JP2523177B2

JP2523177B2 - 位置決めテ―ブル

Info

Publication number: JP2523177B2
Application number: JP1109925A
Authority: JP
Inventors: 哲野口
Original assignee: Nissha Printing Co Ltd
Current assignee: Nissha Printing Co Ltd
Priority date: 1989-04-28
Filing date: 1989-04-28
Publication date: 1996-08-07
Anticipated expiration: 2011-08-07
Also published as: EP0426868A1; JPH02287206A; DE69021324D1; EP0426868A4; DE69021324T2; EP0426868B1; KR920700390A; US5123174A; KR940006117B1; WO1990013790A1

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、液晶配向膜やフォトレジスト膜、液晶封入
用シールまたは半導体素子の絶縁皮膜などの種々の機能
性薄膜をガラス基板などのワーク表面に印刷・形成する
ために用いられる薄膜形成装置などの機能膜形成装置に
おいて、ワークを所定位置に固定する小型・軽量の位置
決めテーブルに関する。

従来の技術従来、この種の位置決めテーブルとしては種々の構造
のものが知られている。例えば、ガラス基板などのワー
クを所定位置に固定するため、ワークを縦方向・横方向
・回転軸方向に移動させるため、基台上に、Ｘ方向に移
動可能なＸ方向テーブル、Ｙ方向に移動可能なＹ方向テ
ーブル、θ方向に移動可能なθ方向テーブルの３層のテ
ーブルが積層されたものがある。この位置決めテーブル
は、上記基台上に、上記θ方向にθ方向テーブルを移動
させるため、サーキュラーガイドとパルスモータまたは
サーボモータが備えられる。一方、上記θ方向テーブル
には、上記Ｙ方向テーブルをＹ方向に移動させるため、
直線ガイドとボールネジを介してパルスモータまたはサ
ーボモータとを備える。そして、上記Ｙ方向テーブルに
は、上記Ｘ方向テーブルをＸ方向に移動させるため、直
線ガイドとボールネジを介してパルスモータまたはサー
ボモータとを備える。よって、各モータは駆動すること
により各ガイドに沿ってテーブルを移動させて、夫々の
方向の調整を行うようにしていた。

しかしながら、上記構造の位置決めテーブルでは、基
台を含めると４層構造よりなり、全体として大きな厚み
寸法を有することになりかつ重いものとなる一方、ほと
んどのテーブルにはガイドとモータとが配置されるので
全体として構造が複雑なものとなっていた。従って、上
記位置決めテーブルを薄膜形成装置に組み込んで移動式
のテーブルとして使用する場合には、装置全体がいたず
らに大型化し、テーブル自体を移動するとき及びワーク
の位置決めのときに機敏な動作を行わせることができな
いといった種々の問題があった。

これらの問題を解決するものとして、１つのテーブル
に、パルスモータまたはサーボモータ等の駆動装置を備
え、該駆動装置の駆動により摺動する３つの基準ピンを
Ｌ字を構成するように配置し、これらの基準ピンにワー
クを接触させるようにワーク押圧装置（プッシャー）で
ワークを押し付け、各基準ピンを移動させることによ
り、ワークの夫々の方向の位置調整を行えるようにした
ものが考えられる。

発明が解決しようとする課題しかしながら、上記構造のものでは、ワークをθ方向
に移動させる場合、ワークの回転中心が固定されず、各
基準ピンを夫々移動させる毎にワークの回転中心が異な
り、従って、ワークの位置調整をデータ化して行う場
合、位置決め時間が長くなるといった問題があった。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することに
あって、ワークの位置決め作業を短時間でおこなうこと
ができ、かつ、小型で軽量で構造も簡単な位置決めテー
ブルを提供することにある。

課題を解決するための手段上記目的を達成するために、本発明は、ワークの位置
決めに使用する３つの基準ピンを常に所定の軸回りに一
体的に回転できるように構成した。すなわち、ワークを
載置するワーク載置テーブルと、該ワーク載置テーブル
の下方にＸ方向に移動可能に支持されたベースプレート
と、該ベースプレートをＸ方向に移動させる第１駆動装
置と、上記ワーク載置テーブルの上記ワークに夫々当接
可能な第１基準部材と第２基準部材と第３基準部材と、
上記第１基準部材と上記第２基準部材とを所定間隔をあ
けて支持するとともに、上記第１基準部材と上記第２基
準部材との配列方向と直交する方向沿いに上記第２基準
部材とは所定間隔をあけ上記第３基準部材を支持する一
方、Ｙ方向に移動案内可能な一対のスライド装置を介し
て上記ベースプレートに連結され、かつ、上記一対のス
ライド装置のうちの一方のスライド装置との間には第１
の軸を介在させて該第１の軸回りのθ方向に上記ベース
プレートに対して回転可能とするとともに、他方のスラ
イド装置との間には第２の軸を介在させて該第２軸回り
に回転可能としかつ上記回転の角度に応じて上記第２軸
を第１軸に対して離接可能とする基準部材支持部材と、
該基準部材支持部材を上記Ｙ方向に移動させる第２駆動
装置と、上記基準部材支持部材を上記θ方向に移動させ
る第３駆動装置と、上記ワークを上記第１基準部材と上
記第２基準部材と上記第３基準部材とに接触させるよう
に付勢する付勢装置と、上記ワークに付された位置調整
用マークを検出するマーク検出手段と、上記検出手段の
検出結果と、上記マークを位置させるべき所望の位置と
の間のずれ量を演算する演算手段と、上記演算手段の演
算結果に基づき、上記マークを上記所望の位置に位置さ
せるべく、上記第１駆動装置、上記第２駆動装置及び上
記第３駆動装置を夫々駆動・制御する制御手段とを備
え、かつ、上記第２駆動装置と上記第３駆動装置は、上
記Ｙ方向に上記基準部材支持部材を移動させる一対の駆
動機構を有する１つの駆動装置により兼用し、各駆動機
構は、上記ベースプレートに支持される駆動源と、該駆
動源に上記Ｙ方向沿いに前後可能に支持されて上記第１
軸、第２軸を上記スライド装置の案内により上記Ｙ方向
沿いに前後動させる駆動軸とを有するとともに、両方の
駆動機構の駆動軸の駆動量を同一にして上記基準部材支
持部材を上記Ｙ方向に移動させる一方、上記両方の駆動
機構の駆動軸の駆動量を異ならせることにより上記基準
部材支持部材を上記第１軸回りに上記θ方向に回転させ
るように構成した。

また、上記構成においては、各基準部材は、上記基準
部材支持部材に対して移動調整可能に構成することもで
きる。

発明の作用上記構成においては、上記ワークを上記ワーク載置テ
ーブルに載置したのち、上記付勢装置で上記３つの基準
部材に夫々接触するように付勢する。そして、上記検出
手段で上記ワークのマークを検出してワークの現在の位
置を検出し、この情報に基づき上記演算手段でワークの
所望の位置と現在の位置とのずれ量を演算し、演算結果
により上記制御手段で上記第1,第2,第３駆動装置を駆動
制御する。すなわち、例えば、上記第１駆動装置を駆動
して、上記基準部材支持部材が支持された上記ベースプ
レートをＸ方向沿いに移動させ、上記ワークのＸ方向の
位置を調整する。また、上記第２駆動装置を駆動して、
上記ベースプレートに対して上記基準部材支持部材をＹ
方向沿いに移動させ、上記ワークのＹ方向の位置を調整
する。さらに、上記第３駆動装置を駆動して、上記ベー
スプレートに対して上記基準支持部材をθ方向に移動さ
せ、上記ワークのθ方向の位置を調整する。この場合、
基準部材支持部材がθ方向に移動（回転）されるときに
は、上記３つの基準部材が常に所定の軸回りに一体的に
回転される。

発明の効果上記構成によれば、３つの上記基準部材が上記基準部
材支持部材に支持され、かつ、所定の軸回りに一体的に
θ方向に移動可能にしたので、各基準部材を夫々Ｘ方向
またはＹ方向に移動させてもこれらの３つの基準部材は
上記基準部材支持部材とともに一体的に各方向に移動
し、かつ、ワークをθ方向に移動させる場合には、上記
所定の軸回りに必ず回転するため、ワークの回転中心が
固定され、従って、ワークの位置調整をデータ化して行
う場合、位置決め時間を短縮することができる。また、
上記位置決めテーブルは、上記ワーク載置テーブルと上
記ベースプレートとの大略２層のテーブルより構成され
るので、全体として小型で軽量で構造も簡単なものとな
る。

実施例以下に、本発明にかかる実施例を第１〜11図に基づい
て詳細に説明する。

本実施例にかかる位置決めテーブルは、第1,2図に示
すように、長方形板状ワーク載置テーブル12の下方に長
方形板状ベースプレート２をＸ方向に移動可能に配置
し、Ｌ字状をなすように配列された第1,第2,第３基準部
材としての第1,第2,第３基準ピン5a,5b,5cを基準部材支
持部材すなわち基準ピン支持部材４に固定するととも
に、該基準ピン支持部材４が上記ベースプレート２に対
して上記Ｘ方向とは直交するＹ方向及び所定の回転軸Ａ
のθ方向回りに夫々移動可能に取り付けられ、上記ワー
ク載置テーブル12上にワーク17を載置して、付勢装置で
上記ワーク17を上記第1,第2,第３基準ピン5a,5b,5cに夫
々接触させるように付勢したのち、検出手段で上記ワー
ク17上のマーク17a,17bを検出して、現在の位置と所望
の位置との間のずれ量を演算手段で演算し、この演算結
果に基づき、制御手段の駆動制御により、第１駆動装置
で上記ベースプレート２をＸ方向に移動調整し、第２駆
動装置で上記基準部材ピン部材４をＹ方向に移動調整
し、第３駆動装置で上記ピン支持部材４をθ方向に移動
調整して、ワーク17を上記所望の位置に位置決めするよ
うにしたものである。

上記ワーク載置テーブル12は、上記位置決めテーブル
を備える薄膜形成装置等に対して固定され、その上面に
ガラス板等のワーク17が載置される。このワーク載置テ
ーブル12の相対する一対の側面は上記Ｘ方向沿いに配置
され、残りの相対する一対の側面は上記Ｙ方向沿いに配
置されている。そして、上記Ｘ方向沿いの一側面には、
第１基準ピン5a及び第２基準ピン5bに夫々対応する位置
に第１切欠12a及び第２切欠12bを形成する。一方、上記
Ｙ方向沿いの一側面には、第３基準ピン5cに対応する位
置に第３切欠12cを形成する。なお、上記テール12には
上記第１切欠12aと上記第２切欠12bとを連結するような
大きな切欠を形成してもよい一方、切欠は必ずしも必要
ではなく、基準ピン５が後述するようにワーク17に接触
することができれば、切欠を上記テーブル12に形成する
必要はない。ワーク載置テーブル12は、上記付勢装置に
対応する位置にも切欠を形成する。つまり、第１基準ピ
ン5a及び第２基準ピン5bに相対する側には、第１プッシ
ャーピン35a及び第２プッシャーピン35bに夫々対応する
位置に第４切欠1h及び第５切欠12iを形成する。一方、
第３基準ピン5cに相対する側には、第３プッシャーピン
35cに対応する位置に第６切欠12jを形成する。

上記ベースプレート２は、第２図に示すように、上記
ワーク載置テーブル12の図中左側の下方に配置され、そ
の相対する一対の側面が上記Ｘ方向沿いに配置される一
方、残りの相対する一対の側面が上記Ｙ方向に配置され
ている。そして、第３図に示すように、ワーク載置テー
ブル12の下方に一対のブラケット16,16を介してスライ
ドガイド１を吊り支持し、このスライドガイド１の下面
に上記ベースプレート２がＸ方向に対して摺動可能に吊
り支持される。上記スライドガイド１は、第５図に示す
ように、上部1aと下部1bとの間に、一対のガイド1c,1c
間にコロ1dを回転自在に挟み込んだ送り部を２組内蔵し
てなる公知のスライド装置であって、上記上部1aを上記
ブラケット16,16に固定する一方、下部1bを上記ベース
プレート２に固定する。このベースプレート２をＸ方向
に駆動する上記第１駆動装置は以下のように構成され
る。すなわち、第1,2,4,6図に示すように、ワーク載置
テーブル12にブラケット14を介して駆動モータ（パルス
モータ）13を支持し、この駆動モータ13の回転軸に固定
されたギヤ６にギヤ11を噛合させる。このギヤ11はＸ方
向沿いにブラケット48に支持されたマイクロメータヘッ
ド10の回転軸10aの後端に固定されており、この回転軸1
0aの前端は上記ベースプレート２のＸ方向沿いの一端の
係止端2aに固定される。よって、上記駆動モータ13の回
転駆動により、ギヤ6,11を介してマイクロメータヘッド
10の回転軸10aを回転させながらＸ方向に前後動させ
て、ベースプレート２をＸ方向に移動させる。上記ベー
スプレート２のＸ方向沿いの他端には、第７図に示すよ
うに、その係止端2bと上記ワーク載置テーブル12の下面
より下方に延びた係止部12dとの間に圧縮バネ15を介在
させて、ベースプレート２を常時Ｘ方向の上記駆動モー
タ13側に押圧付勢する。従って、上記ベースプレート２
は、上記圧縮バネ15が圧縮する範囲内で移動調整され
る。

上記基準ピン支持部材４は、大略コ字状に５個の部材
を組み合わせてなり、上記ベースプレート２の上面に上
記Ｙ方向及び回転軸Ａのθ方向回りに回転可能に配置さ
れる。

すなわち、上記ベースプレート２のＸ方向沿いの一側
部上に、直方体状第３支持体4cを載置し、この第３支持
体4cのＸ方向一端にＹ方向沿いにスライド部材７を介し
て延びる第１支持体4aを連結する。この第１支持体4a
は、上記第３支持体4cに対して上記スライド部材７によ
り摺動し、かつ、その回転中心軸Ｂの回りに回転可能に
上記ベースプレート２に取り付けられる。このスライド
部材７は、第５図に示すスライド装置または後述する第
９図に示すスライド装置であって、スライド部材７を介
して上記第３支持体4cに対して第１支持体4aが自在にス
ライドするようにする。また、上記第３支持体4cのＸ方
向他端にはＹ方向沿いに延びる第２支持体4bを固定し、
該第２支持体4bの側面にはＹ方向に延びる直方体状第４
支持体4dを固定する。上記第３支持体4cの上記一端の上
面でかつ上記第１支持体4aのＹ方向沿い中心軸上には第
１基準ピン5aを固定する。上記第３支持体4cの上記他端
の上面でかつ上記第２支持体4bのＹ方向沿いの中心軸上
には第２基準ピン5bを固定する。また、上記第４支持体
4dのＹ方向一端には、Ｘ方向沿いに延びる延長部を形成
し、該延長部の上面に第３基準ピン5cを固定する。各基
準ピン５は、ワーク17を位置決めする際、基準ピン５と
ワーク17とが円滑に動くようにするため、ねじ軸の頭部
にベアリング46を介して回転可能な樹脂製の円筒体45を
備えるとともに、そのねじ軸にナットを螺合させてな
り、該ナットを回転させてそのねじ軸の頭部の位置を調
整できるものであって、上記ねじ軸の下端部を各支持体
の上面にねじ込んでなる。この基準ピン5a,5b,5cはワー
ク載置テーブル12の各切欠12a,12b,12c内に夫々入り込
み、かつ、該テーブル12の上面より上方にその頭部が突
出して、テーブル12上に載置されるワーク17の端部に接
触可能とする。上記のように各基準ピン５を配置するこ
とにより、上記第１基準ピン5aと第２基準ピン5bとを通
る直線と、第２基準ピン5bと第３基準ピン5cとを通る直
線とは直交をなすようになる。なお、上記第１基準ピン
5a、第２基準ピン5bは夫々第１基準ピン支持体4a、第２
基準ピン支持体4bの中心軸上よりずれて配置されるよう
にしてもよい。また、各基準ピン5a,5b,5cは、夫々、上
記直交関係を保持する限りにおいて独立して上記各支持
体に対して移動調整可能としてもよい。すなわち、ワー
ク17の大きさに応じて各基準ピン５の間隔を調整するよ
うにしてもよい。

上記基準ピン支持部材４をＹ方向及びθ方向に夫々駆
動する上記第２駆動装置及び上記第３駆動装置は次のよ
うに構成される。すなわち、第2,第３駆動装置は一対の
駆動機構により兼用され、一方の駆動機構は上記基準ピ
ン支持部材４の回転軸Ａを含むＹ方向沿いに支持部材４
を移動させる一方、他の駆動機構は回転軸Ａを含まない
Ｙ方向沿いに支持部材４を移動させるように構成して、
両方の駆動機構の駆動量を同一にすることにより、支持
部材４を全体としてＹ方向沿いに前後動させ、両方の駆
動機構の駆動量を異ならせることにより、支持部材４を
θ方向に回転させるようにしている。上記両方の駆動機
構の具体的構成は同一のものであるため、いずれか一方
についてのみ以下説明する。

すなわち、第１図に示すように、上記第１支持体4a及
び上記第２支持体4bの下面には回転軸支持部材21,21を
夫々介してスライド装置3a,3bを備える。上記第１支持
体側の回転軸支持部材21は、第１支持体4aの回転軸Ｂを
支持し、第２支持体側の回転軸支持部材21は上記回転軸
Ａを支持し、この回転軸B,Aを夫々Ｙ方向沿いに移動さ
せて、第１支持体4a,第２支持体4bを同方向に移動させ
る。上記各回転軸支持部材21は、第2,8図に示すよう
に、その一端とベースプレート２の係止端2cとの間に圧
縮バネ20を介在させて、常時、上記回転軸支持部材21を
後述するマイクロメータヘッド23の回転軸23aに押圧接
触させる。上記回転軸支持部材21,21の下面に取り付け
られた上記スライド装置3a,3bは同一構造のものであ
り、第９図に示すように、上部22と下部28との間に、一
対のレール29,29間にボール30を回転自在に挟み込んだ
送り部を２組内蔵してなる公知のスライド装置であっ
て、第８図に示すように、上記上部22を上記回転軸支持
部材21及び回転軸B,Aを介して支持体4a,4bに固定する一
方、下部28を上記ベースプレート２の上面に固定する。
上記ベースプレート２には、Ｙ方向沿いに、第１支持体
4aに対しては第１パルスモータ27が、第２支持体4bに対
しては第２パルスモータ26が夫々支持され、この各パル
スモータ27,26の各回転軸にギヤ25が固定され、このギ
ヤ25に噛合するギヤ24がマイクロメータヘッド23の回転
軸23aに固定される。この回転軸23aが回転すると、該回
転軸23aが軸方向沿いに前後動して上記回転軸支持部材2
1をスライド装置3a,3bの上部22と一体的にその下部28に
対して前後動させ、基準ピン支持部材４を夫々Ｙ方向沿
いに移動させる。

また、上記付勢装置は、ワーク17を上記各基準ピン５
に接触させるように付勢させるものであって、第２図に
示すように、上記第１基準ピン5a及び第２基準ピン5bに
夫々Ｙ方向沿いに対向して第１プッシャーピン35a及び
第２プッシャーピン35bをＹ方向に移動可能に上記ワー
ク載置テーブル12に夫々支持し、第３基準ピン5cにＸ方
向沿いに対向して第３プッシャーピン35cをＸ方向沿い
に移動可能に上記ワーク載置テーブル12に支持する。ま
た、各プッシャーピン35に対してこれを基準ピン側に移
動させる駆動装置36を備える。各駆動装置36は、第10に
も示すように、ワーク載置テーブル12の下面にブラケッ
ト12fを介してエアシリンダ37が支持され、このエアシ
リンダ37のピストンロッド37aの先端にプッシャーピン3
5を支持する支持部37bを固定して、ワーク17をワーク載
置テーブル12上に載置したのち、各エアシリンダ37を駆
動して、プッシャーピン35をワーク17の端部に接触させ
て各基準ピン５に向けてワーク17を押圧し、プッシャー
ピン35と基準ピン５との間でワーク17を保持する。な
お、各基準ピン５と各プッシャーピン35とは必ずしも対
向させる必要はなく、任意の位置にプッシャーピン35を
配置して上記作用を行わせるようにしてもよい。なお、
第２図には、第３プッシャーピン35cのエアシリンダ37
は省略されているが、他のエアシリンダ37と同一の構造
・機能を持つものである。

さらに、上記位置決めテーブルは、ワーク17に付され
たレジスターマーク17a,17bを検出する検出手段として
のテレビカメラ40a,40bを備えるとともに、この検出結
果とワーク17の所望の位置とのずれ量を演算する演算手
段としてさらに上記各モータ13,26,27の駆動制御を行う
制御手段としてのマイクロコンピュータ41を備える。上
記マーク17a,17bは、例えば、ワーク17としてガラス板
を使用する場合には、このガラス板に印刷するなどして
形成する。

上記構成によれば、ワーク17をワーク載置テーブル12
上に載置し、エアシリンダ37,37,37を駆動してプッシャ
ーピン35a,35b,35cをワーク17に接触させて、該ワーク1
7を上記各基準ピン5a,5b,5cに確実に接触させる。その
後、上記テレビカメラ40a,40bによりワーク17のレジス
ターマーク17a,17bの位置を夫々検出して、ワーク17の
現在の位置を検出し、そのデータをマイクロコンピュー
タ41に入力する。そして、該マイクロコンピュータ41内
で現在の位置と所望の位置とのずれ量を演算して、Ｘ方
向、Ｙ方向及びθ方向の各ずれ量を無くすように各モー
タ13,27,26に指令信号を出力して各モータを駆動制御す
る。すなわち、まず、ワーク17のθ方向の位置を調整す
るため、上記第１パルスモータ27及び第２パルスモータ
26を夫々異なる駆動量だけ駆動して、マイクロメータヘ
ッド10,10、回転軸支持部材21,21、回転軸B,Aなどを介
して第1,第２スライド装置3a,3bの案内により第１支持
体4aと第２支持体4bとを夫々Ｙ方向沿いに前後動させ、
上記基準ピン支持部材４を上記回転軸Ａの回りにずれ量
に相当する所定角度だけ回転させる。このとき、第２〜
第４支持体4b,4c,4d及びスライド部材７は、一体的に固
定されているため、上記第２支持体4bの移動すなわち上
記回転軸Ａ及びその支持部材21の移動とともに一体的に
Ｙ方向沿いに移動するとともに、上記第２パルスモータ
26の駆動に伴う第１支持体4aのＹ方向沿いの移動により
上記回転軸Ａのθ方向回りに一体的に回転する。これに
対して、第１支持体4aは、上記第１パルスモータ27の駆
動により回転軸Ｂ及びその支持部材21とともにＹ方向沿
いに移動する一方、上記第２支持体等の回転軸Ａ回りの
回転により、スライド部材７に対してスライドしながら
回転軸Ｂ回りに回転する。このスライド部材７に対する
スライド作用により、第１支持体4aは上記他の支持体4
b,4c,4dに対して無理なく連結関係が保持される。上記
第1,第２支持体等が異なる量だけＹ方向沿いに移動する
結果、上記ワーク17がθ方向に回転され、そのθ方向の
位置調整が行なわれる。次いで、上記駆動モータ13を所
定量だけ駆動して、ベースプレート２全体をＸ方向沿い
に前後動させて、ワーク17のＸ方向沿いの位置調整を行
う。次いで、上記第１パルスモータ27及び第２パルスモ
ータ26を同一の駆動量だけ駆動して、回転軸B,Aをすな
わち基準ピン支持部材４とともにワーク17を同一量だけ
Ｙ方向沿いに前後動させて、ワーク17のＹ方向沿いの位
置調整を行う。この結果、ワーク17のマーク17a,17bが
所望の位置に位置しておけば、位置決め作業を終了し、
もし、まだ、ワーク17が所望の位置に位置していない場
合には、所望のモータを駆動して位置調整を行う。な
お、上記ワーク17は常時エアシリンダ37,37,37により上
記基準ピン５に向けて押圧されているため、基準ピン５
が移動するとそれに追随して移動する。

上記実施例によれば、３つの上記基準ピン5a,5b,5cが
上記基準ピン支持部材４に支持され、かつ、所定の回転
軸Ａ回りに一体的にθ方向に移動するようにしたので、
各基準ピン５を夫々Ｘ方向またはＹ方向に移動させても
これらの３つの基準ピン5a,5b,5cは上記基準ピン支持部
材４とともに一体的に各方向に移動し、かつ、ワーク17
をθ方向に移動させる場合には、上記所定の回転軸Ａ回
りに必ず回転するため、ワーク17の回転中心が固定さ
れ、従って、ワーク17の位置調整をデータ化して行う場
合、位置決め時間を短縮することができる。また、ワー
ク載置テーブル12とベースプレート２との大略２層のテ
ーブルより構成されるので、全体として小型で軽量で構
造も簡単なものとなる。また、第２図においてテーブル
12の右側に基準ピン等の駆動装置等がほとんどなく、こ
の部分の空間を有効に利用することができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではな
く、その他種々の態様で実施できる。例えば、上記ワー
ク17の位置調整作業は、上記θ方向の位置調整から始め
るものに限定されず、Ｘ方向またはＹ方向から始めても
よい。また、X,Y,θ方向を同時に調整するようにしても
よい。また、上記各駆動装置の一部であるモータは上記
パルスモータに限定されずサーボモータ等種々のモータ
でもよいとともに、モータに限定されず、公知の駆動部
材を使用することもできる。また、上記マイクロメータ
ヘッドの代わりにボールネジ等を使用してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例にかかる位置決めテーブルに
おける要部を示す概略斜視図、第２図は上記位置決めテ
ーブルの平面図、第３図は上記位置決めテーブルのワー
ク載置テーブルとベースプレートとの関係を示す側面
図、第４図は上記実施例におけるＸ方向のベースプレー
トの第１駆動装置を示す側面図、第５図は上記実施例に
かかるスライド装置の断面図、第６図は第１駆動装置の
正面図、第７図は上記実施例におけるベースプレートと
ワーク載置テーブルとの関係を示す側面図、第８図は上
記実施例にかかる第2,第３駆動装置の正面図、第９図は
上記実施例にかかるスライド装置の半断面図、第10図は
上記実施例にかかる押圧装置の正面図、第11図は各駆動
装置の制御関係を示す説明図である。１……スライドガイド、２……ベースプレート、3a,3b
……スライド装置、４……基準ピン支持部材、4a,4b,4
c,4d……第1,第2,第3,第４支持体、５……基準ピン、5
a,,5b,5c……第1,第2,第３基準ピン、６……ギヤ、７…
…スライド部材、10……マイクロメータヘッド、11……
ギヤ、12……ワーク載置テーブル、13……駆動モータ、
14……ブラケット、15……圧縮バネ、16……ブラケッ
ト、17……ワーク、17a,17b……レジスタマーク、20…
…圧縮バネ、21……回転軸支持部材、22……上部、23…
…マイクロメータヘッド、24,25……ギヤ、26……第２
パルスモータ、27……第１パルスモータ、28……下部、
29……レール、30……ボール、35……プッシャーピン、
35a,35b,35c……第1,第2,第３プッシャーピン、36……
駆動装置、37……エアシリンダ、40a,40b……テレビカ
メラ、41……マイクロコンピュータ、A,B……回転軸。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ワーク（17）を載置するワーク載置テーブ
ル（12）と、上記ワーク載置テーブル（12）の下方にＸ方向に移動可
能に支持されたベースプレート（２）と、上記ベースプレート（２）をＸ方向に移動させる第１駆
動装置と、上記ワーク載置テーブル（12）の上記ワーク（17）に夫
々当接可能な第１基準部材（5a）と第２基準部材（5b）
と第３基準部材（5c）と、上記第１基準部材（5a）と上記第２基準部材（5b）とを
所定間隔をあけて支持するとともに、上記第１基準部材
（5a）と上記第２基準部材（5b）との配列方向と直交す
る方向沿いに上記第２基準部材（5b）とは所定間隔をあ
け上記第３基準部材（5c）を支持する一方、Ｙ方向に移
動案内可能な一対のスライド装置（3a,3b）を介して上
記ベースプレート（２）に連結され、かつ、上記一対の
スライド装置（3a,3b）のうちの一方のスライド装置（3
b）との間には第１の軸（Ａ）を介在させて該第１の軸
回りのθ方向に上記ベースプレート（２）に対して回転
可能とするとともに、他方のスライド装置（3a）との間
には第２の軸（Ｂ）を介在させて該第２軸回りに回転可
能としかつ上記回転の角度に応じて上記第２軸（Ｂ）を
第１軸（Ａ）に対して離接可能とする基準部材支持部材
（４）と、上記基準部材支持部材（４）を上記Ｙ方向に移動させる
第２駆動装置と、上記基準部材支持部材（４）を上記θ方向に移動させる
第３駆動装置と、上記ワーク（17）を上記第１基準部材（5a）と上記第２
基準部材（5b）と上記第３基準部材（5c）とに接触させ
るように付勢する付勢装置と、上記ワーク（17）に付された位置調整用マーク（17a,17
b）を検出するマーク検出手段（40a,40b）と、上記検出手段（40a,40b）の検出結果と、上記マーク（1
7a,17b,）を位置させるべき所望の位置との間のずれ量
を演算する演算手段（41）と、上記演算手段（41）の演算結果に基づき、上記マーク
（17a,17b）を上記所望の位置に位置させるべく、上記
第１駆動装置、上記第２駆動装置及び上記第３駆動装置
を夫々駆動・制御する制御手段（41）とを備え、かつ、上記第２駆動装置と上記第３駆動装置は、上記Ｙ方向に
上記基準部材支持部材（４）を移動させる一対の駆動機
構を有する１つの駆動装置により兼用し、各駆動機構
は、上記ベースプレート（２）に支持される駆動源（2
6,27）と、該駆動源（26,27）に上記Ｙ方向沿いに前後
動可能に支持されて上記第１軸（Ａ）、第２軸（Ｂ）を
上記スライド装置（3a,3b）の案内により上記Ｙ方向沿
いに前後動させる駆動軸（23a）とを有するとともに、
両方の駆動機構の駆動軸の駆動量を同一にして上記基準
部材支持部材（４）を上記Ｙ方向に移動させる一方、上
記両方の駆動機構の駆動軸の駆動量を異ならせることに
より上記基準部材支持部材（４）を上記第１軸（Ａ）回
りに上記θ方向に回転させるようにしたことを特徴とす
るワーク位置決めテーブル。
【請求項２】各基準部材（５）は、上記基準支持部材
（４）に対して移動調整可能な請求項１記載の位置決め
テーブル。