JP4015138B2 - ピーリング装置及びピーリング方法 - Google Patents
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Description
Claims (7)
- 基板表面に貼り付けられたフィルムを剥離するピーリング装置であって、
粘着テープを下端面にて保持し、前記下端面により前記フィルムの角部に対して前記粘着テープを押し付ける押え用部材と、
前記押え用部材に対して前記粘着テープを供給するテープ供給系と、
前記フィルムの角部に前記粘着テープを押し付けた後、前記押え用部材を、前記フィルム上の所定点を中心とする円周上に沿って移動させる押え用部材駆動系とを有することを特徴とするピーリング装置。 - 前記基板を第一の方向に移動させる基板駆動系と、前記粘着テープを介して前記押え用部材に付着して前記基板表面より剥離した前記フィルムの一部を把持するチャック機構と、前記チャック機構を前記第一の方向と直行する方向に駆動する駆動系とを更に有することを特徴とする請求項1記載のピーリング装置。
- 基板に貼り付けられたフィルムを剥離するピーリング方法であって、
押え用部材の下端面によって粘着テープを保持し、前記下端面によって前記フィルムの角部に対して前記粘着テープを貼付け、
前記押え用部材を、前記フィルム上の所定点を中心とする円周上に沿って移動させて前記フィルムの角部を前記基板から剥離する工程を有することを特徴とするピーリング方法。 - 前記フィルム角部を前記基板から剥離した状態で前記押え用部材を前記基板表面から遠ざけ、
剥離状態にある前記フィルムをチャック機構により把持し、
前記チャック機構を前記基板の延在する面と平行な面にて前記基板の略対角方向に相対的に移動する工程を更に有することを特徴とする請求項3記載のピーリング方法。 - 前記フィルム上の前記所定点は、前記フィルムと接する前記押え用部材の前記下端面の端部から所定の間隔を空け、且つ前記押え用部材が前記粘着テープを押し付ける前記フィルムの角部から離れた点に設けられることを特徴とする請求項1或いは2何れかに記載のピーリング装置。
- 前記チャック機構が駆動される前記方向は前記基板の表面と平行且つ接近した方向であることを特徴とする請求項2記載のピーリング装置。
- 前記押え用部材、前記テープ供給系、前記押え部材駆動系、前記チャック機構、及び前記チャック機構の駆動系は前記基板の表側及び裏側に各々配置されており、前記チャック機構の駆動系が前記チャック機構を駆動する前記方向は前記基板の表面側と裏面側とで対向する向きであることを特徴とする請求項2記載のピーリング装置。
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