JP2021048378A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

シート貼付装置およびシート貼付方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2021048378A
JP2021048378A JP2019171832A JP2019171832A JP2021048378A JP 2021048378 A JP2021048378 A JP 2021048378A JP 2019171832 A JP2019171832 A JP 2019171832A JP 2019171832 A JP2019171832 A JP 2019171832A JP 2021048378 A JP2021048378 A JP 2021048378A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive sheet
sheet
feeding
slack
adherend
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2019171832A
Other languages
English (en)
Inventor
善男 荒井
Yoshio Arai
善男 荒井
Original Assignee
リンテック株式会社
Lintec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by リンテック株式会社, Lintec Corp filed Critical リンテック株式会社
Priority to JP2019171832A priority Critical patent/JP2021048378A/ja
Publication of JP2021048378A publication Critical patent/JP2021048378A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】接着シートの弛みによる貼付不良を防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置EAは、接着シートASを繰り出す繰出手段10と、繰出手段10で繰り出される接着シートASを当該接着シートASの繰出方向先端部AS1から順次被着体WKに押圧して貼付する押圧手段20と、被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を押圧手段20で貼付した状態で、当該接着シートASの未貼付部AS2の弛みASSを除去する弛み除去手段30とを備えている。【選択図】図1

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
従来、繰出手段で繰り出される接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から順次被着体に押圧して貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開平4−340746号公報
特許文献1に記載された貼着装置(シート貼付装置)では、プレスローラ43(押圧手段)でリングフレーム13(被着体)に粘着テープ41(接着シート)の繰出方向先端部を貼付した際、当該接着シートの未貼付部に弛みが形成される傾向がある(本願の図1(B)参照)。このような弛みが形成された状態で、接着シートの繰出方向先端部から順次被着体に押圧して貼付すると、当該弛みが皺となり、接着シートの貼付不良を招来するという不都合がある。このような不都合は、特許文献1に記載された貼着装置のように、被着体を接着シートに接近させて当該接着シートに被着体を貼付する場合に顕著化する。
本発明の目的は、接着シートの弛みによる貼付不良を防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、被着体に接着シートの繰出方向先端部を貼付した状態で、当該接着シートの未貼付部の弛みを除去するので、接着シートの弛みによる貼付不良を防止することができる。
(A)、(B)は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。(C)、(D)は、本発明の変形例に係るシート貼付装置の説明図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート貼付装置EAは、接着シートASを繰り出す繰出手段10と、繰出手段10で繰り出される接着シートASを当該接着シートASの繰出方向先端部AS1から順次被着体WKに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ20と、被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を押圧ローラ20で貼付した状態で、当該接着シートASの未貼付部AS2の弛みASSを除去する弛み除去手段30とを備え、被着体WKとシート貼付装置EAとを相対移動させる支持手段40の上方に配置されている。
繰出手段10は、剥離シートRLの一方の面に接着シートASが仮着された原反RSを支持する支持ローラ11と、原反RSを案内するガイドローラ12と、剥離縁13Aで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板13と、駆動機器としての回動モータ14Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ14Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ14と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ14Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収ローラ15とを備えている。
弛み除去手段30は、駆動機器としての回動モータ31Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ31Bとで原反RSを挟み込む弛み除去ローラ31を備え、繰出手段10が接着シートASを繰り出す繰出方向D1の反対方向である反繰出方向D2に、当該接着シートASを移動させて弛みASSを除去する構成になっている。
支持手段40は、駆動機器としてのリニアモータ41と、リニアモータ41のスライダ41Aに支持された駆動機器としての直動モータ42と、直動モータ42の出力軸42Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面43Aを有するテーブル43とを備えている。
以上のシート貼付装置EAの動作を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段10および弛み除去手段30が回動モータ14A、31Aを駆動し、原反RSを繰り出し、図1(A)中実線で示すように、先頭の接着シートASの繰出方向先端部AS1が剥離板13の剥離縁13Aで剥離され、当該繰出方向先端部AS1が押圧ローラ20の最下部に位置すると、回動モータ14A、31Aの駆動を停止する。
次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図1(A)中実線で示すように、被着体WKを支持面43A上の所定の位置に載置すると、支持手段40が図示しない減圧手段を駆動し、支持面43Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。その後、支持手段40がリニアモータ41を駆動し、図1(A)中二点鎖線で示すように、テーブル43を左方に移動させ、被着体WKの左端縁が押圧ローラ20の最下部を所定距離通過すると、支持手段40がリニアモータ41の駆動を停止する。次に、支持手段40が直動モータ42を駆動し、図1(B)に示すように、テーブル43を上昇させ、被着体WKを接着シートASに接近させることで、当該接着シートASの繰出方向先端部AS1を押圧ローラ20で押圧して貼付する。このとき、図1(B)中実線で示すように、接着シートASの未貼付部AS2に弛みASSが生じる場合があるが、本実施形態の場合、弛み除去手段30が回動モータ31Aを駆動し、原反RSを巻き戻して接着シートASを反繰出方向D2に移動させて弛みASSを除去する。なお、原反RSを巻き戻す際、剥離板13が反繰出方向D2に移動する構成を採用してもよいし、回動モータ14Aが剥離シートRLを反繰出方向D2に送り出す構成を採用してもよいが、剥離シートRLに伸縮性があれば、それら構成を採用しなくてもよい。
そして、支持手段40がリニアモータ41を駆動し、テーブル43を左方に移動させるとともに、当該テーブル43の移動速度に合わせて繰出手段10および弛み除去手段30が回動モータ14A、31Aを駆動し、原反RSを繰り出す。これにより、図1(B)中二点鎖線で示すように、接着シートASが剥離板13の剥離縁13Aで剥離シートRLから剥離され、押圧ローラ20によって被着体WKに押圧されて貼付される。次いで、先頭の接着シートAS全体が被着体WKに貼付され、次の接着シートASの繰出方向先端部AS1が押圧ローラ20の最下部に位置すると、繰出手段10および弛み除去手段30が回動モータ14A、31Aの駆動を停止する。
その後、テーブル43が押圧ローラ20の左方所定位置に到達すると、支持手段40がリニアモータ41の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面43Aでの被着体WKの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートASが貼付された被着体WKを次工程に搬送すると、支持手段40がリニアモータ41および直動モータ42を駆動し、テーブル43を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を貼付した状態で、当該接着シートASの未貼付部AS2の弛みASSを除去するので、接着シートASの弛みASSによる貼付不良を防止することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
例えば、繰出手段10は、剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材(帯状の基材シートと帯状の接着剤層)に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートASとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートASとしてもよいし、帯状の接着シート基材を被着体WKに貼付する構成でもよいし、支持ローラ11やガイドローラ12等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反RSや剥離シートRLを支持したり案内したりしてもよいし、原反RSを巻回することなく、例えば、ファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートRLを巻回することなく、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートRLを回収してもよいし、剥離シートRLを回収しなくてもよいし、剥離シートRLに仮着されていない接着シートASや帯状の接着シート基材を繰り出してもよい。
弛み除去手段30は、回動モータ31Aに代えてまたは併用して、支持ローラ11を回転駆動させる駆動機器を採用し、原反RSを巻き戻して弛みASSを除去する構成としてもよいし、弛みASSを検出するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成される図示しない弛み検出手段を設け、当該図示しない弛み検出手段で弛みASSが検出された際に、当該弛みASSを除去するように構成してもよいし、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧手段の変位や変形を検出するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成される押圧手段検出手段32を設け、当該押圧手段検出手段32で押圧手段の変位や変形が検出された際に、弛みASSが形成されたとみなし、当該弛みASSを除去するように構成してもよいし、弛みASSが除去されたことを図示しない弛み検出手段が検知した後、接着シートASの未貼付部AS2を被着体WKに貼付するように構成してもよいし、接着シートASの張力を検出するロードセルや圧力センサ等の張力検知手段を設け、接着シートASに所定の張力が付与されたことを当該張力検知手段が検知した後、接着シートASの未貼付部AS2を被着体WKに貼付するように構成してもよいし、弛み検出手段や押圧手段検出手段32を設けることなく、被着体WKに接着シートASを貼付する度に、毎回弛みASSを除去する動作を行ってもよい。
弛み除去手段30は、原反RSを巻き戻して接着シートASを反繰出方向D2に移動させる構成に代えてまたは併用して、接着シートASの未貼付部AS2の下方から空気やガス等の気体を吹き付け、弛みASSを除去する気体吹付手段を採用してもよいし、繰出手段10と、押圧ローラ20および被着体WKとを相対的に離間させて弛みASSを除去する構成を採用してもよく、この場合、例えば、繰出手段10を移動させる駆動機器を設け、図1(C)に示すように、被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を貼付した状態で、繰出手段10を反繰出方向D2やその他の方向に移動させて弛みASSを除去してもよいし、押圧ローラ20および被着体WKを移動させる駆動機器を設け、図1(D)に示すように、被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を貼付した状態で、押圧ローラ20および被着体WKを繰出方向D1やその他の方向に移動させて弛みASSを除去してもよいし、繰出手段10を移動させる駆動機器と、押圧ローラ20および被着体WKを移動させる駆動機器との両方を設け、被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を貼付した状態で、繰出手段10や、押圧ローラ20および被着体WKを繰出方向D1、反繰出方向D2またはその他の方向に移動させて弛みASSを除去してもよい。
支持手段40は、被着体WKを移動させることなくまたは移動させつつ、シート貼付装置EAを移動させてもよいし、リニアモータ41および直動モータ42に代えてまたは併用して、多関節ロボット等の他の駆動機器で被着体WKとシート貼付装置EAとを相対移動させてもよいし、シート貼付装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
前記実施形態では、被着体WKを接着シートASに接近させることで、当該被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を押圧して貼付する構成を例示したが、例えば、特開2008−174247や、特開2015−35452等のように、被着体WKを接着シートASに接近させることなく、当該被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1(接着シートAS)を押圧して貼付する構成でもよい。この場合、支持手段40は、直動モータ42を備えていてもよいし、備えていなくてもよい。
被着体WKは、例えば、リングフレームおよび半導体ウエハといった複数のもので構成されていてもよく、このようなリングフレームは、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい
接着シートASおよび被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体WKに貼付することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、接着シートを繰り出すものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしてもよい。
EA…シート貼付装置
10…繰出手段
20…押圧ローラ(押圧手段)
30…弛み除去手段
AS…接着シート
AS1…繰出方向先端部
AS2…未貼付部
ASS…弛み
D1…繰出方向
D2…反繰出方向
WK…被着体

Claims (3)

  1. 接着シートを繰り出す繰出手段と、
    前記繰出手段で繰り出される前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から順次被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
    前記被着体に前記接着シートの繰出方向先端部を前記押圧手段で貼付した状態で、当該接着シートの未貼付部の弛みを除去する弛み除去手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
  2. 前記弛み除去手段は、前記繰出手段が前記接着シートを繰り出す繰出方向の反対方向である反繰出方向に、当該接着シートを移動させて前記弛みを除去することを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
  3. 接着シートを繰り出す繰出工程と、
    前記繰出工程で繰り出される前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から順次被着体に押圧して貼付する押圧工程と、
    前記被着体に前記接着シートの繰出方向先端部を前記押圧工程で貼付した状態で、当該接着シートの未貼付部の弛みを除去する弛み除去工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
JP2019171832A 2019-09-20 2019-09-20 シート貼付装置およびシート貼付方法 Pending JP2021048378A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019171832A JP2021048378A (ja) 2019-09-20 2019-09-20 シート貼付装置およびシート貼付方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019171832A JP2021048378A (ja) 2019-09-20 2019-09-20 シート貼付装置およびシート貼付方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021048378A true JP2021048378A (ja) 2021-03-25

Family

ID=74876628

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019171832A Pending JP2021048378A (ja) 2019-09-20 2019-09-20 シート貼付装置およびシート貼付方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2021048378A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6412442B2 (ja) シート供給装置および供給方法
JP2021048378A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP2015229581A (ja) シート供給装置及びシート供給方法
JP2014241332A (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP2021017275A (ja) シート供給装置およびシート供給方法
JP2017137115A (ja) シート供給装置および供給方法
JP2020087959A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP3230322U (ja) シート貼付装置
JP2020205376A (ja) シート回収装置およびシート回収方法
JP6226660B2 (ja) シート供給装置および供給方法
JP2020004850A (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP3235423U (ja) シート貼付装置
JP2020194834A (ja) 支持装置および支持方法
JP3210845U (ja) シート繰出装置
JP2020188242A (ja) シート支持装置およびシート支持方法
JP6906673B1 (ja) 支持装置および異物除去方法
JP6211827B2 (ja) シート貼付装置および貼付準備方法
JP2020203326A (ja) 切断装置および切断方法
JP2021153144A (ja) 転写装置および転写方法
JP2021017332A (ja) 張力付与装置および張力付与方法
JP6915211B2 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP3210844U (ja) シート繰出装置
JP2021019127A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP2020188089A (ja) 支持装置および支持方法
JP2019153641A (ja) シート供給装置およびシート供給方法、並びに、シート貼付装置およびシート貼付方法