはテーブル平面に沿う回転運動を行えるように組み合わされてなるＸＹθ位置決めテーブル。

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