KR101369896B1 - 세라믹 시트 박리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 세라믹 박막 적층 가공장치에 사용되는 세라믹 시트 박리장치에 관한 것으로, 대지상에 부착된 회로 패턴이 인쇄된 세라믹 박막으로 구성되는 세라믹 시트에서 상기 대지를 박리하는 세라믹 시트 박리장치에 있어서, 그 상면에 상기 세라믹 시트를 흡착하여 수평방향으로 이송하며 상하로 이동가능한 박리테이블과, 상기 박리테이블로부터 상기 세라믹 시트를 전달받아 하면에 흡착 고정하여, 수평 이동하는 적층헤드와, 상기 적층헤드의 하방 측면에 그 설치 각도가 조절이 가능하도록 설치되는 그립 유닛 장착 몸체와, 상기 그립 유닛 장착 몸체에 상하로 구동 가능하도록 설치되며, 서로 개폐가 가능하여 최상부에 위치하여 폐쇄되는 경우 상기 적층헤드의 하면 일 측에 근접하여 상기 대지의 박리 시작 말단부를 포집한 후, 폐쇄상태를 유지하며 상기 적층헤드의 이동 속도에 동기하며 하방으로 이동하여 상기 대지를 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 박리하는 그립유닛을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 시트 박리장치에 관한 것이다.
본 발명에 의하는 경우, 적층전 선 박리를 행함으로써, 흡착판의 평행도, 흡착력, Gap, 속도 등 동일한 조건에서의 박리과정의 진행이 가능하므로, 매 박리시의 조건 변수가 적어 균일하고 효율적인 박리가 가능하다는 장점이 있다.
또한, 가압 적층시 비교적 저압/저온의 조건에서 신속한 적층이 이루어지는 것이 의한 적층이 가능하여 매 층의 압력 과다에 의한 적층물의 변형을 최소화 할 수 있어, 제조된 제품의 품질 및 제조 효율을 증대시키는 것이 가능하며 적층 장비의 기능유지에 유리하다는 장점이 있다.

Description

세라믹 시트 박리장치 {Seramic sheet desquamation apparatus}
본 발명은 세라믹 박막 적층 가공장치에 사용되는 세라믹 시트 박리장치에 관한 것으로, 대지(carrier film)(s2)상에 부착된 회로 패턴이 인쇄된 세라믹 박막(s1)으로 구성되는 세라믹 시트(s)에서 상기 대지(carrier film)(s2)를 박리하는 세라믹 시트 박리장치에 있어서, 그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 수평방향으로 구동되고, 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 상하로 이동되는 박리테이블(110);과, 상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 하면에 흡착 고정하여, 적층헤드 이송 수단(122)에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121) 상에서 수평 이동하는 적층헤드(120);와, 상기 적층헤드(120)의 하방 측면에 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 그 설치 각도가 조절이 가능하도록 설치되는 그립 유닛 장착 몸체(130);와, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 의해 상하로 구동 가능하도록 설치되며, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 서로 개폐가 가능하여 최상부에 위치하여 폐쇄되는 경우 상기 적층헤드(120)의 하면 일 측에 근접하여 상기 대지(carrier film)(s2)의 박리 시작 말단부(s2')를 포집한 후, 폐쇄상태를 유지하며 하방으로 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)를 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 박리하는 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)를 포함하여 구성되는 그립유닛(140); 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 시트 박리장치(100)에 관한 것이다.
일반적으로, 세라믹 시트 박리장치가 사용되는 세라믹 박막 적층 가공장치는, 구체적으로 첨단 전자제품의 개발 및 Up-grade 에 따라 수요가 한층 급증하고 있는 고용량 구현을 위해 얇은 유전재료 사이에 전극을 인쇄하고, 수십~수백층을 적층하여 capacitor를 여러 개 병렬 연결한 것과 같은 기능을 가지는 초소형 capacitor인 Multi-layer ceramic capacitor(MLCC)와 같은 전자 부품을 제조하기 위하여, 도 1에 도시한 것과 같이 대지(Carrier Film: 일반적으로 PET Film이 많이 사용된다)(s2)상에 회로 패턴형상으로 인쇄된 세라믹 박막(s1)으로 구성되는 세라믹 시트(s)를 박리하여 정밀하게 고층으로 적층하는 적층 장비이다.
일반적으로, 초소형 capacitor인 Multi-layer ceramic capacitor(MLCC)와 같은 capacitor의 용량을 크게 하기 위해서는 대향 전극 면적을 늘리거나, 전극간 거리를 작게 하거나, 비유전율이 큰 유전재료를 전극 사이에 적용하는 방법이 사용되나, 그 크기를 소형으로 유지하면서 용량을 증대시키기 위해서는 주로 유전물질 필름 또는 박막의 두께를 더욱 얇게 하여 제작한 후, 수십~수백층을 적층하여 병렬로 연결되도록 하고 있으며, 이러한 적층을 위하여 전용 적층기가 사용되게 된다.
이러한 박막 초소형 MLCC 전용 적층기에 의하여 제조되는 박막 초소형 MLCC는 IT 제품(휴대폰, PC, D-TV 등) 외에 메모리 모듈, 튜너 등 모바일 기기, 군사용 기기, 의료 기기, 항공기, 자동차 등의 특수 목적으로도 적용되며, 소형의 capacitor가 요구되는 대단히 다양한 분야에 널리 사용된다. 특히, 내부 인덕턴스(Inductance)가 낮아 다른 캐패시터에 비해 고주파에서 노이즈 제거 효과가 탁월하기 때문에, 휴대폰, 위성 등에 적용되며, 초소형으로도 높은 용량을 가지면서 고신뢰성을 가지는 capacitor로서의 역할을 한다. 일반적으로, MLCC는 휴대폰에 250여 개(스마트폰은 일반 휴대폰의 2배), 노트북에 300여 개, LCD TV에700여 개 등이 소요되는, 범용성이 높은 부품이다.
한편, 스마트폰 등의 휴대용 통신 기기, 태블릿 피씨, 노트북, 스마트 TV 등의 각종 전자기기의 고성능화 에 따라, 그에 사용되는 박막 초소형 MLCC의 사이즈도 점점 소형화 되는 것이 요구되고 있으며, 박막 초소형 MLCC는 resistor와 더불어 회로 구성의 기본 소자로서 그 사용이 필수적인 점을 고려할 때, 이러한 박막 초소형 MLCC의 제조를 위한 박막 초소형 MLCC 전용 적층기에 관한 기술은 현재 뿐만 아니라 향후에도 중요한 이슈로 부각될 수밖에 없다.
이러한 세라믹 박막 적층 가공장치의 일 실시예로는 도 2에 도시한 것과 같은 구성이 가능하다. 상기 세라믹 박막 적층 가공장치를 이용한 Ceramic 칩 제품의 제조 과정 중 작업 및 생산 효율을 위해 필연적으로 도 1에 도시한 것과 같이 대지(Carrier Film)(s2)를 사용하게 된다. 상기 대지(Carrier Film)(s2)의 본연의 임무가 끝나는 적층 공정에서 상기 대지(Carrier Film)(s2)를 세라믹 박막(s1)으로부터 제거하여야 하는데, 제품에 영향을 주지 않고 상기 대지(Carrier Film)(s2)를 제거하는 과정을 박리라 한다. 이러한 박리 과정에서 제품의 종류 제품의 물성에 따라 박리의 난이도가 구분되며, 박리 과정에 있어서 적층 제품에 영향을 전혀 끼치지 않으면서, 보다 안정되게 보다 빠르게 박리를 수행하는 기술이 필요하다.
이러한 박리 과정에서, 상기 대지(Carrier Film)(s2)는 일반적으로 PET Film이 주로 사용되는 바, 도 1에 도시한 것과 같이 낱장의 PET Film에 Coating 되어 있는 상기 세라믹 박막(s1)을 박리함에 있어서 강도가 매우 약한 박막 형상인 상기 세라믹 박막(s1)을 변형 및 파손 없이 박리할 수 있는 박리장치가 필요하게 된다.
이러한 박리과정으로는, 기존에는 선적층 후박리 방식이 주로 사용되어 왔다. 기존의 선적층 후박리 방식은 물리적 강도가 낮은 상기 세라믹 박막(s1)을 적층하기 위하여, 도 3에 도시한 것과 같이 먼저 이미 적층되어 있는 세라믹 박막(s1) 위에 상기 대지(Carrier Film)(s2)와 상기 세라믹 박막(s1)이 서로 결합되어 있는 상기 세라믹 시트(s)를 먼저 가압하여 적층한 후(선적층), 그 다음에 도 3에서 <B> 또는 <C>에 도시한 것과 같이 상기 대지(Carrier Film)(s2)를 박리하는 방식을 말한다.
그러나, 이러한 선적층 후박리 방식의 경우, 적층시 상기 세라믹 박막(s1)의 변형을 적게하기 위하여(즉, a=a`) 적층 압력을 약하게 하는 경우, 적층되는 상기 세라믹 박막(s1)사이의 접착력이 상기 세라믹 박막(s1)과 상기 대지(Carrier Film)(s2) 사이의 접착력보다 약하게 되는 경우가 많아, 도 3에서 <B> 에 도시한 것과 같이 박리 과정에서 상기 세라믹 박막(s1)이 상기 대지(Carrier Film)(s2)에 그대로 붙어있는 상태로 적층되어 있는 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 덜어져 나오기 쉽다는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 도 3에서 <C> 에 도시한 것과 같이 적층시 적층 압력을 강하게 하는 경우에는, 적층되는 상기 세라믹 박막(s1)이 적층되어 있는 상기 세라믹 박막(s1)에 강하게 적층되므로, 박리과정에서 상기 세라믹 박막(s1)이 상기 대지(Carrier Film)(s2)로부터 원활하게 박리된다는 장점은 있으나, 강한 적층 압력에 의해 적층된 상기 세라믹 박막(s1) 층에 변형이 발생하기 쉽다는 문제점이 있었다.(즉, a>a``)
본 발명은 상기한 기존 발명의 문제점을 해결하여, 선박리 후적층 방식에 적합한 세라믹 시트 박리장치를 제공하는 것을 그 과제로 한다.
또한, 적층전 선 박리를 행함으로써, 흡착판의 평행도, 흡착력, Gap, 속도 등 동일한 조건에서의 박리과정의 진행이 가능하므로, 매 박리시의 조건 변수가 적어 균일하고 효율적인 박리가 가능하도록 하는 것을 그 과제로 한다.
또한, 가압 적층시 비교적 저압/저온의 조건에서 신속한 적층이 이루어지는 것이 의한 적층이 가능하여 매 층의 압력 과다에 의한 적층물의 변형을 최소화 할 수 있어, 제조된 제품의 품질 및 제조 효율을 증대시키는 것이 가능하며 적층 장비의 기능유지에 유리하도록 하는 것을 그 과제로 한다.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 세라믹 시트 박리장치는, 대지(carrier film)(s2)상에 부착된 회로 패턴이 인쇄된 세라믹 박막(s1)으로 구성되는 세라믹 시트(s)에서 상기 대지(carrier film)(s2)를 박리하는 세라믹 시트 박리장치에 있어서, 그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 수평방향으로 구동되고, 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 상하로 이동되는 박리테이블(110);과, 상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 하면에 흡착 고정하여, 적층헤드 이송 수단(122)에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121) 상에서 수평 이동하는 적층헤드(120);와, 상기 적층헤드(120)의 하방 측면에 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 그 설치 각도가 조절이 가능하도록 설치되는 그립 유닛 장착 몸체(130);와, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 의해 상하로 구동 가능하도록 설치되며, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 서로 개폐가 가능하여 최상부에 위치하여 폐쇄되는 경우 상기 적층헤드(120)의 하면 일 측에 근접하여 상기 대지(carrier film)(s2)의 박리 시작 말단부(s2')를 포집한 후, 폐쇄상태를 유지하며 상기 적층헤드(120)의 이동 속도에 동기하며 하방으로 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)를 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 박리하는 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)를 포함하여 구성되는 그립유닛(140); 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 그립 유닛(140)의 양 측면에 설치되는 그립 유닛 가이드(155);와, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 각각 더 설치되며, 상기 그립 유닛 가이드(155)가 각각 삽입되어 유도되는 그립 유닛 가이드 레일(156);를 더 포함하여 구성되며, 상기 그립 유닛(140)은 박리 압력 조절 실린더(170)를 통하여 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 연결되며, 상기 박리 압력 조절 실린더(170)의 작동 정도에 따라 박리 과정 중 상기 그립유닛(140)으로부터 상기 대지(carrier film)(s2)에 가해지는 장력(tension)의 정도가 조절되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부 그립퍼(142)에 다수 개 형성되어, 상기 대지(carrier film)(s2)를 포집하는 경우에는 진공 흡입력이 인가되어 상기 대지(carrier film)(s2)가 더욱 잘 흡착되도록 하며, 박리 과정이 끝난 후에는 공기를 불어넣어 상기 대지(carrier film)(s2)가 쉽게 분리되도록 하는 그립퍼 진공흡기공(144);와, 상기 그립유닛(140)의 위치를 측정하는 그립 유닛 위치 측정 센서(171);와, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 상하 방향으로 다수 개 설치되며, 분리가 끝난 상기 대지(carrier)(s2)를 공기를 분출하여 분리시키는 블로워 노즐(180); 을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하는 경우, 적층전 선 박리를 행함으로써, 흡착판의 평행도, 흡착력, Gap, 속도 등 동일한 조건에서의 박리과정의 진행이 가능하므로, 매 박리시의 조건 변수가 적어 균일하고 효율적인 박리가 가능하다는 장점이 있다.
또한, 가압 적층시 비교적 저압/저온의 조건에서 신속한 적층이 이루어지는 것이 의한 적층이 가능하여 매 층의 압력 과다에 의한 적층물의 변형을 최소화 할 수 있어, 제조된 제품의 품질 및 제조 효율을 증대시키는 것이 가능하며 적층 장비의 기능유지에 유리하다는 장점이 있다.
도 1: 본 발명의 세라믹 박막 적층용 프레스 장치가 적용되는 세라믹 박막 적층 가공장치에서 가공되는 세라믹 박막의 단면도.
도 2: 본 발명의 세라믹 박막 적층용 프레스 장치가 적용되는 세라믹 박막 적층 가공장치의 구성개략도.
도 3: 기존 발명의 일 실시예에 의한 선 적층 후박리 과정의 문제점을 보여주는 단면 모식도.
도 4: 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 시트 박리장치의 측면 구성 모식도.
도 5: 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 시트 박리장치의 정면 구성 모식도.
도 6: 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 시트 박리장치의 작동 과정을 나타내는 주요부 작동 모식도.
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 세라믹 시트 박리장치를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
먼저, 본 발명의 세라믹 시트 박리장치(100)가 적용되는 세라믹 박막 적층 가공장치의 구성에 관하여 간략히 설명한다.
상기 세라믹 박막 적층 가공장치는 도 2에 나타낸 것과 같이 크게, 1차 VISION 장치(10), 정렬 스테이지(20), CUTTING 이송 UNIT(30), 박리테이블(110), 2차 VISION 장치(50), 적층헤드(160), 세라믹 시트 박리장치(100), 세라믹 박막 적층용 프레스 장치(70) 및 완제품 적재장치(80)를 포함하여 구성된다. 이 경우, 상기 박리테이블(110) 및 상기 적층헤드(160)는 전체적인 세라믹 박막 적층 가공장치의 구성요소를 이루는 것과 동시에 본 발명의 구성요소로 포함된다.
가장 먼저, 도 2에 도시한 것과 같이 1차 VISION 장치(10)가 Pick up장치에 의해 정렬 스테이지Align stage에 공급 되어진 세라믹 시트(s)의 위치를 인식하여 보정 Data를 전송한다.
그 다음으로, 상기 정렬 스테이지(20)에서는, 공급 되어진 상기 세라믹 시트(s)를 진공으로 흡착 고정하고, 1차 VISION 장치(10)가 Vision 인식을 수행한 보정 Data를 전송 받아 X/Y/θ 보정을 실행하는 1차 Align 보정단계를 수행한다. 한편, 상기 정렬 스테이지(20)는, Cutting시 Cutter die의 역할을 한다.
1차 Align보정이 완료 되면, CUTTING 이송 UNIT(30)의 Cutting head가 상기 세라믹 시트(s)를 절단함과 동시에 흡착 이동시켜, 전달위치(b)에 있는 박리테이블(110)로 상기 세라믹 시트(s)를 이동시킨다.
그 후, 상기 박리테이블(110)은 상기 CUTTING 이송 UNIT(30)의 Cutting head로부터 전달받은 상기 세라믹 시트(s)를 흡착 고정한 상태로, 박리위치(2차 Vision위치)(c)로 이동하여 대기한다.
다음으로, 2차 VISION 장치(50)는, 상기 박리테이블(110)에 흡착되어 공급된 상기 세라믹 시트(s)의 위치를 인식하여 보정 Data를 전송한다.
그 후, 상기 2차 vision 보정 data가 전송 완료되면, 적층헤드(160)가 상기 박리위치(c)로 이송되어 상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 흡착고정한다. 이때 상기 박리테이블(110)은 상기 적층헤드(160)와 일정 간격을 유지하면서 진공을 해제하여 상기 적층헤드(160)로의 전이를 도와준다.
상기 적층헤드(160)가 상기 세라믹 시트(s)를 흡착 고정 완료하면, 박리장치(70)가 상승하고, 상기 박리장치(70)의 그립(Grip)이 돌츨된 대지(carrier film)(s2)의 끝단을 잡아 미세 하강 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)에 적정 Tension을 부여한다. 적정 Tension 부여가 되면 상기 적층헤드(160)는 Press위치로 이동(박리시작)하게 되는데, 이때 상기 박리장치도 상기 적층헤드(160)의 이동 속도에 동기하여 Tension을 유지한 채로 이동하게 되고 세라믹 박막(s1)으로부터 상기 대지(carrier film)(s2)는 자연적으로 이형되어 진다.
그 후, Press위치(d)로 이동한 상기 적층헤드(160)에 흡착되어 있는 박리가 완료된 세라믹 박막(s1)를 압착 적층하기 위하여 본 발명의 세라믹 박막 적층용 프레스 장치(100)가 작동하여 적층 완료된 제품을 높은 압력으로 압착하여 적층한 후, 상기 적층 헤드(60)가 흡착된 완제품 반출위치(e)로 이송 적재하여 가공이 완료된다.
다음으로, 본 발명의 일 실시 예에 따른 세라믹 시트 박리장치를 상세히 설명한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 세라믹 시트 박리장치는 도 4 및 도 5에 도시한 것과 같이 크게 박리테이블(110), 적층헤드(120), 그립 유닛 장착 몸체(130) 및 그립유닛(140)을 포함하여 구성된다.
먼저, 박리테이블(110)에 관하여 설명한다. 상기 박리테이블(110)은 도 4에 도시한 것과 같이, 그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 수평방향으로 구동되고, 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 상하로 이동되는 구성을 가진다.
다음으로, 적층헤드(120)에 관하여 설명한다. 상기 적층헤드(120)는 도 4에 도시한 것과 같이, 상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 하면에 흡착 고정하여, 도 2에 도시한 것과 같은 적층헤드 이송 수단(122)에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121) 상에서 수평 이동하면서 박리과정을 수행하는 구성을 가진다. 상기 적층헤드(120)는 본 발명의 세라믹 시트 박리장치를 통하여 박리된 상기 세라믹 박막(s1)을 도 2에 도시한 것과 같은 세라믹 박막 적층용 프레스 장치(70)로 전달하는 기능도 아울러 가지게 된다.
다음으로, 그립 유닛 장착 몸체(130)에 관하여 설명한다. 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)은 도 4에 도시한 것과 같이, 상기 적층헤드(120)의 하방 측면에 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 그 설치 각도가 조절이 가능하도록 설치되며, 후술할 그립유닛(140)이 지지되어 작동하는 지지체 역활을 한다. 이 경우, 상기 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)은 도 6에 도시한 것과 같이 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)가 수직면에 대하여 가지는 각도(θ)를 조절하여 후술할 그립유닛(140)이 박리과정을 수행하며 하강하는 운동 방향을 결정하게 된다. 이 경우, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)가 수직면에 대하여 가지는 각도(θ)는 원활한 박리 공정을 위하여 도 6에 도시한 방향에서 보아 수직면에 대하여 시계 방향으로 약 -5°~+10°의 값을 가지는 것이 바람직하다. 한편, 상기 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)은 단순하게 회전각을 조절하여 고정시키는 링크 또는 힌지의 형태로 제작되는 것이 가능하다. 또한, 상기 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)은 더욱 원활한 박리를 위하여 박리 과정 중 상기 각도(θ)를 변화시키며 조절하는 것이 가능하도록 회전형 서보 또는 회전형 유압 실린더 등의 회전 구동 수단을 통하여 구성되는 것도 가능하다.
다음으로, 그립유닛(140)에 관하여 설명한다. 상기 그립유닛(140)은 도 4에 도시한 것과 같이, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 의해 상하로 구동 가능하도록 설치된다. 이 경우, 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)은 대단히 다양한 실시예를 통하여 실시하는 것이 가능하며, 그 일 실시예로는 도 4 및 도 5에 도시한 것과 같이, 그립 유닛 서보모터(151)에 연결된 구동 풀리(152)와, 상기 구동 풀리(152)에 종동 풀리(153)을 통하여 연결되어 구동되는 구동 벨트(154)에 상기 그립유닛(140)이 연결되도록 하여, 상기 그립 유닛 서보모터(151)의 구동에 따라 상기 그립유닛(140)이 상하로 구동되도록 하는 것이 가능하다. 또한, 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)을 구성하는 다른 실시예로는 리니어 서보 모터 또는 유압 실린더를 사용하여 구성하는 것이 가능하다.
한편, 상기 그립유닛(140)은 도 4에 도시한 것과 같이, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 서로 개폐가 가능하여, 도 6에서 (f)에 도시한 것과 같이 최상부에 위치하여 폐쇄되는 경우 상기 적층헤드(120)의 하면 일 측에 근접하여 상기 대지(carrier film)(s2)의 박리 시작 말단부(s2')를 포집한 후, 도 6에서 (g) 내지(j)에 도시한 것과 같이 폐쇄상태를 유지하며 상기 적층헤드(120)의 이동 속도에 동기하며 하방으로 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)를 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 박리하는 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)를 포함하여 구성된다. 이와 같이 상기 그립유닛(140)이 상기 적층헤드(120)의 이동 속도에 동기하며 하방으로 이동하는 구성에 의해, 박리되는 상기 대지(carrier film)(s2)에 일정한 장력이 유지되면서 박리과정이 진행되어 원활한 박리가 가능하게 된다. 이 경우, 상기 그립퍼 회동 수단(143)은 그 회전에 의해 상기 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 개/폐 될 수 있도록, 회전형 서보 또는 회전형 유압 실린더 등의 회전 구동 수단을 통하여 구성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 하부 그립퍼(142)의 내측 포집면에는 도 5 에 도시한 것과 같이 그립퍼 진공흡기공(144)이 다수 개 형성되도록 하여, 도 6 에서 (f) 내지(j)에 도시한 것과 같이 상기 대지(carrier film)(s2)를 포집하는 경우에는 진공 흡입력이 인가되어 상기 대지(carrier film)(s2)가 더욱 잘 흡착되도록 하며, 도 6 에서 (k)에 도시한 것과 같이박리 과정이 끝난 후에는 공기를 불어넣어 상기 대지(carrier film)(s2)가 쉽게 분리되도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 그립 유닛(140)의 양 측면에는 도 4 및 도 5에 도시한 것과 같이 그립 유닛 가이드(155)가 더 설치되도록 하고, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에는 상기 그립 유닛 가이드(155)가 각각 삽입되어 유도되는 그립 유닛 가이드 레일(156)이 각각 더 설치되도록 하여, 더욱 원활하고 정교한 상하 작동이 가능하도록 하는 것이 바람직하다.며,
한편, 상기 그립 유닛(140)은 도 4 및 도 5에 도시한 것과 같이, 박리 압력 조절 실린더(170)를 통하여 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 연결되도록 하여, 상기 박리 압력 조절 실린더(170)의 작동 정도에 따라 박리 과정 중 상기 그립유닛(140)으로부터 상기 대지(carrier film)(s2)에 가해지는 장력(tension)의 정도가 조절되도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명은 도 4에 도시한 것과 같이, 블로워 노즐(180)을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 상기 블로워 노즐(180)은 도 4에 도시한 것과 같이, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 상하 방향으로 다수 개 설치되며, 도 6 에서 (j) 내지(k)에 도시한 것과 같이 분리가 끝난 상기 대지(carrier)(s2)를 공기를 분출하여 분리시키는 기능을 가진다.
또한, 상기 그립유닛(140)의 변위와 위치를 측정하는 그립 유닛 위치 측정 센서(171)를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 시트 박리장치의 작동에 관하여 도 6의 작동 과정을 나타내는 주요부 작동 모식도를 참조하여 설명한다.
먼저, 도 6에서 (a)로 표현한 단계에서와 같이, 박리 테이블(110)이 그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 진공에 의해 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 박리 위치까지 수평방향으로 이동하여 오게 된다. 이 경우, 상기 세라믹 시트(s)의 박리가 시작되는 말단부는 도 6에서 (a)로 표현한 단계에 나타난 바와 같이, 상기 박리 테이블(110)의 박리 시작 방향 외 측으로 소정 길이만큼 돌출된 상태로 흡착되어 이송된다.
다음으로, 도 6에서 (b)로 표현한 단계에서와 같이, 그립 유닛(140)이 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 개방된 상태로 그립 유닛 상하 구동 수단(150)의 작동에 의해 상승하여 올라온다.
그 후, 도 6에서 (c)로 표현한 단계에서와 같이, 적층 헤드(120)가 적층헤드 이송 수단(122)의 작동에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121)을 따라 박리 위치로 이동하여 오게 된다.
다음으로, 도 6에서 (d)로 표현한 단계에서와 같이, 박리 테이블(110)이 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 세라믹 시트(s)의 상면이 적층 헤드(120)의 하면에 약간의 간격을 두고 거의 접촉할 정도의 위치까지 상승한다. 이와 동시에 박리 테이블(110)에 인가되던 진공 흡입력이 해제되고, 적층헤드(120)에 진공 흡입력이 인가되어 상기 세라믹 시트(s)는 박리 테이블(110)로부터 분리되어 적층헤드(120)의 하면에 흡착된다. (도 6에서는, 진공이 인가되는 부분을 짙은 음영으로 표현하였다.) 이 경우 역시 도 6에서 (d)로 표현한 단계에 나타난 바와 같이, 상기 세라믹 시트(s)의 박리가 시작되는 말단부는 상기 적층 헤드(120)의 박리 시작 방향 외 측으로 소정 길이만큼 돌출된 상태로 흡착되어 이송된다.
그 후, 도 6에서 (e)로 표현한 단계에서와 같이, 그립 유닛(140)이 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 개방된 상태로 그립 유닛 상하 구동 수단(150)의 작동에 의해 최대 상승 위치까지 상승하여 올라온다. 이 경우, 하부 그립퍼(142)가 박리 시작 방향 외 측으로 소정 길이만큼 돌출된 세라믹 시트(s)의 박리가 시작되는 말단부의 하면에 접촉하게 된다.
다음으로, 도 6에서 (f)로 표현한 단계에서와 같이, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 폐쇄된 상태로 작동하며 박리 시작 방향 외 측으로 소정 길이만큼 돌출된 세라믹 시트(s)의 박리가 시작되는 말단부를 포집한다. 이 단계에서, 하부 그립퍼(142)의 내측 포집면에 형성된 그립퍼 진공흡기공(144)에는 진공 흡입력이 인가되기 시작하여, 상기 대지(carrier film)(s2)가 더욱 잘 흡착되도록 하게 된다.
그 후, 도 6에서 (g)로 표현한 단계에서와 같이, 적층 헤드(120)와 그립 유닛(140)이 서로 동기하며 약간씩 이동한다. 이 단계에서, 박리 압력 조절 실린더(170)의 압력 조절량에 의해 박리 과정 중 부여될 일정한 장력(tension)이 대지(carrier film)(s2)에 인가되며, 이러한 인가 장력에 의한 그립 유닛(140)의 미세 변위를 그립 유닛 위치 측정 센서(171)가 감지하여 박리 과정중에 가해질 구동력과 박리 속도를 조절하게 된다.
다음으로, 도 6에서 (h) 내지 (i)로 표현한 단계에서와 같이, 적층 헤드(120)와 그립 유닛(140)이 서로 동기하며 이동하며 박리 과정을 수행한다. 이 경우, 그립 유닛(140)이 하강하는 방향은 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 조절된 방향으로 수직면과 일정한 각도(θ)를 가지게 된다. 한편, 이러한 박리과정 중 박리 테이블(110)은 수평 이동 중인 적층 헤드(120)의 하면에 흡착된 세라믹 시트(s)와 일정한 미세 간격을 유지하므로, 혹시라도 박리과정이 거의 종료되는 경우 적층 헤드(120)의 진공 흡착 면적이 점점 감소함에 따라 발생할 수 있는 세라믹 시트(s)의 탈락을 방지한다.
그 후, 도 6에서 (j)로 표현한 단계에서와 같이 박리가 완료되며, 블로워 노즐(180)을 통해 압축 공기를 불어넣어 박리가 완료된 대지(carrier film)(s2)를 분리 시킨다.
마지막으로, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 개방되어 대지(carrier film)(s2)를 놓는 것과 동시에, 하부 그립퍼(142)의 내측 포집면에 형성된 그립퍼 진공흡기공(144)로부터 압축 공기가 발산되도록 하여, 박리가 완료된 대지(carrier film)(s2)를 장치로 부터 완전히 분리 시키는 것으로 작동의 한 주기가 완료되게 된다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
s: 세라믹 시트
s1: 세라믹 박막 s2: 대지(carrier film)
10: 1차 VISION 장치 20: 정렬 스테이지
30: CUTTING 이송 UNIT
50: 2차 VISION 장치
70: 세라믹 박막 적층용 프레스 장치
80: 완제품 적재장치
100: 세라믹 시트 박리장치
110: 박리테이블
111: 박리 테이블 수평 이동 수단 112: 박리 테이블 상하 이동 수단
120: 적층 헤드 121: 적층 헤드 가이드 레일
122: 적층헤드 이송 수단
130: 그립 유닛 장착 몸체
131: 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단
140: 그립 유닛
141: 상부 그립퍼 142: 하부 그립퍼
143: 그립퍼 회동 수단 144: 그립퍼 진공흡기공
150: 그립 유닛 상하 구동 수단
151: 그립 유닛 서보 152: 구동 풀리
153: 종동 풀리 154: 구동 벨트
155: 그립 유닛 가이드 156: 그립 유닛 가이드 레일
170: 박리 압력 조절 실린더 171: 그립 유닛 위치 측정 센서
180: 블로워 노즐

Claims (3)

  1. 대지(carrier film)(s2)상에 부착된 회로 패턴이 인쇄된 세라믹 박막(s1)으로 구성되는 세라믹 시트(s)에서 상기 대지(carrier film)(s2)를 박리하는 세라믹 시트 박리장치에 있어서,

    그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 수평방향으로 구동되고, 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 상하로 이동되는 박리테이블(110);
    상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 하면에 흡착 고정하여, 적층헤드 이송 수단(122)에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121) 상에서 수평 이동하는 적층헤드(120);
    상기 적층헤드(120)의 하방 측면에 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 그 설치 각도가 조절이 가능하도록 설치되는 그립 유닛 장착 몸체(130);
    상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 의해 상하로 구동 가능하도록 설치되며, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 서로 개폐가 가능하여 최상부에 위치하여 폐쇄되는 경우 상기 적층헤드(120)의 하면 일 측에 근접하여 상기 대지(carrier film)(s2)의 박리 시작 말단부(s2')를 포집한 후, 폐쇄상태를 유지하며 상기 적층헤드(120)의 이동 속도에 동기하며 하방으로 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)를 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 박리하는 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)를 포함하여 구성되는 그립유닛(140); 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 시트 박리장치(100).
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 그립 유닛(140)의 양 측면에 설치되는 그립 유닛 가이드(155);
    상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 각각 더 설치되며, 상기 그립 유닛 가이드(155)가 각각 삽입되어 유도되는 그립 유닛 가이드 레일(156);를 더 포함하여 구성되며,
    상기 그립 유닛(140)은 박리 압력 조절 실린더(170)를 통하여 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 연결되며, 상기 박리 압력 조절 실린더(170)의 작동 정도에 따라 박리 과정 중 상기 그립유닛(140)으로부터 상기 대지(carrier film)(s2)에 가해지는 장력(tension)의 정도가 조절되는 것을 특징으로 하는 세라믹 시트 박리장치(100).
  3. 청구항 제 2항에 있어서,
    상기 하부 그립퍼(142)에 다수 개 형성되어, 상기 대지(carrier film)(s2)를 포집하는 경우에는 진공 흡입력이 인가되어 상기 대지(carrier film)(s2)가 더욱 잘 흡착되도록 하며, 박리 과정이 끝난 후에는 공기를 불어넣어 상기 대지(carrier film)(s2)가 쉽게 분리되도록 하는 그립퍼 진공흡기공(144);
    상기 그립유닛(140)의 위치를 측정하는 그립 유닛 위치 측정 센서(171);
    상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 상하 방향으로 다수 개 설치되며, 분리가 끝난 상기 대지(carrier)(s2)를 공기를 분출하여 분리시키는 블로워 노즐(180);
    을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 시트 박리장치(100).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003089107A (ja) * 2001-09-17 2003-03-25 Murata Mfg Co Ltd 剥離装置
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