JP2016039260A - シート剥離装置および剥離方法並びに剥離開始部形成装置 - Google Patents
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また、特許文献2に記載のシート剥離装置は、接着シートの端部を吸着パッドで吸着して被着体から剥離する構成であるため、吸引の力で接着シートを持ち上げる際に、接着シートが吸着パッドの形状に倣って円錐状に変形しようとすることで、被着体と接着シートとの間に空気が入らず、被着体と当該被着体を支持する支持面との間に空気が入ってしまう場合があり、被着体が接着シートとともに持ち上げられて破損してしまうおそれがある。
また、本発明の別の目的は、接着シートを剥離する際に、被着体が接着シートとともに持ち上げられて破損してしまうことを防止できるシート剥離装置および剥離方法並びに剥離開始部形成装置を提供することにある。
本発明のシート剥離装置において、前記剥離開始部形成手段は、前記被着体の被着面と平行な面内であって、当該被着体と前記把持手段との相対移動方向に交差する方向に前記流体吹付手段を移動可能な吹付手段移動手段を備えていることが好ましい。
また、接着シートを吸着して剥離することがないため、被着体が接着シートとともに持ち上げられて破損してしまうことを防止することができる。
さらに、剥離開始部形成手段に吹付手段移動手段を設ければ、被着体と把持手段との相対移動方向に交差する方向に剥離開始部を広げることができ、把持手段が接着シートを把持できなくなる把持不良を抑制することができる。
なお、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態のシート剥離装置10に対し、作業者または図示しない搬送手段がテーブル42上にウエハWFを載置すると、移動手段40が図示しない減圧手段を駆動し、支持面42AでウエハWFを吸着保持する。次いで、移動手段40がリニアモータ41を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、テーブル42を剥離開始部形成手段20および把持手段30の下方所定位置に移動させる。次に、把持手段30が直動モータ31を駆動し、第1把持部材32を下降させ、同図中二点鎖線で示すように、当該第1把持部材32の下端部を接着シートASに接近させる。このとき、第1把持部材32の下端部は、接着シートASに当接してもよいし、当接しなくてもよい。次いで、把持手段30がリニアモータ33を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、ノズル25が接着シートASの右側であって、当該接着シートASとウエハWFとの接着境界面の高さ(ウエハWFの被着面WF1の高さ)に位置するように、第2把持部材35を移動させる。
また、接着シートASを吸着して剥離することがないため、ウエハWFが接着シートASとともに持ち上げられて破損してしまうことを防止することができる。
剥離開始部形成手段20は、剥離開始部AS1が前後方向に広がるまで流体吹付手段21を前後方向に移動させてもよい。
剥離開始部形成手段20は、リニアモータ22の複数のスライダ22Aのそれぞれに流体吹付手段21を設ける等、流体吹付手段21を複数設けてもよい。
流体吹付手段21は、第2把持部材35に直接ノズル25を設けてもよく、この場合、リニアモータ22、ブラケット22B、および回動モータ23を省略することができる。
ノズル25の流体吹き出し口は、剥離開始部AS1の前後方向の両端幅と同じ幅でもよいし、両端幅よりも幅広でもよいし、両端幅よりも幅狭でもよく、両端幅よりも幅広の場合、リニアモータ22を省略することができる。
ノズル25が吹き付ける流体は、大気、単体ガス、および混合ガス等の気体、水やオイル等の液体、ジェル状体等であってもよい。
吹付手段移動手段は、被着面WF1と平行な面内であって、前後方向に対して傾斜した方向に流体吹付手段21を移動させてもよい。
把持手段30は、吸引孔32Dに加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段を接続し、接着シートASを収容するときに、当該吸引孔32Dから空気や単体ガス等の流体を噴出するようにしてもよい。
把持手段30は、吸引孔32Dがなくてもよい。
第1把持部材32の下端部にローラやエア吹付け等の押圧手段を設け、当該押圧手段で接着シートASおよびウエハWFをテーブル42に押圧しながら、接着シートASをウエハWFから剥離してもよい。
剥離開始部抑制手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用することができ、エア噴き付けにより接着シートASを押圧する構成も採用することができる。
剥離開始部抑制手段は、第1把持部材32とは別の部材で構成することができ、当該剥離開始部抑制手段に押し付けられた剥離開始部AS1を第1、第2把持部材32、35で把持してもよい。
剥離開始部保持手段は、剥離開始部AS1を保持可能な駆動機器としてのチャックシリンダ、接着シートまたは静電チャック等を採用してもよい。
移動手段40は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、静電チャック、接着剤、磁力等でウエハWFを保持する構成でもよい。
移動手段40がウエハWFを前後方向に移動させる構成として、剥離開始部AS1を前後方向に広げるようにしてもよく、この場合、リニアモータ22を省略することができる。
他の装置でウエハWFを搬送する場合、移動手段40はなくてもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 剥離開始部形成手段(剥離開始部形成装置)
21 流体吹付手段
22 リニアモータ(吹付手段移動手段)
30 把持手段
32 第1把持部材(把持部材、剥離開始部抑制手段)
35 第2把持部材(把持部材)
AS 接着シート
AS1 剥離開始部
WF ウエハ(被着体)
WF1 被着面
Claims (5)
- 被着体に貼付された接着シートの端部を捲り上げることで、当該接着シートに前記被着体から部分的に剥離した剥離開始部を形成する剥離開始部形成手段と、
前記剥離開始部を把持する把持手段とを備え、
前記剥離開始部形成手段は、前記接着シートの端部に流体を吹き付けて捲り上げる流体吹付手段を備え、
前記被着体と把持手段とが相対移動することで、前記被着体から前記接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。 - 前記把持手段は、前記剥離開始部を把持する一対の把持部材を備え、当該一対の把持部材のうちの一方の把持部材は、前記剥離開始部が形成される領域を前記接着シートの所定の領域に抑制する剥離開始部抑制手段であることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。
- 前記剥離開始部形成手段は、前記被着体の被着面と平行な面内であって、当該被着体と前記把持手段との相対移動方向に交差する方向に前記流体吹付手段を移動可能な吹付手段移動手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。
- 被着体に貼付された接着シートの端部を捲り上げることで、当該接着シートに前記被着体から部分的に剥離した剥離開始部を形成する剥離開始部形成装置であって、
前記接着シートの端部に流体を吹き付けて捲り上げる流体吹付手段を備えていることを特徴とする剥離開始部形成装置。 - 被着体に貼付された接着シートの端部に流体を吹き付けて捲り上げることで、当該接着シートに前記被着体から部分的に剥離した剥離開始部を形成する工程と、
前記剥離開始部を把持手段で把持する工程と、
前記被着体と前記把持手段との相対移動によって、当該被着体から前記接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016039260A true JP2016039260A (ja) | 2016-03-22 |
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Country Status (1)
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