JP3318655B2 - 薄膜積層体の製造方法および製造装置 - Google Patents
薄膜積層体の製造方法および製造装置Info
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は薄膜積層体の製造方
法および製造装置に関する。さらに詳しくは、電極パタ
ーンが形成された、例えばセラミックシートを所定寸法
のシート片に切断した後、積層して積層セラミックコン
デンサなどを製造する薄膜積層体の製造方法および製造
装置に関する。
法および製造装置に関する。さらに詳しくは、電極パタ
ーンが形成された、例えばセラミックシートを所定寸法
のシート片に切断した後、積層して積層セラミックコン
デンサなどを製造する薄膜積層体の製造方法および製造
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、積層セラミックコンデンサな
どの電子部品を製造する製造装置において、キャリアフ
ィルムと呼ばれる可撓性支持体上に形成されるセラミッ
クシートに電極パターンを印刷する場合や、電極パター
ンが印刷されたセラミックシートを所定寸法のシート片
に切断する場合にCCD撮像装置を利用して位置決めを
することが行われている(特開平8−167544号お
よび特開平10−284346号公報参照)。
どの電子部品を製造する製造装置において、キャリアフ
ィルムと呼ばれる可撓性支持体上に形成されるセラミッ
クシートに電極パターンを印刷する場合や、電極パター
ンが印刷されたセラミックシートを所定寸法のシート片
に切断する場合にCCD撮像装置を利用して位置決めを
することが行われている(特開平8−167544号お
よび特開平10−284346号公報参照)。
【0003】図5に、電極パターンが印刷されたセラミ
ックシートを所定寸法のシート片に切断する際にCCD
撮像装置を利用して位置決めをする前記従来技術の薄膜
積層体製造装置の概略構成を示す。
ックシートを所定寸法のシート片に切断する際にCCD
撮像装置を利用して位置決めをする前記従来技術の薄膜
積層体製造装置の概略構成を示す。
【0004】この製造装置100は、セラミックシート
Gが表面に形成されるキャリアフィルムFを搬送するフ
ィルム搬送機構101と、この搬送機構101により送
られるキャリアフィルムF表面のセラミックシートGを
所定寸法のシート片に切断し所定位置まで搬送する切断
搬送機構102と、切断搬送機構102がセラミックシ
ートGを切断する際の位置決めをする位置決め機構10
3と、切断搬送機構102により前記所定位置まで搬送
されたセラミックシートを積層して圧着する積層圧着機
構104とから構成されている。
Gが表面に形成されるキャリアフィルムFを搬送するフ
ィルム搬送機構101と、この搬送機構101により送
られるキャリアフィルムF表面のセラミックシートGを
所定寸法のシート片に切断し所定位置まで搬送する切断
搬送機構102と、切断搬送機構102がセラミックシ
ートGを切断する際の位置決めをする位置決め機構10
3と、切断搬送機構102により前記所定位置まで搬送
されたセラミックシートを積層して圧着する積層圧着機
構104とから構成されている。
【0005】フィルム搬送機構101は、セラミックシ
ートGが表面に形成されたキャリアフィルムFがセット
される巻出装置105を有しており、この巻出装置10
5から繰り出されるキャリアフィルムFが各ロール10
6にガイドされつつ巻取装置107まで搬送され、巻き
取られるように構成されている。
ートGが表面に形成されたキャリアフィルムFがセット
される巻出装置105を有しており、この巻出装置10
5から繰り出されるキャリアフィルムFが各ロール10
6にガイドされつつ巻取装置107まで搬送され、巻き
取られるように構成されている。
【0006】切断搬送機構102は、セラミックシート
Gを剥離テーブル115を支台として所定寸法のシート
片に切断する切断刃108およびセラミックシートGを
吸着する吸盤109を備えた搬送ユニット110と、搬
送ユニット110によりセラミックシートGを切断する
切断位置と積層圧着機構104がシート片を積層して圧
着する積層位置との間で搬送ユニット110を移動させ
るロッドレス流体シリンダ111と、このロッドレス流
体シリンダ111を微調整のために小距離移動させるボ
ールネジ機構112とを備えている。
Gを剥離テーブル115を支台として所定寸法のシート
片に切断する切断刃108およびセラミックシートGを
吸着する吸盤109を備えた搬送ユニット110と、搬
送ユニット110によりセラミックシートGを切断する
切断位置と積層圧着機構104がシート片を積層して圧
着する積層位置との間で搬送ユニット110を移動させ
るロッドレス流体シリンダ111と、このロッドレス流
体シリンダ111を微調整のために小距離移動させるボ
ールネジ機構112とを備えている。
【0007】位置決め機構103は、セラミックシート
Gに電極パターンと対応して所定間隔で印刷される位置
決めマークを撮影するCCD撮像装置113aと、CC
D撮像装置113aにより撮像された画像を処理する画
像処理装置113bとを有しており、このカメラ113
aにより撮影される位置決めマークの画像情報を画像処
理装置113bにより処理して得られる補正移動量によ
り、搬送ユニット110を前記積層位置から前記切断位
置に移動させる際の位置決めを行うように構成されてい
る。
Gに電極パターンと対応して所定間隔で印刷される位置
決めマークを撮影するCCD撮像装置113aと、CC
D撮像装置113aにより撮像された画像を処理する画
像処理装置113bとを有しており、このカメラ113
aにより撮影される位置決めマークの画像情報を画像処
理装置113bにより処理して得られる補正移動量によ
り、搬送ユニット110を前記積層位置から前記切断位
置に移動させる際の位置決めを行うように構成されてい
る。
【0008】積層圧着機構104は、切断搬送機構10
2により前記積層位置まで搬送されたセラミックシート
を積層して圧着するプレステーブル114や、このプレ
ステーブル114を押上げる油圧シリンダ115などか
ら構成されている。
2により前記積層位置まで搬送されたセラミックシート
を積層して圧着するプレステーブル114や、このプレ
ステーブル114を押上げる油圧シリンダ115などか
ら構成されている。
【0009】この従来技術においては、搬送ユニット1
10はロッドレス流体シリンダ111によりほとんどの
距離移動されるとともに、ボールネジ機構112がシリ
ンダ109を小距離移動できるようにして、搬送ユニッ
ト110を位置決めする構成とされている。これによっ
て、搬送ユニット110を、例えばボールネジ機構11
2を用いて全ての距離移動させるようにした場合おけ
る、摩擦熱によるボールネジ軸112aの軸方向におけ
る熱膨張に起因する、積層圧着されるシート片の位置ず
れを防止することができる。
10はロッドレス流体シリンダ111によりほとんどの
距離移動されるとともに、ボールネジ機構112がシリ
ンダ109を小距離移動できるようにして、搬送ユニッ
ト110を位置決めする構成とされている。これによっ
て、搬送ユニット110を、例えばボールネジ機構11
2を用いて全ての距離移動させるようにした場合おけ
る、摩擦熱によるボールネジ軸112aの軸方向におけ
る熱膨張に起因する、積層圧着されるシート片の位置ず
れを防止することができる。
【0010】次に、図6および図7を参照しながら、ボ
ールネジ機構112を用いて全ての距離移動させるよう
にした場合おける、摩擦熱によるボールネジ軸112a
の軸方向における熱膨張に起因する、積層圧着されるシ
ート片の位置ずれについて説明する。なお、図6は製造
装置100の始動時の状態を示し、また図7は所定枚数
のシート片が積層されたときの状態を示している。
ールネジ機構112を用いて全ての距離移動させるよう
にした場合おける、摩擦熱によるボールネジ軸112a
の軸方向における熱膨張に起因する、積層圧着されるシ
ート片の位置ずれについて説明する。なお、図6は製造
装置100の始動時の状態を示し、また図7は所定枚数
のシート片が積層されたときの状態を示している。
【0011】図6および図7中、ポイントAはボールネ
ジ機構112のボールネジ軸112a先端の支点を示し
ている。ポイントB1は搬送ユニット110が積層位置
で停止される基準位置、すなわちプレステーブル114
のセンタを示しており、ポイントAからポイントB1ま
での距離はL1とされている。ポイントB2は図7の時点
において実際に搬送ユニット110が積層位置で停止さ
れる位置を示している。すなわち、図6の状態では、搬
送ユニット110の位置はプレステーブル114のセン
タと一致しているが、図7の状態では、搬送ユニット1
10の積層位置での停止位置は、前記熱膨張の影響によ
りポイントB1から図の左方向にΔL1ずれたポイントB
2となっている。
ジ機構112のボールネジ軸112a先端の支点を示し
ている。ポイントB1は搬送ユニット110が積層位置
で停止される基準位置、すなわちプレステーブル114
のセンタを示しており、ポイントAからポイントB1ま
での距離はL1とされている。ポイントB2は図7の時点
において実際に搬送ユニット110が積層位置で停止さ
れる位置を示している。すなわち、図6の状態では、搬
送ユニット110の位置はプレステーブル114のセン
タと一致しているが、図7の状態では、搬送ユニット1
10の積層位置での停止位置は、前記熱膨張の影響によ
りポイントB1から図の左方向にΔL1ずれたポイントB
2となっている。
【0012】ポイントC1はCCD撮像装置113aの
固定位置であるとともに、セラミックシートG上に印刷
された位置決めマークの切断位置における基準位置でも
ある。ポイントC1はポイントB1から図の左方向にL2
移動した点とされている。
固定位置であるとともに、セラミックシートG上に印刷
された位置決めマークの切断位置における基準位置でも
ある。ポイントC1はポイントB1から図の左方向にL2
移動した点とされている。
【0013】ポイントD1は、前記CCD撮像装置11
3aで検出されるずれを0と仮定した場合に、搬送ユニ
ット110が前記切断位置まで移動されたときの位置を
示している。ポイントD1はポイントC1と一致してお
り、実際にはポイントC1からの位置決めマークのずれ
に応じて距離L2が補正されて、搬送ユニット110が
ポイントB1から前記切断位置に移動される際の移動距
離が決定される。
3aで検出されるずれを0と仮定した場合に、搬送ユニ
ット110が前記切断位置まで移動されたときの位置を
示している。ポイントD1はポイントC1と一致してお
り、実際にはポイントC1からの位置決めマークのずれ
に応じて距離L2が補正されて、搬送ユニット110が
ポイントB1から前記切断位置に移動される際の移動距
離が決定される。
【0014】ポイントD2は、図7の時点において、前
記CCD撮像装置113aで検出されるずれを0と仮定
した場合に、搬送ユニット110が前記切断位置で停止
される位置を示している。ポイントD2とポイントB2と
の距離は、ボールネジ軸112aの熱膨張の影響によっ
て、L2+ΔL2となっている。したがって、図7の状態
では、搬送ユニット110はポイントD1よりも図の左
方向にΔL1+ΔL2ずれた位置に停止されることにな
る。
記CCD撮像装置113aで検出されるずれを0と仮定
した場合に、搬送ユニット110が前記切断位置で停止
される位置を示している。ポイントD2とポイントB2と
の距離は、ボールネジ軸112aの熱膨張の影響によっ
て、L2+ΔL2となっている。したがって、図7の状態
では、搬送ユニット110はポイントD1よりも図の左
方向にΔL1+ΔL2ずれた位置に停止されることにな
る。
【0015】この結果、図7の時点において、積層位置
において積層されるシート片は当初の位置よりも図の左
方向にΔL1ずれるとともに、位置決めマークの位置
(すなわち、電極パターンの位置(図7中、線分Eで位
置決めマークの位置を表している)は、図の右方向にΔ
L2ずれることになる。
において積層されるシート片は当初の位置よりも図の左
方向にΔL1ずれるとともに、位置決めマークの位置
(すなわち、電極パターンの位置(図7中、線分Eで位
置決めマークの位置を表している)は、図の右方向にΔ
L2ずれることになる。
【0016】このように、搬送ユニット110をボール
ネジ機構112により前記切断位置と前記積層位置との
間で移動させる場合、始動時からボールネジ軸112a
の温度が安定するまでの間、ボールネジ軸112aが熱
膨張により伸びていくため、積層されるシート片の電極
パターンがずれていくという問題がある。この点、前記
従来技術では、ロッドレス流体シリンダ111により搬
送ユニット110を前記切断位置と前記積層位置との間
の大分部を移動させるため、ボールネジ軸112aの熱
膨張の影響による電極パターンのずれをほとんど問題と
ならない程度におさえることが可能である。
ネジ機構112により前記切断位置と前記積層位置との
間で移動させる場合、始動時からボールネジ軸112a
の温度が安定するまでの間、ボールネジ軸112aが熱
膨張により伸びていくため、積層されるシート片の電極
パターンがずれていくという問題がある。この点、前記
従来技術では、ロッドレス流体シリンダ111により搬
送ユニット110を前記切断位置と前記積層位置との間
の大分部を移動させるため、ボールネジ軸112aの熱
膨張の影響による電極パターンのずれをほとんど問題と
ならない程度におさえることが可能である。
【0017】しかしながら、前記従来技術ではロッドレ
ス流体シリンダ111という比較的複雑な機構を製造装
置に含ませる必要があるため、製造装置の機構を複雑化
し、薄膜積層体の製造コストを増大させるという問題が
ある。
ス流体シリンダ111という比較的複雑な機構を製造装
置に含ませる必要があるため、製造装置の機構を複雑化
し、薄膜積層体の製造コストを増大させるという問題が
ある。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、機構を複雑化す
ることなく、部材の熱膨張による製品精度への悪影響を
解消することができる薄膜積層体の製造方法および製造
装置を提供することを目的としている。
術の課題に鑑みなされたものであって、機構を複雑化す
ることなく、部材の熱膨張による製品精度への悪影響を
解消することができる薄膜積層体の製造方法および製造
装置を提供することを目的としている。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜積層体の製
造方法は、薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されてい
る薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を
得、前記薄膜シート片を吸着保持している保持・搬送手
段を積層個所にボールネジ機構により搬送して、同薄膜
シート片を積層する薄膜積層体の製造方法であって、撮
像装置を、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めさ
れた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可
能に同保持・搬送手段に一体化して設け、前記薄膜シー
トの前記切断位置の位置決めを、前記撮像手段により撮
像された画像に基づいてなすことを特徴とする。
造方法は、薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されてい
る薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を
得、前記薄膜シート片を吸着保持している保持・搬送手
段を積層個所にボールネジ機構により搬送して、同薄膜
シート片を積層する薄膜積層体の製造方法であって、撮
像装置を、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めさ
れた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可
能に同保持・搬送手段に一体化して設け、前記薄膜シー
トの前記切断位置の位置決めを、前記撮像手段により撮
像された画像に基づいてなすことを特徴とする。
【0020】本発明の薄膜積層体の製造方法において
は、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前
記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位
置とされてなるのが好ましい。
は、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前
記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位
置とされてなるのが好ましい。
【0021】 一方、本発明の薄膜積層体の製造装置
は、薄膜シートが載置されている薄膜状の搬送媒体を搬
送する搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シートを所定サイ
ズの薄膜シート片に切断する切断手段と、前記薄膜シー
ト片を保持して切断位置から積層位置まで搬送する保持
・搬送手段と、前記保持・搬送手段を前記切断位置から
積層位置まで搬送するボールネジ機構と、前記保持・搬
送手段に一体化されて設けられている撮像手段と、前記
撮像手段からの画像を処理する画像処理手段とを備え、
前記撮像手段は、前記保持・搬送手段が積層個所に位置
決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを
撮像可能とされ、前記画像処理手段からの補正移動量に
より前記保持・搬送手段の移動量が補正されてなること
を特徴とする。
は、薄膜シートが載置されている薄膜状の搬送媒体を搬
送する搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シートを所定サイ
ズの薄膜シート片に切断する切断手段と、前記薄膜シー
ト片を保持して切断位置から積層位置まで搬送する保持
・搬送手段と、前記保持・搬送手段を前記切断位置から
積層位置まで搬送するボールネジ機構と、前記保持・搬
送手段に一体化されて設けられている撮像手段と、前記
撮像手段からの画像を処理する画像処理手段とを備え、
前記撮像手段は、前記保持・搬送手段が積層個所に位置
決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを
撮像可能とされ、前記画像処理手段からの補正移動量に
より前記保持・搬送手段の移動量が補正されてなること
を特徴とする。
【0022】本発明の薄膜積層体の製造装置において
は、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前
記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位
置とされてなるのが好ましい。
は、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前
記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位
置とされてなるのが好ましい。
【0023】また、本発明の薄膜積層体の製造装置にお
いては、前記切断手段が、前記薄膜シートを搬送方向に
切断する第1切断機構と、前記搬送方向と直交方向に切
断する第2切断機構とを備え、前記第2切断機構が前記
保持・搬送手段に装着されてなるのが好ましい。
いては、前記切断手段が、前記薄膜シートを搬送方向に
切断する第1切断機構と、前記搬送方向と直交方向に切
断する第2切断機構とを備え、前記第2切断機構が前記
保持・搬送手段に装着されてなるのが好ましい。
【0024】
【作用】本発明は前記の如く構成されているので、ボー
ルネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設定さ
れている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段が搬
送されたとしても、撮像手段により撮像された画像を処
理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段を所
定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸の熱
膨張による製品精度への悪影響を解消することができ
る。
ルネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設定さ
れている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段が搬
送されたとしても、撮像手段により撮像された画像を処
理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段を所
定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸の熱
膨張による製品精度への悪影響を解消することができ
る。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。
【0026】図1および図2に、本発明の一実施形態に
係る薄膜積層体の製造方法が適用される製造装置1の概
略構成を示す。
係る薄膜積層体の製造方法が適用される製造装置1の概
略構成を示す。
【0027】この製造装置1は、セラミックシートGが
表面に形成されるキャリアフィルムFを所定長さづつ送
るように搬送するフィルム搬送機構2と、この搬送機構
2により送られるキャリアフィルムF表面のセラミック
シートGを所定寸法のシート片に切断する切断機構C
と、このシート片を所定位置まで搬送するシート搬送機
構3と、切断機構CがセラミックシートGを切断する際
の位置決めをする位置決め機構4と、シート搬送機構3
により前記所定位置まで搬送されたセラミックシートG
を積層して圧着する積層圧着機構5とを主要構成要素と
してなる。
表面に形成されるキャリアフィルムFを所定長さづつ送
るように搬送するフィルム搬送機構2と、この搬送機構
2により送られるキャリアフィルムF表面のセラミック
シートGを所定寸法のシート片に切断する切断機構C
と、このシート片を所定位置まで搬送するシート搬送機
構3と、切断機構CがセラミックシートGを切断する際
の位置決めをする位置決め機構4と、シート搬送機構3
により前記所定位置まで搬送されたセラミックシートG
を積層して圧着する積層圧着機構5とを主要構成要素と
してなる。
【0028】ここで、キャリアフィルムFは、二軸延伸
ポリエチレンテレフタレートフィルム(ポリエステルフ
ィルム)または二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどの
硬質樹脂材料から形成されている。
ポリエチレンテレフタレートフィルム(ポリエステルフ
ィルム)または二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどの
硬質樹脂材料から形成されている。
【0029】一方、セラミックシートGは、各種セラミ
ック誘電体粉末、樹脂バインダーおよび溶媒からなるス
ラリー状の組成物をコーティング法または印刷法により
製膜することによりキャリアフィルムF表面に形成され
る。このセラミックシートGの厚さは、たとえば2〜3
0μm程度とされる。
ック誘電体粉末、樹脂バインダーおよび溶媒からなるス
ラリー状の組成物をコーティング法または印刷法により
製膜することによりキャリアフィルムF表面に形成され
る。このセラミックシートGの厚さは、たとえば2〜3
0μm程度とされる。
【0030】 また、セラミックシートGの上面には、
パラジウム、銀、ニッケルなどの金属粉を含む導電材が
矩形状の電極パターンとして印刷されるとともに、セラ
ミックシートG切断の際における位置決めのため、位置
決めマークが電極パターンと対応させて所定間隔で印刷
される。
パラジウム、銀、ニッケルなどの金属粉を含む導電材が
矩形状の電極パターンとして印刷されるとともに、セラ
ミックシートG切断の際における位置決めのため、位置
決めマークが電極パターンと対応させて所定間隔で印刷
される。
【0031】フィルム搬送機構2は、セラミックシート
Gが表面に形成されたキャリアフィルムFがセットされ
る巻出装置6を有しており、この巻出装置6から繰り出
されるキャリアフィルムFがロール群7にガイドされつ
つ巻取装置8まで搬送され、巻き取られるように構成さ
れている。
Gが表面に形成されたキャリアフィルムFがセットされ
る巻出装置6を有しており、この巻出装置6から繰り出
されるキャリアフィルムFがロール群7にガイドされつ
つ巻取装置8まで搬送され、巻き取られるように構成さ
れている。
【0032】ロール群7のうち、サクションロール9は
外周面を真空状態にしてキャリアフィルムFを吸着しつ
つ回転し、キャリアフィルムFを搬送する。また、サク
ションロール9の上方には、セラミックシートGのみを
サクションロール9を支台として進行方向に縦長に切断
する、切断機構Cを構成している縦方向切断器10が設
けられている。この縦方向切断器10は、例えば2枚の
円形回転刃10a、10bを支持する回転刃支持部材1
0cが、付勢部材10dにより適当な力でサクションロ
ール9に向かって付勢されるように構成されている。
外周面を真空状態にしてキャリアフィルムFを吸着しつ
つ回転し、キャリアフィルムFを搬送する。また、サク
ションロール9の上方には、セラミックシートGのみを
サクションロール9を支台として進行方向に縦長に切断
する、切断機構Cを構成している縦方向切断器10が設
けられている。この縦方向切断器10は、例えば2枚の
円形回転刃10a、10bを支持する回転刃支持部材1
0cが、付勢部材10dにより適当な力でサクションロ
ール9に向かって付勢されるように構成されている。
【0033】また、サクションロール9の回転により送
られるキャリアフィルムFは、供給側テンションロール
11、巻取側テンションロール12および移動ロール1
3により適当な張力が与えられ、各ガイドローラ14
a、14b、14c、14d、14e、14fにガイド
されつつ巻取装置8まで搬送される。
られるキャリアフィルムFは、供給側テンションロール
11、巻取側テンションロール12および移動ロール1
3により適当な張力が与えられ、各ガイドローラ14
a、14b、14c、14d、14e、14fにガイド
されつつ巻取装置8まで搬送される。
【0034】シート搬送機構3は、縦方向切断器10に
より進行方向に切断されたセラミックシートGを、さら
に進行方向と直角方向に切断して所定寸法のシート片に
成形するとともに、このシート片を吸着保持する搬送ユ
ニット15と、この搬送ユニット15をセラミックシー
トGを切断する切断位置と、切断されたセラミックシー
トGを積層圧着機構5により圧着して積層する積層位置
との間で移動させるボールネジ機構16とを備えてい
る。
より進行方向に切断されたセラミックシートGを、さら
に進行方向と直角方向に切断して所定寸法のシート片に
成形するとともに、このシート片を吸着保持する搬送ユ
ニット15と、この搬送ユニット15をセラミックシー
トGを切断する切断位置と、切断されたセラミックシー
トGを積層圧着機構5により圧着して積層する積層位置
との間で移動させるボールネジ機構16とを備えてい
る。
【0035】搬送ユニット15は、セラミックシートG
を剥離テーブル33を支台として、進行方向と直角方向
に切断して所定寸法のシート片に成形する、切断機構C
を構成している横方向切断刃15a、およびシート片を
吸着して保持する吸盤15bとを備えている。ボールネ
ジ機構16は、製造装置1の基台1aに一端部(先端
部)が支持されるボールネジ軸17と、ボールネジ軸1
7の他端部(基端部)が軸継手18を介して接続されボ
ールネジ軸17を回転駆動するサーボモータ19と、搬
送ユニット15に固定されてボールネジ軸17と螺合す
るボール雌ネジ20とから構成されている。なお、前記
説明から明らかなように、本実施形態では、切断機構C
は、縦方向切断器つまり第1切断機構と、横方向切断器
つまり第2切断機構とから構成されている。
を剥離テーブル33を支台として、進行方向と直角方向
に切断して所定寸法のシート片に成形する、切断機構C
を構成している横方向切断刃15a、およびシート片を
吸着して保持する吸盤15bとを備えている。ボールネ
ジ機構16は、製造装置1の基台1aに一端部(先端
部)が支持されるボールネジ軸17と、ボールネジ軸1
7の他端部(基端部)が軸継手18を介して接続されボ
ールネジ軸17を回転駆動するサーボモータ19と、搬
送ユニット15に固定されてボールネジ軸17と螺合す
るボール雌ネジ20とから構成されている。なお、前記
説明から明らかなように、本実施形態では、切断機構C
は、縦方向切断器つまり第1切断機構と、横方向切断器
つまり第2切断機構とから構成されている。
【0036】軸継手18は、ボールネジ軸17が熱膨張
により軸方向に伸びたときに機械を破損しないように、
その伸びを吸収する構成とされている。その具体的な構
成については、従来より公知の各種構成とすることがで
きる。
により軸方向に伸びたときに機械を破損しないように、
その伸びを吸収する構成とされている。その具体的な構
成については、従来より公知の各種構成とすることがで
きる。
【0037】位置決め機構4は、セラミックシートG上
に電極パターンと対応させて所定間隔で印刷された位置
決めマークを撮影するCCD撮像装置21Aと、このC
CD撮像装置21Aにより撮像された画像を処理する画
像処理装置21Bとを備え、このCCD撮像装置21A
により撮影された位置決めマークの画像情報を、画像処
理装置21Bにより処理して得られる補正量に応じて、
ボールネジ機構16が搬送ユニット15を前記積層位置
から前記切断位置に移動するときの距離を補正する。
に電極パターンと対応させて所定間隔で印刷された位置
決めマークを撮影するCCD撮像装置21Aと、このC
CD撮像装置21Aにより撮像された画像を処理する画
像処理装置21Bとを備え、このCCD撮像装置21A
により撮影された位置決めマークの画像情報を、画像処
理装置21Bにより処理して得られる補正量に応じて、
ボールネジ機構16が搬送ユニット15を前記積層位置
から前記切断位置に移動するときの距離を補正する。
【0038】CCD撮像装置21Aは、支持金具21a
を介してボール雌ネジ20に接合され、つまりボール雌
ネジ20を介して搬送ユニット15と連結されており、
それにより搬送ユニット15と一体となって移動するよ
うに構成されている。
を介してボール雌ネジ20に接合され、つまりボール雌
ネジ20を介して搬送ユニット15と連結されており、
それにより搬送ユニット15と一体となって移動するよ
うに構成されている。
【0039】積層圧着機構5は、キャリアプレート供給
装置22から供給され、キャリアプレート搬送コンベア
31により搬送される、キャリアプレート23を支持す
るプレステーブル24と、このプレステーブル24を昇
降させる基台1aに支持された油圧シリンダ25とを備
え、そしてこの油圧シリンダ25がシート片を仮圧着し
て積層するとともに、ここで仮圧着されたシート片が必
要に応じて本圧着プレス26で加圧されるように構成さ
れている。
装置22から供給され、キャリアプレート搬送コンベア
31により搬送される、キャリアプレート23を支持す
るプレステーブル24と、このプレステーブル24を昇
降させる基台1aに支持された油圧シリンダ25とを備
え、そしてこの油圧シリンダ25がシート片を仮圧着し
て積層するとともに、ここで仮圧着されたシート片が必
要に応じて本圧着プレス26で加圧されるように構成さ
れている。
【0040】キャリアプレート23上面には、低粘着性
または熱剥離性の糊が塗布されており、これによってシ
ート片が動かないように貼り付けられるとともに、積層
されたシート片をキャリアプレート23から取外す際に
も、シート片を損傷することなく剥がすことが可能とさ
れている。なお、キャリアプレート23上面に直接糊を
塗布するのではなく、例えば低粘着性または熱剥離性の
糊が塗布された両面接着シートをキャリアプレート23
上に貼付して、この上にシート片を積層圧着していく構
成としても良い。
または熱剥離性の糊が塗布されており、これによってシ
ート片が動かないように貼り付けられるとともに、積層
されたシート片をキャリアプレート23から取外す際に
も、シート片を損傷することなく剥がすことが可能とさ
れている。なお、キャリアプレート23上面に直接糊を
塗布するのではなく、例えば低粘着性または熱剥離性の
糊が塗布された両面接着シートをキャリアプレート23
上に貼付して、この上にシート片を積層圧着していく構
成としても良い。
【0041】この場合、所定枚数のシート片の積層の途
中で電極パターンが印刷されていないダミーシートなど
の種類の異なるシートを積層するときには、キャリアプ
レート23がプレステーブル24から排出され、ブラン
クシート供給装置27によって予め準備されたシートを
キャリアプレート23上の積層体の上に載せることがで
きる。
中で電極パターンが印刷されていないダミーシートなど
の種類の異なるシートを積層するときには、キャリアプ
レート23がプレステーブル24から排出され、ブラン
クシート供給装置27によって予め準備されたシートを
キャリアプレート23上の積層体の上に載せることがで
きる。
【0042】また、所定枚数のシート片が積層される前
に本圧着プレス26で加圧されたキャリアプレート23
は、各キャリアプレート搬送コンベア28、29、30
によりプレステーブル24まで戻される一方、所定枚数
のシート片が積層されたキャリアプレート23は、必要
に応じて本圧着プレス26で加圧された後にキャリアプ
レート収納装置32に収納される。
に本圧着プレス26で加圧されたキャリアプレート23
は、各キャリアプレート搬送コンベア28、29、30
によりプレステーブル24まで戻される一方、所定枚数
のシート片が積層されたキャリアプレート23は、必要
に応じて本圧着プレス26で加圧された後にキャリアプ
レート収納装置32に収納される。
【0043】次に、図3および図4を参照して、位置決
め機構4により搬送ユニット15を位置決めする原理に
ついて説明する。
め機構4により搬送ユニット15を位置決めする原理に
ついて説明する。
【0044】図3は製造装置1の始動時の状態を示して
いる。また、図4はシート片がある程度の枚数積層され
たときの状態を示している。
いる。また、図4はシート片がある程度の枚数積層され
たときの状態を示している。
【0045】図3および図4中、ポイントAはボールネ
ジ軸17の支点を示している。ポイントB1は搬送ユニ
ット15が積層位置で停止される基準位置、すなわちプ
レステーブル24のセンタを示しており、ポイントAか
らポイントB1までの距離はL1とされている。
ジ軸17の支点を示している。ポイントB1は搬送ユニ
ット15が積層位置で停止される基準位置、すなわちプ
レステーブル24のセンタを示しており、ポイントAか
らポイントB1までの距離はL1とされている。
【0046】ポイントB2は、図4の時点において、実
際に搬送ユニット15が積層位置で停止される位置を示
している。すなわち、図3の状態では、搬送ユニット1
5の位置はプレステーブル24のセンタと一致している
が、図4の状態では、搬送ユニット15の積層位置での
停止位置は、前記熱膨張の影響によりポイントB1から
図の左方向にΔL1ずれたポイントB2となっている。
際に搬送ユニット15が積層位置で停止される位置を示
している。すなわち、図3の状態では、搬送ユニット1
5の位置はプレステーブル24のセンタと一致している
が、図4の状態では、搬送ユニット15の積層位置での
停止位置は、前記熱膨張の影響によりポイントB1から
図の左方向にΔL1ずれたポイントB2となっている。
【0047】ポイントC1は、製造装置1の始動時、搬
送ユニット15がポイントB1にあるときのCCD撮像
装置21Aの位置を示している。この位置は、セラミッ
クシートG上に印刷された位置決めマークの切断位置に
おける基準位置でもある。ポイントC1はポイントB1か
ら図の左方向にL2移動した点とされている。
送ユニット15がポイントB1にあるときのCCD撮像
装置21Aの位置を示している。この位置は、セラミッ
クシートG上に印刷された位置決めマークの切断位置に
おける基準位置でもある。ポイントC1はポイントB1か
ら図の左方向にL2移動した点とされている。
【0048】ポイントC2は、図4の時点におけるCC
D撮像装置21Aの位置である。CCD撮像装置21A
は支持金具21aによりボール雌ネジ20を介して搬送
ユニット15と連結されており、この支持金具21aに
は摩擦熱による影響がなく熱膨張による伸びは生じない
ので、ポイントC2とポイントB2との間の距離はL2と
みなすことができる。
D撮像装置21Aの位置である。CCD撮像装置21A
は支持金具21aによりボール雌ネジ20を介して搬送
ユニット15と連結されており、この支持金具21aに
は摩擦熱による影響がなく熱膨張による伸びは生じない
ので、ポイントC2とポイントB2との間の距離はL2と
みなすことができる。
【0049】ここで、製造装置1の始動時に搬送ユニッ
ト15を距離L2移動させるためのサーボモータ19の
パルス数をNL2とすると、図4の時点においてはこの
パルス数NL2により搬送ユニット15は距離(L2+
ΔL2)移動することになる。したがって、ポイントB2
にある搬送ユニット15を図の左方向に距離L2移動さ
せようとすると、搬送ユニット15は距離L2+ΔL2移
動して、ポイントAから図の左方向にL1+L2+(ΔL
1+ΔL2)にあるポイントD2まで移動することにな
る。
ト15を距離L2移動させるためのサーボモータ19の
パルス数をNL2とすると、図4の時点においてはこの
パルス数NL2により搬送ユニット15は距離(L2+
ΔL2)移動することになる。したがって、ポイントB2
にある搬送ユニット15を図の左方向に距離L2移動さ
せようとすると、搬送ユニット15は距離L2+ΔL2移
動して、ポイントAから図の左方向にL1+L2+(ΔL
1+ΔL2)にあるポイントD2まで移動することにな
る。
【0050】ところが、図4の時点において、CCD撮
像装置21Aは本来の基準位置であるポイントC1から
図の左方向にΔL1ずれたポイントC2にあるため、この
CCD撮像装置21Aにより撮像された位置決めマーク
の画像情報に応じて搬送ユニット15の移動距離L2を
補正すると、本来の補正分に−ΔL1が加算されて移動
距離L2が補正されることになる。したがって、搬送ユ
ニット15は、位置決めマークのポイントC1からのず
れが0であると仮定した場合、切断位置に移動する際に
ポイントB2から(L2+ΔL2)−ΔL1移動することに
なる。
像装置21Aは本来の基準位置であるポイントC1から
図の左方向にΔL1ずれたポイントC2にあるため、この
CCD撮像装置21Aにより撮像された位置決めマーク
の画像情報に応じて搬送ユニット15の移動距離L2を
補正すると、本来の補正分に−ΔL1が加算されて移動
距離L2が補正されることになる。したがって、搬送ユ
ニット15は、位置決めマークのポイントC1からのず
れが0であると仮定した場合、切断位置に移動する際に
ポイントB2から(L2+ΔL2)−ΔL1移動することに
なる。
【0051】 このとき位置決めマークの基準位置は、
ポイントB2から図の左方向に距離(L2−ΔL1)の位
置にあるので、搬送ユニット15に保持されるセラミッ
クシートG上の位置決めマークの位置は搬送ユニット1
5の中心から(L 2 −ΔL1)−[(L2+ΔL2)−ΔL
1]の位置、すなわち右方向にΔL2ずれた位置となる。
この状態で積層位置にもどったときの搬送ユニット15
の位置はポイントB2、すなわちポイントAから図の左
方向に距離(L1+ΔL1)の位置であるため、このとき
の位置決めマークの位置はポイントAから図の左方向に
距離(L1+ΔL1−ΔL2)の位置となる。
ポイントB2から図の左方向に距離(L2−ΔL1)の位
置にあるので、搬送ユニット15に保持されるセラミッ
クシートG上の位置決めマークの位置は搬送ユニット1
5の中心から(L 2 −ΔL1)−[(L2+ΔL2)−ΔL
1]の位置、すなわち右方向にΔL2ずれた位置となる。
この状態で積層位置にもどったときの搬送ユニット15
の位置はポイントB2、すなわちポイントAから図の左
方向に距離(L1+ΔL1)の位置であるため、このとき
の位置決めマークの位置はポイントAから図の左方向に
距離(L1+ΔL1−ΔL2)の位置となる。
【0052】そこで、ΔL1とΔL2が同程度の値になる
ように各部材の配置を調整することによって、図に線分
Hで示されるように位置決めマークが鉛直方向に並ぶよ
うに調整、すなわち積層される各シート片の電極パター
ンがずれていくのを防止することが可能となる。
ように各部材の配置を調整することによって、図に線分
Hで示されるように位置決めマークが鉛直方向に並ぶよ
うに調整、すなわち積層される各シート片の電極パター
ンがずれていくのを防止することが可能となる。
【0053】本出願人の実験例によれば、気温が20℃
のとき、製造装置1の始動時から約25分の間ボールネ
ジ軸17の温度が上昇し、前記従来技術ではΔL1が6
0μm程度あり、積層された各シート片の電極パターン
のずれも最大で同程度あったものが、本実施形態に係る
製造装置1では距離L1と距離L2を同程度とすることに
よって、前記電極パターンのずれを0とすることができ
た。
のとき、製造装置1の始動時から約25分の間ボールネ
ジ軸17の温度が上昇し、前記従来技術ではΔL1が6
0μm程度あり、積層された各シート片の電極パターン
のずれも最大で同程度あったものが、本実施形態に係る
製造装置1では距離L1と距離L2を同程度とすることに
よって、前記電極パターンのずれを0とすることができ
た。
【0054】このように、本実施形態では、セラミック
シート上に電極パターンと対応させて印刷された位置決
めマークを撮影する、CCD撮像装置21Aを搬送ユニ
ット15と連結して、この搬送ユニット15と一体的に
移動するように設けたので、摩擦熱によりボールネジ軸
17が熱膨張して、搬送ユニット15の位置が変化し
て、積層されるシート片の電極パターンが、ずれていく
のを防止することができる。
シート上に電極パターンと対応させて印刷された位置決
めマークを撮影する、CCD撮像装置21Aを搬送ユニ
ット15と連結して、この搬送ユニット15と一体的に
移動するように設けたので、摩擦熱によりボールネジ軸
17が熱膨張して、搬送ユニット15の位置が変化し
て、積層されるシート片の電極パターンが、ずれていく
のを防止することができる。
【0055】なお、本実施形態の製造装置1により製造
される薄膜積層体の例としては、積層セラミックコンデ
ンサ、積層セラミックバリスタ、積層セラミックレジス
タ、積層圧電アクチュエータ、圧電トランス、積層セラ
ミック基板などの積層セラミック製品が挙げられるが、
本発明の薄膜積層体の製造方法がセラミック以外の材料
からなるものの製造に適用可能であることはいうまでも
ない。
される薄膜積層体の例としては、積層セラミックコンデ
ンサ、積層セラミックバリスタ、積層セラミックレジス
タ、積層圧電アクチュエータ、圧電トランス、積層セラ
ミック基板などの積層セラミック製品が挙げられるが、
本発明の薄膜積層体の製造方法がセラミック以外の材料
からなるものの製造に適用可能であることはいうまでも
ない。
【0056】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ボールネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設
定されている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段
が搬送されたとしても、撮像手段により撮像された画像
を処理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段
を所定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸
の熱膨張による製品精度への悪影響を解消することがで
きるという優れた効果が得られる。
ボールネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設
定されている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段
が搬送されたとしても、撮像手段により撮像された画像
を処理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段
を所定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸
の熱膨張による製品精度への悪影響を解消することがで
きるという優れた効果が得られる。
【図1】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の概略構成を示す正面図である。
置の概略構成を示す正面図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の概略構成を示す平面図である。
置の概略構成を示す平面図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の動作原理を説明する説明図であって、始動時の状態
を示す。
置の動作原理を説明する説明図であって、始動時の状態
を示す。
【図4】本発明の一実施形態に係る電子部品の製造装置
の動作原理を説明する説明図であって、所定時間経過後
の状態を示す。
の動作原理を説明する説明図であって、所定時間経過後
の状態を示す。
【図5】従来の薄膜積層体の製造装置の概略構成を示す
正面図である。
正面図である。
【図6】従来の薄膜積層体の製造装置の問題点を説明す
る説明図であって、図3相当図である。
る説明図であって、図3相当図である。
【図7】従来の電子部品の製造装置の問題点を説明する
説明図であって、図4相当図である。
説明図であって、図4相当図である。
1 製造装置 2 フィルム搬送機構 3 シート切断搬送機構 4 位置決め機構 5 積層圧着機構 6 巻出装置 8 巻取装置 10 縦方向切断器 15 搬送ユニット 16 ボールネジ機構 21A CCD撮像装置 21B 画像処理装置 22 キャリアプレート供給装置 24 プレステーブル 26 本圧着プレス 32 キャリアプレート収納装置 C 切断機構 F キャリアフィルム G セラミックシート
Claims (5)
- 【請求項1】 薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送され
ている薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片
を得、前記薄膜シート片を吸着保持している保持・搬送
手段を積層個所にボールネジ機構により搬送して、同薄
膜シート片を積層する薄膜積層体の製造方法であって、撮像装置を、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決め
された状態で、切断位置における位置決めマークを撮像
可能に同保持・搬送手段に一体化して設け、 前記薄膜シートの前記切断位置の位置決めを、前記撮像
手段により撮像された画像に基づいてなすことを特徴と
する薄膜積層体の製造方法。 - 【請求項2】 前記積層位置の中心が、前記切断位置の
中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点
との中間位置とされてなることを特徴とする請求項1記
載の薄膜積層体の製造方法。 - 【請求項3】 薄膜シートが載置されている薄膜状の搬
送媒体を搬送する搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シート
を所定サイズの薄膜シート片に切断する切断手段と、前
記薄膜シート片を保持して切断位置から積層位置まで搬
送する保持・搬送手段と、前記保持・搬送手段を前記切
断位置から積層位置まで搬送するボールネジ機構と、前
記保持・搬送手段に一体化されて設けられている撮像手
段と、前記撮像手段からの画像を処理する画像処理手段
とを備え、前記撮像手段は、前記保持・搬送手段が積層個所に位置
決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを
撮像可能とされ、 前記画像処理手段からの補正移動量により前記保持・搬
送手段の移動量が補正されてなることを特徴とする薄膜
積層体の製造装置。 - 【請求項4】 前記積層位置の中心が、前記切断位置の
中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点
との中間位置とされてなることを特徴とする請求項3記
載の薄膜積層体の製造装置。 - 【請求項5】 前記切断手段が、前記薄膜シートを搬送
方向に切断する第1切断機構と、前記搬送方向と直交方
向に切断する第2切断機構とを備え、 前記第2切断機構が前記保持・搬送手段に装着されてな
ることを特徴とする請求項3記載の薄膜積層体の製造装
置。
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