JP3220900U - シート剥離装置 - Google Patents

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善男 荒井
善男 荒井
明紀 當摩
明紀 當摩
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リンテック株式会社
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【課題】剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとすることを防止することができるシート剥離装置を提供すること。
【解決手段】シート剥離装置EAは、被着体WKに貼付された接着シートASに剥離用テープPTを貼付する貼付機構10と、剥離用テープPTと被着体WKとを所定の剥離方向に相対移動させて被着体WKから接着シートASを剥離する移動機構20とを備え、貼付機構10は、剥離方向に交差する交差方向に延設された押圧部12Eが当該剥離方向に複数設けられた押圧部材12Dを備え、剥離用テープPTを線接触によって断続的に接着シートASに貼付する。
【選択図】図1

Description

本考案は、シート剥離装置に関する。
従来、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、剥離用テープと被着体とを相対移動させて被着体から接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−16862号公報
しかしながら、特許文献1に記載された保護シート剥離装置(シート剥離装置)では、ウエハW(被着体)から保護シートF(接着シート)を剥離する剥離方向に長いヒーター工具505(押圧部材)で、接着テープT(剥離用テープ)を接着シートに貼付するため、当該剥離用テープと接着シートとの接着領域も剥離方向に長いものとなる。従って、被着体から接着シートを剥離する際、剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとし、この一度に起き上がろうとする面状の貼付領域につられて被着体も起き上がろうとするので、当該被着体が破損するおそれがある。
本考案の目的は、剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとすることを防止することができるシート剥離装置を提供することにある。
本考案は、請求項に記載した構成を採用した。
本考案によれば、剥離方向に交差する交差方向に延びる線接触または点接触によって、剥離用テープを断続的に接着シートに貼付するので、剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとすることを防止することができる。
(A)〜(C)は、本考案の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図。(D)は、本考案の変形例に係るシート剥離装置の説明図。
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1(A)中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート剥離装置EAは、被着体WKに貼付された接着シートASに剥離用テープPTを貼付する貼付機構10と、剥離用テープPTと被着体WKとを所定の剥離方向(左右方向)に相対移動させて被着体WKから接着シートASを剥離する移動機構20とを備えている。
貼付機構10は、感熱接着性の剥離用テープPTを繰り出す繰出機構11と、接着シートASに剥離用テープPTを押圧して貼付する押圧機構12と、剥離用テープPTを所定長さに切断する切断機構13と、駆動機器としての直動モータ14の出力軸14Aに支持され、当該貼付機構10を構成する前述の各機構を直接的または間接的に支持するフレーム15とを備え、剥離用テープPTを線接触によって断続的に接着シートASに貼付する構成となっている。
繰出機構11は、剥離用テープPTを支持する支持ローラ11Aと、駆動機器としての回動モータ11Bの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ11Cとで剥離用テープPTを挟み込む駆動ローラ11Dと、剥離用テープPTを案内するガイドローラ11Eと、駆動機器としてのリニアモータ11Fのスライダ11Gに支持されたスライドプレート11Hと、駆動機器としての直動モータ11Jの出力軸11Kに回転可能に支持された押えローラ11Lと、駆動機器としてのリニアモータ11Mのスライダ11Nに支持され、一対の把持爪11Pを有する保持機構であって駆動機器としてのチャックシリンダ11Qとを備えている。
押圧機構12は、駆動機器としての直動モータ12Aと、その出力軸12Bに支持されたコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機構12Cと、加熱機構12Cに支持され、剥離方向に交差する交差方向(前後方向)に延設された押圧部12E(図1(A)中AA参照)が当該剥離方向に複数設けられた押圧部材12Dとを備えている。
切断機構13は、駆動機器としての直動モータ13Aと、その出力軸13Bに支持された切断刃13Cと、切断刃13Cを受ける受け板13Dとを備えている。
移動機構20は、駆動機器としてのリニアモータ21と、そのスライダ21Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機構(保持機構)によって吸着保持が可能な保持面22Aを有するテーブル22とを備えている。
以上のシート剥離装置EAの動作を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置EAに対し、当該シート剥離装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が剥離用テープPTを同図に示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作機器を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付機構10が加熱機構12Cを駆動し、シート剥離装置EAの自動運転が行われている間、押圧部材12Dを所定の温度に加熱してその温度を維持する。そして、使用者またはベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送機構が、図1(A)に示すように、接着シートASが貼付された被着体WKを保持面22A上に載置すると、移動機構20が図示しない減圧機構を駆動し、保持面22Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。
次いで、貼付機構10がリニアモータ11Fを駆動し、スライドプレート11Hを右方に移動させ、図1(A)中二点鎖線で示すように、一対の把持爪11P間に剥離用テープPTを繰り出す。その後、貼付機構10が直動モータ11Jを駆動し、押えローラ11Lを上方に退避させた後、リニアモータ11Fを駆動し、一対の把持爪11P間に剥離用テープPTを置き去りにしてスライドプレート11Hを初期位置に復帰させる。次に、貼付機構10がチャックシリンダ11Qを駆動し、把持爪11Pで剥離用テープPTを把持した後、リニアモータ11Mを駆動し、チャックシリンダ11Qを右方に移動させ、剥離用テープPTを引き出す。
そして、貼付機構10が直動モータ12Aを駆動し、押圧部材12Dを下降させ、図1(B)に示すように、押圧部12Eで剥離用テープPTを接着シートASの外縁部に押圧して貼付する。これにより、剥離用テープPTは、各押圧部12Eで押圧されているそれぞれの領域が独立し、接着シートASにそれぞれ線接触状態で断続的に貼付されることとなる。次いで、貼付機構10が直動モータ11Jを駆動し、押えローラ11Lを初期位置に復帰させた後、直動モータ13Aを駆動し、図1(B)に示すように、切断刃13Cを下降させて剥離用テープPTを切断する。その後、貼付機構10が直動モータ12A、13Aを駆動し、押圧部材12Dおよび切断刃13Cを初期位置に復帰させる。次に、貼付機構10が直動モータ14を駆動し、フレーム15を上方に退避させた後、リニアモータ11Mを駆動し、チャックシリンダ11Qを左方に移動させるとともに、移動機構20がリニアモータ21を駆動し、テーブル22を右方に移動させる。これにより、図1(C)に示すように、剥離用テープPTと被着体WKとが相対移動し、接着シートASが被着体WKから剥離される。
被着体WKから接着シートAS全体が剥離されると、移動機構20がリニアモータ21および図示しない減圧機構の駆動を停止し、保持面22Aでの被着体WKの吸着保持を解除する。そして、貼付機構10がチャックシリンダ11Qを駆動し、把持爪11Pによる剥離用テープPTの把持を解除して、剥離した接着シートASを回収する箱や袋等の図示しない回収機構や使用者に接着シートASを受け渡す。次いで、使用者または図示しない搬送機構が被着体WKを次工程に搬送した後、各機構がそれぞれの駆動機器を駆動し、それぞれの部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、剥離方向に交差する交差方向に延びる線接触によって、剥離用テープPTを断続的に接着シートASに貼付するので、剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとすることを防止することができる。
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。
貼付機構10は、図1(D)に示すように、押圧部材12Dの代わりに、剥離方向に交差する交差方向(前後方向)に点在された押圧部12Gが当該剥離方向に複数設けられた押圧部材12Fを採用し、剥離用テープPTを点接触によって断続的に接着シートASに貼付する構成としてもよし、押圧部12E、12Gが前後方向と左右方向との両方向に交差する方向に複数設けられた押圧部材12D、12Fが採用されてもよいし、先端が尖った押圧部12E、12Gを有する押圧部材12D、12Fが採用されてもよいし、押圧部12E、12Gに設けられる押圧部12E、12Gの数は、2つ以上であればいくつでもよいし、剥離方向に交差する交差方向は、剥離方向に対して1度、45度、90度、170度等、どのような角度で交差していてもよいし、帯状の剥離用テープPTを切断することなく接着シートASに貼付してもよいし、枚葉の剥離用テープPTを接着シートASに貼付してもよく、この場合、切断機構13はあってもよいし、なくてもよい。
貼付機構10は、感圧接着性の剥離用テープPTが採用されてもよく、この場合、加熱機構12Cはあってもよいし、なくてもよい。
押圧機構12は、放電加熱器、マイクロ波照射装置、温風吹付装置等の加熱機構を採用してもよいし、加熱機構に代えてまたは併用して、押圧部材12Dを振動させる超音波振動装置やバイブレータ等の振動機構を備えてもよい。
移動機構20は、チャックシリンダ11Qを移動させずにまたは移動させつつ、被着体WKを移動させて当該被着体WKから接着シートASを剥離してもよいし、所定の剥離方向を左右方向としたり上下方向としたりその他の方向としたりすることができる。
被着体WKは、シート部材を介してフレーム部材と一体化されていてもよい。
フレーム部材は、環状のものであってもよいし、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
本考案における接着シートAS、剥離用テープPT、シート部材および被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートAS、剥離用テープPTまたはシート部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、接着シートAS、剥離用テープPTまたはシート部材は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASやシート部材を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体WKに貼付することができる。
本考案における機構および工程は、それら機構および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、移動機構は、剥離用テープと被着体とを所定の剥離方向に相対移動させて被着体から接着シートを剥離するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の機構および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面やローラ自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、各ローラの表面やローラ自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧機構や押圧部材が採用されている場合、押圧機構や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)機構や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持機構、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断機構や切断部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断したりしてもよい。
EA…シート剥離装置
10…貼付機構
12D…押圧部材
12E…押圧部
12F…押圧部材
12G…押圧部
20…移動機構
AS…接着シート
PT…剥離用テープ
WK…被着体

Claims (2)

  1. 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する貼付機構と、
    前記剥離用テープと前記被着体とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動機構とを備え、
    前記貼付機構は、前記剥離方向に交差する交差方向に延設された押圧部が当該剥離方向に複数設けられた押圧部材を備え、前記剥離用テープを線接触によって断続的に前記接着シートに貼付することを特徴とするシート剥離装置。
  2. 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する貼付機構と、
    前記剥離用テープと前記被着体とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動機構とを備え、
    前記貼付機構は、前記剥離方向に交差する交差方向に点在された押圧部が当該剥離方向に複数設けられた押圧部材を備え、前記剥離用テープを点接触によって断続的に前記接着シートに貼付することを特徴とするシート剥離装置。
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