WO2020084967A1

WO2020084967A1 - 被着体処理方法

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Publication number: WO2020084967A1
Application number: PCT/JP2019/036712
Authority: WO
Inventors: 厚史上道
Original assignee: リンテック株式会社
Priority date: 2018-10-25
Filing date: 2019-09-19
Publication date: 2020-04-30
Also published as: TW202036776A; JP2020068326A

Abstract

被着体が破損することなく、当該被着体のフレーム部材への一体化と、当該被着体からのシート材の剥離とを実施することができる被着体処理方法は、一方の面ＷＫ１にシート材ＳＭが貼付された被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側およびフレーム部材ＲＦに第１接着シートＡＳ１を貼付し、それらを一体化してシート材ＳＭ付き一体物ＵＰを形成する一体化工程と、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰから当該シート材ＳＭを剥離して一体物ＵＰを形成する剥離工程とを実施し、一体化工程の前段で、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に破損防止シートＡＳ２を貼付する破損防止シート貼付工程を実施し、当該破損防止シート貼付工程では、以降の工程で付与される最大の負荷を考慮し、当該最大の負荷によって被着体ＷＫが破損しない剛性を備えた破損防止シートＡＳ２が選定される。

Description

被着体処理方法

　本発明は、被着体処理方法に関する。

　従来、一方の面にシート材が貼付された被着体の他方の面と、フレーム部材とに第１接着シートを貼付し、当該被着体からシート材を剥離して一体物を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

日本国特開２００５－３１７７１２号公報

　しかしながら、特許文献１に記載されたウエハ処理方法（被着体処理方法）では、一方の面に保護テープＰＴ（シート材）が貼付されたウエハＷ（被着体）の他方の面と、リングフレームＲＦ（フレーム部材）とにダイシングテープＤＴ（第１接着シート）を貼付し、当該被着体からシート材を剥離して当該シート材の無いワークＫ（一体物）を形成する一連の動作を行う際、被着体の他方の面に接着シートＳを貼付するものの、テープ貼付ユニット１６による被着体とリングフレームＲＦとの一体化工程（一体化工程）や、テープ剥離ユニット１７によるシート材の剥離工程（剥離工程）において、稀に何れかの工程の負荷によって当該被着体が破損するという不都合がある。

　本発明の目的は、被着体が破損することなく、当該被着体のフレーム部材への一体化と、当該被着体からのシート材の剥離とを実施することができる被着体処理方法を提供することにある。

　本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

　本発明によれば、破損防止シート貼付工程において、以降の工程での最大の負荷を考慮して、当該最大の負荷によって被着体が破損しない剛性を備えた破損防止シートが選定されるので、被着体が破損することなく、当該被着体のフレーム部材への一体化と、当該被着体からのシート材の剥離とを実施することができる。
　剛性とは、圧縮、ずれ、ねじれ等の外力に対する物体の変形し難い性質のことである。

（Ａ）～（Ｃ）は、本発明の実施形態に係る被着体処理方法の説明図である。

　以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
　なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

　本発明の被着体処理方法は、例えば、以下の被着体処理装置ＥＡによって実施することができる。
　すなわち、被着体処理装置ＥＡは、一方の面ＷＫ１にシート材ＳＭが貼付された被着体ＷＫとフレーム部材としてのリングフレームＲＦとが所定の位置関係となるようにそれらを配置する配置工程を実施する配置手段１０と、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側およびリングフレームＲＦに第１接着シートＡＳ１を貼付し、それらを一体化してシート材ＳＭ付き一体物ＵＰを形成する一体化工程を実施する一体化手段２０と、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰを搬送する第１搬送工程を実施する第１搬送手段３０と、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰから当該シート材ＳＭを剥離して一体物ＵＰを形成する剥離工程を実施する剥離手段４０と、一体物ＵＰを搬送する第２搬送工程を実施する第２搬送手段５０と、配置手段１０と一体化手段２０との間に配置され、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に破損防止シートＡＳ２を貼付する破損防止シート貼付工程を実施する破損防止シート貼付手段６０を備え、被着体ＷＫやリングフレームＲＦを運搬する運搬手段７０の近傍に配置されている。

　配置手段１０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム１１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット１１と、先端アーム１１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面１２Ａを有する支持アーム１２とを備えている。

　一体化手段２０は、帯状の第１剥離シートＲＬ１の一方の面に第１接着シートＡＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ２１Ａと、第１原反ＲＳ１を案内するガイドローラ２１Ｂと、剥離縁２２Ａで第１剥離シートＲＬ１を折り曲げて当該第１剥離シートＲＬ１から第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段としての剥離板２２と、第１剥離シートＲＬ１から剥離した第１接着シートＡＳ１をリングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１および被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２４Ｂとで第１剥離シートＲＬ１を挟み込む駆動ローラ２４と、図示しない駆動機器によって駆動し、被着体処理装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ２４Ｂとの間に存在する第１剥離シートＲＬ１に常に所定の張力を付与し、当該第１剥離シートＲＬ１を回収する回収手段としての回収ローラ２４Ｃとを備えている。

　第１搬送手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ３２と、その出力軸３２Ａに支持され、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰを把持するチャックアーム３３Ａを有する駆動機器（保持手段）としてのチャックモータ３３とを備えている。

　剥離手段４０は、保持手段としての帯状の剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ４１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ４２と、駆動機器としての直動モータ４３の出力軸４３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ４４と、駆動機器としての回動モータ４５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ４５Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ４５と、図示しない駆動機器によって駆動し、被着体処理装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ４５Ｂとの間に存在する剥離用テープＰＴに常に所定の張力を付与し、当該剥離用テープＰＴを回収する回収手段としての回収ローラ４５Ｃとを備えている。

　第２搬送手段５０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム５１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット５１と、先端アーム５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面５２Ａを有する支持アーム５２とを備えている。

　破損防止シート貼付手段６０は、帯状の第２剥離シートＲＬ２の一方の面に破損防止シートＡＳ２が仮着された第２原反ＲＳ２を支持する支持ローラ６１Ａと、第２原反ＲＳ２を案内するガイドローラ６１Ｂと、剥離縁６２Ａで第２剥離シートＲＬ２を折り曲げて当該第２剥離シートＲＬ２から破損防止シートＡＳ２を剥離する剥離手段としての剥離板６２と、第２剥離シートＲＬ２から剥離した破損防止シートＡＳ２を被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ６３と、駆動機器としての回動モータ６４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ６４Ｂとで第２剥離シートＲＬ２を挟み込む駆動ローラ６４と、図示しない駆動機器によって駆動し、被着体処理装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ６４Ｂとの間に存在する第２剥離シートＲＬ２に常に所定の張力を付与し、当該第２剥離シートＲＬ２を回収する回収手段としての回収ローラ６４Ｃと、被着体搬送手段７０に支持され、所定のエネルギーとしての熱を付与可能なエネルギー付与手段としてのコイルヒータ６５とを備えている。

　運搬手段７０は、一方の面ＷＫ１にシート材ＳＭが貼付された被着体ＷＫが配置される被着体載置台７１と、複数のリングフレームＲＦを載置可能なリングフレーム載置台７２と、駆動機器としてのリニアモータ７３のスライダ７３Ａに支持され、上面が支持面７４Ａとされた外側テーブル７４と、外側テーブル７４に形成された凹部７４Ｂ内に支持された駆動機器としての直動モータ７５と、その出力軸７５Ａに支持され上面が支持面７６Ａとされた内側テーブル７６と、支持面７４Ａ、７６Ａに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）とを備えている。なお、外側テーブル７４の後側縁部には、チャックアーム３３Ａが入り込む切欠部７４Ｃが形成されている。また、加熱手段６５は、内側テーブル７６に内蔵されている。

　以上の被着体処理装置ＥＡにより実施される本発明の被着体処理方法を説明する。
　先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された被着体処理装置ＥＡに対し、当該被着体処理装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が第２原反ＲＳ１、剥離用テープＰＴおよびリングフレームＲＦを同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、一体化手段２０および破損防止シート貼付手段６０が回動モータ２４Ａ、６４Ａを駆動し、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出し、先頭の第１接着シートＡＳ１、破損防止シートＡＳ２の繰出方向先端部がそれぞれ剥離板２２、６２の剥離縁２２Ａ、６２Ａで第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２から所定長さ剥離されると、回動モータ２４Ａ、６４Ａの駆動を停止する。

　次いで、使用者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が図１（Ａ）に示すように、シート材ＳＭを下側にして被着体ＷＫを被着体載置台７１上に載置すると、配置手段１０による以下の配置工程が実施される。
　すなわち、配置工程では、配置手段１０が多関節ロボット１１を駆動し、被着体載置台７１上の被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２上に支持アーム１２を当接させ、図示しない減圧手段を駆動し、支持面１２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、配置手段１０が多関節ロボット１１を駆動し、支持アーム１２で吸着保持した被着体ＷＫに貼付されているシート材ＳＭを内側テーブル７６上に載置すると、運搬手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面７６Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。次に、配置手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除した後、多関節ロボット１１を駆動し、支持アーム１２を被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２から離間させる。そして、配置手段１０が多関節ロボット１１および図示しない減圧手段を駆動し、リングフレーム載置台７２上のリングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１上に支持アーム１２を当接させ、支持面１２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始した後、当該リングフレームＲＦを外側テーブル７４上に載置する。次いで、運搬手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面７４ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始すると、配置手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を解除した後、多関節ロボット１１を駆動し、支持アーム１２を初期位置に復帰させ、配置工程が完了する。このとき、上方から見下ろした上面視において、被着体ＷＫがリングフレームＲＦの開口部ＲＦＨ内に収まるように配置されることで、それらが所定の位置関係となるように配置される。
　なお、上記配置工程では、例えば、被着体ＷＫを内側テーブル７６上に載置する際に、当該被着体ＷＫに最大の負荷が付与されることとし、この負荷を第１の負荷とする。

　ここで、本実施形態の場合、一体化工程の前段であって配置工程の後段で、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に破損防止シートＡＳ２を貼付する破損防止シート貼付工程が実施される。この破損防止シート貼付工程では、以降の工程（一体化工程、第１搬送工程、剥離工程および第２搬送工程）で付与される最大の負荷（第２の負荷、第３の負荷、第４の負荷および第５の負荷のうち最大の負荷）を考慮し、当該最大の負荷によって被着体ＷＫが破損しない剛性を備えた破損防止シートＡＳ２が選定される。
　すなわち、破損防止シート貼付工程では、運搬手段７０が直動モータ７５を駆動し、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２がリングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１と同一平面内に位置する高さまたは、リングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１よりも上方に位置する高さまで内側テーブル７６を上昇させた後、リニアモータ７３を駆動し、スライダ７３Ａを左方へ移動させる。ここで、破損防止シート貼付手段６０には、上述のような剛性を備えた破損防止シートＡＳ２を有する第２原反ＲＳ２が、予め使用者によって図１（Ａ）に示すようにセットされている。その後、リングフレームＲＦが破損防止シート貼付手段６０に対する所定の位置に到達すると、当該破損防止シート貼付手段６０が回動モータ６４Ａを駆動し、スライダ７３Ａの移動速度に合わせて第２原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、破損防止シートＡＳ２が第２剥離シートＲＬ２から剥離され、当該第２剥離シートＲＬ２から剥離された破損防止シートＡＳ２は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ６３によって被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に押圧されて貼付される。次に、先頭の破損防止シートＡＳ２に次ぐ次の破損防止シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板６２の剥離縁６２Ａで第２剥離シートＲＬ２から所定長さ剥離されると、破損防止シートＡＳ２が回動モータ６４Ａの駆動を停止し、破損防止シート貼付工程が完了する。
　なお、破損防止シートＡＳ２が所定のエネルギーとしての熱によって硬化し、その剛性が向上するものの場合、破損防止シート貼付手段６０がコイルヒータ６５を駆動し、破損防止シートＡＳ２に熱を付与して当該破損防止シートＡＳ２を硬化させるという内容のエネルギー付与工程を実施してもよい。

　破損防止シート貼付工程が完了すると、一体化手段２０による以下の一体化工程が実施される。
　すなわち、一体化工程では、リニアモータ７３の駆動によるスライダ７３Ａの左方への移動の続行中に、運搬手段７０が直動モータ７５を駆動し、破損防止シートＡＳ２の上面をリングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１と同一平面内に位置させる。そして、リングフレームＲＦが一体化手段２０に対する所定の位置に到達すると、当該一体化手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、スライダ７３Ａの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、第１接着シートＡＳ１が第１剥離シートＲＬ１から剥離され、当該第１剥離シートＲＬ１から剥離された第１接着シートＡＳ１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ２３によってリングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１および破損防止シートＡＳ２上に押圧されて貼付され、これによりシート材ＳＭ付き一体物ＵＰが形成される。次いで、先頭の第１接着シートＡＳ１に次ぐ次の第１接着シートＡＳ１の繰出方向先端部が剥離板２２の剥離縁２２Ａで第１剥離シートＲＬ１から所定長さ剥離されると、一体化手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止し、一体化工程が完了する。
　なお、上記一体化工程では、例えば、押圧ローラ６３によって第１接着シートＡＳ１を破損防止シートＡＳ２上に押圧して貼付する際に、被着体ＷＫに最大の負荷が付与されることとし、この負荷を第２の負荷とする。

　一体化工程が完了すると、第１搬送手段３０による以下の第１搬送工程が実施される。
　すなわち、第１搬送工程は、リニアモータ７３の駆動によるスライダ７３Ａの左方への移動の続行により、チャックアーム３３Ａの前方に切欠部７４Ｃが到達すると、運搬手段７０がリニアモータ７３の駆動を停止した後、第１搬送手段３０がチャックモータ３３を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、チャックアーム３３Ａでシート材ＳＭ付き一体物ＵＰを保持する工程である。その後、運搬手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面７４Ａ、７６Ａでのシート材ＳＭ付き一体物ＵＰの吸着保持を解除すると、第１搬送手段３０がリニアモータ３１および回動モータ３２を駆動し、図３（Ｂ）中二点鎖線で示すように、チャックアーム３３Ａで保持したシート材ＳＭ付き一体物ＵＰを所定高さにまで持ち上げ、当該シート材ＳＭ付き一体物ＵＰを上下反転させる。次に、運搬手段７０が直動モータ７５を駆動し、内側テーブル７６を初期位置に復帰させた後、第１搬送手段３０がリニアモータ３１を駆動し、第１接着シートＡＳ１を下側にしてシート材ＳＭ付き一体物ＵＰを保持面７４Ａ、７６Ａ上に載置する。そして、運搬手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面７４Ａ、７６Ａでのシート材ＳＭ付き一体物ＵＰの吸着保持を開始すると、第１搬送手段３０がチャックモータ３３を駆動し、チャックアーム３３Ａを初期位置に復帰させ、第１搬送工程が完了する。
　なお、上記第１搬送工程では、例えば、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰを上下反転させる際に、被着体ＷＫに最大の負荷が付与されることとし、この負荷を第３の負荷とする。

　第１搬送工程が完了すると、剥離手段４０による以下の剥離工程が実施される。
　すなわち、剥離工程では、運搬手段７０がリニアモータ７３を駆動し、スライダ７３Ａを左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰにおけるシート材ＳＭの左端部が剥離ローラ４４の最下端部直下に到達すると、リニアモータ７３の駆動を停止する。次いで、剥離手段４０が直動モータ４３を駆動し、剥離ローラ４４を下降させて剥離用テープＰＴをシート材ＳＭの左端部に貼付すると、運搬手段７０および剥離手段４０がリニアモータ７３および回動モータ４５Ａを駆動し、スライダ７３Ａを左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用テープＰＴを回収ローラ４５Ｃ方向へ送る。これにより、図３（Ｃ）に示すように、シート材ＳＭが被着体ＷＫから剥離され、当該シート材ＳＭ全体が被着体ＷＫから剥離されて一体物ＵＰが形成されると、剥離手段４０が直動モータ４３を駆動し、剥離ローラ４４を初期位置に復帰させた後、回動モータ４５Ａの駆動を停止し、剥離工程が完了する。
　なお、上記剥離工程では、例えば、剥離用テープＰＴをシート材ＳＭの左端部に貼付する際に、被着体ＷＫに最大の負荷が付与されることとし、この負荷を第４の負荷とする。

　剥離工程が完了すると、第２搬送手段５０による以下の第２搬送工程が実施される。
　すなわち、第２搬送工程では、リニアモータ７３の駆動によるスライダ７３Ａの左方への移動の続行により、スライダ７３Ａが所定の位置に到達すると、運搬手段７０がリニアモータ７３の駆動を停止する。その後、第２搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、外側テーブル７４上のリングフレームＲＦの他方の面ＲＦ２上に支持アーム５２を当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、支持面５２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始する。次に、運搬手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面７４Ａ、７６Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を解除した後、第２搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、一体物ＵＰを次工程に搬送すると、運搬手段７０がリニアモータ７３を駆動し、スライダ７３Ａを初期位置に復帰させる。そして、第２搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、支持アーム５２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
　なお、上記第２搬送工程では、例えば、一体物ＵＰを保持面７４Ａ、７６Ａから離間させる際に、被着体ＷＫに最大の負荷が付与されることとし、この負荷を第５の負荷とする。

　以上のような実施形態によれば、破損防止シート貼付工程において、以降の工程（一体化工程、第１搬送工程、剥離工程および第２搬送工程）での最大の負荷（第２の負荷、第３の負荷、第４の負荷および第５の負荷のうち最大の負荷、例えば、第４の負荷）を考慮して、当該最大の負荷（第４の負荷）によって被着体ＷＫが破損しない剛性を備えた破損防止シートＡＳ２が選定されるので、被着体ＷＫが破損することなく、当該被着体ＷＫのリングフレームＲＦへの一体化と、当該被着体ＷＫからのシート材ＳＭの剥離とを実施することができる。

　本発明における手段及び工程は、それら手段及び工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる１実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、一体化工程は、一方の面にシート材が貼付された被着体の他方の面側およびフレーム部材に第１接着シートを貼付し、それらを一体化してシート材付き一体物を形成するという内容の工程であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

　配置工程では、リングフレームＲＦを外側テーブル７４上に載置した後、シート材ＳＭが貼付された被着体ＷＫを内側テーブル７６上に載置してもよいし、シート材ＳＭが貼付された被着体ＷＫとリングフレームＲＦとの両方を、同時に内側テーブル７６と外側テーブル７４とに載置してもよいし、例えば、上面視において、リングフレームＲＦの開口部ＲＦＨ内に被着体ＷＫが収まらないように配置することで、それらが所定の位置関係となるように配置してもよいし、本発明の被着体処理方法を実施する前段で、一方の面ＷＫ１にシート材ＳＭが貼付された被着体ＷＫとリングフレームＲＦとが所定の位置関係となるように配置されていれば、本発明の被着体処理方法において配置工程は実施されなくてもよい。

　一体化工程では、剥離シートに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第１接着シートＡＳ１とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第１接着シートＡＳ１としてもよいし、第１原反ＲＳ１を支持する際、当該第１原反ＲＳ１を巻回することなく例えばファンフォールド折りの状態で支持してもよいし、第１剥離シートＲＬ１を回収する際、巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよいし、被着体ＷＫやリングフレームＲＦを移動させずにまたは移動させつつ、押圧ローラ２３等を移動させ、リングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１および被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側に、第１接着シートＡＳ１を貼付してそれらを一体化し、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰを形成してもよい。一体化工程は、第１接着シートＡＳ１を接着面の反対側から保持部材で保持し、保持した第１接着シートＡＳ１をリングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１および被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側に貼付する押圧手段としての駆動機器を備えた一体化手段によって実施されてもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置したりした一体化手段によって実施されてもよいし、押圧ローラ２３をリングフレームＲＦや被着体ＷＫに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、リングフレームＲＦや被着体ＷＫにストレスがかかったり損傷したりすることを防止することが可能な一体化手段によって実施されてもよい。一体化工程では、リングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１および破損防止シートＡＳ２上に第１接着シートＡＳ１を貼付する際、破損防止シートＡＳ２の上面をリングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１よりも上方としてもよいし下方としてよい。

　第１搬送工程では、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰにおけるリングフレームＲＦ、第１接着シートＡＳ１、被着体ＷＫおよび、被着体ＷＫに貼付されたシート材ＳＭのうち少なくとも１つを保持してもよいし、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰを上昇させることなく、外側テーブル７４や内側テーブル７６を移動させておいて当該シート材ＳＭ付き一体物ＵＰを上下反転させてもよい。第１搬送工程は、運搬手段７０に支持されている第１搬送手段によって実施されてもよい。第１搬送工程は、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰを上下反転させることなく被着体ＷＫからシート材ＳＭを剥離できる場合等、シート材ＳＭ付き一体物ＵＰを搬送する必要がなければ、実施されなくてもよい。例えば、一体化手段と剥離手段とのそれぞれがシート材ＳＭ付き一体物ＵＰを運搬する運搬手段を個別に備えている場合、第１搬送工程の構成は、一体化手段の運搬手段から剥離手段の運搬手段へシート材ＳＭ付き一体物ＵＰを搬送するものとしてもよい。

　剥離工程では、スライダ７３Ａの移動を停止させることなく、剥離用テープＰＴをシート材ＳＭに貼付してもよいし、剥離ローラ４４を昇降させることなく、剥離用テープＰＴをシート材ＳＭに貼付してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材でシート材ＳＭを保持し、当該保持部材で保持したシート材ＳＭを被着体ＷＫから離間させて剥離してもよい。剥離工程は、運搬手段７０に支持されている剥離手段によって実施されてもよい。剥離工程では、枚葉の剥離用テープＰＴをシート材ＳＭに貼付し、当該枚葉の剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫからシート材ＳＭを剥離してもよいし、被着体ＷＫを移動させずにまたは移動させつつ、自身が移動して被着体ＷＫからシート材ＳＭを剥離してもよい。剥離工程では、例えば、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の接着力低減エネルギーによって、接着力が低減するシート材ＳＭが採用されている場合、シート材ＳＭを被着体ＷＫから剥離する前段で、当該シート材ＳＭに接着力低減エネルギーを付与する接着力低減エネルギー付与工程が実施されることとしてもよい。

　第２搬送工程では、一体物ＵＰにおけるリングフレームＲＦ、第１接着シートＡＳ１および被着体ＷＫのうち少なくとも１つを保持してもよい。第２搬送工程は、運搬手段７０に支持されている第２搬送手段によって実施されてもよい。本発明の被着体処理方法を実施した後段で、一体物ＵＰを搬送する場合、本発明の被着体処理方法において第２搬送工程は実施されなくてもよい。

　破損防止シート貼付工程は、配置工程の前段で実施されてもよく、この場合、例えば、図示しない搬送手段が、シート材が貼付された被着体ＷＫを被着体載置台７１上に載置した後、破損防止シート貼付手段６０で被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に破損防止シートＡＳ２を貼付し、その後、配置手段１０が被着体ＷＫとリングフレームＲＦとを内側テーブル７６と外側テーブル７４とに載置し、その後、一体化工程等が実施されることとすればよい。この際、破損防止シート貼付工程では、各工程（配置工程、一体化工程、第１搬送工程、剥離工程および第２搬送工程）での最大の負荷（第１の負荷、第２の負荷、第３の負荷、第４の負荷および第５の負荷のうち最大の負荷）のことを考慮し、当該最大の負荷によって被着体ＷＫが破損しない剛性を備えた破損防止シートＡＳ２が選定される。
　破損防止シート貼付工程では、剥離シートに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が破損防止シートＡＳ２とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を破損防止シートＡＳ２としてもよいし、破損防止シートＡＳ２を支持する際、当該破損防止シートＡＳ２を巻回することなく例えばファンフォールド折りの状態で支持してもよいし、第２剥離シートＲＬ２を回収する際、巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよいし、被着体ＷＫやリングフレームＲＦを移動させずにまたは移動させつつ、押圧ローラ６３等を移動させ、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に破損防止シートＡＳ２を貼付してもよい。破損防止シート貼付工程は、破損防止シートＡＳ２を接着面の反対側から保持部材で保持し、保持した破損防止シートＡＳ２を被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に貼付する押圧手段としての駆動機器を備えた破損防止シート貼付手段によって実施されてもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置した破損防止シート貼付手段によって実施されてもよいし、押圧ローラ６３を被着体ＷＫに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、被着体ＷＫにストレスがかかったり損傷したりすることを防止することが可能な損防止シート貼付手段によって実施されてもよい。破損防止シート貼付工程では、破損防止シートＡＳ２に所定のエネルギーを付与しなくてもよいし、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に破損防止シートＡＳ２を貼付する際、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２をリングフレームＲＦの一方の面ＲＦ１よりも下方としてよい。

　運搬工程では、シート材ＳＭを上側にして被着体ＷＫが被着体載置台７１上に載置されてもよいし、複数の被着体ＷＫが被着体載置台７１上に載置されてもよいし、単数のリングフレームＲＦがリングフレーム載置台７２上に載置されてもよい。本発明の被着体処理方法において運搬工程は実施されなくてもよい。

　破損防止シートＡＳ２は、被着体ＷＫに貼付されることにより、破損防止シート貼付工程以降の工程（以降、「後工程」という）で付与される最大の負荷によって、当該被着体ＷＫを破損しないようにすることができる程度の剛性を備えたものでもよいし、被着体ＷＫに貼付されることなく単体であっても、後工程で付与される最大の負荷に耐えて、被着体ＷＫを破損させないようにすることができる程度の剛性を備えたものでもよい。
　破損防止シートＡＳ２は、熱湯や熱風等の熱、冷却された気体や液体等の冷却媒体、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等のあらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を所定のエネルギーとし、当該所定のエネルギーが付与されることで硬化するエネルギー硬化型のものが採用されてもよいし、エネルギー硬化型のものが採用されなくてもよい。破損防止シートＡＳ２にエネルギー硬化型のものが採用された場合、エネルギー付与工程では、破損防止シートＡＳ２の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮し、熱、冷却媒体、あらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を付与して当該破損防止シートＡＳ２を硬化させることができる。
　各工程（配置工程、一体化工程、第１搬送工程、剥離工程、第２搬送工程）において付与される最大の負荷は、上記に例示した際に付与される負荷でなく、例えば、配置工程において、被着体ＷＫを被着体載置台７１から離間させる際に、当該被着体ＷＫに最大の負荷が付与されることとし、この負荷を第１の負荷としてもよいし、第１搬送工程において、上下反転させたシート材ＳＭ付き一体物ＵＰを保持面７４Ａ、７６Ａ上に載置する際に、被着体ＷＫに最大の負荷が付与されることとし、この負荷を第３の負荷としてもよいし、第１の負荷、第２の負荷、第３の負荷、第４の負荷および第５の負荷のうち最大の負荷は第４の負荷ではなく、例えば、第１の負荷であってもよいし、第５の負荷であってもよい。
　被着体ＷＫが半導体ウエハや化合物ウエハの場合、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよいし、シート材ＳＭ、第１接着シートＡＳ１または破損防止シートＡＳ２は、回路が形成されている面に貼付されてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されてもよい。
　フレーム部材は、環状でもよいし、環状でなくてもよい。
　本発明の被着体処理方法は、被着体処理装置ＥＡ以外の装置や人手によって実施されてもよい。

　本発明におけるシート材ＳＭ、第１接着シートＡＳ１、破損防止シートＡＳ２および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、シート材ＳＭ、第１接着シートＡＳ１または破損防止シートＡＳ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このようなシート材ＳＭ、第１接着シートＡＳ１または破損防止シートＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方がされるものに換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等といったものでもよい。

　前記実施形態における駆動機器には、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
　前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

　ＡＳ１…第１接着シート
　ＡＳ２…破損防止シート
　ＲＦ…リングフレーム（フレーム部材）
　ＳＭ…シート材
　ＵＰ…一体物
　ＷＫ…被着体
　ＷＫ１…一方の面
　ＷＫ２…他方の面

Claims

　一方の面にシート材が貼付された被着体の他方の面側およびフレーム部材に第１接着シートを貼付し、それらを一体化してシート材付き一体物を形成する一体化工程と、
　前記シート材付き一体物から当該シート材を剥離して一体物を形成する剥離工程とを実施し、
　前記一体化工程の前段で、前記被着体の他方の面に破損防止シートを貼付する破損防止シート貼付工程を実施し、当該破損防止シート貼付工程では、以降の工程で付与される最大の負荷を考慮し、当該最大の負荷によって前記被着体が破損しない剛性を備えた前記破損防止シートが選定されることを特徴とする被着体処理方法。
　前記一体化工程の前段で、一方の面にシート材が貼付された被着体とフレーム部材とが所定の位置関係となるようにそれらを配置する配置工程を実施することを特徴とする請求項１に記載の被着体処理方法。
　前記一体化工程と剥離工程との間で、前記シート材付き一体物を搬送する第１搬送工程を実施することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の被着体処理方法。
　前記剥離工程の後、一体物を搬送する第２搬送工程を実施することを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の被着体処理方法。