JP2003089107A - 剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 剥離したキャリアフィルムを容易に回収する
ことができるとともに、剥離に際して必要とされる占有
面積を削減することのできるグリーンシートの剥離装置
を提供する。 【解決手段】 剥離装置では、所定の大きさのグリーン
シートを剥離するための切れ目２２が設けられたグリー
ンシート２１を吸引保持する吸引板１が設けられてい
る。キャリアフィルム２３の端部を保持するためのチャ
ック５が設けられている。外周面を有して外周面がキャ
リアフィルム２３と接触するロール３が設けられてい
る。チャック５を下方に向けて移動させるためのチャッ
ク駆動部１１が設けられている。吸引板１を移動させる
ための吸引板駆動部１５が設けられている。吸引板１の
移動速度とチャック５の移動速度とを同期するための同
期部１３が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は剥離装置に関し、特
に、シート状のキャリアフィルム上に形成されたセラミ
ックのグリーンシートをキャリアフィルムから剥離する
ためのグリーンシートの剥離装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電子部品の一形態として、セラミックの
シートを複数積層させることにより、たとえばコイルや
コンデンサを形成した電子部品がある。このような電子
部品は次のように形成される。まず、セラミック材料を
ポリエステルフィルム等からなるキャリアフィルム上に
均一な厚さに塗布して、これを乾燥させることでキャリ
アフィルム上にいわゆるセラミックのグリーンシートを
形成する。

【０００３】次に、グリーンシートの表面にスクリーン
印刷によりたとえば内部電極等を印刷し、これを乾燥炉
等に入れて乾燥させる。その後、剥離装置によってグリ
ーンシートをキャリアフィルムから剥離する。剥離した
グリーンシートを所定枚数積み重ねて押圧した後に適当
な大きさに切断し、これを焼結することによって所望の
電子部品を形成する。

【０００４】このように、セラミックのシートを積層さ
せた電子部品の製造においては、グリーンシートをキャ
リアフィルムから剥離するために剥離装置が用いられ
る。そこで、従来の剥離装置の一例として特開平６−２
１６５２９号公報に記載された剥離装置について説明す
る。

【０００５】図８に示すように、剥離装置によって、シ
ート状のキャリアフィルム１２３に形成されたグリーン
シート１２１の剥離が行われる。そのために、剥離装置
には、グリーンシート１２１をキャリアフィルム１２３
とともに吸着する吸着ヘッド１０１が設けられている。
その吸着ヘッド１０１と対向するようにテーブル１０９
が配置されている。テーブル１０９はグリーンシート１
２１に切り溝を形成する際の台として用いられる。

【０００６】テーブル１０９に載置される矩形シート状
のキャリアフィルム１２３の１つの角部分に対応する位
置には低位部１０７が設けられるとともに、この部分に
おいてキャリアフィルム１２１を保持する保持部材１０
３が設けられている。

【０００７】また、テーブル１０９はＸ軸方向に移動可
能であり、吸着ヘッド１０１はＹ軸方向に移動可能であ
る。吸着ヘッド１０１が移動する先には、剥離補助プレ
ート１０５が設けられている。

【０００８】この剥離装置によって、まず、セラミック
のグリーンシート１２１がキャリアフィルム１２３とと
もに吸着ヘッド１０１により吸着される。次に、保持部
材１０３によりグリーンシート１２１の１つの角部分に
対応する位置においてキャリアフィルム１２３が保持さ
れる。この状態でテーブル１０９がＸ軸方向に移動する
とともに、この移動と同期して吸着ヘッド１０１がＹ軸
方向に移動する。

【０００９】これにより、吸着ヘッド１０１と保持部材
１０３とが、矩形状のグリーンシート１２１の略対角線
方向に相対的に移動する。その結果、キャリアフィルム
１２３がグリーンシート１２１から剥離されることにな
る。この剥離は、矩形のグリーンシート１２１の１つの
角部分からほぼ対角線方向に進み、グリーンシート１２
１の全域に進行する。

【００１０】従来のセラミックのグリーンシートの剥離
装置は、上記のように構成され動作する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
剥離装置では次のような問題点があった。上述したよう
に、キャリアフィルム１２３の剥離は、保持部材１０３
によりグリーンシート１２１の１つの角部分に対応する
位置においてキャリアフィルム１２３を保持した状態
で、吸着ヘッド１０１と保持部材１０３とを矩形のグリ
ーンシート１２１の略対角線方向に相対的に移動させる
ことによって、矩形のグリーンシート１２１の１つの角
部分からほぼ対角線方向に行われる。

【００１２】この場合には、剥離後のキャリアフィルム
１２３はテーブル１０９上に残ることになる。そのた
め、剥離後のキャリアフィルム１２３を回収するための
付加的な回収機構が必要になるという問題があった。

【００１３】また、たとえば図９に示すように、一辺Ｌ
の矩形のグリーンシート１３０を剥離する場合には、吸
着ヘッド１０１は剥離補助プレート１０５の側（Ｙ軸方
向）に向かって移動して、矩形のグリーンシート１２１
の１つの角部分から剥離が対角線方向に進む。そのた
め、図１０に示すように、剥離補助プレートとしては一
辺Ｌの略直角二等辺三角形状の剥離補助プレート１０５
が必要になる。

【００１４】すなわち、吸着ヘッド１０１を矢印１５１
に示す方向に移動させて、一辺Ｌの矩形のグリーンシー
トからキャリアフィルムを剥離するために、剥離補助プ
レート１０５を設けるためのスペースとして、少なくと
も一辺Ｌの略直角二等辺三角形に相当する領域１３１
（占有面積）を確保しなければならないという問題があ
った。

【００１５】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであり、剥離したキャリアフィルムを容易に回
収することができるとともに、剥離に際して必要とされ
る占有面積を削減することのできるグリーンシートの剥
離装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る一の剥離装
置は、シート状の基材フィルム上に形成されるととも
に、所定の大きさのグリーンシートを剥離するための切
れ目が設けられたセラミックのグリーンシートを基材フ
ィルムから剥離するための剥離装置であって、ヘッド部
と把持部とロール部とヘッド駆動部と把持駆動部と同期
部とを備えている。ヘッド部は所定の大きさのグリーン
シートの部分を保持する。把持部は所定の大きさのグリ
ーンシートの外側に位置する少なくとも基材フィルムの
部分を把持する。ロール部は外周面を有し、その外周面
が基材フィルムに接触する。ヘッド駆動部は所定の大き
さのグリーンシートの広がり方向に実質的に沿ってヘッ
ド部を移動させる。把持駆動部はロール部を介して基材
フィルムを所定の方向に向けて引出すために把持部を移
動させる。同期部はヘッド駆動部および把持駆動部のそ
れぞれの駆動速度を同期する。

【００１７】この構成によれば、把持駆動部により基材
フィルムの端部を把持する把持部が移動するとともに、
ヘッド駆動部によりグリーンシートを保持するヘッド部
が移動することによって、ロール部が停止した状態でグ
リーンシートに対して基材フィルムがロール部を介して
たとえば下方などの所定の方向に引っ張られて、基材フ
ィルムがグリーンシートから剥離される。基材フィルム
が剥離された後、把持部が基材フィルムを離すことで、
剥離された基材フィルムが落下し、たとえば把持部の下
方に置かれた回収箱等に回収されることになる。これに
より、付加的な回収機構を設けることなく容易に基材フ
ィルムを回収することができる。また、従来の剥離装置
のように剥離補助プレートを設ける必要がなく、剥離装
置の占有面積も削減することができる。さらに、基材フ
ィルムをグリーンシートから相対的に引き離す際に、同
期部により把持部の移動速度とヘッド部の移動速度とが
実質的に同じ速度になり基材フィルムに弛みが生じたり
グリーンシートに破損が生じるのを防止することができ
る。

【００１８】本発明に係る他の剥離装置は、シート状の
基材フィルム上に形成されるとともに、所定の大きさの
グリーンシートを剥離するための切れ目が設けられたセ
ラミックのグリーンシートを基材フィルムから剥離する
ための剥離装置であって、ヘッド部と把持部とロール部
とロール駆動部と把持駆動部と同期部とを備えている。
ヘッド部は所定の大きさのグリーンシートの部分を保持
する。把持部は、所定の大きさのグリーンシートの外側
に位置する少なくとも基材フィルムの部分を把持する。
ロール部は外周面を有し、その外周面が基材フィルムに
接触する。ロール駆動部は、所定の大きさのグリーンシ
ートの広がり方向に実質的に沿ってロール部を移動させ
る。把持駆動部は、ロール部を介して基材フィルムを所
定の方向に向けて引き出すために把持部を移動させる。
同期部はロール駆動部および把持駆動部のそれぞれの駆
動速度を同期する。

【００１９】この構成によれば、把持駆動部により基材
フィルムの端部を把持する把持部が移動するとともに、
ロール駆動部によりロール部が移動することによって、
ヘッド部が停止した状態でグリーンシートに対して基材
フィルムがロール部を介してたとえば下方などの所定の
方向に引っ張られて、基材フィルムがグリーンシートか
ら剥離される。基材フィルムが剥離された後、把持部が
基材フィルムを離すことで、剥離された基材フィルムが
落下し、たとえば把持部の下方に置かれた回収箱等に回
収されることになる。これにより、付加的な回収機構を
設けることなく容易に基材フィルムを回収することがで
きる。また、従来の剥離装置のように剥離補助プレート
を設ける必要がなく、剥離装置の占有面積も削減するこ
とができる。さらに、基材フィルムをグリーンシートか
ら相対的に引き離す際に、同期部により把持部の移動速
度とロール部の移動速度とが実質的に同じ速度になり基
材フィルムに弛みが生じたりグリーンシートに破損が生
じるのを防止することができる。

【００２０】また、把持部が基材フィルムを把持する際
のテンションを制御するためのテンション制御部を備え
ていることが好ましい。

【００２１】これにより、把持部が基材フィルムを引っ
張る力が略一定となって、剥離の際にグリーンシートが
破れたり、あるいは基材フィルムが弛むようなことがな
くなる。

【００２２】また、把持部は、基材フィルムを引き出す
方向と略直交する方向に沿って基材フィルムの端部を把
持することが好ましい。

【００２３】これにより、基材フィルムを確実にしかも
安定して引っ張ることができ、容易に基材フィルムをグ
リーンシートから剥離することができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】実施の形態１ 本発明の実施の形態１に係るグリーンシートの剥離装置
について説明する。図１に示すように、本剥離装置は、
略矩形のシート状のキャリアフィルム２３上に形成され
るとともに、所定の大きさのグリーンシート２１ａを剥
離するための切れ目２２が設けられたセラミックのグリ
ーンシート２１を、キャリアフィルム２３から剥離する
ための装置である。剥離装置には、そのグリーンシート
２１ａを吸引保持する吸引板１が設けられている。

【００２５】また、キャリアフィルム２３の所定の端部
を把持するチャック５が設けられている。チャック５
は、所定の大きさのグリーンシート２１ａの外側に位置
する耳の部分２１ｂに位置するキャリアフィルム２３の
部分を把持する。

【００２６】特にこの場合、チャック５は、略矩形のキ
ャリアフィルム２３を引き出す方向と略直交する方向に
沿って位置するキャリアフィルム２３の一辺を含む端部
の全体を把持する。

【００２７】外周面を有してその外周面がキャリアフィ
ルム２３と接触するロール３が設けられている。また、
チャック５を矢印５２に示すように下方に向けて移動さ
せるためのチャック駆動部１１が設けられている。そし
て、吸引板１をグリーンシート２１の広がり方向（矢印
５１）に沿って移動させるための吸引板駆動部１５が設
けられている。さらに、吸引板１の移動速度とチャック
５の移動速度とを同期するための同期部１３が設けられ
ている。

【００２８】次に、上述した剥離装置の動作について説
明する。まず、吸引板１によりグリーンシート２１ａが
吸引保持される。このとき、上記のようにグリーンシー
ト２１ａとそのグリーンシート２１ａの外側に位置する
耳の部分２１ｂとの間には切れ目２１ａが形成されてい
る。

【００２９】このため、キャリアフィルム２３上のグリ
ーンシート２１においては、吸引板１によって吸引され
ているグリーンシート２１ａの部分と、吸引板１によっ
て吸引されていない耳の部分２１ｂとで分離された状態
にある。なお、キャリアフィルム２３には、この切れ目
２２に沿って切り溝が形成されていることはあっても、
グリーンシート２１のようにキャリアフィルム２３は分
離されていない。

【００３０】次に、吸引板駆動部１５により吸引板１が
略水平方向に移動して、ロール３の外周面がキャリアフ
ィルム２３に接触し、そしてロール３の中心の直上の位
置に吸引板１の端面の位置が一致する。

【００３１】次に、キャリアフィルム２３と略同じ高さ
にあるチャック５が、チャック開閉シリンダ７によって
耳の部分２１ｂに位置するキャリアフィルム２３の端部
を把持する。

【００３２】このとき、チャック５はキャリアフィルム
２３の端部の全体を把持することが好ましい。なお、チ
ャック５が把持するキャリアフィルム２３の端部におい
ては、グリーンシートの耳の部分２１ｂは、あらかじめ
取り除かれた状態であってもよいし、キャリアフィルム
２３上に残された状態であってもよい。

【００３３】次に、チャック駆動部１１によりチャック
５が略鉛直方向に移動される。チャック駆動部１１とし
て、たとえばモータとボールネジ（いずれも図示せず）
とを有することで、モータの回転運動をボールネジによ
り略鉛直方向の運動に変換することができる。

【００３４】また、チャック５がキャリアフィルム２３
を引っ張る力は、テンション制御部９によりほぼ一定に
保たれる。テンション制御部９として、チャック開閉シ
リンダ７とチャック駆動部１１との間にたとえばエアシ
リンダ（図示せず）を連結し、そのエアシリンダへの流
入空気圧を制御することでテンションが一定に保たれ
る。

【００３５】一方、吸着板駆動部１５により吸着板１が
グリーンシート２１の広がり方向（矢印５４）に沿って
移動される。このとき、同期部１３により、チャック５
の移動速度と吸引板１の移動速度との同期が図られる。

【００３６】このような動作により、ロール３が矢印５
３に示す向きに回転しながらキャリアフィルム２３が下
方に向けて引っ張られて、所定の大きさのグリーンシー
ト２１ａが吸引板１に吸引固定された状態でキャリアフ
ィルム２３がグリーンシート２１から剥離される。

【００３７】キャリアフィルム２３が剥離された後、チ
ャック５がチャック開閉シリンダ７によって開かれる。
これにより、剥離されたキャリフィルム２３が落下し、
たとえばチャック５の下方に置かれた回収箱（図示せ
ず）に回収されることになる。

【００３８】上述した剥離装置では、キャリフィルム２
３をグリーンシート２１から剥離した後に、キャリアフ
ィルム２３をチャックしていたチャック５を緩めること
で剥離したキャリアフィルム２３がそのまま下方に向け
て落下するため、付加的な回収機構が不要になり容易に
回収することができる。

【００３９】また、従来の剥離装置と比較すると剥離補
助プレートを設ける必要がなく、剥離装置の占有面積も
削減することができる。さらに、テンション制御部９に
よって、一定以上の引張力をもってチャック５がキャリ
アフィルム２３を引っ張ることがなくなり、剥離の際に
グリーンシート２１ａが破れたりすることがなくなる。
反対に引張力が弱くなって、キャリアフィルム２３が弛
むようなこともなくなる。

【００４０】また、同期部１３により吸引板１の移動速
度とチャック５の移動速度とを同じ速度にすることがで
きる。これにより、たとえば、剥離したキャリアフィル
ム２３が弛むのを防止することができる。また、キャリ
アフィルム２３が過度に引っ張られてグリーンシート２
１ａが破損するのを防止することができる。

【００４１】実施の形態２ 前述した剥離装置では、キャリアフィルムをグリーンシ
ートから剥離するのに、吸引板１とチャック５とを所定
の方向に移動させた。ここでは、ロール３とチャック５
をそれぞれ所定の方向に移動する剥離装置について説明
する。

【００４２】したがって、図２に示すように、この剥離
装置では、チャック５を矢印５２に示すように下方に向
けて移動させるためのチャック駆動部１１が設けられて
いる。そして、ロール３をグリーンシートの広がり方向
（矢印５４）に実質的に沿って移動させるためのロール
駆動部１７（保持台）が設けられている。これ以外の構
成については図１に示す剥離装置と同様なので、同一部
材には同一符号を付しその説明を省略する。

【００４３】次に、上述した剥離装置の動作について説
明する。まず、前述したように、吸引板１によりグリー
ンシート２１ａが吸引保持される。次に、移動部により
吸引板１が略水平方向に移動して、ロール３の外周面が
キャリアフィルム２３に接触し、そしてロール３の中心
の直上の位置に吸引板１の端面の位置が一致する。

【００４４】次に、キャリアフィルム２３と略同じ高さ
にあるチャック５が、チャック開閉シリンダ７によって
耳の部分２１ｂに位置するキャリアフィルム２３の端部
を把持する。

【００４５】次に、チャック駆動部１１によりチャック
５が略鉛直方向に移動される。チャック５がキャリアフ
ィルム２３を引っ張る力は、テンション制御部９により
ほぼ一定に保たれる。

【００４６】一方、ロール駆動部１７によりロール３が
グリーンシート２１の広がり方向に沿って矢印５４に示
す方向に移動される。このとき、同期部１３によって、
ロール３の移動速度とチャック５の移動速度との同期が
図られる。

【００４７】このような動作により、ロール３が矢印５
３に示す向きに回転するとともに、矢印５４に示す方向
に移動しながらキャリアフィルム２３が下方に向けて引
っ張られて、所定の大きさのグリーンシート２１ａが吸
引板１に吸引固定された状態でキャリアフィルム２３が
グリーンシート２１から剥離される。

【００４８】キャリアフィルム２３が剥離された後、チ
ャック５がチャック開閉シリンダ７によって開かれる。
これにより、剥離されたキャリフィルム２３が落下し、
回収箱（図示せず）に回収されることになる。

【００４９】前述した剥離装置では、ロール３を停止し
た状態で、吸引板１およびチャック５をそれぞれ所定の
方向に移動させていたのに対して、本剥離装置では、吸
引板１を停止した状態で、ロール３およびチャック５を
それぞれ所定の方向に移動させる。

【００５０】したがって、本剥離装置においても、吸引
されたグリーンシート２１ａに対して、相対的にキャリ
アフィルム２３がたとえば下方の所定の方向に向けて引
っ張られることになる。これにより、前述した剥離装置
と同様に、付加的な回収機構を設けることなく容易にキ
ャリアフィルム２３を回収することができる。

【００５１】また、従来の剥離装置と比較すると剥離補
助プレートを設ける必要がなく、剥離装置の占有面積も
削減することができる。さらに、テンション制御部９に
よってチャック５がキャリアフィルム２３を引っ張る力
が略一定となって、剥離の際にグリーンシート２１が破
れたり、あるいはキャリアフィルム２３が弛むようなこ
とがなくなる。

【００５２】また、同期部１３によりロール３の移動速
度とチャック５の移動速度とを同じ速度にすることがで
きる。これにより、剥離したキャリアフィルム２３が弛
むのを防止することができる。また、キャリアフィルム
２３が過度に引っ張られてグリーンシート２１が破損す
るのを防止することができる。

【００５３】なお、この剥離装置では、吸引板１を停止
した状態でロール３とチャック５とを所定の方向に移動
させたが、吸引板１も、前述した剥離装置のようにグリ
ーンシート２１の広がり方向に沿って移動させてもよ
い。すなわち、キャリアフィルム２３の剥離を、吸引板
１、ロール３およびチャック５をそれぞれ所定の方向に
移動することによって行ってもよい。

【００５４】特に、この場合には、剥離に際して吸引板
１も移動させることで、吸引板１が停止している場合と
比べると、吸引板１が移動する距離が短縮されることに
なる。また、同様に、ロール３の移動する距離も短縮さ
れることになる。

【００５５】したがって、従来の剥離装置と比べると、
たとえば図９に示すような一辺Ｌの矩形のキャリアフィ
ルムを剥離する場合、図３に示すように、剥離に必要と
される領域３１は、剥離方向の長さが短縮されて１つの
辺が長さＬで他の辺の長さがＬよりも短い長さの矩形状
となる。その結果、剥離に際して必要とされる領域（占
有面積）をさらに削減することができる。

【００５６】また、キャリアフィルム２３を引き出す方
向は吸引板１が移動する方向と同じ方向でなければ構わ
ないが、よりスムーズに剥離を行うためには、吸引板１
が移動する方向と略直交する方向に引き出すことが好ま
しい。

【００５７】実施の形態３ 前述した剥離装置では、チャック５はキャリアフィルム
２３の端部の全体を把持する。すなわち、チャック５
は、キャリアフィルム２３を引っ張る方向と略直交する
方向に沿って位置するキャリフィルムの一辺を含む端部
の全体を把持するように構成されている。

【００５８】ここでは、キャリアフィルムの端部を把持
するチャックの変形例として、端部を部分的に把持する
チャックについて説明する。したがって、チャック以外
の構成については、実施の形態１または実施の形態２に
おいてそれぞれ説明した剥離装置と同様である。

【００５９】まず、第１の変形例について説明する。図
４（ａ）、（ｂ）に示すように、キャリアフィルムを把
持する機構は、耳の部分２１ｂに対応するキャリアフィ
ルム２３の端部の一ヶ所を掴む１つのチャック５ａと、
そのチャック５ａを開閉するための１つのチャック開閉
シリンダ７を有して構成される。

【００６０】この場合では、チャック５ａはキャリアフ
ィルム２３の端部の略中央付近を把持することができ
て、安定してキャリアフィルム２３をグリーンシート２
１から剥離することができる。

【００６１】次に、第２の変形例について説明する。図
５（ａ）、（ｂ）に示すように、キャリアフィルムを把
持する機構は、耳の部分２１ｂに対応するキャリアフィ
ルム２３の端部の２ヶ所を掴む１つのチャック５ｂと、
そのチャック５ｂを開閉するための１つのチャック開閉
シリンダ７を有して構成される。

【００６２】この場合では、チャック５ｂはキャリアフ
ィルム２３の端部のコーナー部分の２ヶ所を把持するこ
とができて、安定してキャリアフィルム２３をグリーン
シート２１から剥離することができる。

【００６３】次に、第３の変形例について説明する。図
６（ａ）、（ｂ）に示すように、キャリアフィルムを把
持する機構は、耳の部分２１ｂに対応するキャリアフィ
ルム２３の端部の２ヶ所を掴む１つのチャック５ｃと、
そのチャック５ｃを開閉するための２つのチャック開閉
シリンダ７を有して構成される。

【００６４】この場合では、チャック５ｃは２つのチャ
ック開閉シリンダ７によってキャリアフィルム２３の端
部のコーナー部分の２ヶ所をそれぞれ確実に把持するこ
とができて、より安定してキャリアフィルム２３をグリ
ーンシート２１から剥離することができる。

【００６５】次に、第４の変形例について説明する。図
７（ａ）、（ｂ）に示すように、キャリアフィルムを把
持する機構は、耳の部分２１ｂに対応するキャリアフィ
ルム２３の端部の２ヶ所を掴む２つのチャック５ｄと、
そのチャック５ｄをそれぞれ開閉するための２つのチャ
ック開閉シリンダ７を有して構成される。

【００６６】この場合、２つのチャック５ｄは、２つの
チャック開閉シリンダ７によってキャリアフィルム２３
の端部のコーナー部分の２ヶ所をそれぞれ確実に掴むこ
とができて、より確実に安定してキャリアフィルム２３
をグリーンシート２１から剥離することができる。

【００６７】このようなチャックを備えた剥離装置にお
いても、吸引されたグリーンシート２１ａに対して、キ
ャリアフィルム２３を下方に向けて確実に、しかも安定
して引っ張ることができ、前述した剥離装置と同様の効
果を得ることができる。

【００６８】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって、制限的なものではないと考えられるべき
である。本発明は上記の説明ではなくて特許請求の範囲
によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範
囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【００６９】

【発明の効果】本発明に係る一の剥離装置によれば、把
持駆動部により基材フィルムの端部を把持する把持部が
移動するとともに、ヘッド駆動部によりグリーンシート
を保持するヘッド部が移動することによって、ロール部
が停止した状態でグリーンシートに対して基材フィルム
がロール部を介してたとえば下方などの所定の方向に引
っ張られて、基材フィルムがグリーンシートから剥離さ
れる。基材フィルムが剥離された後、把持部が基材フィ
ルムを離すことで、剥離された基材フィルムが落下し、
たとえば把持部の下方に置かれた回収箱等に回収される
ことになる。これにより、付加的な回収機構を設けるこ
となく容易に基材フィルムを回収することができる。ま
た、従来の剥離装置のように剥離補助プレートを設ける
必要がなく、剥離装置の占有面積も削減することができ
る。さらに、基材フィルムをグリーンシートから相対的
に引き離す際に、同期部により把持部の移動速度とヘッ
ド部の移動速度とが実質的に同じ速度になり基材フィル
ムに弛みが生じたりグリーンシートに破損が生じるのを
防止することができる。

【００７０】本発明に係る他の剥離装置によれば、把持
駆動部により基材フィルムの端部を把持する把持部が移
動するとともに、ロール駆動部によりロール部が移動す
ることによって、ヘッド部が停止した状態でグリーンシ
ートに対して基材フィルムがロール部を介してたとえば
下方などの所定の方向に引っ張られて、基材フィルムが
グリーンシートから剥離される。基材フィルムが剥離さ
れた後、把持部が基材フィルムを離すことで、剥離され
た基材フィルムが落下し、たとえば把持部の下方に置か
れた回収箱等に回収されることになる。これにより、付
加的な回収機構を設けることなく容易に基材フィルムを
回収することができる。また、従来の剥離装置のように
剥離補助プレートを設ける必要がなく、剥離装置の占有
面積も削減することができる。さらに、基材フィルムを
グリーンシートから相対的に引き離す際に、同期部によ
り把持部の移動速度とロール部の移動速度とが実質的に
同じ速度になり基材フィルムに弛みが生じたりグリーン
シートに破損が生じるのを防止することができる。

【００７１】また、把持部が基材フィルムを把持する際
のテンションを制御するためのテンション制御部を備え
ていることが好ましく、これにより、把持部が基材フィ
ルムを引っ張る力が略一定となって、剥離の際にグリー
ンシートが破れたり、あるいは基材フィルムが弛むよう
なことがなくなる。

【００７２】また、把持部は、基材フィルムを引き出す
方向と略直交する方向に沿って基材フィルムの端部を把
持することが好ましく、これにより、基材フィルムを確
実にしかも安定して引っ張ることができ、容易に基材フ
ィルムをグリーンシートから剥離することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１に係るグリーンシート
の剥離装置の一側面図である。

【図２】 本発明の実施の形態２に係るグリーンシート
の剥離装置の一側面図である。

【図３】 本発明の実施の形態１、２に係るグリーンシ
ートの剥離装置による効果を説明するための装置の占有
領域を示す図である。

【図４】 本発明の実施の形態３に係るグリーンシート
の剥離装置における第１の変形例によるチャックがキャ
リアフィルムを把持する様子を示す図であり、（ａ）は
その平面図であり、（ｂ）はその正面図である。

【図５】 本発明の実施の形態３に係るグリーンシート
の剥離装置における第２の変形例によるチャックがキャ
リアフィルムを把持する様子を示す図であり、（ａ）は
その平面図であり、（ｂ）はその正面図である。

【図６】 本発明の実施の形態３に係るグリーンシート
の剥離装置における第３の変形例によるチャックがキャ
リアフィルムを把持する様子を示す図であり、（ａ）は
その平面図であり、（ｂ）はその正面図である。

【図７】 本発明の実施の形態３に係るグリーンシート
の剥離装置における第４の変形例によるチャックがキャ
リアフィルムを把持する様子を示す図であり、（ａ）は
その平面図であり、（ｂ）はその正面図である。

【図８】 従来のグリーンシートを剥離するための剥離
装置を示す斜視図である。

【図９】 グリーンシートが形成された矩形のキャリア
フィルムを示す平面図である。

【図１０】 従来のグリーンシートの剥離装置による装
置の占有領域を示す図である。

【符号の説明】

１ 吸引板、３ ロール、５、５ａ〜５ｄ チャック、
７ チャック開閉シリンダ、９ テンション制御部、１
１ チャック駆動部、１３ 同期部、１５ 吸引板駆動
部、１７ ロール駆動部、２１ グリーンシート、２１
ａ 所定の大きさのグリーンシート、２１ｂ 耳の部
分、２２ 切れ目、２３ キャリアフィルム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4G055 AA08 AB00 AC01 CB00 CC10 5E082 AB03 BC40 FG06 FG26 MM11 MM12 MM13

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 シート状の基材フィルム上に形成される
   とともに、所定の大きさのグリーンシートを剥離するた
   めの切れ目が設けられたセラミックのグリーンシートを
   基材フィルムから剥離するための剥離装置であって、 前記所定の大きさのグリーンシートの部分を保持するヘ
   ッド部と、 前記所定の大きさのグリーンシートの外側に位置する少
   なくとも前記基材フィルムの部分を把持する把持部と、 外周面を有し、前記外周面が前記基材フィルムに接触す
   るロール部と、 前記所定の大きさのグリーンシートの広がり方向に実質
   的に沿って前記ヘッド部を移動させるヘッド駆動部と、 前記ロール部を介して前記基材フィルムを所定の方向に
   向けて引出すために、前記把持部を移動させる把持駆動
   部と、 前記ヘッド駆動部および前記把持駆動部のそれぞれの駆
   動速度を同期するための同期部とを備えた、剥離装置。
2. 【請求項２】 シート状の基材フィルム上に形成される
   とともに、所定の大きさのグリーンシートを剥離するた
   めの切れ目が設けられたセラミックのグリーンシートを
   基材フィルムから剥離するための剥離装置であって、 前記所定の大きさのグリーンシートの部分を保持するヘ
   ッド部と、 前記所定の大きさのグリーンシートの外側に位置する少
   なくとも前記基材フィルムの部分を把持する把持部と、 外周面を有し、前記外周面が前記基材フィルムに接触す
   るロール部と、 前記所定の大きさのグリーンシートの広がり方向に実質
   的に沿って前記ロール部を移動させるロール駆動部と、 前記ロール部を介して前記基材フィルムを所定の方向に
   向けて引き出すために、前記把持部を移動させる把持駆
   動部と、 前記ロール駆動部および前記把持駆動部のそれぞれの駆
   動速度を同期するための同期部とを備えた、剥離装置。
3. 【請求項３】 前記把持部が前記基材フィルムを把持す
   る際のテンションを制御するためのテンション制御部を
   備えた、請求項１または２に記載の剥離装置。
4. 【請求項４】 前記把持部は、前記基材フィルムを引き
   出す方向と略直交する方向に沿って前記基材フィルムの
   端部を把持する、請求項１〜３のいずれかに記載の剥離
   装置。