JP7415395B2 - 保護シート剥離装置および保護シート剥離方法 - Google Patents

保護シート剥離装置および保護シート剥離方法 Download PDF

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Description

本発明は保護シート剥離装置および保護シート剥離方法に関する。
従来、例えば半導体および電子ディスプレイの製造時、それらの構成部材の表面における傷の発生および異物の付着等を防ぐために、構成部材に保護シートが貼付されることがある。この保護シートを構成部材から剥離するときには、保護シートに剥離テープを貼付し、剥離テープを引っ張ることにより、保護シートを剥離テープとともに剥離することが行われている。
剥離テープの消費量を低減するため、例えば特許文献１には、把持手段により保護シートと剥離テープとを分離するシート剥離装置が開示されている。具体的には、把持手段が、構成部材である被着体から剥離した保護シートの端部を把持した後、剥離用テープから離れる方向に回動することにより、保護シートと剥離テープとが分離される。
特許第５１０３３２２号公報
しかしながら、上述のような従来技術は、保護シートと剥離テープとを分離するために、把持手段に回転駆動が必要であるため、シート剥離装置の構造が複雑になるという問題がある。
本発明の一態様は、単純な構成の保護シート剥離装置を実現することを目的とする。
本開示の一例として、上述した課題を解決するために、以下の構成が採用される。
すなわち、本発明の一側面に係る保護シート剥離装置は、剥離テープが取り付けられ、保護シートが貼付された被着体に対して相対移動可能であり、前記被着体に近づく方向への前記相対移動により、前記保護シートに前記剥離テープを押圧して貼付する貼付部と、前記保護シートにおける、前記被着体から遠ざかる方向への前記貼付部の前記相対移動により前記被着体から剥離し、かつ前記剥離テープに貼付されていない部分を把持する把持部と、前記把持部に対して相対移動可能であり、前記被着体を保持し、前記把持部から遠ざかる方向への前記相対移動により、前記保護シートの全体を前記被着体から剥離する移動部と、を備えている。
上記の構成によると、貼付部が保護シートに剥離テープを押圧して貼付した後で、被着体から遠ざかる方向へ相対移動すると、保護シートが被着体から部分的に剥離する。このとき把持部は、保護シートにおける被着体から剥離し、かつ剥離テープに貼付されていない部分を把持する。この状態で、被着体を保持した移動部が、把持部から遠ざかる方向へ相対移動すると、保護シートは把持部に把持されており、被着体の移動に追従できないため、保護シートの全体が被着体から剥離する。したがって、被着体から保護シートを剥離するために回転駆動を使用する必要がなく、単純な構成の保護シート剥離装置を実現することができる。
前記一側面に係る保護シート剥離装置において、前記貼付部は、前記被着体から遠ざかる方向への前記相対移動により、前記把持部から遠ざかり、前記把持部に把持された前記保護シートと、前記貼付部に取り付けられた前記剥離テープとを分離してもよい。
上記の構成によると、把持部が保護シートを把持した状態で、貼付部が被着体から更に遠ざかる方向へ相対移動すると、貼付部は把持部に把持された保護シートと貼付部に取り付けられた剥離テープとを分離する。したがって、保護シートと剥離テープとを分離するために回転駆動を使用する必要がなく、より単純な構成の保護シート剥離装置を実現することができる。
前記一側面に係る保護シート剥離装置は、前記貼付部に取り付けられた前記剥離テープを前記貼付部に対して相対移動させるテープ駆動部を更に備え、前記貼付部は貼付ローラであり、前記テープ駆動部は、前記保護シートにおける前記剥離テープが貼付された部分のうちの最も把持部から遠い部分を、前記保護シートにおける前記剥離テープが貼付された部分のうちの最も把持部に近い部分の位置に近付けるように、前記剥離テープを相対移動させてもよい。
上記の構成によると、保護シートと剥離テープとを分離するときに、保護シートにおける剥離テープが貼付された部分のうちの最も把持部に近い部分が、剥離テープから分離しやすくなる。したがって、より効果的に保護シートと剥離テープとを分離することができる。
前記一側面に係る保護シート剥離装置において、前記把持部は、前記被着体から部分的に剥離した前記保護シートにおける前記剥離テープに貼付された部分と前記被着体に貼付された部分との間の部分を把持してもよい。
上記の構成によると、把持部は保護シートの自由端ではなく、保護シートにおける剥離テープに貼付された部分と被着体に貼付された部分との間の部分を把持する。剥離テープおよび被着体の位置は安定しているので、保護シートにおける剥離テープに貼付された部分と被着体に貼付された部分との間の部分の位置も安定している。したがって、把持部が安定して保護シートを把持することができる。
前記一側面に係る保護シート剥離装置は、前記貼付部に取り付けられた前記剥離テープを前記貼付部に対して相対移動させるテープ駆動部を更に備え、前記テープ駆動部は、前記剥離テープを前記貼付部に対して相対移動させることによって、前記保護シートの一部を前記被着体から剥離するとともに、前記被着体を前記移動部が保持可能な受渡位置まで移動させてもよい。
上記の構成によると、テープ駆動部が剥離テープを貼付部に対して相対移動させることによって、被着体からの保護シートの剥離および被着体の受渡位置までの移動が同時に実現される。したがって、更に単純な構成の保護シート剥離装置を実現することができる。
前記一側面に係る保護シート剥離装置において、前記把持部は、前記被着体から剥離した後の前記保護シートを所定の位置に移動させてもよい。上記の構成によると、把持部は、被着体から剥離した後の保護シートを、例えば保護シートを廃棄するための廃棄位置に移動させることができる。したがって、保護シートを移動させるための構成を、把持部とは別に設ける必要がなく、更に単純な構成の保護シート剥離装置を実現することができる。
前記一側面に係る保護シート剥離装置において、前記貼付部には、前記被着体の両面にそれぞれ貼付された２枚の前記保護シートにそれぞれ押圧され貼付される剥離テープが取り付けられ、前記把持部は、前記２枚の保護シートをそれぞれ把持し、前記移動部は、前記被着体における前記２枚の保護シートが剥離された部分を保持してもよい。
上記の構成によると、被着体の両面に２枚の保護シートがそれぞれ貼付されている場合であっても、２枚の保護シートを同時に被着体から剥離することができる。したがって、保護シート剥離装置の剥離効率を向上させることができる。
また、本発明の一側面に係る保護シート剥離方法は、被着体に貼付された保護シートに剥離テープを押圧して貼付する貼付ステップと、前記剥離テープを前記被着体から遠ざかる方向へ相対移動させて、前記保護シートを前記被着体から部分的に剥離させる部分剥離ステップと、前記保護シートにおける、前記被着体から剥離し、かつ前記剥離テープに貼付されていない部分を把持部により把持する把持ステップと、前記被着体を前記把持部から遠ざかる方向へ相対移動させることにより、前記保護シートの全体を前記被着体から剥離する全体剥離ステップとを備える。
前記一側面に係る保護シート剥離方法は、前記剥離テープにおける前記保護シートに貼付された部分を前記把持部から遠ざかる方向へ相対移動させて、前記剥離テープと前記保護シートとを分離させる分離ステップを更に備えてもよい。
本発明の一態様によれば、単純な構成の保護シート剥離装置を実現することができる。
本実施形態に係る保護シート剥離装置の初期状態を示す側面概略図である。 図１に係る保護シート剥離装置により剥離される上側保護シートおよび下側保護シートが貼付された被着体の拡大断面図である。 図１に示した引渡チャックの上面図である。 図１に係る保護シート剥離装置の初期状態における正面概略図である。 図１に示した保護シート剥離装置が備える制御装置の構成を示すブロック図である。 図１に係る保護シート剥離装置において、上側貼付ローラと下側貼付ローラとを接近させた状態を示す図である。 図６に係る保護シート剥離装置において、ワークの前側端部を上側貼付ローラと下側貼付ローラとの間に配置した状態を示す図である。 図７に係る保護シート剥離装置において、上側剥離テープおよび下側剥離テープを移動させた状態を示す図である。 図８に係る保護シート剥離装置において、上側貼付ローラおよび下側貼付ローラを被着体から遠ざけた状態を示す図である。 図９に係る保護シート剥離装置において、上側保護シートおよび下側保護シートをそれぞれ上側分離チャックおよび下側分離チャックで把持した状態を示す図である。 図１０に係る保護シート剥離装置において、上側貼付ローラおよび下側貼付ローラをそれぞれ上側分離チャックおよび下側分離チャックから遠ざけた状態を示す図である。 図１１に係る保護シート剥離装置において、上側保護シートおよび下側保護シートがそれぞれ上側剥離テープおよび下側剥離テープから分離された状態を示す図である。 図１２に係る保護シート剥離装置において、引渡チャックを開放し、受取チャックに把持された被着体を前進させた状態を示す図である。 図１３に係る保護シート剥離装置において、上側保護シートおよび下側保護シートが被着体から剥離した状態を示す図である。 図１４に係る保護シート剥離装置の正面概略図である。 図１５に係る上側分離チャックおよび下側分離チャックがダストボックスの上方まで回転移動した状態を示す図である。 被着体から上側保護シートおよび下側保護シートを剥離する方法を示すフローチャートである。 図１に示した上側分離チャックの変形例を示す図である。 移動部の変形例を示す図である。 貼付部の変形例を示す図である。
以下、本発明の一側面に係る実施の形態（以下、「本実施形態」とも表記する）を、図面に基づいて説明する。
〔実施形態１〕
§１ 適用例
まず、図１および図４を用いて、本発明が適用される場面の一例について説明する。図１は、本実施形態に係る保護シート剥離装置１の初期状態を示す側面概略図である。図４は、保護シート剥離装置１の初期状態における正面概略図である。図１および図４に示すように、保護シート剥離装置１は、引渡部１０と、上側テープ保持部（テープ駆動部）２０と、下側テープ保持部（テープ駆動部）３０と、上側分離チャック（把持部）４１と、下側分離チャック（把持部）４２と、分離チャック回転シリンダ４３と、受取部（移動部）５０とを備える。図４では、引渡部１０および受取部５０等が省略して描かれている。
以下の説明では、図１に示す保護シート剥離装置１において、引渡部１０および受取部５０が配置されている方向をそれぞれ「後側」および「前側」と称する。また、上側テープ保持部２０および下側テープ保持部３０が配置されている方向をそれぞれ「上側」および「下側」と称する。また、図４等に示す保護シート剥離装置１において、紙面右側を「右側」、紙面左側を「左側」と称する。
図２は、図１に示したワークＷ１の拡大断面図である。図２に示すように、ワークＷ１は、被着体Ｂ１の上面に上側保護シートＣ１が貼付され、下面に下側保護シートＣ２が貼付されている。被着体Ｂ１の例として、電子ディスプレイの構成シートおよび半導体ウェハの他、樹脂板、板金およびガラス板を挙げることができる。
上側テープ保持部２０は上側貼付ローラ（貼付部）２３を備え、下側テープ保持部３０は下側貼付ローラ（貼付部）３３を備える。上側貼付ローラ２３および下側貼付ローラ３３にはそれぞれ、上側剥離テープＴ１および下側剥離テープＴ２が取り付けられる。
図１０について後述するように、上側分離チャック４１は、上側保護シートＣ１における、被着体Ｂ１から剥離し、かつ上側剥離テープＴ１に貼付されていない部分を把持する。同様に、下側分離チャック４２は、下側保護シートＣ２における、被着体Ｂ１から剥離し、かつ下側剥離テープＴ２に貼付されていない部分を把持する。
図９について後述するように、受取部５０は、被着体Ｂ１を保持する。そして、図１４について後述するように、受取部５０は、上側分離チャック４１および下側分離チャック４２から遠ざかる方向へ相対移動することにより、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２の全体を被着体Ｂ１から剥離する。
したがって、本実施形態によれば、被着体Ｂ１から上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を剥離するために回転駆動を使用する必要がなく、単純な構成の保護シート剥離装置１を実現することができる。
§２ 構成例
（引渡部１０）
図１に示すように、引渡部１０は、ワークＷ１を保持し、受取部５０に引き渡す。引渡部１０は、引渡チャック１１と、引渡チャック支持部１２と、ばね１３とを備え、動力源（図示せず）に駆動されて、前後方向に移動可能に構成されている。引渡チャック１１は、ワークＷ１の後側端部を把持する構成であり、チャック上部１１１およびチャック下部１１２を備える。引渡チャック支持部１２は、引渡チャック１１を前後方向に相対移動可能に支持する。ばね１３は、引渡チャック１１と引渡チャック支持部１２とを連結しており、引渡チャック１１を後側に付勢する。ばね１３の付勢力により、後述するように、引渡部１０がワークＷ１を受取部５０に引き渡した後に、引渡チャック１１が原点位置まで後退する。
図３は、引渡チャック１１の上面図である。図３に示すように、例えば角が丸められた略矩形のワークＷ１を引渡チャック１１が把持する場合、ワークＷ１の対角線Ｌ１が前後方向に向くようにワークＷ１が配置されてもよい。このとき、引渡チャック１１がワークＷ１を確実に把持するために、チャック下部１１２に薄肉部１１２Ａが形成されていてもよい。薄肉部１１２Ａの後側の形状はワークＷ１の後側部分の形状に沿った曲線である。
（上側テープ保持部２０）
図１および図２に示すように、上側テープ保持部２０は、被着体Ｂ１に貼付された上側保護シートＣ１を剥離するための上側剥離テープＴ１を保持する。上側剥離テープＴ１は、感圧性の接着テープである。上側テープ保持部２０は、上側繰出ローラ２１と、１対の上側第１ピンチローラ２２と、上側貼付ローラ（貼付部）２３と、１対の上側第２ピンチローラ２４と、上側巻取ローラ２５と、上側可動部２６と、を備える。
図１に示す保護シート剥離装置１の初期状態において、上側繰出ローラ２１および上側巻取ローラ２５は、それぞれ引渡部１０および受取部５０のほぼ真上に位置している。上側貼付ローラ２３の前後方向の位置は、上側繰出ローラ２１と上側巻取ローラ２５との間の中間近傍にある。上側貼付ローラ２３の上下方向の位置は、上側繰出ローラ２１および上側巻取ローラ２５よりも下方にあり、引渡部１０および受取部５０のやや上方にある。
１対の上側第１ピンチローラ２２は、上側繰出ローラ２１と上側貼付ローラ２３との間に位置し、前後方向に並んでいる。また、１対の上側第２ピンチローラ２４は、上側巻取ローラ２５と上側貼付ローラ２３との間に位置し、前後方向に並んでいる。上側テープ保持部２０の各ローラ２１～２５はいずれも略円筒形状であり、回転軸が略平行になるように配置されている。
上側繰出ローラ２１は、粘着面を内側にして巻かれたロール状の上側剥離テープＴ１を回転自在に支持する。上側剥離テープＴ１は、上側繰出ローラ２１から引き出されたときに粘着面が下方を向くように、上側繰出ローラ２１に支持される。
１対の上側第１ピンチローラ２２は、モータ（図示せず）の出力軸に連結されており、上側繰出ローラ２１から引き出された上側剥離テープＴ１を挟んで、所望の張力で繰り出すことができるように構成されている。１対の上側第１ピンチローラ２２のうち、後側に位置するローラは、上側剥離テープＴ１の粘着面側に接するため、例えば金属製であり、表面に非粘着コーティングが施されている。１対の上側第１ピンチローラ２２のうち、前側に位置するローラは、上側剥離テープＴ１の非粘着面側に接するため、例えばステンレス製またはゴム製であってもよい。
上側貼付ローラ２３は、１対の上側第１ピンチローラ２２によって繰り出された上側剥離テープＴ１の非粘着面側を上側から押圧する。上側貼付ローラ２３は、例えばステンレス製である。
１対の上側第２ピンチローラ２４は、上側貼付ローラ２３により押圧される上側剥離テープＴ１を挟んで、上側巻取ローラ２５に送ることができるように構成されている。１対の上側第２ピンチローラ２４のうち、前側に位置するローラは、上側剥離テープＴ１の粘着面側に接するため、例えば金属製であり、表面に非粘着コーティングが施されている。１対の上側第２ピンチローラ２４のうち、後側に位置するローラは、上側剥離テープＴ１の非粘着面側に接するため、例えばステンレス製またはゴム製であってもよい。
上側巻取ローラ２５は、モータ（図示せず）の出力軸に連結されており、１対の上側第２ピンチローラ２４により送られた上側剥離テープＴ１を巻き取る。上側可動部２６は、上側第１ピンチローラ２２、上側貼付ローラ２３および上側第２ピンチローラ２４を支持し、動力源（図示せず）によって、上下方向に移動可能である。
（下側テープ保持部３０）
下側テープ保持部３０は、被着体Ｂ１に貼付された下側保護シートＣ２を剥離するための下側剥離テープＴ２を保持し、上側テープ保持部２０と略上下対称に構成されている。下側テープ保持部３０は、下側繰出ローラ３１と、１対の下側第１ピンチローラ３２と、下側貼付ローラ（貼付部）３３と、１対の下側第２ピンチローラ３４と、下側巻取ローラ３５と、下側可動部３６とを備える。
図１に示す保護シート剥離装置１の初期状態において、下側繰出ローラ３１および下側巻取ローラ３５は、それぞれ引渡部１０および受取部５０のほぼ真下に位置している。下側貼付ローラ３３の前後方向の位置は、下側繰出ローラ３１と下側巻取ローラ３５との間の中間近傍にある。下側貼付ローラ３３の上下方向の位置は、下側繰出ローラ３１および下側巻取ローラ３５よりも上方にあり、引渡部１０および受取部５０のやや下方にある。
１対の下側第１ピンチローラ３２は、下側繰出ローラ３１と下側貼付ローラ３３との間に位置し、前後方向に並んでいる。また、１対の下側第２ピンチローラ３４は、下側巻取ローラ３５と下側貼付ローラ３３との間に位置し、前後方向に並んでいる。下側テープ保持部３０の各ローラ３１～３５はいずれも略円筒形状であり、回転軸が略平行になるように配置されている。
下側繰出ローラ３１は、粘着面を内側にして巻かれたロール状の下側剥離テープＴ２を回転自在に支持する。下側剥離テープＴ２は、下側繰出ローラ３１から引き出されたときに粘着面が上方を向くように、下側繰出ローラ３１に支持される。
１対の下側第１ピンチローラ３２は、モータ（図示せず）の出力軸に連結されており、下側繰出ローラ３１から引き出された下側剥離テープＴ２を挟んで、所望の張力で繰出すことができるように構成されている。１対の下側第１ピンチローラ３２のうち、後側に位置するローラは、下側剥離テープＴ２の粘着面側に接するため、例えば金属製であり、表面に非粘着コーティングが施されている。１対の下側第１ピンチローラ３２のうち、前側に位置するローラは、下側剥離テープＴ２の非粘着面側に接するため、例えばステンレス製またはゴム製であってもよい。
下側貼付ローラ３３は、１対の下側第１ピンチローラ３２によって繰り出された下側剥離テープＴ２の非粘着面側を下側から押圧する。下側貼付ローラ３３は、例えばステンレス製である。下側貼付ローラ３３は、上側貼付ローラ２３の下方に、上側貼付ローラ２３に対して略平行に配置されている。
１対の下側第２ピンチローラ３４は、下側貼付ローラ３３により押圧される下側剥離テープＴ２を挟んで、下側巻取ローラ３５に送ることができるように構成されている。１対の下側第２ピンチローラ３４のうち、前側に位置するローラは、下側剥離テープＴ２の粘着面側に接するため、例えば金属製であり、表面に非粘着コーティングが施されている。１対の下側第２ピンチローラ３４のうち、後側に位置するローラは、下側剥離テープＴ２の非粘着面側に接するため、例えばステンレス製またはゴム製であってもよい。
下側巻取ローラ３５は、モータ（図示せず）の出力軸に連結されており、１対の下側第２ピンチローラ３４により送られた下側剥離テープＴ２を巻き取る。下側可動部３６は、下側第１ピンチローラ３２、下側貼付ローラ３３および下側第２ピンチローラ３４を支持し、動力源（図示せず）によって、上下方向に移動可能である。
以下の説明では、上側テープ保持部２０の各ローラ２１～２５について、上側剥離テープＴ１を上側繰出ローラ２１から上側巻取ローラ２５に送る方向の回転を「順回転」と称し、順回転と逆方向の回転を「逆回転」と称する。例えば上側貼付ローラ２３の場合、上側貼付ローラ２３の下部が前進する方向の回転が順回転であり、後退する方向の回転が逆回転である。
同様に、下側テープ保持部３０の各ローラ３１～３５の回転方向について、下側剥離テープＴ２を下側繰出ローラ３１から下側巻取ローラ３５に送る方向の回転を「順回転」と称し、順回転と逆方向の回転を「逆回転」と称する。例えば下側貼付ローラ３３の場合、下側貼付ローラ３３の上部が前進する方向の回転が順回転であり、後退する方向の回転が逆回転である。
（上側分離チャック４１）
上側分離チャック４１は、後述するように、上側保護シートＣ１における、被着体Ｂ１から剥離し、かつ上側剥離テープＴ１に貼付されていない部分を把持する。具体的には、上側分離チャック４１は、被着体Ｂ１から部分的に剥離した上側保護シートＣ１における剥離テープＴ１に貼付された部分と被着体Ｂ１に貼付された部分との間の部分を把持する。
図１に示すように、上側分離チャック４１は、保護シート剥離装置１の初期状態において、上側貼付ローラ２３よりも右側におけるやや下方に配置されている。上側分離チャック４１は、後述するように、上側保護シートＣ１を把持するときに、左側へ延びて上側貼付ローラ２３と下側貼付ローラ３３との間に移動できるように構成されている。
（下側分離チャック４２）
下側分離チャック４２は、下側保護シートＣ２における、被着体Ｂ１から剥離し、かつ下側剥離テープＴ２に貼付されていない部分を把持する。具体的には、下側分離チャック４２は、被着体Ｂ１から部分的に剥離した下側保護シートＣ２における剥離テープＴ２に貼付された部分と被着体Ｂ１に貼付された部分との間の部分を把持する。下側分離チャック４２は、保護シート剥離装置１の初期状態において、下側貼付ローラ３３よりも右側におけるやや上方に配置されている。下側分離チャック４２は、後述するように、下側保護シートＣ２を把持するときに、左側へ延びて上側貼付ローラ２３と下側貼付ローラ３３との間に移動できるように構成されている。
分離チャック回転シリンダ４３は、上側分離チャック４１および下側分離チャック４２を、図４に示す初期状態と、図１６に示すダストボックス４４、４５の上方の廃棄位置との間で、鉛直面に沿って回転移動させる。
ダストボックス４４、４５は、被着体Ｂ１から剥離された上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２が廃棄される箱である。言い換えると、剥離された上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２の廃棄位置は、それぞれダストボックス４４およびダストボックス４５の中である。
（受取部５０）
受取部５０は、後述する受渡位置まで前進した被着体Ｂ１を受け取り、保持し、動力源（図示せず）により前後方向に移動可能に構成されている。受取部５０は、１対の受取チャック５１と、受取チャック支持部５２と、固定シリンダ５３とを備える。１対の受取チャック５１は、後述するように、被着体Ｂ１における上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２が剥離された部分を把持する。受取チャック５１および引渡チャック１１の上下方向の位置はほぼ同じである。受取チャック支持部５２は、１対の受取チャック５１を支持する。固定シリンダ５３は、開放状態において、受取チャック支持部５２の前後方向の動きを許容するとともに、固定状態において、受取チャック支持部５２を固定する。
（制御装置）
図５は、保護シート剥離装置１が備える制御装置の構成を示すブロック図である。制御装置は、制御部６０を備える。制御部６０には、引渡部１０、上側テープ保持部２０、下側テープ保持部３０、上側分離チャック４１、下側分離チャック４２、分離チャック回転シリンダ４３および受取部５０が接続されている。制御部６０はこれらの動作を制御する。
§３ 動作例
保護シート剥離装置１を用いて、被着体Ｂ１から上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を剥離する方法について、図１、図３および図６～図１７を参照して説明する。図６～図１４は、被着体Ｂ１から上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を剥離する過程を示す保護シート剥離装置１の側面概略図である。図１５および図１６は、剥離された上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を廃棄位置まで移動させる過程を示す保護シート剥離装置１の正面概略図である。図１７は、保護シート剥離装置１を用いた上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２の剥離方法を示すフローチャートである。なお、以下の説明で使用するＳ（ステップ）番号は、図１７に示したＳ番号である。
被着体Ｂ１から上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を剥離するためには、まず図１に示すように、引渡チャック１１によりワークＷ１を把持する（Ｓ１）。このとき、図３に示すように、例えば角が丸められた略矩形のワークＷ１を引渡チャック１１が把持する場合、ワークＷ１の対角線Ｌ１が前後方向に向くようにワークＷ１が配置されてもよい。この場合、上側保護シートＣ１または下側保護シートＣ２における丸められた角部が前側に位置する。
次いで、図６に示すように、上側可動部２６を下降させるとともに、下側可動部３６を上昇させることにより、上側貼付ローラ２３と下側貼付ローラ３３とを接近させる（Ｓ２）。このとき、上側剥離テープＴ１の張力が過剰に大きくなることを防ぐため、１対の上側第１ピンチローラ２２および上側巻取ローラ２５が、上側貼付ローラ２３の方へ上側剥離テープＴ１を繰り出してもよい。
また、下側剥離テープＴ２の張力が過剰に大きくなることを防ぐため、１対の下側第１ピンチローラ３２および下側巻取ローラ３５が、下側貼付ローラ３３の方へ下側剥離テープＴ２を繰り出してもよい。上側貼付ローラ２３と下側貼付ローラ３３との間のギャップＧ１は、ワークＷ１の全体の厚さよりも若干小さく設定されることが好ましい。
次いで、図７に示すように、引渡部１０を前進させ、ワークＷ１の前側端部（周縁部）を上側貼付ローラ２３と下側貼付ローラ３３との間に配置する。ワークＷ１の前側端部は、図３で前述したように、丸められた角部であってもよい。このとき、ギャップＧ１がワークＷ１の全体の厚さよりも若干小さく設定されているので、上側貼付ローラ２３は上側剥離テープＴ１を介してワークＷ１の前側端部を上方から押圧する。上側貼付ローラ２３は上側剥離テープＴ１の非粘着面を上方から押圧するため、上側剥離テープＴ１の粘着面はワークＷ１の前側端部、言い換えると被着体Ｂ１に貼付された上側保護シートＣ１の前側端部に押圧され貼付される（貼付ステップＳ３）。
同様に、下側貼付ローラ３３は、下側剥離テープＴ２を介してワークＷ１の前側端部を下方から押圧する。下側貼付ローラ３３は下側剥離テープＴ２の非粘着面を押圧するため、下側剥離テープＴ２の粘着面はワークＷ１の前側端部、言い換えると被着体Ｂ１に貼付された下側保護シートＣ２の前側端部に押圧され貼付される。上側貼付ローラ２３および下側貼付ローラ３３による押圧荷重は、被着体Ｂ１、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２の材質、大きさまたは形状に応じて適宜変更してもよく、例えば５Ｎ以上であってもよい。ギャップＧ１を変更することにより、押圧荷重を変更することができる。
次いで、図８に示すように、上側テープ保持部２０の各ローラ２１～２５をそれぞれ順回転させる。これにより、上側剥離テープＴ１が上側繰出ローラ２１から上側巻取ローラ２５の方向へ送られる。同様に、下側テープ保持部３０の各ローラ３１～３５をそれぞれ順回転させる。これにより、下側剥離テープＴ２が下側繰出ローラ３１から下側巻取ローラ３５の方向へ送られる。
なお、上側テープ保持部２０のローラ２２～２５および下側テープ保持部３０のローラ３２～３５はモータ駆動により回転する構成である。これに対し、上側繰出ローラ２１および下側繰出ローラ３１は従動回転する構成であってもよい。
この結果、上側剥離テープＴ１が貼付された上側保護シートＣ１の前側端部が、上側剥離テープＴ１に付随して上側第２ピンチローラ２４の方向へ移動し、被着体Ｂ１から剥離される（Ｓ４）。同様に、下側剥離テープＴ２が貼付された下側保護シートＣ２の前側端部が、下側剥離テープＴ２に付随して下側第２ピンチローラ３４の方向へ移動し、被着体Ｂ１から剥離される。
図３で前述したように、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２の前側端部が、丸められた角部である場合、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２の前側端部が、より確実に被着体Ｂ１から剥離するため好ましい。
上側剥離テープＴ１および下側剥離テープＴ２の移動に伴って、ワークＷ１が受渡位置まで前進する。ワークＷ１の受渡位置では、受取部５０が被着体Ｂ１を保持することができる。このとき、ワークＷ１を把持する引渡チャック１１が引渡チャック支持部１２に対して前進し、ばね１３に弾性エネルギーが蓄積される。なお、ばね１３に蓄積される弾性エネルギーが必要以上に大きくなることを防ぐために、引渡チャック支持部１２を引渡チャック１１の前進速度よりも遅い速度で前進させてもよい。
次いで、図９に示すように、被着体Ｂ１における上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２が剥離された部分を受取チャック５１により保持し、固定シリンダ５３を開放する（Ｓ５）。そして、上側可動部２６を上昇させるとともに、下側可動部３６を下降させることにより、上側貼付ローラ２３および下側貼付ローラ３３を被着体Ｂ１から遠ざける。
これにより、上側貼付ローラ２３に取り付けられた上側剥離テープＴ１が上側保護シートＣ１を上方に引っ張り、上側保護シートＣ１の前側部分を被着体Ｂ１から剥離する（部分剥離ステップＳ６）。同様に、下側貼付ローラ３３に取り付けられた下側剥離テープＴ２が下側保護シートＣ２を下方に引っ張り、下側保護シートＣ２の前側部分を被着体Ｂ１から剥離する。このとき、固定シリンダ５３は開放されているので、受取チャック５１は被着体Ｂ１により押されて前進する。上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２の後側部分は、引渡チャック１１により把持されているので、被着体Ｂ１に貼付されたままである。
次いで、図１０に示すように、上側保護シートＣ１における上側剥離テープＴ１に貼付された部分と被着体Ｂ１に貼付された部分との間の部分を、上側分離チャック４１により把持する（把持ステップＳ７）。同様に、下側保護シートＣ２における下側剥離テープＴ２に貼付された部分と被着体Ｂ１に貼付された部分との間の部分を、下側分離チャック４２により把持する。
このとき、上側剥離テープＴ１の張力が過剰に大きくなることを防ぐため、必要に応じて１対の上側第１ピンチローラ２２および上側巻取ローラ２５が、上側貼付ローラ２３の方へ上側剥離テープＴ１を繰り出してもよい。同様に、下側剥離テープＴ２の張力が過剰に大きくなることを防ぐため、必要に応じて１対の下側第１ピンチローラ３２および下側巻取ローラ３５が、下側貼付ローラ３３の方へ下側剥離テープＴ２を繰り出してもよい。
ステップＳ７の後、上側テープ保持部２０の各ローラ２１～２５および下側テープ保持部３０の各ローラ３１～３５を逆回転させてもよい。言い換えると、上側保護シートＣ１における上側剥離テープＴ１が貼付された部分のうちの最も上側分離チャック４１から遠い部分を、上側保護シートＣ１における上側剥離テープＴ１が貼付された部分のうちの最も上側分離チャック４１に近い部分の位置に近付けるように、上側剥離テープＴ１を相対移動させてもよい。
同様に、下側保護シートＣ２における下側剥離テープＴ２が貼付された部分のうちの最も下側分離チャック４２から遠い部分を、下側保護シートＣ２における下側剥離テープＴ２が貼付された部分のうちの最も下側分離チャック４２に近い部分の位置に近付けるように、下側剥離テープＴ２を相対移動させてもよい。このように上側テープ保持部２０の各ローラ２１～２５および下側テープ保持部３０の各ローラ３１～３５を逆回転させた場合、後述するステップＳ８において、上側保護シートＣ１と上側剥離テープＴ１との分離が容易となる。
次いで、図１１に示すように、上側可動部２６を上昇させるとともに、下側可動部３６を下降させることにより、上側貼付ローラ２３および下側貼付ローラ３３を被着体Ｂ１から更に遠ざける。言い換えると、上側貼付ローラ２３に取り付けられた上側剥離テープＴ１を上側分離チャック４１から遠ざけるとともに、下側貼付ローラ３３に取り付けられた下側剥離テープＴ２を下側分離チャック４２から遠ざける。これにより、上側分離チャック４１に把持された上側保護シートＣ１が上側剥離テープＴ１から分離されていくとともに、下側分離チャック４２に把持された下側保護シートＣ２が下側剥離テープＴ２から分離されていく。
図１１において、上側剥離テープＴ１における上側保護シートＣ１の前側端部が貼付された部分と上側分離チャック４１との間の距離は、上側保護シートＣ１における前側端部から上側分離チャック４１に把持された部分までの長さと等しい。また、下側剥離テープＴ２における下側保護シートＣ２の前側端部が貼付された部分と下側分離チャック４２との間の距離は、下側保護シートＣ２における前側端部から下側分離チャック４２に把持された部分までの長さと等しい。
次いで、図１２に示すように、上側可動部２６を更に上昇させるとともに、下側可動部３６を更に下降させることにより、上側貼付ローラ２３および下側貼付ローラ３３を被着体Ｂ１から更に遠ざける。言い換えると、上側貼付ローラ２３に取り付けられた上側剥離テープＴ１を上側分離チャック４１から遠ざけるとともに、下側貼付ローラ３３に取り付けられた下側剥離テープＴ２を下側分離チャック４２から更に遠ざける。
図１２において、上側剥離テープＴ１における上側保護シートＣ１の前側端部が貼付された部分と上側分離チャック４１との間の距離は、上側保護シートＣ１における前側端部から上側分離チャック４１に把持された部分までの長さよりも長くなっている。また、下側剥離テープＴ２における下側保護シートＣ２の前側端部が貼付された部分と下側分離チャック４２との間の距離は、下側保護シートＣ２における前側端部から下側分離チャック４２に把持された部分までの長さよりも長くなっている。したがって、上側分離チャック４１に把持された上側保護シートＣ１の全体が上側剥離テープＴ１から分離されるとともに、下側分離チャック４２に把持された下側保護シートＣ２の全体が下側剥離テープＴ２から分離される（分離ステップＳ８）。
次いで、図１３に示すように、引渡チャック１１を開放すると、ばね１３に蓄積された弾性エネルギーにより、引渡チャック１１が原点位置まで後退する。この状態で、受取部５０を前進させると、上側分離チャック４１および下側分離チャック４２にそれぞれ把持された上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２が、被着体Ｂ１から更に剥離していく。
次いで、図１４に示すように、受取チャック５１を更に前進させると、上側分離チャック４１および下側分離チャック４２にそれぞれ把持された上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２の全体が、被着体Ｂ１から剥離する（全体剥離ステップＳ９）。
図１５は、図１４に係る保護シート剥離装置１において、上側分離チャック４１および下側分離チャック４２がそれぞれ上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を把持する状態を示す図である。
図１５に示す状態から、図１６に示すように、分離チャック回転シリンダ４３により、上側分離チャック４１および下側分離チャック４２をダストボックス４４、４５の上方まで回転移動させる。そして、上側分離チャック４１および下側分離チャック４２を開き、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２をダストボックス４４、４５の中の廃棄位置に落とす（Ｓ１０）。
このとき、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２に対して上方からエアブローを吹き付けることにより、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を確実にダストボックス４４、４５の中の廃棄位置に落としてもよい。あるいは、例えば１本以上の棒状部材（図示せず）を上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２に上方から当接させることにより、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を確実にダストボックス４４、４５の中の廃棄位置に落としてもよい。
［作用・効果］
以上のように、本発明の一側面に係る保護シート剥離装置１によれば、被着体Ｂ１から上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を剥離するために回転駆動を使用する必要がなく、単純な構成の保護シート剥離装置１を実現することができる。
また、上側保護シートＣ１と上側剥離テープＴ１とを分離するために回転駆動を使用する必要がなく、下側保護シートＣ２と下側剥離テープＴ２とを分離するために回転駆動を使用する必要もない。したがって、より単純な構成の保護シート剥離装置１を実現することができる。
また、ステップＳ７の後、上側テープ保持部２０の各ローラ２１～２５および下側テープ保持部３０の各ローラ３１～３５を逆回転させてもよい。この場合、ステップＳ８で、上側保護シートＣ１における上側剥離テープＴ１が貼付された部分のうちの最も上側分離チャック４１に近い部分が、上側剥離テープＴ１から分離しやすくなる。同様に、下側保護シートＣ２における下側剥離テープＴ２が貼付された部分のうちの最も下側分離チャック４２に近い部分が、下側剥離テープＴ２から分離しやすくなる。したがって、より効果的に上側保護シートＣ１と上側剥離テープＴ１とを分離し、下側保護シートＣ２と下側剥離テープＴ２とを分離することができる。
また、上側分離チャック４１は、上側保護シートＣ１の自由端ではなく、上側保護シートＣ１における上側剥離テープＴ１に貼付された部分と被着体Ｂ１に貼付された部分との間の部分を把持する。上側剥離テープＴ１および被着体Ｂ１の位置は安定しているので、上側保護シートＣ１における上側剥離テープＴ１に貼付された部分と被着体Ｂ１に貼付された部分との間の部分の位置も安定している。したがって、上側分離チャック４１は安定して上側保護シートＣ１を把持することができる。
同様に、下側分離チャック４２は、下側保護シートＣ２の自由端ではなく、下側保護シートＣ２における下側剥離テープＴ２に貼付された部分と被着体Ｂ１に貼付された部分との間の部分を把持する。したがって、同様の理由により、下側分離チャック４２は安定して下側保護シートＣ２を把持することができる。
また、上側テープ保持部２０が上側剥離テープＴ１を上側貼付ローラ２３に対して相対移動させ、下側テープ保持部３０が下側剥離テープＴ２を下側貼付ローラ３３に対して相対移動させる。これにより、被着体Ｂ１からの上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２の剥離および被着体Ｂ１の受渡位置までの移動が同時に実現される。したがって、更に単純な構成の保護シート剥離装置１を実現することができる。
また、上側分離チャック４１および下側分離チャック４２は、被着体Ｂ１から剥離した後の上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を廃棄位置に移動させることができる。したがって、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を移動させるための構成を、上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２とは別に設ける必要がなく、更に単純な構成の保護シート剥離装置１を実現することができる。
また、被着体Ｂ１の上面および下面にそれぞれ貼付された上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２を同時に被着体Ｂ１から剥離することができる。したがって、保護シート剥離装置１の剥離効率を向上させることができる。
なお、保護シート剥離装置は、
剥離テープが取り付けられ、保護シートが貼付された被着体に対して相対移動可能な貼付部と、
前記保護シートにおける、前記被着体から剥離し、かつ前記剥離テープに貼付されていない部分である剥離部分を把持する把持部と、
前記被着体を保持し、前記把持部に対して相対移動可能な移動部と、
前記被着体に近づく方向への前記貼付部の前記相対移動により、前記保護シートに前記剥離テープが押圧されて貼付された後、前記被着体から遠ざかる方向への前記貼付部の前記相対移動により前記剥離部分が生じ、前記剥離部分を前記把持部が把持し、前記把持部に近づく方向への前記移動部の前記相対移動により、前記被着体を前記移動部が保持した後、前記把持部から遠ざかる方向への前記移動部の前記相対移動により、前記保護シートの全体が前記被着体から剥離されるように、前記貼付部、把持部および移動部を制御する制御部と、を備える構成であってもよい。
§４ 変形例
図１８に示すように、保護シート剥離装置１は、上側分離チャック４１に代えて上側分離チャック４６を備えていてもよい。上側分離チャック４１は、上側保護シートＣ１における上側剥離テープＴ１に貼付された部分と被着体Ｂ１に貼付された部分との間の部分を把持していた。これに対し、上側分離チャック４６は、上側保護シートＣ１の自由端を把持する。
この場合、図１７に示すステップＳ３では、上側貼付ローラ２３が上側剥離テープＴ１を上側保護シートＣ１における前側端部よりも中央寄りの部分に押圧して貼付する。そして、ステップＳ６で示したように、上側貼付ローラ２３を被着体Ｂ１から遠ざかる方向へ相対移動させて、上側保護シートＣ１の前側部分を被着体Ｂ１から剥離させた後で、上側分離チャック４６が上側保護シートＣ１の自由端を把持してもよい。同様に、保護シート剥離装置１は、下側分離チャック４２に代えて、下側保護シートＣ２における自由端を把持する下側分離チャックを備えていてもよい。
また、図１９に示すように、保護シート剥離装置１は、受取部（移動部）５０に代えて移動部７０を備えていてもよい。受取部５０は、被着体Ｂ１における上側保護シートＣ１および下側保護シートＣ２が剥離された部分を保持していた。これに対し、移動部７０は被着体Ｂ１における片面を吸着して保持する。
また、図２０に示すように、保護シート剥離装置１は、上側貼付ローラ２３に代えて、上側貼付部２７を備えていてもよい。上側貼付部２７は、例えば角柱形状を有し、上側剥離テープＴ１を被着体Ｂ１上の上側保護シートＣ１に押し付ける部材である。上側貼付部２７は、角柱形状である場合、上側剥離テープＴ１と接触する辺は面取りされていることが好ましい。また、上側貼付部２７は回転しなくてもよい。また、図示しないが、保護シート剥離装置１は、同様に、下側貼付ローラ３３代えて上側貼付部２７と同様の構成の下側貼付部を備えていてもよい。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
１ 保護シート剥離装置
１０ 引渡部
１１ 引渡チャック
２０ 上側テープ保持部（テープ駆動部）
２３ 上側貼付ローラ（貼付部）
３０ 下側テープ保持部（テープ駆動部）
３３ 下側貼付ローラ（貼付部）
４１ 上側分離チャック（把持部）
４２ 下側分離チャック（把持部）
５０ 受取部（移動部）
５１ 受取チャック
６０ 制御部
Ｂ１ 被着体
Ｃ１ 上側保護シート
Ｃ２ 下側保護シート
Ｔ１ 上側剥離テープ
Ｔ２ 下側剥離テープ
Ｗ１ ワーク

Claims (6)

  1. 剥離テープが取り付けられ、保護シートが貼付された被着体に対して相対移動可能であり、前記被着体に近づく方向への前記相対移動により、前記保護シートに前記剥離テープを押圧して貼付する貼付部と、
    前記保護シートにおける、前記被着体から遠ざかる方向への前記貼付部の前記相対移動により、前記被着体から剥離し、かつ前記剥離テープに貼付されていない部分を把持する把持部と、
    前記把持部に対して相対移動可能であり、前記被着体を保持し、前記把持部から遠ざかる方向への前記相対移動により、前記保護シートの全体を前記被着体から剥離する移動部と、を備えており、
    前記貼付部は、前記被着体から遠ざかる方向への前記相対移動により、前記把持部から遠ざかり、前記把持部に把持された前記保護シートと、前記貼付部に取り付けられた前記剥離テープとを分離し、
    前記貼付部に取り付けられた前記剥離テープを前記貼付部に対して相対移動させるテープ駆動部を更に備え、
    前記貼付部は貼付ローラであり、
    前記テープ駆動部は、前記保護シートにおける前記剥離テープが貼付された部分のうちの最も把持部から遠い部分を、前記保護シートにおける前記剥離テープが貼付された部分のうちの最も把持部に近い部分の位置に近付けるように、前記剥離テープを相対移動させる、保護シート剥離装置。
  2. 前記把持部は、前記被着体から部分的に剥離した前記保護シートにおける前記剥離テープに貼付された部分と前記被着体に貼付された部分との間の部分を把持する、請求項１に記載の保護シート剥離装置。
  3. 前記テープ駆動部は、前記剥離テープを前記貼付部に対して相対移動させることによって、前記保護シートの一部を前記被着体から剥離するとともに、前記被着体を前記移動部が保持可能な受渡位置まで移動させる、請求項１に記載の保護シート剥離装置。
  4. 前記把持部は、前記被着体から剥離した後の前記保護シートを所定の位置に移動させる、請求項１から３のいずれか１項に記載の保護シート剥離装置。
  5. 前記貼付部には、前記被着体の両面にそれぞれ貼付された２枚の前記保護シートにそれぞれ押圧され貼付される剥離テープが取り付けられ、
    前記把持部は、前記２枚の保護シートをそれぞれ把持し、
    前記移動部は、前記被着体における前記２枚の保護シートが剥離された部分を保持する、請求項１から４のいずれか１項に記載の保護シート剥離装置。
  6. 被着体に貼付された保護シートに、貼付部に取り付けられた剥離テープを押圧して貼付する貼付ステップと、
    前記剥離テープを前記被着体から遠ざかる方向へ相対移動させて、前記保護シートを前記被着体から部分的に剥離させる部分剥離ステップと、
    前記保護シートにおける、前記被着体から剥離し、かつ前記剥離テープに貼付されていない部分を把持部により把持する把持ステップと、
    前記剥離テープにおける前記保護シートに貼付された部分を前記把持部から遠ざかる方向へ相対移動させて、前記剥離テープと前記保護シートとを分離させる分離ステップと、
    前記被着体を前記把持部から遠ざかる方向へ相対移動させることにより、前記保護シートの全体を前記被着体から剥離する全体剥離ステップと、
    を備え、
    前記把持ステップの後であって前記分離ステップの前に、前記保護シートにおける前記剥離テープが貼付された部分のうちの最も把持部から遠い部分を、前記保護シートにおける前記剥離テープが貼付された部分のうちの最も把持部に近い部分の位置に近付けるように、前記剥離テープを前記貼付部に対して相対移動させる、保護シート剥離方法。
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