WO2006003816A1

WO2006003816A1 - フィルム剥離方法と装置

Info

Publication number: WO2006003816A1
Application number: PCT/JP2005/011361
Authority: WO
Inventors: Takenori Yoshizawa; Akira Nozaki; Hajime Ohgoshi
Original assignee: Sharp Kabushiki Kaisha; Tateyama Machine Co., Ltd.
Priority date: 2004-07-02
Filing date: 2005-06-21
Publication date: 2006-01-12
Also published as: CN100540431C; TW200606098A; US7823619B2; CN1980847A; TWI304789B; JPWO2006003816A1; US20080011420A1; JP4054359B2

Abstract

　表裏面に保護フィルム５４が貼着されたガラス基板６の端部近傍に位置した粘着テープ３０と、粘着テープ３０の粘着面３８をガラス基板６側に向けて押圧する剥離ヘッド４０を備える。保護フィルム５４の端部に粘着した粘着テープ３０を、ガラス基板６の面に対して引き離して、ガラス基板６から保護フィルム５４を一部剥離するアクチュエータ４６を有する。剥離した保護フィルム５４の端部を保持するフィルムチャック装置５８を備え、フィルムチャック装置５８で保持した保護フィルム５４を、ローラーコンベア４によりガラス基板６を駆動して引き剥がす。

Description

明細書

フィルム剥離方法と装置

技術分野

[0001] この発明は、液晶ディスプレイなどに使用されるガラス基板表面に貼付された保護フィルムの剥離方法と装置に関する。

背景技術

[0002] 液晶ディスプレイに使用されるガラス基板は、 1枚の大型のガラス基板力個々のディスプレイ用に複数のガラス基板を切り出して用いられてヽる。この大型のガラス基板は、近年の大型化により、工場入荷の際には複数枚重ねた状態で運搬され製造工程に置かれる。そして、ガラス基板を使用する際は、複数枚重ねた状態の大型のガラス基板から 1枚を取り出して使用している。そのため、各ガラス基板の表裏面には、傷防止のための保護フィルムが貼着され、加工する際にこの保護フィルムを剥離している。

[0003] 保護フィルムを剥離する方法として、例えば特許文献 1、 2に開示されているような、粘着テープを使用する剥離方法が知られている。特許文献 1は、保護フィルムが貼り付けられた基板を吸着プレート上に吸着固定し、基板の保護フィルムを剥離する面の一対の対角間に、一本の長尺状の粘着テープを貼り付けて、その粘着テープの背面をローラで押圧した状態でテープ端部を引き上げるものを開示している。そして、テープ背面を押圧状態で、ローラを回しながら粘着テープを引き上げることにより、フイルム全体を剥離する。特許文献 2では、粘着テープの使用量を低減し、さらに剥離後の保護フィルムの処理を容易にした剥離方法が開示されて、る。この剥離方法は、まず、粘着テープを押しつける押圧ローラを、ガラス基板に貼着された保護フィルムの端部中央近傍に押圧して回転し、保護フィルムの端を押圧ローラに一定角度巻き付けて剥離する。そして、剥離した保護フィルムの端をフィルムクランパにより挟持して、保護フィルム全体を引き剥がしている。さら〖こ、引き剥がした保護フィルムを、フィルムキャッチャーにより挟持して、水平に積層収納することが示されている。

特許文献 1：特開平 9— 114384号公報特許文献 2：特開平 6 - 278936号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] しカゝしながら、上記特許文献 1では、ガラス基板などの保護フィルムを剥離する面の一対角線上のほぼ全長に、長尺な粘着テープを貼り付けるため、テープの消費量が大きいという問題があった。これにより、製造工程における剥離用のテープの取り替えが頻繁になり、製造ラインの稼働率の低下や、製造速度の低下の原因となっていた。特に、粘着テープの交換はクリーンルーム内でゴム手袋をした状態で行わなければならず、時間の力かる作業であった。また、フィルム剥離に使用したテープは、剥離したフィルムに巻き取られるため、フィルムとテープの材質が異なる場合、分離して廃棄する処理が必要となり、処理が煩わ、と、う問題がある。

[0005] 他方、上記特許文献 2では、保護フィルムを押圧ローラに巻き付けて剥離し、その後クランパにより保持して剥離しているので、保護フィルムの端部がガラス基板に折り込まれていたり、保護フィルムの端部同士がガラス基板の端面で折り重なつている場合には、保護フィルムが押圧ローラに巻き付かないものであった。これにより、保護フイルム剥離工程における剥離ミスにより、製造ラインが停止し、製造工程全体の歩留まりが低下すると言う問題があった。し力も、剥離したフィルムの収納までの一連の動作を機械装置で行うため装置全体の機構が複雑であり、大が力りでコストが掛カるものである。

[0006] さらに、上記特許文献 1及び特許文献 2は、ガラス基板など両面に保護フィルムが貼着されている際は、片面単位で保護フィルムの剥離を行う必要がある。このため、剥離工程が煩雑になるとともに工程長も長くなり、コストも掛力るものである。

[0007] この発明は、上記従来技術の問題を鑑みて成されるもので、粘着テープの消費量力、さぐガラス基板両面に貼着された保護フィルムを容易且つ確実に剥離することが出来、効率の良いフィルム剥離を可能にするフィルム剥離方法と装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0008] この発明は、表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に、粘着テープを設けてその粘着面を押し付け、前記ガラス基板表裏面の各保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面から引き離して、前記ガラス基板端部近傍の前記保護フィルムを一部剥離し、剥離した前記保護フィルム端部をフィルムチヤック装置のチャックで保持し、前記ガラス基板を移動させて、前記ガラス基板の移動により、両面同時に前記保護フィルムを剥離するフィルム剥離方法である。さらに、前記ガラス基板角部の端縁に対して、前記粘着テープが僅かにはみ出した状態で、前記保護フィルムに前記粘着テープを貼り付け、前記粘着テープを前記ガラス基板面から引き離すものである。

[0009] また、前記ガラス基板から前記保護フィルムを一部剥離した状態で、前記保護フィルムとガラス基板との間にエアーを吹き付けながら前記粘着テープを前記ガラス基板面から引き離すフィルム剥離装置である。

[0010] 前記フィルムチャック装置は、前記ガラス基板両面それぞれの幅方向端部近傍に位置し、前記ガラス基板を載置したコンベアに対し前記ガラス基板の送り方向に前記チャックを平行移動させるとともに、前記ガラス基板を戻り方法に移動させて、前記保護フィルムを剥離するものである。

[0011] 前記粘着テープを前記ガラス基板の前記保護フィルムに押し付けた後、前記粘着テープの前記ガラス基板内側方向のテンションを緩め、この後、前記粘着テープを前記ガラス基板力弓 Iき離すようにしても良、。

[0012] またこの発明は、表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に各々位置した粘着テープと、前記ガラス基板表裏面側に各々設けられ前記粘着テープの粘着面を前記ガラス基板側に向けて押圧する剥離ヘッドと、前記保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面に対して引き離して、前記ガラス基板から前記保護フィルムを一部剥離する粘着テープ移動手段と、剥離した前記保護フィルム端部を保持するフィルムチャック装置と、前記フィルムチャック装置で保持した保護フィルムを前記ガラス基板両面力引き剥がす引き剥がし手段とを備えたフィルム剥離装置である。前記剥離ヘッドは、前記ガラス基板角部の一端縁の前記保護フィルムに対して、前記粘着テープが僅かにはみ出した位置に貼り付け可能に位置決めされているものである [0013] 前記剥離ヘッドは、前記粘着テープを前記ガラス基板表面方向へ押圧移動自在に設けられた押圧維持部材を備え、前記剥離ヘッドが前記粘着テープを介して前記ガラス基板に当接した後、前記剥離ヘッドの退避時に前記押圧維持部材は一時的に前記ガラス基板を押さえて、前記保護フィルムとともに前記ガラス基板が持ち上げられるのを防止するものである。

[0014] 前記剥離ヘッドは、前記粘着テープを前記ガラス基板に押し付けた状態で揺動可能に設けられている。また、前記粘着テープは、粘着テープカセット部に収納され、この粘着テープカセット部は、前記ガラス基板の両面両端部に各々位置している。

[0015] 前記フィルムチャック装置は、前記粘着テープカセット部毎に設けられ、前記ガラス基板に対して相対的に前記フィルムチャック装置が移動可能に設けられている。

[0016] 前記粘着テープを収納した前記粘着テープカセット部は、前記粘着テープカセット部から突出した前記剥離ヘッドを備え、この粘着テープカセット部は、前記粘着テープともに一体に着脱可能に設けられている。また、前記剥離ヘッドを前記ガラス基板の保護フィルムに押し付けた状態で、前記粘着テープの前記ガラス基板内側方向のテンションを緩めるテープテンション調節機構を設けたものである。

[0017] 前記粘着テープにより前記保護フィルムを一部剥離した状態で、前記保護フィルムとガラス基板との間にエアーを吹き付けるエアー吹き付け手段を設けたフィルム剥離装置である。さらに、前記エアー吹き付け手段は、前記基板の一辺に沿って移動可能に設けられ、前記剥離ヘッドにより前記基板コーナー部で剥離した前記保護フイルムの剥がれを、前記基板の一辺に広げるものである。

発明の効果

[0018] この発明のフィルム剥離方法と装置によれば、保護フィルム端縁部の状態にかかわらず確実に保護フィルムをガラス基板力剥離することができる。し力も、粘着テープの消費量が少なぐ粘着テープの交換サイクルが長ぐ装置自体のメンテナンスの頻度も極めて少なくて良いものである。さらに、ガラス基板両面に貼着された保護フィルムを、簡単な装置で短い工程により同時に確実に剥離することも可能であり、作業効率が良いものである。

図面の簡単な説明 [0019] [図 1]この発明の第一実施形態のフィルム剥離装置の右側面図である。

[図 2]この発明の第一実施形態のフィルム剥離装置の剥離処理部の正面図である。

[図 3]この発明の第一実施形態のフィルム剥離装置による剥離状態を表す部分斜視図である。

[図 4]この発明の第一実施形態のフィルム貼付ガラス基板を示す平面図である。

[図 5]この発明の第二実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す部分平面図である。

[図 6]この発明の第二実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の部分正面図である。

[図 7]この発明の第二実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の部分右側面図である。

[図 8]この発明の第三実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の正面図である。

[図 9]この発明の第三実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す次のェ程の部分正面図である。

[図 10]この発明の第四実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の正面図である。

[図 11]この発明の第四実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す次の工程の部分正面図である。

[図 12]この発明の第五実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の正面図である。

符号の説明

[0020] 2 フィルム剥離装置

4, 5, 7a, 7b ローラーコンベア

6 ガラス基板

20 剥離処理部

22 除電ブロー

28 粘着テープカセット部 30 粘着テープ

31 送りリール

32 巻き取りリール

34 ガイドローラ

38 面

40 剥離ヘッド

46 ァクチユエータ

48 走行レール

54 保護フィルム

56 チャック

58 フィルムチャック装置

発明を実施するための最良の形態

[0021] 以下、この発明のフィルム剥離方法と装置の第一実施形態について、図 1〜図 4を基にして説明する。この実施形態のフィルム剥離装置は、液晶ディスプレイに使用される大型のガラス基板の損傷防止のため貼付された保護フィルムを剥離する装置である。

[0022] この実施形態のフィルム剥離装置 2の構成について説明する。フィルム剥離装置 2 は、図 1の左端から、ローラーコンベア 4を備えた投入部 10が設けられ、投入部 10は、ガラス基板 6の投入位置のローラーコンベア 4上方で、図示しない搬入装置力ガラス基板 6を受ける昇降可能な基板受け装置 8を備える。投入部 10の上方には、図示しない支持構造に支持され、ガラス基板 6を次工程へ送る取出し部 12が設けられている。取出し部 12は、ローラーコンベア 5を備え、ローラーコンベア 5から僅かにガラス基板 6を上昇させて、ローラーコンベア 5の上方でガラス基板 6を支持する昇降可能な基板受け装置 9を備える。

[0023] 投入部 10の、図面右隣には、 2段のローラーコンベア 7a, 7bが一定間隔で配置された昇降部材 14が設けられ、その昇降部材 14を 2段階の高さに昇降可能なリフタ 1 6を備えた連絡部 18が位置している。昇降部材 14の 2段階の高さは、まず、降下状態で、下段のローラーコンベア 7aが、投入部 10のローラーコンベア 4と同じ高さであり、上段のローラーコンベア 7bは、後述する剥離処理部 20のローラーコンベア 11と同じ高さである。次に、上昇時には、下段のローラーコンベア 7aが、後述する剥離処理部 20のローラーコンベア 11と同じ高さであり、上段のローラーコンベア 7bは、取出し部 12のローラーコンベア 5と同じ高さである。

[0024] 連絡部 18の図面右隣には、剥離処理部 20が設けられている。剥離処理部 20は、ガラス基板 6を送出入するローラーコンベア 11を備え、ガラス基板 6の送出入側に、一対の除電ブロー 22がローラーコンベア 11を挟んで上下対称な位置に設置されている。剥離処理部 20のローラーコンベア 11には、ガラス基板 6をローラーコンベア 11 により剥離処理部 20の図面右側まで送り込んだ状態で、ガラス基板 6の左側端部が位置する箇所に、ローラ 24が無い隙間 26が形成されている。この隙間 26の上下には、ローラーコンベア 11のローラ 24の両端部近傍で、各々一対の粘着テープカセット部 28が、ローラーコンベア 11を挟んで上下対称に配置されて、る。

[0025] 次に、粘着テープカセット部 28について説明する。粘着テープカセット部 28には、粘着テープ 30の送りリール 31と巻き取りリール 32を備える。送りリール 31から送り出された粘着テープ 30は、ガイドローラ 34を経て、粘着面 36でないテープ背面 38が摺接する剥離ヘッド 40に接して転向し、もう一方のガイドローラ 34を経て、巻き取りリール 32に巻き付けられている。これらの部材は、略矩形の板状ケース 42に格納されているが、剥離ヘッド 40は、ケース 42の外側に粘着テープ 30の粘着面 36が突出するように突出して位置して!/ヽる。

[0026] また、図 2に示すように、粘着テープカセット部 28には、巻き取りリール 32を回転させるモータ 44が図示しない駆動連結機構を介して接続されている。さらに、剥離へッド 40力ローラーコンベア 11の隙間 26に一致する位置には、それぞれモータゃシリンダ機構等によるァクチユエータ 46が設けられている。ァクチユエータ 46は、図示しない支持部により固定され、粘着テープカセット部 28は、このァクチユエータ 46により上下に昇降可能に取り付けられている。さらに粘着テープカセット部 28は、モータ 44 ゃァクチユエータ 46等に対して一体に着脱自在に設けられ、粘着テープ 30を粘着テープカセット部 28により容易に交換可能に設けられて！/、る。

[0027] 剥離処理部 20のローラーコンベア 11のローラ両端近傍の外装内面には、ローラーコンベア 11を挟んで上下対称に、ローラーコンベア 11の搬送方向と平行に、走行レール 48が支持部材 50を介してそれぞれ剥離処理部 20に取り付けられて、る。それぞれの走行レール 48のローラーコンベア 11に面した側面 52には、保護フィルム 54 を狭持可能なチャック 56を備えたフィルムチャック装置 58が設けられて、る。このフィルムチャック装置 58は、走行レール 48に沿ってローラーコンベア 11の搬送方向と平行に移動可能に設けられて、る。

[0028] また、剥離処理部 20の図面右隣には、剥がした保護フィルム 54を収納するフィルムストツ力 59を備えたフィルムストツ力部 57が設置されている。

[0029] 次に、このフィルム剥離装置 2の動作にっ、て説明する。まず、図示しな!、搬入装置により、複数重ねられたガラス基板から 1枚のガラス基板 6を投入部 10へ搬入する。搬入されたガラス基板 6は、表裏に保護フィルム 54が貼り付けられた状態であり、その状態で基板受け装置 8によりローラーコンベア 4の上方で支持され、基板受け装置 8が降下することにより、ローラーコンベア 4上に載置される。次に、ガラス基板 6は、投入部 10のローラーコンベア 4により、連絡部 18の昇降部材 14側へ送り出される。このときリフタ 16の昇降状態は、下段にあり、ガラス基板 6は、ローラーコンベア 7a上に載せられる。そして、リフタ 16は、ガラス基板 6の載った昇降部材 14を上段まで上昇させ、ローラーコンベア 7aによりガラス基板 6を剥離処理部 20へ送り出す。

[0030] 剥離処理部 20では、ローラーコンベア 11によりガラス基板 6の一端部力図面右端に達するまで移動される。そして、除電ブロー 22によりフィルム端部に空気を吹きつけて、静電気を除去する。次に、ガラス基板 6の表裏に対面した粘着テープカセット部 28を、それぞれのァクチユエータ 46により同時にガラス基板 6に近づける。そして、粘着テープカセット部 28の剥離ヘッド 40により、粘着テープ 30の粘着面 36がガラス基板 6の保護フィルム 54の表面に押圧される。ローラーコンベア 11の下方の粘着テープカセット部 28は、ローラーコンベア 11の隙間 26から、ガラス基板 6の裏面側の保護フィルム 54に接触される。このときの各剥離ヘッド 40の位置は、図 3に示すよう〖こガラス基板 6の角部端縁 6aに対して、粘着テープ 30が僅か〖こ保護フィルム 54の端縁からはみ出した状態となる位置に設定されている。

[0031] そして、ァクチユエータ 46により粘着テープカセット部 28の剥離ヘッド 40を、ガラス基板 6に対して直角方向に離れるように移動させる。すると、図 3に示すように粘着テープ 30の粘着面 36に保護フィルム 54が粘着した状態で、剥離ヘッド 40とともに粘着テープ 30に付着して保護フィルム 54がガラス基板 6から引き剥がされる。そして、ガラス基板 6の幅方向の両端部で剥離された保護フィルム 6の縁を、フィルムチャック装置 58のチャック 56により狭持する。

[0032] 次に、フィルムチャック装置 58は、走行レール 48に沿って、図 1において右側に移動する。これにより、粘着テープ 30の粘着面 36に付いた保護フィルム 54は、引き剥力れる。同時に、ガラス基板 6を、ローラーコンベア 11により図面左に移動していく。このとき、保護フィルム 54の剥離位置力ローラーコンベア 11の隙間 26と一致するような速度で、ガラス基板 6が剥離処理部 20のローラーコンベア 11から左側のローラーコンベア 7bに移動していく。やがて、ガラス基板 6が、連絡部 18の昇降部 14に移動を完了すると、保護フィルム 54の剥離も完了する。走行レール 48の図面右端部に移動したフィルムチャック 58装置は、狭持を解除し、保護フィルム 54をフィルムストツ力 59に落下する。

[0033] 粘着テープカセット部 28の粘着テープ送りについて説明する。フィルムチャック装置 58により、粘着テープ 30に粘着した保護フィルム 54が引き剥がされたのちに、粘着テープ巻き取りリール 32は、剥離ヘッド 40との接触面部分を巻き取り、剥離ヘッド 40の端部に新たな粘着面 36が位置するように回転する。

[0034] 連絡部 18のガラス基板 6を搭載した昇降部材 14では、リフタ 16によりガラス基板 6 が上段に上昇し、ローラーコンベア 7bにより取出し部 12へ送り出される。取出し部 12 では、基板受け装置 9が上昇し、ローラーコンベア 5上のガラス基板 6をさらに僅かに上昇させ、ローラーコンベア 5から離れた状態となる。その状態で、図示しない搬送装置によりガラス基板 6が運び出され、一連のガラス基板 6の保護フィルム 54の引き剥がしが完了となる。

[0035] 次に、連絡部 18の 2段のローラーコンベア 7a, 7bによるガラス基板 6の動きについて説明する。保護フィルム 54が付いたガラス基板 6が、投入部 10のローラーコンベア 4から下段のローラーコンベア 7aに搬入される際に、剥離処理部 20でのフィルム剥離が行われたガラス基板 6が、上段のローラーコンベア 7bに搬入される。この後、リフタ 16により昇降部材 14が上昇して、下段のローラーコンベア 7a上のガラス基板 6が剥離処理部 20に送られるときに、上段のローラーコンベア 7bに位置し保護フィルム 5 4が剥離されたガラス基板 6が、基板受け装置 9のローラーコンベア 5に移される。そして、この動作を繰り返して、効率的にフィルム剥離が行われる。

[0036] この実施形態のフィルム剥離装置 2によれば、剥離処理部 20により、ガラス基板 6 の表面及び裏面の両面から、同時に保護フィルム 54を引き剥がすため、ガラス基板 6の面を反転させる等の必要がなく効率が良い。さらに、剥離ヘッド 40は、図 4に示すように、保護フィルム 54の端縁のはみ出ている側のガラス基板 6の側縁部の他、保護フィルム 54の端縁が出て、る側と、内側に位置して、る部分とに粘着させて剥離しても良い。この場合、保護フィルム 54がはみ出ている側力も剥離する。これにより、ガラス基板 6の送り方向を、短辺方向と長辺方向のいずれも選択可能となり、工程上の制約が無くなる。特に、大型のガラス基板 6の保護フィルムを剥離する場合は、長手方向に移動させる方がスペース効率が良いものとなる。また、保護フィルム 54の引き剥がしと同時にガラス基板 6が連絡部 18に送られ、移動の無駄が無ぐ処理時間が短い。

[0037] さらに、保護フィルム 54の全長に粘着テープ 30を付着させて引き剥がすものではないため、処理がし易い。保護フィルム 54の端を剥離する際に使用する粘着テープ 30は、保護フィルム 54の端縁から僅か〖こ一部はみ出して粘着し、保護フィルム 54を引き剥がすので、保護フィルム 54の端縁部に空気が入り、容易に持ち上げられ、確実に保護フィルム 54が引き剥がされる。さらに、剥離ヘッド 40の端面部分のみの面積を使用するため、粘着テープ 30の使用量も少量で済み、コストを抑えることが出来る。

[0038] さらに、粘着テープ 30は、粘着テープカセット部 28により一体的に交換可能であり、容易に着脱可能であり、クリーンルーム内で手袋をしている状態でも容易に交換作業が可能である。また、引き剥がした保護フィルム 54は、フィルムストツ力 59に収納するため、フィルム処理の手間が掛からない。

[0039] 次に、この発明のフィルム剥離装置の第二実施形態について。図 5〜図 7を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の部材は同一の符号を付す。この実施形態では、図 5に示すように、保護フィルム 54はガラス基板 6の一辺で一部がはみ出した状態に貼付されている。このように貼付された保護フィルム 54を剥離する場合、保護フィルム 54がはみ出した側縁部上方に剥離ヘッド 40を位置させ、剥離ヘッド 40及び粘着テープ 30が、当接状態ではガラス基板 6の側縁から一部がはみ出すように配置する。また、一対の剥離ヘッド 40間には、この剥離ヘッド 40間を、ガラス基板 6の側縁部近傍で移動可能なェアースクレーバ 60が設けられている。

[0040] この実施形態のフィルム剥離装置 2の剥離ヘッド 40には、粘着テープ 30をガラス基板 6の表面方向へ押圧移動自在に設けられた棒状の押圧維持部材 62を備えている。押圧維持部材 62は、剥離ヘッド 40が粘着テープ 30を介してガラス基板 6に当接した後、剥離ヘッド 40の退避時に、一時的にガラス基板 6を押さえて、保護フィルム 54 とともにガラス基板 6が持ち上げられるのを防止するためのものである。

[0041] 以下に、この実施形態のフィルム剥離装置 2の動作について説明する。まず、図示しない搬入装置により、複数枚重ねられたガラス基板から 1枚のガラス基板 6を搬入し、剥離処理部 20へ移送する。移送方法は、上記実施形態と同様であるので、説明を省略する。次に、保護フィルム 54を剥離する際に、図 6 (a)に示すように、ガラス基板 6に対面した粘着テープカセット部 28を、ガラス基板 6側に近づける。そして、図 6 (b) に示すように、各粘着テープカセット部 28の剥離ヘッド 40により、粘着テープ 30の粘着面 36をガラス基板 6の保護フィルム 54の表面に押圧させる。

[0042] 次に、図 6 (c)及び図 7 (a)に示すように、剥離ヘッド 40を粘着テープ 30とともにガラス基板 6の表面カゝら離間させるとともに、押圧維持部材 62を、粘着テープ 30を介してガラス基板 6に一時的に押圧させる。これにより、剥離ヘッド 40が移動して粘着テープ 30の粘着面 36とともに保護フィルム 54がー部持ち上げられる。しかし、押圧維持部材 62により、ガラス基板 6が押さえられているので、粘着テープ 30の上昇とともにガラス基板 6が持ち上げられるのを防止する。

[0043] この後、図 7 (b)に示すように、押圧維持部材 62を退避させ、粘着テープ 30を剥離ヘッド 40側に当接させると、保護フィルム 54も剥離ヘッド 40の下面に引き寄せられる。そして、ェアースクレーバ 60を、エアー噴射状態で一対の剥離ヘッド 40間を移動させ、保護フィルム 54の端部を確実にガラス基板 6の表面カゝら剥離するとともに、上記実施形態と同様にチャックにより保護フィルム 54を保持して、ガラス基板 6の表面から引き剥がす。

[0044] この実施形態のフィルム剥離装置 2によれば、ガラス基板 6から保護フィルム 54を剥離する際にガラス基板 6自体が持ち上げられることを防止し、ガラス基板 6に歪みやその他の影響を与えることなぐ綺麗に保護フィルム 54を剥離することができる。また、端縁部で剥離した保護フィルム 54の剥離部分にェアースクレーバ 60でエアーを吹き付けることにより、容易且つ確実に保護フィルム 54がガラス基板 6から剥がれる。

[0045] 次に、この発明のフィルム剥離装置の第三実施形態について。図 8、図 9を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の部材は同一の符号を付す。この実施形態では、フィルム剥離装置 2の剥離ヘッド 40は、各々独立に上下可能に押圧部 40a , 40bに 2分割されている。剥離ヘッド 40の両側には、ローラー部材 41, 43が別体に設けられている。この実施形態では、押圧部 40aが保護フィルム 54を粘着テープ 30 に粘着させるもので、押圧部 40bは、上記実施形態の押圧維持部材の機能を果たす

[0046] この実施形態のフィルム剥離装置 2の動作も、上記実施形態と同様に、図示しない搬入装置により、複数重ねられたガラス基板から 1枚のガラス基板 6を搬入し、剥離処理部 20で保護フィルム 54を剥離する際に、まずガラス基板 6に対面した粘着テープカセット部 28を、ガラス基板 6側に近づける。そして、図 8 (a)に示すように、各粘着テープカセット部 28の剥離ヘッド 40により、粘着テープ 30の粘着面 36をガラス基板 6 の保護フィルム 54の表面に押圧させる。

[0047] 次に、図 8 (b)に示すように、剥離ヘッド 40の分割部 40aを、ガラス基板 6から離間させる。これにより、粘着テープ 30とともにガラス基板 6の表面力も保護フィルム 54がー部持ち上げられる。しかしこのとき、分割部 40bにより、粘着テープ 30及び保護フィルム 54を介してガラス基板 6が押圧された状態を維持している。これにより、剥離ヘッド 40の分割部 40aの移動とともにガラス基板 6が持ち上げられるのを防止する。

[0048] この後、図 8 (c)に示すように、剥離ヘッド 40の分割部 40bも退避させ、粘着テープ 30を剥離ヘッド 40側に引き寄せると、粘着面 36に付ヽた保護フィルム 54も剥離へッド 40の端面に引き寄せられる。さらに、図 9 (a)に示す様に、剥離ヘッド 40をガラス基板 6から離間し、図 9 (b)に示す様に、フィルムチャック装置のチャック 56により、保護フィルム 54を把持する。この後、フィルムチャック装置のチャック 56を保護フィルム 54 の弓 Iき剥がし方向に相対的に移動させ、保護フィルム 54を確実にガラス基板 6の表面から剥離する。

[0049] この実施形態のフィルム剥離装置 2によれば、ガラス基板 6から保護フィルム 54を剥離する際にガラス基板 6自体が持ち上げられることを防止し、ガラス基板 6に歪みやその他の影響を与えることなぐ綺麗に保護フィルム 54を剥離することができる。

[0050] 次に、この発明のフィルム剥離装置の第四実施形態について。図 10、図 11を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の部材は同一の符号を付す。この実施形態のフィルム剥離装置 2は、剥離ヘッド 40とその両側のローラー部材 41, 43を備え、ローラー部材 43のテープ送り上流側に、テープテンション調節機構 45が設けられたものである。テープテンション調節機構 45は、テープ送り出し側にテンション調節ローラを設けて、このローラをテープ送り方向と交差する方向に位置調節可能としたものである。また、テープ送り側の送りモータの制御により行っても良い。

[0051] この実施形態のフィルム剥離装置 2の動作は、上記実施形態と同様に、図示しない搬入装置により、複数重ねられたガラス基板から 1枚のガラス基板 6を搬入し、剥離処理部 20で保護フィルム 54を剥離する際に、まずガラス基板 6に対面した粘着テープカセット部 28を、ガラス基板 6側に近づける。そして、図 10 (a)に示すように、各粘着テープカセット部 28の剥離ヘッド 40により、粘着テープ 30の粘着面 36をガラス基板 6の保護フィルム 54の表面に押圧させる。

[0052] 次に、図 10 (b)に示すように、テープテンション調節機構 45により、ガラス基板 6の端縁側ではない内側の粘着テープ 6を所定量橈ませる。この後、図 10 (c)、に示すように、一対の剥離ヘッド 40をガラス基板 6から退避させる。このとき、橈ませた側の粘着テープ 6は、剥離ヘッド 40の退避において、橈んだ分だけ移動が遅れ、ガラス基板 6の端縁部側の保護フィルム 54が先に剥離ヘッド 40とともに持ち上げられる。この後、図 11 (a)に示す様に、剥離ヘッド 40をさらにガラス基板 6から離間し、粘着テープ 30を剥離ヘッド 40側に引き寄せる。これにより、保護フィルム 54も剥離ヘッド 40の端面側に引き寄せられる。次ぎに、図 11 (b)に示す様に、フィルムチャック装置のチャック 56により、保護フィルム 54を把持する。そして、フィルムチャック装置のチャック 56を保護フィルム 54の引き剥がし方向に相対的に移動させるとともに、ガラス基板 6 を反対方向に移動させ、保護フィルム 54を確実にガラス基板 6の表面カゝら剥離する。

[0053] この実施形態のフィルム剥離装置 2によれば、ガラス基板 6から保護フィルム 54を剥離する際に、簡単な構造で、ガラス基板 6自体が持ち上げられることを防止し、ガラス基板 6に歪みやその他の影響を与えることなぐ綺麗に保護フィルム 54を剥離することができる。

[0054] 次に、この発明のフィルム剥離装置の第五実施形態について。図 12を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の部材は同一の符号を付す。この実施形態では、フィルム剥離装置 2の剥離ヘッド 40は、両側のローラー部材 41, 43とともにフィルム剥離方向に揺動可能に設けられたものである。この実施形態では、図 12 (a)に示すように、剥離ヘッド 40が粘着テープ 30を介してガラス基板 6に当接し、剥離へッド 40により保護フィルム 54を粘着テープ 30に粘着させた後、図 12 (b)に示すように、剥離ヘッド 40とローラー部材 41, 43が保護フィルム 54の端部力も剥離方向に揺動する。これにより、ローラー部材 43によってガラス基板 6を押さえた状態で、保護フィルム 54の端部が剥離される。

[0055] この後、上記実施形態と同様に、図 11 (a)のように、剥離ヘッド 40がガラス基板 6から離間すると、保護フィルム 54の端部がガラス基板 6から剥離され、図 11 (b)、（に示す様に、チャック 56により保護フィルム 54を把持し、ガラス基板 6から保護フィルム 54を確実に剥がすことができる。

[0056] なお、この発明のフィルム剥離装置は上記実施形態に限定されるものではなぐフイルムチャック装置が、剥離した保護フィルムを狭持する際は、ガラス基板の幅方向両端に位置する縁を同時に狭持するものの他、どちらか一方を狭持してもよい。また、剥離処理部は、上記実施形態のように設置される他、ガラス基板の一連の工程の中に設置されてヽても良ヽ。またガラス基板以外の基板の保護フィルムの剥離に用いても良いものである。

[0057] 保護フィルムに対する粘着位置は、基板の角部であって保護フィルム端縁近傍であれば良ぐ剥離ヘッドや粘着テープは、保護フィルムの端縁から僅か〖こはみ出した状態で粘着させ、引き剥がすとより好ましい。

[0058] また、保護フィルムを狭持し、粘着テープ力も保護フィルムを引き剥がす際に、粘着テープからの弓 Iき剥がし力ガラス基板力の弓 Iき剥がしまで一気に行わず、まず、粘着テープ力引き剥がした後、ガラス基板力も保護フィルムを引き剥がす動作でもよい。この動作は、保護フィルムと粘着テープの素材により適時選択可能なものである。

[0059] そのほか、粘着テープの粘着力が保護フィルムを粘着し、剥離させるに十分な粘着力があればよいため、粘着テープの送りを減らし、粘着面を繰り返し使用しても良ぐこれにより、粘着テープの消費量が少なくなり、より効率的である。

Claims

請求の範囲

[1] 表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に、粘着テープを設けてその粘着面を押し付け、前記ガラス基板表裏面の各保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面カゝら弓 Iき離して、前記ガラス基板端部近傍の前記保護フィルムを一部剥離し、剥離した前記保護フィルム端部をフィルムチャック装置のチヤックで保持し、前記ガラス基板を移動させて、前記ガラス基板の移動により、両面同時に前記保護フィルムを剥離するフィルム剥離方法。

[2] 前記ガラス基板の角部端縁に対して、前記粘着テープが僅かにはみ出した状態で、前記保護フィルムに前記粘着テープを貼り付け、この後、前記粘着テープを前記ガラス基板面力引き離す請求項 1記載のフィルム剥離方法。

[3] 前記ガラス基板力前記保護フィルムを一部剥離した状態で、前記保護フィルムとガラス基板との間にエアーを吹き付けながら前記粘着テープを前記ガラス基板面から弓 Iき離す請求項 2記載のフィルム剥離方法。

[4] 前記フィルムチャック装置は、前記ガラス基板両面それぞれの幅方向端部近傍に位置し、前記ガラス基板を載置したコンベアに対し前記ガラス基板の送り方向に前記チャックを平行移動させるとともに、前記ガラス基板を戻り方法に移動させて、前記保護フィルムを剥離する請求項 2記載のフィルム剥離方法。

[5] 前記粘着テープを前記ガラス基板の前記保護フィルムに押し付けた後、前記粘着テープの前記ガラス基板内側方向のテンションを緩め、この後、前記粘着テープを前記ガラス基板から弓 Iき離す請求項 2記載のフィルム剥離方法。

[6] 表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に各々位置した粘着テープと、前記ガラス基板表裏面側に各々設けられ前記粘着テープの粘着面を前記ガラス基板側に向けて押圧する剥離ヘッドと、前記保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面に対して引き離して、前記ガラス基板カゝら前記保護フィルムを一部剥離する粘着テープ移動手段と、剥離した前記保護フィルム端部を保持するフィルムチャック装置と、前記フィルムチャック装置で保持した保護フィルムを前記ガラス基板両面力引き剥がす引き剥がし手段とを備えたフィルム剥離装置。

[7] 前記剥離ヘッドは、前記ガラス基板角部の一端縁の前記保護フィルムに対して、前記粘着テープが僅かにはみ出した位置に貼り付け可能に位置決めされている請求項 6記載のフィルム剥離装置。

[8] 前記剥離ヘッドは、前記粘着テープを前記ガラス基板面方向へ押圧自在に設けられた押圧維持部材を備え、前記剥離ヘッドが前記粘着テープを介して前記ガラス基板に当接した後、前記剥離ヘッドの退避時に前記押圧維持部材が一時的に前記ガラス基板を押さえて、前記保護フィルムとともに前記ガラス基板が持ち上げられるのを防止する請求項 6記載のフィルム剥離装置。

[9] 前記剥離ヘッドは、前記粘着テープを前記ガラス基板に押し付けた状態で揺動可能に設けられた請求項 6記載のフィルム剥離装置。

[10] 前記粘着テープは、粘着テープカセット部に収納され、この粘着テープカセット部は、前記ガラス基板の両面両端部に各々位置している請求項 6記載のフィルム剥離装置。

[11] 前記フィルムチャック装置は、前記粘着テープカセット部毎に設けられ、前記ガラス基板に対して相対的に前記フィルムチャック装置が移動可能に設けられている請求項 10記載のフィルム剥離装置。

[12] 前記粘着テープを収納した前記粘着テープカセット部は、前記粘着テープカセット部から突出した前記剥離ヘッドを備え、この粘着テープカセット部は、前記粘着テープともに一体に着脱可能に設けられている請求項 10記載のフィルム剥離装置。

[13] 前記剥離ヘッドを前記ガラス基板の保護フィルムに押し付けた状態で、前記粘着テープの前記ガラス基板内側方向のテンションを緩めるテープテンション調節機構を設けた請求項 6記載のフィルム剥離装置。

[14] 前記粘着テープにより前記保護フィルムを一部剥離した状態で、前記保護フィルムとガラス基板との間にエアーを吹き付けるエアー吹き付け手段を設けた請求項 7記載のフィルム剥離装置。

[15] 前記エアー吹き付け手段は、前記基板の一辺に沿って移動可能に設けられ、前記剥離ヘッドにより前記基板コーナー部で剥離した前記保護フィルムの剥がれを、前記基板の一辺に広げる請求項 14記載のフィルム剥離装置。