JPH0760581A - Ｘ−ｙステージ - Google Patents
Ｘ−ｙステージInfo
- Publication number
- JPH0760581A JPH0760581A JP5215967A JP21596793A JPH0760581A JP H0760581 A JPH0760581 A JP H0760581A JP 5215967 A JP5215967 A JP 5215967A JP 21596793 A JP21596793 A JP 21596793A JP H0760581 A JPH0760581 A JP H0760581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contactor
- slide table
- base table
- contact
- slide
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型なＸ−Ｙステージを提供する。
【構成】 ベーステーブルの上面１ａに沿って２軸の方
向に自由度をもつスライドテーブル２を、接触子３とそ
の移動機構で構成される一つの駆動系５で２次元方向
（Ｘ−Ｙ）に移動する構造としている。
向に自由度をもつスライドテーブル２を、接触子３とそ
の移動機構で構成される一つの駆動系５で２次元方向
（Ｘ−Ｙ）に移動する構造としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークや試料を保持す
るのに使用されるＸ−Ｙステージに関し、さらに詳しく
は、例えば表面分析等の分野においてウェハなどの軽負
荷保持用として利用するのに適したＸ−Ｙステージに関
する。
るのに使用されるＸ−Ｙステージに関し、さらに詳しく
は、例えば表面分析等の分野においてウェハなどの軽負
荷保持用として利用するのに適したＸ−Ｙステージに関
する。
【０００２】
【従来の技術】この種のＸ−Ｙステージは、従来、例え
ば図５に示すように、ベース５０に対してスライド自在
のＹ軸テーブル５１と、このテーブルにスライド自在に
装着されたＸ軸テーブル５２と、これらの各テーブル５
１，５２に移動を与える駆動モータ５１ａ，５２ａと送
りねじ（ボールねじ）機構によって構成されている。
ば図５に示すように、ベース５０に対してスライド自在
のＹ軸テーブル５１と、このテーブルにスライド自在に
装着されたＸ軸テーブル５２と、これらの各テーブル５
１，５２に移動を与える駆動モータ５１ａ，５２ａと送
りねじ（ボールねじ）機構によって構成されている。
【０００３】また、最近では、リンク機構と駆動モータ
の組み合わせた構造で、テーブルを積み上げずにＸ−Ｙ
の各方向の駆動を行う構造のステージが提案されてい
る。
の組み合わせた構造で、テーブルを積み上げずにＸ−Ｙ
の各方向の駆動を行う構造のステージが提案されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５に示し
た構造のＸ−Ｙステージによれば、２軸のテーブルの積
み上げ構造であることから装置全体が大きくなる点、ま
た、上部（Ｘ軸）テーブル上の負荷が軽く駆動力が小さ
くて済む場合でも、この上部テーブルのスライド機構や
駆動系の荷重を下部（Ｙ軸）テーブルが支えるため、下
部テーブルの移動に大きな駆動力が必要で、しかも、下
部テーブルに高い剛性が要求される等の問題がある。
た構造のＸ−Ｙステージによれば、２軸のテーブルの積
み上げ構造であることから装置全体が大きくなる点、ま
た、上部（Ｘ軸）テーブル上の負荷が軽く駆動力が小さ
くて済む場合でも、この上部テーブルのスライド機構や
駆動系の荷重を下部（Ｙ軸）テーブルが支えるため、下
部テーブルの移動に大きな駆動力が必要で、しかも、下
部テーブルに高い剛性が要求される等の問題がある。
【０００５】一方、リンク機構を組み合わせた構造のス
テージによると、テーブルを積み上げる必要がなく、こ
の点では小型化は達成できるものの、リンク機構が比較
的大型になること、また、Ｘ，Ｙの駆動用の２個のモー
タ（通常はＤＤ：直接駆動）が必要なことから駆動系が
大きくなり、結局、装置全体をコンパクトに纏めること
はできない。
テージによると、テーブルを積み上げる必要がなく、こ
の点では小型化は達成できるものの、リンク機構が比較
的大型になること、また、Ｘ，Ｙの駆動用の２個のモー
タ（通常はＤＤ：直接駆動）が必要なことから駆動系が
大きくなり、結局、装置全体をコンパクトに纏めること
はできない。
【０００６】なお、駆動系が小型なステージとしては、
ピエゾ素子を組み合わせた機構が提案されてはいるが、
この機構では１軸方向への駆動のみに限られる。本発明
はそのような事情に鑑みてなされたもので、一つの駆動
系でＸ−Ｙの２軸の方向への駆動が可能で、しかも、駆
動系が小型なＸ−Ｙステージを提供することを所期の目
的とする。
ピエゾ素子を組み合わせた機構が提案されてはいるが、
この機構では１軸方向への駆動のみに限られる。本発明
はそのような事情に鑑みてなされたもので、一つの駆動
系でＸ−Ｙの２軸の方向への駆動が可能で、しかも、駆
動系が小型なＸ−Ｙステージを提供することを所期の目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの構成を、実施例に対応する図１を参照しつつ説明す
ると、本発明のＸ−Ｙステージは、ベーステーブル１の
上面１ａに沿って２次元方向に摺動自在に配設されたス
ライドテーブル２と、このスライドテーブル２のベース
テーブル上面１ａに対する垂直方向の移動のみを規制す
る規制手段（例えば埋め込みの永久磁石４）と、スライ
ドテーブル２の下方に設けた空間Ａに配設された接触子
３と、この接触子３を、ベーステーブルの上面１ａと平
行な面に沿って２次元方向に平行移動させる駆動手段
（電磁石５ａ〜５ｄ等で構成される駆動系５）を備えて
いる。そして、接触子３は、上端面３ａの位置がベース
テーブル上面１ａに対して垂直方向に変位して、スライ
ドテーブル下面２ｂへの接触とその解除の状態のいずれ
かに動作し得るように構成されていることによって特徴
づけられる。
めの構成を、実施例に対応する図１を参照しつつ説明す
ると、本発明のＸ−Ｙステージは、ベーステーブル１の
上面１ａに沿って２次元方向に摺動自在に配設されたス
ライドテーブル２と、このスライドテーブル２のベース
テーブル上面１ａに対する垂直方向の移動のみを規制す
る規制手段（例えば埋め込みの永久磁石４）と、スライ
ドテーブル２の下方に設けた空間Ａに配設された接触子
３と、この接触子３を、ベーステーブルの上面１ａと平
行な面に沿って２次元方向に平行移動させる駆動手段
（電磁石５ａ〜５ｄ等で構成される駆動系５）を備えて
いる。そして、接触子３は、上端面３ａの位置がベース
テーブル上面１ａに対して垂直方向に変位して、スライ
ドテーブル下面２ｂへの接触とその解除の状態のいずれ
かに動作し得るように構成されていることによって特徴
づけられる。
【０００８】
【作用】図２に示すように、接触子３の上端の位置を上
方へと変位させ、その上端面３ａをスライドテーブル２
の下面２ｂに接触させた状態で(b) 、接触子３を駆動系
５により２次元方向（Ｘ−Ｙ軸方向）へと平行移動させ
ると、この接触子３の移動に伴ってスライドテーブル２
が移動する(c) 。
方へと変位させ、その上端面３ａをスライドテーブル２
の下面２ｂに接触させた状態で(b) 、接触子３を駆動系
５により２次元方向（Ｘ−Ｙ軸方向）へと平行移動させ
ると、この接触子３の移動に伴ってスライドテーブル２
が移動する(c) 。
【０００９】次に、接触子３の上端面３ａの位置を下方
へと変位させて接触を解除し(d) 、次いで、接触子３を
元の位置に戻した後(e) 、再び、接触子３の上端面３ａ
をスライドテーブル下面２ｂに接触させ、以後、同様な
動作を順次に繰り返してゆくことで、スライドテーブル
２をＸ−Ｙ平面内の所望の位置に移動させることができ
る。
へと変位させて接触を解除し(d) 、次いで、接触子３を
元の位置に戻した後(e) 、再び、接触子３の上端面３ａ
をスライドテーブル下面２ｂに接触させ、以後、同様な
動作を順次に繰り返してゆくことで、スライドテーブル
２をＸ−Ｙ平面内の所望の位置に移動させることができ
る。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を、以下、図面に基づいて説
明する。図１は本発明実施例の構成図で、(a) はその実
施例の全体構成を示す分解斜視図，(b) は縦断面図，
(c) は駆動系５の構成を模式的に示す図である。
明する。図１は本発明実施例の構成図で、(a) はその実
施例の全体構成を示す分解斜視図，(b) は縦断面図，
(c) は駆動系５の構成を模式的に示す図である。
【００１１】この例のステージは、ベーステーブル１と
その上面１ａ上に置かれるスライドテーブル２ならびに
接触子３をその駆動系５によって主に構成され、スライ
ドテーブル２の上面２ａで、試料あるいはワーク等の負
荷（図示せず）を保持する構造となっている。
その上面１ａ上に置かれるスライドテーブル２ならびに
接触子３をその駆動系５によって主に構成され、スライ
ドテーブル２の上面２ａで、試料あるいはワーク等の負
荷（図示せず）を保持する構造となっている。
【００１２】さて、スライドテーブル２は、ベーステー
ブル１の上面１ａに摺動自在に配設されており、その上
面１ａに沿って２次元（Ｘ−Ｙ）に移動可能となってい
る。なお、この両者のテーブル間の摺動面には、低摩擦
性の処理（例えば潤滑剤の塗布あるいはテフロン（四フ
ッ化エチレン:du Pont社製品の商品名）等を利用した固
体潤滑）が施されている。
ブル１の上面１ａに摺動自在に配設されており、その上
面１ａに沿って２次元（Ｘ−Ｙ）に移動可能となってい
る。なお、この両者のテーブル間の摺動面には、低摩擦
性の処理（例えば潤滑剤の塗布あるいはテフロン（四フ
ッ化エチレン:du Pont社製品の商品名）等を利用した固
体潤滑）が施されている。
【００１３】また、スライドテーブル２には永久磁石４
が埋め込まれており、その磁力によってスライドテーブ
ル２は、ベーステーブル上面１ａに対して所定の力で押
さえ付けられた状態が維持される。従って、スライドテ
ーブル２は、ベーステーブル上面１ａの平面内での移動
のみが可能な自由度を持つ。
が埋め込まれており、その磁力によってスライドテーブ
ル２は、ベーステーブル上面１ａに対して所定の力で押
さえ付けられた状態が維持される。従って、スライドテ
ーブル２は、ベーステーブル上面１ａの平面内での移動
のみが可能な自由度を持つ。
【００１４】一方、接触子３は、ベーステーブル１の中
央部に設けた凹部（空間）Ａに配置されている。この接
触子３は、ベーステーブル上面１ａに対して垂直方向に
伸縮する構造のピエゾ素子であって、その縮小状態のと
きに、図２(a) に示すように接触子３の上端面３ａはス
ライドテーブル２の下面２ｂに対して非接触の状態とな
り、また、伸長状態のときには、同図(b) に示すよう
に、上端面３ａがスライドテーブル下面２ｂに接触し
て、スライドテーブル２を上方へと押し上げる力を発生
するように構成されている。ただし、その接触状態で発
生する力は、先の永久磁石４によるスライドテーブル２
のベーステーブル上面１ａに対する結合力よりも小さ
く、さらに、接触状態で接触子の上端面３ａとスライド
テーブル下面２ｂとの間に発生する摩擦力は、スライド
テーブル２のベーステーブル上面１ａに対する摺動抵抗
よりも大きいものとする。
央部に設けた凹部（空間）Ａに配置されている。この接
触子３は、ベーステーブル上面１ａに対して垂直方向に
伸縮する構造のピエゾ素子であって、その縮小状態のと
きに、図２(a) に示すように接触子３の上端面３ａはス
ライドテーブル２の下面２ｂに対して非接触の状態とな
り、また、伸長状態のときには、同図(b) に示すよう
に、上端面３ａがスライドテーブル下面２ｂに接触し
て、スライドテーブル２を上方へと押し上げる力を発生
するように構成されている。ただし、その接触状態で発
生する力は、先の永久磁石４によるスライドテーブル２
のベーステーブル上面１ａに対する結合力よりも小さ
く、さらに、接触状態で接触子の上端面３ａとスライド
テーブル下面２ｂとの間に発生する摩擦力は、スライド
テーブル２のベーステーブル上面１ａに対する摺動抵抗
よりも大きいものとする。
【００１５】また、接触子３は、図１(c) の模式的構成
図に示す駆動系５によって２軸（Ｘ−Ｙ）方向に平行移
動される。すなわち、接触子３の側部四方は着磁されて
いるとともに、その各着磁部位に対向してそれぞれ電磁
石５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが配置されており、この各電
磁石５ａ・・５ｄへの通電制御によって接触子３をＸ−Ｙ
平面内の任意の位置へと移動させることができる。
図に示す駆動系５によって２軸（Ｘ−Ｙ）方向に平行移
動される。すなわち、接触子３の側部四方は着磁されて
いるとともに、その各着磁部位に対向してそれぞれ電磁
石５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが配置されており、この各電
磁石５ａ・・５ｄへの通電制御によって接触子３をＸ−Ｙ
平面内の任意の位置へと移動させることができる。
【００１６】そして、本発明実施例において、以上の駆
動系５の接触子３および各電磁石５ａ〜５ｄには、制御
回路（図示せず）から駆動信号が供給され、その接触子
３が後述する動作で伸縮／移動するように構成されてい
る。
動系５の接触子３および各電磁石５ａ〜５ｄには、制御
回路（図示せず）から駆動信号が供給され、その接触子
３が後述する動作で伸縮／移動するように構成されてい
る。
【００１７】次に、本発明実施例の作用を図２を参照し
つつ述べる。まず、接触子３は、先に説明したように伸
縮により、図２(a) に示す非接触と(b) に示す接触のい
ずれか一方の状態に選択的に設定される。
つつ述べる。まず、接触子３は、先に説明したように伸
縮により、図２(a) に示す非接触と(b) に示す接触のい
ずれか一方の状態に選択的に設定される。
【００１８】さて、図２(b) に示すように、接触子３の
上端面３ａをスライドテーブル２の下面２ｂに接触さ
せ、この状態で接触子３にＸ−Ｙ方向の変位を与える
と、その接触子の上端面３ａとテーブル下面２ｂとの間
の摩擦力により、スライドテーブル２が接触子３の変位
に伴って移動する(c) 。
上端面３ａをスライドテーブル２の下面２ｂに接触さ
せ、この状態で接触子３にＸ−Ｙ方向の変位を与える
と、その接触子の上端面３ａとテーブル下面２ｂとの間
の摩擦力により、スライドテーブル２が接触子３の変位
に伴って移動する(c) 。
【００１９】次に、接触子３を伸長状態から収縮させた
後(d) 、接触子３に先とは逆の向きに同じ量だけ変位を
与えて接触子３を元の位置に戻す(e) 。このとき、接触
子３とスライドテーブル２との接触は断たれているの
で、スライドテーブル２は先の(c) の動作で移動された
位置に止まった状態が保持される。そして、以上の微小
送り(b) 〜(e) の動作を順次に繰り返してゆくことで、
スライドテーブル２をＸ−Ｙ平面内の所望の位置に移動
させることができる。
後(d) 、接触子３に先とは逆の向きに同じ量だけ変位を
与えて接触子３を元の位置に戻す(e) 。このとき、接触
子３とスライドテーブル２との接触は断たれているの
で、スライドテーブル２は先の(c) の動作で移動された
位置に止まった状態が保持される。そして、以上の微小
送り(b) 〜(e) の動作を順次に繰り返してゆくことで、
スライドテーブル２をＸ−Ｙ平面内の所望の位置に移動
させることができる。
【００２０】ここで、以上の動作において接触子の上端
面３ａのスライドテーブル下面２ｂへの接触を断ったと
きに、何らかの原因によってスライドテーブル２が意図
せずに移動することが考えられるが、これを解消するに
は、一つのスライドテーブル２に対して複数本の接触子
を配置して、それらの各接触の伸縮動作／移動動作を交
互に組み合わせて、スライドテーブルには、いずれか１
本の接触子が、常に接触している状態を保持する、とい
った手法を採用すればよい。
面３ａのスライドテーブル下面２ｂへの接触を断ったと
きに、何らかの原因によってスライドテーブル２が意図
せずに移動することが考えられるが、これを解消するに
は、一つのスライドテーブル２に対して複数本の接触子
を配置して、それらの各接触の伸縮動作／移動動作を交
互に組み合わせて、スライドテーブルには、いずれか１
本の接触子が、常に接触している状態を保持する、とい
った手法を採用すればよい。
【００２１】なお、接触子としてはピエゾ素子を利用し
たもののほか、例えば電磁的あるいは機構的な手段によ
り上端面が上下動して、その上端面のスライドテーブル
への接触・非接触が可能な構造のものであってもよい。
たもののほか、例えば電磁的あるいは機構的な手段によ
り上端面が上下動して、その上端面のスライドテーブル
への接触・非接触が可能な構造のものであってもよい。
【００２２】また、駆動系の駆動源としては、電磁力の
ほか、例えば図３に示すように、ＸとＹ軸の方向に、そ
れぞれ伸縮するピエゾ素子３５ａ，３５ｃとスプリング
３５ｂ，３５ｄとを組み合わせた構造など、機械的な手
段によって駆動力を発生するものであってもよい。
ほか、例えば図３に示すように、ＸとＹ軸の方向に、そ
れぞれ伸縮するピエゾ素子３５ａ，３５ｃとスプリング
３５ｂ，３５ｄとを組み合わせた構造など、機械的な手
段によって駆動力を発生するものであってもよい。
【００２３】さらに、スライドテーブル２をベーステー
ブル上面１ａに対する垂直方向の移動を規制する手段と
しては、図１(a) に示した磁力を利用した構造のほか、
機械的な構造を利用したものであってもよい。
ブル上面１ａに対する垂直方向の移動を規制する手段と
しては、図１(a) に示した磁力を利用した構造のほか、
機械的な構造を利用したものであってもよい。
【００２４】さらにまた、以上の実施例の構成に加え
て、図４(a),(b) に示すように、スライドテーブル４２
の下面にＶ字形の窪みｈ・・ｈを所定のピッチで行列状に
設け、また、接触子４３の上端面４３ａには、先の窪み
ｈに嵌り込む形状の突起ｐを、その窪みｈに対応する位
置関係で設けておけば、接触子とスライドテーブルとの
結合力が、単なる接触による摩擦力よりも強固になり、
テーブル移動の確実性が向上する。
て、図４(a),(b) に示すように、スライドテーブル４２
の下面にＶ字形の窪みｈ・・ｈを所定のピッチで行列状に
設け、また、接触子４３の上端面４３ａには、先の窪み
ｈに嵌り込む形状の突起ｐを、その窪みｈに対応する位
置関係で設けておけば、接触子とスライドテーブルとの
結合力が、単なる接触による摩擦力よりも強固になり、
テーブル移動の確実性が向上する。
【００２５】なお、本発明の技術的思想は、Ｘ−Ｙステ
ージのほか、例えばｒ−θなどの他の２軸の移動ステー
ジにも適用可能である。
ージのほか、例えばｒ−θなどの他の２軸の移動ステー
ジにも適用可能である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＸ−Ｙス
テージによれば、ベーステーブルの上面に沿って２軸の
方向に自由度をもつスライドテーブルを、接触子とその
移動機構で構成される一つの駆動系で、２次元方向に移
動可能な構造としたから、ステージ全体の小型化を達成
できる。しかも、移動テーブルの積み上げがなく、また
駆動系に機構的な組み合わせも少ないことから、従来に
比してステージのがた付きが小さいといった利点もあ
る。
テージによれば、ベーステーブルの上面に沿って２軸の
方向に自由度をもつスライドテーブルを、接触子とその
移動機構で構成される一つの駆動系で、２次元方向に移
動可能な構造としたから、ステージ全体の小型化を達成
できる。しかも、移動テーブルの積み上げがなく、また
駆動系に機構的な組み合わせも少ないことから、従来に
比してステージのがた付きが小さいといった利点もあ
る。
【図１】本発明実施例の構成図で、(a) はその全体構成
を示す分解斜視図，(b) は縦断面図，(c) は駆動系５を
模式的に示す図
を示す分解斜視図，(b) は縦断面図，(c) は駆動系５を
模式的に示す図
【図２】本発明実施例の作用説明図
【図３】本発明実施例の駆動系の変形例の構造を模式的
に示す図
に示す図
【図４】本発明の他の実施例の要部構造を示す図
【図５】従来のＸ−Ｙステージの構造例を示す図
１ ベーステーブル １ａ 上面 Ａ 凹部（空間） ２ スライドテーブル ２ａ 上面（負荷載置面） ２ｂ 下面 ３ 接触子 ３ａ 上端面 ４ 永久磁石 ５ 駆動系 ５ａ〜５ｄ 電磁石
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１２Ｂ 5/00 Ｔ 6947−2Ｆ Ｈ０１Ｌ 21/027 // Ｇ０１Ｎ 1/28 37/00 Ａ 8506−2Ｊ Ｇ０１Ｎ 1/28 Ｗ
Claims (1)
- 【請求項１】 ベーステーブルの上面に沿って２次元方
向に摺動自在に配設されたスライドテーブルと、このス
ライドテーブルの上記ベーステーブル上面に対する垂直
方向の移動のみを規制する固定手段と、上記スライドテ
ーブルの下方に設けた空間に配設された接触子と、この
接触子を上記ベーステーブル上面と平行な面に沿って２
次元方向に平行移動させる駆動手段を備えているととも
に、上記接触子は、上端面が上記ベーステーブル上面に
対して垂直方向に変位して、上記スライドテーブル下面
への接触とその解除の状態のいずれかに動作し得るよう
に構成されてなるＸ−Ｙステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5215967A JPH0760581A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｘ−ｙステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5215967A JPH0760581A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｘ−ｙステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0760581A true JPH0760581A (ja) | 1995-03-07 |
Family
ID=16681209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5215967A Pending JPH0760581A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｘ−ｙステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760581A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6127749A (en) * | 1999-02-10 | 2000-10-03 | Nikon Corporation Of Japan | Two-dimensional electric motor |
| US6147421A (en) * | 1998-11-16 | 2000-11-14 | Nikon Corporation | Platform positionable in at least three degrees of freedom by interaction with coils |
| US6188147B1 (en) | 1998-10-02 | 2001-02-13 | Nikon Corporation | Wedge and transverse magnet arrays |
| US6208045B1 (en) | 1998-11-16 | 2001-03-27 | Nikon Corporation | Electric motors and positioning devices having moving magnet arrays and six degrees of freedom |
| US6445093B1 (en) | 2000-06-26 | 2002-09-03 | Nikon Corporation | Planar motor with linear coil arrays |
| US6452292B1 (en) | 2000-06-26 | 2002-09-17 | Nikon Corporation | Planar motor with linear coil arrays |
| WO2008026293A1 (fr) * | 2006-09-01 | 2008-03-06 | Pioneer Corporation | Dispositif d'entraînement et dispositif d'enregistrement/reproduction |
| USRE41232E1 (en) | 2000-04-24 | 2010-04-20 | Nikon Corporation | Wafer positioner with planar motor and mag-lev fine stage |
| JP2012500729A (ja) * | 2008-08-29 | 2012-01-12 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 手持ち式電動工具 |
| CN112756996A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-05-07 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种六自由度调节装置 |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP5215967A patent/JPH0760581A/ja active Pending
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