JP3201070U - シート剥離装置 - Google Patents
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また、満杯処理手段を警告手段とした場合、収容手段に収容された接着シートの量が所定量に達したことを作業者に知らせることができる。
さらに、満杯処理手段を当該シート剥離装置の動作を停止する制御手段とした場合、シート剥離装置の動作が停止するので、当該シート剥離装置が規定の動作を行えなくなることを確実に防止することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
制御手段80は、コンピュータやシーケンサ等によって構成され、所定の満杯処理としてシート剥離装置10の動作を停止することが可能になっている。
先ず、作業者が剥離用テープPTを図1(A)に示すようにセットした後、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート剥離装置10に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、接着シートASが上方となる状態でウエハWFが支持手段90上に載置されると、支持手段90が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハWFを吸着保持する。その後、貼付手段20が回動モータ21Bおよびリニアモータ22Aを駆動し、駆動ローラ21Cを回転させるとともに、スライドプレート22Cを右方向に移動させ、図1(A)中二点鎖線で示すように、一対の把持爪42間に剥離用テープPTを繰り出す。次いで、貼付手段20が直動モータ23Aおよびリニアモータ22Aを駆動し、押圧ローラ23Dを上方に退避させた後、スライドプレート22Cを初期位置に復帰させる。そして、引張手段40がチャックシリンダ43およびリニアモータ41を駆動し、図1(B)中実線で示すように、把持爪42で剥離用テープPTを把持した後、チャックシリンダ43を右方向に移動させて剥離用テープPTを引き出す。
貼付手段20は、押圧ローラ23Dや押圧ヘッド24Dの代わりに、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、大気やガス等のエアの噴き付けにより押圧する構成を採用してもよい。
貼付手段20は、押圧ローラ23Dの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよい。
貼付手段20は、押圧ヘッド24Dを振動させる振動手段を設けたり、ヒータ24Cに換えて温風、放電加熱機、赤外線加熱機、マイクロ波照射装置等を設けたりしてもよい。
切断手段30は、ウエハWFから接着シートASを剥離した後に剥離用テープPTを切断するようにしてもよい。この場合、剥離用テープPTを接着シートASに貼付した後、支持手段90を図1(B)中の右方向に移動させることにより接着シートASをウエハWFから剥離する。そして、切断手段30が直動モータ31を駆動し、剥離用テープPTを切断する。この場合、引張手段40はチャックシリンダ43を左方向に動かさなくてもよいので、収容手段50を引張手段40の下方の位置に配置してもよい。
引張手段40は、図示しない噴き付け手段を備え、大気やガス等のエアを剥離用テープPTに噴き付けることにより把持爪42から剥離用テープPTが確実に離れるようにしてもよい。エアの噴き付けを把持爪42の把持面方向に行なう場合は、一対の把持爪42の両方からエアの噴き付けを行うようにするとよい。これにより、把持爪42の把持を解除した状態で剥離用テープPTが一対の把持爪42のどちらに接着していても把持爪42から剥離用テープPTを確実に離すことができる。また、エアの噴き付けを把持爪42の把持面の側面方向に行う場合には一対の把持爪42の内、下側の把持爪の側面のみから噴き付けを行うようにするとよい。
満杯処理手段は、自走して収容手段50を搬送する自走搬送手段とし、自走して接着シートASを廃棄する所定の廃棄位置で収容手段50内の接着シートASを廃棄する満杯処理を行う構成としてもよいし、自走して収容手段50を搬送する自走搬送手段を複数設けておき、入れ替えを行う満杯処理を行う構成としてもよいし、自走しない収容手段50や移動させることができない収容手段50の場合、接着シートASを掴み取りして当該接着シートASを所定の廃棄位置に廃棄する満杯処理を行う構成としてもよい。
また、剥離用テープPTは、感圧接着性の接着シートや感熱接着性の接着シートであってもよく、感圧接着性の接着シートが採用された場合、ヒータ24Cは設けてもよいし、設けなくてもよい。
20・・・貼付手段
30・・・切断手段
40・・・引張手段
50・・・収容手段
60・・・収容量検知手段
70・・・警告手段(満杯処理手段)
80・・・制御手段(満杯処理手段)
AS・・・接着シート
PT・・・剥離用テープ
WF・・・ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、
前記剥離用テープを切断する切断手段と、
前記剥離用テープを介して前記被着体から前記接着シートを剥離する引張手段と、
前記被着体から剥離した前記接着シートを収容する収容手段とを備え、
前記収容手段に収容された前記接着シートの量が所定量に達したことを検知する収容量検知手段と、前記収容量検知手段によって前記接着シートの量が所定量に達したことを検知したことを受けて所定の満杯処理を行なう満杯処理手段を有することを特徴とするシート剥離装置。 - 前記満杯処理手段は、所定の警告を発する警告手段であることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。
- 前記満杯処理手段は、当該シート剥離装置の動作を停止する制御手段であることを特徴とする請求項1または2に記載のシート剥離装置。
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JP2015004527U JP3201070U (ja) | 2015-09-07 | 2015-09-07 | シート剥離装置 |
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JP2015004527U JP3201070U (ja) | 2015-09-07 | 2015-09-07 | シート剥離装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3201070U true JP3201070U (ja) | 2015-11-19 |
Family
ID=54545628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015004527U Active JP3201070U (ja) | 2015-09-07 | 2015-09-07 | シート剥離装置 |
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JP (1) | JP3201070U (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020113671A (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-27 | 株式会社ディスコ | 剥離装置 |
TWI835972B (zh) | 2019-01-15 | 2024-03-21 | 日商迪思科股份有限公司 | 剝離裝置 |
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2015
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CN111489999A (zh) * | 2019-01-15 | 2020-08-04 | 株式会社迪思科 | 剥离装置 |
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