JP2829911B2 - セラミック生シートの積層装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック生シー
トの積層装置に関し、詳しくは、セラミック生シートの
複数枚を搬入毎に高圧にて積層するものでありながら、
搬入毎のセラミック生シートの位置ずれを補正するため
の構成を合理的な手段によって簡素化し、微少な補正を
可能にするとともに、装置全体を大幅に小型化し、コス
トダウンを図ろうとする技術に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、セラミックシートの多層体となっ
ているセラミック積層コンデンサーや、多層配線基板を
製造するのに際して、一つの方法は、表面に所定のパタ
ーンで電極や配線回路が印刷されたセラミック生シート
を所定の形状に切断し、それらを所定の位置において電
極や配線回路がずれないように精度よく位置合わせをし
た上で、加圧して密着させる積層方法がある。

【０００３】この積層方法において使用されるセラミッ
ク生シートは、長尺な保持シートに塗工されて形成され
たうえで電極や位置決めマーク等の印刷パターンが予め
印刷されている。この二層体シートを機械に装着して送
り出し、二層体シートのセラミック生シートのみをカッ
ターにて所定の幅に切断しながら前記印刷パターンが、
剥離テーブル上の所定の位置で止まるように間欠駆動さ
れる。

【０００４】この剥離テーブル上に位置決めされた印刷
パターンを位置検出用カメラにて撮影し、同パターン内
の位置決めマークを基準にして位置ずれを検出するので
ある。一方、上押さえ台は、上記位置の検出結果に基づ
いて制御信号にて駆動されるサーボモータにより、例え
ば、ボールネジ及びネジ軸を介して水平（Ｘ方向）にそ
の移動距離が補正されるのである。そして、剥離テーブ
ル上のセラミック生シートの上記Ｘ方向とは直交するＹ
方向及び回転（θ）方向の位置ずれに対する補正は下押
さえ台側においておこなわれるものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上下押さえ
台はセラミック生シートの積層に際して、数トンから数
十トンの荷重を掛けておこなれるのであり、このような
大きな積層荷重が掛かる積層装置においては、セラミッ
ク生シートの位置ずれを補正するための構成にも多大な
荷重が掛かり、位置補正のめの構成も堅牢なものが必要
となり、そのためのサーボモータのような原動部も大型
なものが必要になり、装置が大型化し、コストも上が
り、微少な補正もおこない難くなる等という問題があ
る。

【０００６】本発明はこのような問題を解消しようとす
るもので、セラミック生シートの複数枚を高圧にて積層
するものでありながら、セラミック生シートを所定の位
置にセットする時に基準位置に対して生じている位置ず
れを補正するための構成を簡素化し、微少な補正を可能
にし、装置全体を大幅に小型化し、コストダウンを図る
ことができるセラミック生シートの積層装置を提供する
ことを課題とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１においては、上
押さえ台１と下押さえ台２との間にセラミック生シート
Ｓａ…を一枚づつ搬入するとともに搬入毎に上下押さえ
台１，２を稼働させて多層積層体を製造するのに、下押
さえ台２側に、セラミック生シートＳａの位置の検出結
果に基づいて下押さえ台２の水平面内における位置を補
正する位置補正手段Ｄが設けられたセラミック生シート
の積層装置であって、下押さえ台２が上下に複数に分割
され、対向する分割体２ｘ，２ｘが上記位置補正のため
に相対位置変更可能に構成され、対向する分割体２ｘ，
２ｘ間に上記位置補正手段Ｄが設けられ、上下押さえ台
１，２を加圧してセラミック生シートＳａ…を積層する
ための加圧力が上記位置補正手段Ｄにおよぶのを回避す
る加圧力吸収手段Ｆが設けられて成ることを特徴とする
ものである。

【０００８】請求項２においては、加圧力吸収手段Ｆ
は、セラミック生シートＳａ…を積層する加圧力にて弾
性変形するバネ板Ｂで構成されていることを特徴とする
ものである。請求項３においては、位置補正手段Ｄは水
平面内の直線移動をおこなうものであることを特徴とす
るものである。

【０００９】請求項４においては、位置補正手段Ｄは水
平面内の回転移動をおこなうものであることを特徴とす
るものである。請求項１においては、上下押さえ台１，
２が加圧されている状態では、加圧力吸収手段Ｆにて上
記加圧力を吸収することができ、上下の分割体２ｘ，２
ｘ間に装填した位置補正手段Ｄに積層時の加圧力が掛か
るのを回避することができ、したがって、位置補正手段
Ｄは大きな加圧力を見越しての頑丈な構成のものは必要
でなく、直線方向及び回転方向の補正をおこなうための
軸受（ベアリング）を小型化し、かつ、比較的小型のサ
ーボモータで、上の分割体２ｘの微細な位置補正制御を
おこなうことができ、位置ずれを補正する構成を簡素化
でき、装置全体を小型化でき、コウトダウンできる。

【００１０】換言すれば、通常では、上下に複数に分割
した分割体２ｘ，２ｘ，２ｘ等を公差を伴う機械加工に
て製作し、このように製作された多くの部品を組立てた
場合に、上記製作上の公差と、組立て誤差にて、直線方
向及び回転方向の補正をおこなうための軸受（ベアリン
グ）に直接的に加圧力が掛かるような組立状態になる場
合が生じるのであるが、本発明においては、上記軸受
（ベアリング）に加圧力が掛かるのを回避する加圧力吸
収手段Ｆを設けることによって、上記公差及び組立誤差
の範囲内で組立られた場合に、上記軸受（ベアリング）
を確実に保護することができ、しかして、軸受（ベアリ
ング）を小型化し、補正制御をおこなう駆動部も小型化
し、微少な補正を可能にするものである。

【００１１】請求項２においては、セラミック生シート
Ｓａの積層のための加圧力を吸収する手段としてバネ板
Ｂの弾性変形を利用したもので、部品構成が極めて簡素
で、製作が容易でありながら、請求項１において詳述し
た作用効果を充分に奏することができるものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の一形態を図面
に基づいて詳述する。図３（ａ）は積層装置の全体正面
図を示し、図４は全体平面図を示している。セラミック
生シートＳｂは長尺な保持シート１１に塗工されて成形
されたうえで、さらに電極及び位置決めマーク１９が予
め印刷されている。この二層体を成すシート１２が巻出
装置１３に装着され、カッター１５にてセラミック生シ
ートＳｂのみを所定の幅に切断しながらサクションロー
ル１４などの駆動により前記印刷パターンが剥離テーブ
ル１６の所定の位置で止まるように間欠駆動されるよう
にしている。剥離テーブル１６上に停止したセラミック
生シートＳｂの印刷パターンがここで撮影され、同パタ
ーン内の位置決めマーク１９の位置を基準位置と比較し
て、同上パターンの停止位置のずれを検出するようにし
ている。

【００１３】上押さえ台１は、上記位置の検出結果に基
づいて制御信号を受けて駆動されるサーボモータ１７に
よりネジ軸１０を介して水平（Ｘ方向）にその移動距離
が補正されて剥離テーブル１６上のセラミック生シート
Ｓｂのパターン上に正確に位置決されるのである。この
時、カメラ２０は剥離テーブル１６上から移動して上押
さえ台１に邪魔にならない場所に退避している。その
後、上押さえ台１に付設されているカッターにて長尺な
セラミック生シートＳｂのみを所定の長さに切断し、こ
のように所定の形状に切断されたセラミック生シートＳ
ａを上押さえ台１にエアーの吸引による吸着作用で保持
し、積層装置Ａにおける下押さえ台２の上方に移動され
る。

【００１４】一方、剥離テーブル１６上のセラミック生
シートＳｂの撮影されたパターンに対して、前記Ｘ方向
と直交するＹ方向及び回転（θ）方向の位置ずれの補正
は下押さえ台２の側においておこなうようにしてあり、
これによって積層される位置が正確に位置決めされる。
その後、下押さえ台２の上方に移動して来た上押さえ台
１と下押さえ台２の間においてセラミック生シートＳａ
を正確な位置に順次積層して、セラミック積層体Ｌを連
続的に生産するのである。セラミック生シートＳａが剥
離された保持シート１１は巻取装置１８に巻取られるの
である。

【００１５】以下、位置補正構成と上下押さえ台１，２
を備えている積層装置Ａを詳述する。図２に示すよう
に、サーボモータ１７にてネジ軸１０が制御回転自在に
設けられ、ネジ軸１０にボールネジ３１が螺合され、ボ
ールネジ３１に上押さえ台１が保持され、Ｘ方向の信号
が入力されてネジ軸１０が制御回転されて、上押さえ台
１を所定の位置に駆動移動できるようにしている。上押
さえ台１には多数個の孔が形成され、エアー供給・吸引
部（図示せず）に接続され、エアーの吸引作用にてセラ
ミック生シートＳａを吸引して搬送し、また、搬送後に
おいてエアーを噴出してセラミック生シートＳａを上押
さえ台１から剥離することができるようにしている。

【００１６】下押さえ台２は加圧機器６としての油圧シ
リンダー７のシリンダーロッド８に後述するＹ方向の補
正手段及び回転（θ）方向の補正手段を介して搭載さ
れ、下押さえ台２がＹ方向の制御信号及び回転（θ）方
向の制御信号にて各々の方向の補正がおこなわれ、その
後、油圧シリンダー７の伸縮で昇降されて、上押さえ台
１との間においてセラミック生シートＳａを一枚毎に積
層してゆくのである。

【００１７】図１及び図２に示すように、下押さえ台２
とシリンダーロッド８との間には、Ｙ方向の補正手段及
び回転（θ）方向の補正手段が介装されている。即ち、
シリンダーロッド８の上端に固定受台３３が連結され、
固定受台３３には昇降台３４が昇降ガイド手段５２を介
して支持枠５３に垂直にガイド移動できるように構成し
ている。昇降台３４には回転（θ）方向の位置修正手段
Ｄを構成する軸受３５を介して軸３６が回転自在に保持
され、回転台５４は加圧力吸収手段Ｆとしての板バネ４
４（バネ板Ｂ）を介して軸３６に接合されている。回転
台５４には加圧力吸収手段Ｆとしての板バネ材４３（バ
ネ板Ｂ）を介してＹ方向の補正をおこなうためにＹ方向
に伸びる一対のレール３７，３７が付設され、このレー
ル３７，３７にスライド自在に支持されていて、位置修
正手段Ｄを構成するボールスライド軸受３８，３８を介
してＹ方向の移動が自在なＹ方向移動台３９が搭載され
ている。

【００１８】更に、昇降台３４にウォーム４０がサーボ
モータ４１の駆動にて制御回転自在に設けられ、軸３６
にはウォームギヤ４２が設けられ、ウォーム４０がウォ
ームギヤ４２に螺合し、しかして、回転（θ）方向の制
御信号にて駆動されるサーボモータ４１にてウォーム４
０が駆動回転され、ウォームギヤ４２を介して軸３６を
従動回転し、回転台５４を回転させてセラミック生シー
トＳａの回転（θ）方向の位置ずれを補正することがで
きるようにしている。

【００１９】また、回転台５４にはサーボモータ６２が
搭載され、Ｙ方向の補正信号にてサーボモータ６２が制
御回転される。この動力はネジ軸６３に伝達される。ネ
ジ軸６３にはボールネジ６４が備えられているＹ方向移
動台３９が螺合されていてＹ方向移動台３９が駆動移動
されて、セラミック生シートＳａのＹ方向の位置ずれを
補正することができるようにしている。

【００２０】ところで、上下押さえ台１，２は数トンか
ら数十トンの加圧力にて加圧されるのであり、この時の
高荷重に耐えられる構造でなければならない。一方、上
記加圧力が加圧されていない時にＹ方向及び回転（θ）
方向共に位置ずれ補正のために軽く動く必要がある。そ
こで回転台５４と軸３６との接合部材に板バネ４４のよ
うな弾性体を介在させ、また、回転台５４とレール３
７，３７との間の接合部材に板バネ材４３のような弾性
体を介在させることによって、軸受３５やボールスライ
ド軸受３８に板バネの弾性力以上の高荷重がかかるのを
防いでいる。

【００２１】即ち、上記板バネ材４３は、間座６５，６
５にて支持され、間座６５，６５間において弾性変形す
るものである。また、板バネ４４は、取付けビス６６に
て回転台５４に取付けられるとともに取付けビス６７に
て軸３６の上端のフランジに取付けられ、板バネ４４は
空所Ｈ内において弾性変形するものである。しかして、
部品加工精度や組立誤差によって分割体２ｘとしての昇
降台３４と回転台５４が強い力で直接接触して回転
（θ）方向に動かなくなるのを板バネ４４のような弾性
体が介在することによって防ぎ、また、分割体２ｘとし
ての回転台５４とＹ方向移動台３９が強い力で直接接触
して、Ｙ方向に動かなくなるのを板バネ材４３のような
弾性体が介在することによって防いでいる。

【００２２】しかして、上下押さえ台１，２が加圧され
ている状態では、上下に分割された昇降台３４、回転台
５４；回転台５４、Ｙ方向移動台３９（分割体２ｘ，２
ｘ）間に装填された板バネ４４及び板バネ材４３（バネ
板Ｂ、即ち加圧力吸収手段Ｆ）によって、セラミック生
シートＳａ…の積層時の加圧力を吸収することができ、
軸受３５やボールスライド軸受３８，３８に加圧力が掛
かるのをのを回避することができるのである。したがっ
て、軸受３５やボールスライド軸受３８は大きな加圧力
を見越しての頑丈な構成のものは必要でなく、比較的小
型のサーボモータのような簡易な制御機器を使用して、
回転台５４及びＹ方向移動台３９の微細な位置補正制御
をおこなうことができ、位置ずれを補正する構成を簡素
化でき、装置全体を小型化でき、コウトダウンできるの
である。

【００２３】

【発明の効果】請求項１においては、下押さえ台が上下
に複数に分割され、対向する分割体が上記位置補正のた
めに相対位置変更可能に構成され、対向する分割体間に
上記位置補正手段が設けられ、上下押さえ台を加圧して
セラミック生シートを積層するための加圧力が上記位置
補正手段におよぶのを回避する加圧力吸収手段が設けら
れているから、上下押さえ台が加圧されている状態で
は、加圧力吸収手段にて上記加圧力を吸収することがで
き、上下の分割体間に装填した位置補正手段に積層時の
加圧力が掛かるのを回避することができる。したがっ
て、位置補正手段は大きな加圧力を見越しての頑丈な構
成のものは必要でなく、直線方向の補正及び回転方向の
補正をおこなうための軸受（ベアリング）を小型化し、
かつ比較的小型のサーボモータで位置補正制御をおこな
うことができる。又、位置ずれを補正する構成を簡素化
でき、装置全体を小型化して、コウトダウンできるとい
う利点がある。

【００２４】即ち、セラミック生シートの複数枚を搬入
毎に高圧にて積層するものでありながら、搬入毎のセラ
ミック生シートの位置ずれを補正するための構成を簡素
化し、装置全体を大幅に小型化し、コストダウンを図る
点に発明性を見出すものである。請求項２においては、
加圧力吸収手段は、セラミック生シートを積層する加圧
力にて弾性変形するバネ板で構成されているから、つま
り、セラミック生シートの積層のための加圧力を吸収す
る手段としてバネ板の弾性変形を利用したものであっ
て、部品構成が極めて簡素で、製作が容易でありなが
ら、請求項１において詳述した作用効果を充分に奏する
ことができるものである。

【００２５】ところで、位置補正手段は、請求項３のよ
うに、水平面内の直線移動をおこなうものであってもよ
く、また、請求項４のように、水平面内の回転移動をお
こなうものであってもよいものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態を示し、（ａ）は積層装
置の側断面図、（ｂ）は部分拡大断面図である。

【図２】（ａ）は積層装置の一部破断した側面図、
（ｂ）は部分拡大側面図である。

【図３】（ａ）は同上の積層装置の全体側面図、（ｂ）
は長尺なセラミック生シートを保持シートに塗工した二
層体シートの拡大断面図である。

【図４】同上の平面図である。

【図５】（ａ）は二層体シートの斜視図、（ｂ）はセラ
ミック積層体の説明のための斜視図である。

【図６】一部破断した概略斜視図である。

【図７】同上の部分拡大斜視図である。

【図８】（ａ）（ｂ）は同上の動作を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

１ 上押さえ台 ２ 下押さえ台 ２ｘ 分割体 Ｂ バネ板 Ｄ 位置補正手段 Ｆ 加圧力吸収手段 Ｌ 積層体

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上押さえ台と下押さえ台との間にセラミ
   ック生シートを一枚づつ搬入するとともに搬入毎に上下
   押さえ台を稼働させて多層積層体を製造するのに、下押
   さえ台側に、セラミック生シートの位置の検出結果に基
   づいて下押さえ台の水平面内における位置を補正する位
   置補正手段が設けられたセラミック生シートの積層装置
   であって、下押さえ台が上下に複数に分割され、対向す
   る分割体が上記位置補正のために相対位置変更可能に構
   成され、対向する分割体間に上記位置補正手段が設けら
   れ、上下押さえ台を加圧してセラミック生シートを積層
   するための加圧力が上記位置補正手段におよぶのを回避
   する加圧力吸収手段が設けられて成ることを特徴とする
   セラミック生シートの積層装置。
2. 【請求項２】 加圧力吸収手段は、セラミック生シート
   を積層する加圧力にて弾性変形するバネ板で構成されて
   いることを特徴とする請求項１記載のセラミック生シー
   トの積層装置。
3. 【請求項３】 位置補正手段は水平面内の直線移動をお
   こなうものであることを特徴とする請求項１記載のセラ
   ミック生シートの積層装置。
4. 【請求項４】 位置補正手段は水平面内の回転移動をお
   こなうものであることを特徴とする請求項１記載のセラ
   ミック生シートの積層装置。