JP2017199844A - シート剥離装置および剥離方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】被着体に極力ストレスを与えることなく当該被着体に貼付された接着シートを剥離すること。
【解決手段】自身に対して相対移動される被着体WFに貼付された接着シートASを保持して当該被着体WFから接着シートASを剥離する保持手段20と、保持手段20との相対移動によって剥離中の接着シートASにおける未剥離部AS1を押圧し、当該押圧による未剥離押圧部AS2を介して被着体WFを押圧する押圧手段30と、保持手段20との相対移動によって剥離中であり、押圧手段30で被着体WFに押圧された後の接着シートASにおける既剥離部AS3を押圧し、当該押圧による既剥離押圧部AS4を介して当該接着シートASが剥離された直後の被着体WFを再度押圧する再押圧手段40とを備えている。
【選択図】図1

Description

本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。
従来、剥離中の接着シートにおける未剥離部を押圧し、当該押圧による未剥離押圧部を介して被着体を押圧することで、剥離される接着シートと共に被着体が接着シートの剥離方向へ移動することを防止する押圧手段を備えたシート剥離装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2006−156456号公報
しかしながら、特許文献1に記載された従来のシート剥離装置では、表面保護フィルム(接着シート)が剥離された直後のウエハ(被着体)部分が、剥離される接着シートと共に当該接着シートの剥離方向へ移動しようとするので、当該被着体にストレスを与えてしまうという不都合を発生する。
本発明の目的は、被着体に極力ストレスを与えることなく当該被着体に貼付された接着シートを剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置において、自身に対して相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持して当該被着体から前記接着シートを剥離する保持手段と、前記保持手段との相対移動によって剥離中の前記接着シートにおける未剥離部を押圧し、当該押圧による未剥離押圧部を介して前記被着体を押圧する押圧手段とを備え、前記保持手段との相対移動によって剥離中であり、前記押圧手段で前記被着体に押圧された後の前記接着シートにおける既剥離部を押圧し、当該押圧による既剥離押圧部を介して当該接着シートが剥離された直後の前記被着体を再度押圧する再押圧手段を備えていることを特徴とする。
この際、本発明のシート剥離装置では、前記押圧手段は、当該押圧手段の押圧力を調整する第1押圧力調整手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置では、前記再押圧手段は、当該再押圧手段の押圧力を調整する第2押圧力調整手段を備えていることをことが好ましい。
一方、本発明のシート剥離方法は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離方法において、前記被着体に貼付された接着シートを保持手段で保持する保持工程と、前記保持手段と被着体とを相対移動させる移動工程と、前記被着体との相対移動によって剥離中の前記接着シートにおける未剥離部を押圧し、当該押圧による未剥離押圧部を介して前記被着体を押圧する押圧工程とを備え、前記被着体との相対移動によって剥離中であり、前記押圧工程で前記被着体に押圧された後の前記接着シートにおける既剥離部を押圧し、当該押圧による既剥離押圧部を介して当該接着シートが剥離された直後の前記被着体を再度押圧する再押圧工程を有することを特徴とする。
以上のような本発明によれば、接着シートが剥離された直後の被着体部分を再度押圧するので、当該接着シートが剥離された直後の被着体部分が、剥離される接着シートと共に当該接着シートの剥離方向へ移動することを抑制でき、被着体に極力ストレスを与えることなく当該被着体に貼付された接着シートを剥離することができる。しかも、接着シートの既剥離部を介して被着体を再度押圧するので、当該再押圧によって被着体に与えるダメージも極力低減することができる。
この際、第1押圧力調整手段や第2押圧力調整手段を備えれば、任意に押圧力が決定でき、被着体に極力ストレスを与えることなく当該被着体に貼付された接着シートを剥離することができる。
本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の側面図。 (A)〜(C)は、シート剥離装置の動作説明図。 (A)〜(C)は、シート剥離装置の変形例の説明図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート剥離装置10は、被着体としての半導体ウエハ(以下単に「ウエハ」という場合がある)WFに貼付された接着シートASを剥離する装置であって、自身に対して相対移動されるウエハWFに貼付された接着シートASを保持して当該ウエハWFから接着シートASを剥離する保持手段20と(「自身」とは、保持手段20のことである)、保持手段20との相対移動によって剥離中の接着シートASにおける未剥離部AS1(図2(C)のCC部拡大図参照)を押圧し、当該押圧による未剥離押圧部AS2を介してウエハWFを押圧する押圧手段30と、保持手段20との相対移動によって剥離中であり、押圧手段30でウエハWFに押圧された後の接着シートASにおける既剥離部AS3を押圧し、当該押圧による既剥離押圧部AS4を介して当該接着シートASが剥離された直後のウエハWFを再度押圧する再押圧手段40とを備え、ウエハWFを搬送する搬送手段50の上方に設けられている。
保持手段20は、剥離用テープPTを支持する支持ローラ21と、駆動機器としての回動モータ22Aによって駆動され、ピンチローラ22Bとで剥離用テープPTを挟み込む駆動ローラ22と、駆動機器としてのリニアモータ23Aのスライダ23Bに支持されたスライドプレート23と、駆動機器としての直動モータ24Aの出力軸24Bに支持されたブラケット24Cに回転可能に支持された押圧ローラ24と、駆動機器としての直動モータ25Aの出力軸25Bに支持された切断刃25と、駆動機器としての直動モータ26Aの出力軸26Bに支持され、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段からなる図示しない強制接続手段によって加熱される押圧ヘッド26と、駆動機器としてのリニアモータ27Aのスライダ27Bに支持され、一対の把持爪27Cを有する駆動機器としてのチャックシリンダ27と、リニアモータ27Aおよびそれに支持された部材以外の当該保持手段20を構成する各部材を支持するフレーム28を昇降させる図示しない駆動機器とを備えている。
押圧手段30は、駆動機器としてのリニアモータ31Aのスライダ31Bに支持され、当該押圧手段30の押圧力を調整する第1押圧力調整手段であって駆動機器としての直動モータ31Cと、直動モータ31Cの出力軸31Dに回転可能に支持された第1押圧ローラ31とを備えている。
再押圧手段40は、駆動機器としてのリニアモータ41Aのスライダ41Bに支持された駆動機器としての直動モータ41Cと、直動モータ41Cの図示しない出力軸に回転可能に支持されたガイドローラ41と、リニアモータ31Aのスライダ31Bに支持された駆動機器としての回動モータ42Aと、回動モータ42Aの出力軸42Bにブラケット42Cを介して支持され、当該再押圧手段40の押圧力を調整する第2押圧力調整手段であって駆動機器としての直動モータ42Dと、直動モータ42Dの出力軸42Eに回転可能に支持された第2押圧ローラ42と、スライダ31Bに支持されたアーム43Aに回転可能に支持されたガイドローラ43とを備えている。
搬送手段50は、駆動機器としてのリニアモータ51Aのスライダ51Bに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハWFを支持可能な支持面51Cを有する支持テーブル51を備えている。
次に、本実施形態におけるシート剥離装置10の動作について説明する。
先ず、作業者が剥離用テープPTを図1に示すようにセットした後、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート剥離装置10に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、接着シートASが上方となる状態でウエハWFが支持テーブル51上に載置されると、搬送手段50が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハWFを吸着保持する。その後、搬送手段50がリニアモータ51Aを駆動し、ウエハWFに貼付された接着シートASの右端縁が押圧ヘッド26の右下端縁の直下に位置するように、支持テーブル51を左方へ移動させる。次に、保持手段20が回動モータ22Aおよびリニアモータ23Aを駆動し、図1中二点鎖線で示すように、一対の把持爪27C間に剥離用テープPTおよびスライドプレート23を移動させた後、直動モータ24Aおよびリニアモータ23Aを駆動し、押圧ローラ24を上方に退避させ、スライドプレート23を初期位置に復帰させることで、剥離用テープPTを一対の把持爪27C間に位置させる。そして、保持手段20がチャックシリンダ27およびリニアモータ27Aを駆動し、図2(A)に示すように、把持爪27Cで剥離用テープPTを把持した後、チャックシリンダ27を右方向に移動させて剥離用テープPTを引き出す。
次に、保持手段20が直動モータ26Aを駆動し、図2(A)中二点鎖線で示すように、押圧ヘッド26を降下させ、当該押圧ヘッド26で剥離用テープPTを接着シートASの外縁領域に押圧した後、図示しない強制接続手段を駆動し、接着シートASに剥離用テープPTを貼付する。なお、押圧ヘッド26を降下させる際、保持手段20が回動モータ22Aを駆動し、剥離用テープPTを繰り出してもよい。次いで、保持手段20が直動モータ24Aを駆動し、押圧ローラ24とスライドプレート23とで剥離用テープPTを挟み込んだ後、直動モータ25Aを駆動し、切断刃25を下降させて剥離用テープPTを切断する。そして、保持手段20が直動モータ25A、26Aを駆動し、切断刃25および押圧ヘッド26を初期位置に復帰させた後、図示しない駆動機器を駆動し、フレーム28を上昇させる。
次に、押圧手段30がリニアモータ31Aおよび直動モータ31Cを駆動し、図2(B)に示すように、剥離用テープPTを介して接着シートASの右端縁部を第1押圧ローラ31の最下部で押圧した後、再押圧手段40がリニアモータ41Aを駆動し、ガイドローラ41を第1押圧ローラ31の右上方に配置させる。次いで、再押圧手段40が回動モータ42Aおよび直動モータ42Dを駆動し、図2(B)に示すように、剥離用テープPTまたは既剥離部AS3を介してウエハWFを押圧できる位置にまで第2押圧ローラ42を移動させる。ここで、第2押圧ローラ42は、接着シートASが剥離された直後のウエハWFを既剥離押圧部AS4を介して再度押圧できる位置に配置されることとなるが、接着シートASが剥離された直後とは、未剥離押圧部AS2から右方向へ0.1mm〜10mm程度離れた位置、すなわち、未剥離押圧部AS2と既剥離押圧部AS4との押圧間距離PDが0.1mm〜10mm程度が例示できる。なお、押圧間距離PDは、第1押圧ローラ31で案内される既剥離部AS3と、第2押圧ローラ42で案内される既剥離部AS3または剥離用テープPTとが接触することがなければ、0.1mm以下でもよいし、10mm以上でもよく、接着シートAS、ウエハWFおよび剥離用テープPTの少なくとも一つの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量等や、雰囲気の条件や、支持テーブル51がウエハWFを保持する力や、その他の要因等を考慮して作業者が任意に決定することができる。なお、第1押圧ローラ31で案内される既剥離部AS3と、第2押圧ローラ42で案内される既剥離部AS3または剥離用テープPTとが接触することを防止する板状部材やローラ等の図示しない接触防止手段を設けてもよい。
次に、保持手段20および搬送手段50がリニアモータ27A、51Aを駆動し、図2(C)に示すように、チャックシリンダ27を左方へ、支持テーブル51を右方へ、同じ速度で移動させることでウエハWFから接着シートASを剥離していく。これにより、ウエハWFは、未剥離押圧部AS2と既剥離押圧部AS4とで押え付けられながら接着シートASが剥離される。このとき、押圧手段30が直動モータ31Cを駆動し、未剥離押圧部AS2を介してウエハWFを押圧する押圧力が所定の値となるように、当該直動モータ31Cのトルクの制御を行うとともに、再押圧手段40が直動モータ42Dを駆動し、既剥離押圧部AS4を介してウエハWFを押圧する押圧力が所定の値となるように、当該直動モータ42Dのトルクの制御を行う。また、再押圧手段40が直動モータ41Cを駆動し、第1押圧ローラ31と第2押圧ローラ42との間に位置する既剥離部AS3が弛まないように、当該直動モータ41Cのトルクの制御を行う。ここで、直動モータ31C、41C、42Dが出力するトルクは、接着シートAS、ウエハWFおよび剥離用テープPTの少なくとも一つの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量等や、雰囲気の条件や、支持テーブル51がウエハWFを保持する力や、その他の要因等を考慮して作業者が任意に決定することができる。そして、ウエハWFから接着シートASを完全に剥離すると、保持手段20がチャックシリンダ27を駆動し、把持爪27Cによる剥離用テープPTの把持を解除してウエハWFから剥離した接着シートASを落下させ、箱、網、袋等の図示しない収容手段内に収容する。なお、接着シートASがウエハWFから全て剥離されると、搬送手段50が図示しない減圧手段の駆動を停止し、図示しない搬送手段がウエハWFを次の工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような本実施形態によれば、接着シートASが剥離された直後のウエハWF部分を再度押圧するので、当該接着シートASが剥離された直後のウエハWF部分が、剥離される接着シートASと共に当該接着シートASの剥離方向へ移動することを抑制でき、ウエハWFに極力ストレスを与えることなく当該ウエハWFに貼付された接着シートASを剥離することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、自身に対して相対移動される被着体に貼付された接着シートを保持して当該被着体から接着シートを剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
保持手段20は、ウエハWFから接着シートASを剥離した後に剥離用テープPTを切断するようにしてもよいし、切断刃25や直動モータ25Aを設けなくてもよいし、強制接続手段として、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線、赤外線、X線、マイクロ波等の電磁波照射手段、超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段、レーザ照射手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、剥離用テープPTおよび接着シートASの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じてそれらを接着させることができれば何を採用してもよいし、強制接続手段を採用しなくてもよいし、巻回された剥離用テープPTを切断することなく他のローラで巻回して回収する構成でもよいし、チャックシリンダ27に代えてまたは併用して、メカチャック等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で剥離用テープPTを保持する構成でもよいし、剥離用テープPTを介することなく、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートASを直接保持する構成でもよい。
押圧手段30は、図3(A)に示すように、ブレード材32で構成してもよいし、図3(B)に示すように、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧するエア押圧手段33を採用してもよく、第1押圧部材をエアの吹き付けで構成した場合、第1押圧力調整手段は、エアの吹き付け力を調整するレギュレータやスピコン等を採用することができる。
再押圧手段40は、図3(A)に示すように、ブレード材44で構成してもよいし、図3(B)に示すように、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧するエア押圧手段45を採用してもよいし、図3(C)に示すように、ガイドローラ41を1つまたは複数設けてもよいし(図3(C)では2つ)、ガイドローラ41に代えてまたは併用して、大気やガス等のエアの吹き付けにより第1、第2押圧ローラ31、42間に位置する既剥離部AS3を付勢するエア付勢手段や、ブレード材やシャフト材を採用してもよいし、第2押圧部材がエアの吹き付けで構成された場合や、エア付勢手段を採用した場合、第2押圧力調整手段や、エア付勢手段の付勢力を調整する付勢力調整手段は、エアの吹き付け力を調整するレギュレータやスピコン等を採用することができる。
搬送手段50は、支持テーブル51を停止させておき、保持手段20と、押圧手段30および再押圧手段40とを相対移動させて、または、保持手段20を停止させておき、押圧手段30および再押圧手段40と、支持テーブル51とを相対移動させて上記同様の接着シートASの剥離動作を行ってもよいし、ウエハWFを他の装置で搬送する場合、本発明において搬送手段50はなくてもよい。
シート剥離装置10は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、被着体の下面や側面等に貼付された接着シートASを剥離するように構成してもよいし、接着シートASを剥離する前段で、接着シートASの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて、紫外線や赤外線等の電磁波照射手段、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、接着シートASの接着力を低下させる接着力低下手段を設けてもよい。このような接着力低下手段は、接着シートASの接着力を一括で低下するように構成してもよいし、接着シートASの接着力が部分的に低下するように構成し、接着シートASが貼付された被着体との相対移動で当該接着シートAS全体の接着力が低下するように構成してもよい。
本発明における接着シートAS、剥離用テープPT、ウエハWF等の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有する3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
また、剥離用テープPTは、感圧接着性の接着シートや感熱接着性の接着シートであってもよく、感圧接着性の接着シートが採用された場合、押圧ヘッド26は加熱手段を備えていてもよいし、備えていなくてもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
また、前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
10…シート剥離装置
20…保持手段
30…押圧手段
31C…直動モータ(第1押圧力調整手段)
40…再押圧手段
42D…直動モータ(第2押圧力調整手段)
AS…接着シート
AS1…未剥離部
AS2…未剥離押圧部
AS3…既剥離部
AS4…既剥離押圧部
WF…ウエハ(被着体)

Claims (4)

  1. 被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置において、
    自身に対して相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持して当該被着体から前記接着シートを剥離する保持手段と、
    前記保持手段との相対移動によって剥離中の前記接着シートにおける未剥離部を押圧し、当該押圧による未剥離押圧部を介して前記被着体を押圧する押圧手段とを備え、
    前記保持手段との相対移動によって剥離中であり、前記押圧手段で前記被着体に押圧された後の前記接着シートにおける既剥離部を押圧し、当該押圧による既剥離押圧部を介して当該接着シートが剥離された直後の前記被着体を再度押圧する再押圧手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
  2. 前記押圧手段は、当該押圧手段の押圧力を調整する第1押圧力調整手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。
  3. 前記再押圧手段は、当該再押圧手段の押圧力を調整する第2押圧力調整手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。
  4. 被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離方法において、
    前記被着体に貼付された接着シートを保持手段で保持する保持工程と、
    前記保持手段と被着体とを相対移動させる移動工程と、
    前記被着体との相対移動によって剥離中の前記接着シートにおける未剥離部を押圧し、当該押圧による未剥離押圧部を介して前記被着体を押圧する押圧工程とを備え、
    前記被着体との相対移動によって剥離中であり、前記押圧工程で前記被着体に押圧された後の前記接着シートにおける既剥離部を押圧し、当該押圧による既剥離押圧部を介して当該接着シートが剥離された直後の前記被着体を再度押圧する再押圧工程を有することを特徴とするシート剥離方法。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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