JP2023000324A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】折返し部で剥離シートの弛みが形成されたとしても、当該弛み部分が被着体に接触することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出される原反ＲＳの剥離シートＲＬを折返し部２１Ａで折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段２０と、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１を所定の貼付平面ＳＳ内に位置させ、折返し部２１Ａと相対移動する当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に、剥離手段２０で剥離した接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段３０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、折返し部２１Ａにおける貼付平面ＳＳとの最短距離ＭＤは、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔに弛み許容間隔ＳＰが加えられた距離とされ、弛み許容間隔ＳＰが０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されている。【選択図】図１
Description
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、特許文献１に記載されたテープ貼着装置２（シート貼付装置）では、テープ体１（原反）の繰り出し直後や繰り出し中、さらには、繰り出し停止直後や繰り出し停止中等において、保護シート５（剥離シート）を折り返す剥離ユニット１８の先端（折返し部）で剥離シートの弛み（本明細書における添付図１（Ｃ）の付番「ＳＣ」参照）が形成されることが判明した。このような剥離シートの弛みが形成され、当該弛み部分が被着体に接触すると、当該被着体に微細な傷が形成されるという不都合を発生する。
本発明の目的は、折返し部で剥離シートの弛みが形成されたとしても、当該弛み部分が被着体に接触することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、折返し部における貼付平面との最短距離が、剥離シートの厚みと、弛み許容間隔との合算値とされ、この弛み許容間隔が０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されているので、折返し部で剥離シートの弛みが形成されたとしても、当該弛み部分が被着体に接触することを防止することができる。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、方向を示す矢印を記載していない図は、全て図１（Ａ）と同じ方向から観た図とする。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、方向を示す矢印を記載していない図は、全て図１（Ａ）と同じ方向から観た図とする。
本発明のシート貼付装置ＥＡは、剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出工程を実施する繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出される原反ＲＳの剥離シートＲＬを折返し部２１Ａで折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離工程を実施する剥離手段２０と、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１を所定の貼付平面ＳＳ内に位置させ、折返し部２１Ａと相対移動する当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に、剥離手段２０で剥離した接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧工程を実施する押圧手段３０とを備え、押圧手段３０と被着体ＷＫとを相対移動させる移動手段４０の近傍に配置されている。
なお、シート貼付装置ＥＡは、折返し部２１Ａにおける貼付平面ＳＳとの最短距離ＭＤは、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔに弛み許容間隔ＳＰが加えられた距離とされ、弛み許容間隔ＳＰが０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されている。
なお、シート貼付装置ＥＡは、折返し部２１Ａにおける貼付平面ＳＳとの最短距離ＭＤは、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔに弛み許容間隔ＳＰが加えられた距離とされ、弛み許容間隔ＳＰが０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されている。
繰出手段１０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、駆動機器としての回動モータ１３Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１３Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１３と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１３Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１４とを備えている。
剥離手段２０は、剥離シートＲＬを折り返す折返し部２１Ａを有する剥離板２１を備えている。
押圧手段３０は、弾性変形が可能な押圧面３１Ａを備えた押圧ローラ３１を備えている。
なお、本実施形態では、無負荷状態で押圧面３１Ａの最下部が位置するＸＹ平面と平行な平面が貼付平面ＳＳとなっている。
なお、本実施形態では、無負荷状態で押圧面３１Ａの最下部が位置するＸＹ平面と平行な平面が貼付平面ＳＳとなっている。
移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４２Ａを有する支持テーブル４２を備えている。
なお、本実施形態の支持テーブル４２には、被着体ＷＫの厚み（Ｚ軸方向の寸法）を考慮し、当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するように、支持面４２Ａの位置を調整するネジ調整機構や駆動機器等の図示しない面位置調整手段が設けられている。
本実施形態では、被着体ＷＫの厚みは一定とされ、当該被着体ＷＫが支持面４２Ａ上に載置された際、被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するように、図示しない面位置調整手段によって予め調整されている。
なお、本実施形態の支持テーブル４２には、被着体ＷＫの厚み（Ｚ軸方向の寸法）を考慮し、当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するように、支持面４２Ａの位置を調整するネジ調整機構や駆動機器等の図示しない面位置調整手段が設けられている。
本実施形態では、被着体ＷＫの厚みは一定とされ、当該被着体ＷＫが支持面４２Ａ上に載置された際、被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するように、図示しない面位置調整手段によって予め調整されている。
以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段１０が回動モータ１３Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、折返し部２１Ａで折り返された剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１３Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、支持テーブル４２上に被着体ＷＫを載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を左方へ移動させ、被着体ＷＫが繰出手段１０に対する所定の位置に到達すると、当該繰出手段１０が回動モータ１３Ａを駆動し、被着体ＷＫの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ３１によって被着体ＷＫに押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫに貼付されて一体物ＵＰが形成され、当該先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、折返し部２１Ａで折り返された剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、繰出手段１０が回動モータ１３Ａの駆動を停止する。そして、支持テーブル４２が押圧ローラ３１の下方を抜け出ると、移動手段４０がリニアモータ４１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段１０が回動モータ１３Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、折返し部２１Ａで折り返された剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１３Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、支持テーブル４２上に被着体ＷＫを載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を左方へ移動させ、被着体ＷＫが繰出手段１０に対する所定の位置に到達すると、当該繰出手段１０が回動モータ１３Ａを駆動し、被着体ＷＫの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ３１によって被着体ＷＫに押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫに貼付されて一体物ＵＰが形成され、当該先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、折返し部２１Ａで折り返された剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、繰出手段１０が回動モータ１３Ａの駆動を停止する。そして、支持テーブル４２が押圧ローラ３１の下方を抜け出ると、移動手段４０がリニアモータ４１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
ここで、実施例１として、厚みＲＬｔが０．０２５ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．０９ｍｍの接着シートＡＳとからなる第１原反ＲＳをシート貼付装置ＥＡにセットし、上記実施形態と同様の自動運転を行う。そして、この自動運転で１００枚の接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する動作の間に、折返し部２１Ａで形成される剥離シートＲＬの弛みＳＣ（図１（Ｃ）参照）の長さＳＤを計測（以下、この計測を「弛み計測」という）したところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０６５ｍｍであった。そこで、第１原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、上記実施形態と同様の自動運転で１００枚の接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する検証（以下、この検証を「接触検証」という）を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例１として、第１原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０６ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
また、実施例２として、厚みＲＬｔが０．０３８ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．０９ｍｍの接着シートＡＳとからなる第２原反ＲＳを用い、弛み計測を行ったところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０５９ｍｍであった。そこで、第２原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例２として、第２原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０５ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
さらに、実施例３として、厚みＲＬｔが０．０５ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．１２５ｍｍの接着シートＡＳとからなる第３原反ＲＳを用い、弛み計測を行ったところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０８６ｍｍであった。そこで、第３原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例３として、第３原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０８ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
また、実施例４として、厚みＲＬｔが０．０７５ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．１２５ｍｍの接着シートＡＳとからなる第４原反ＲＳを用い、弛み計測を行ったところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０８３ｍｍであった。そこで、第４原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例４として、第４原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０８ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
また、実施例２として、厚みＲＬｔが０．０３８ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．０９ｍｍの接着シートＡＳとからなる第２原反ＲＳを用い、弛み計測を行ったところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０５９ｍｍであった。そこで、第２原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例２として、第２原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０５ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
さらに、実施例３として、厚みＲＬｔが０．０５ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．１２５ｍｍの接着シートＡＳとからなる第３原反ＲＳを用い、弛み計測を行ったところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０８６ｍｍであった。そこで、第３原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例３として、第３原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０８ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
また、実施例４として、厚みＲＬｔが０．０７５ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．１２５ｍｍの接着シートＡＳとからなる第４原反ＲＳを用い、弛み計測を行ったところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０８３ｍｍであった。そこで、第４原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例４として、第４原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０８ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
以上の実施例１～４の弛み計測と接触検証を表１に示し、比較例１～４の接触検証を表２に示す。
なお、弛み許容間隔ＳＰを０．３ｍｍ、５ｍｍ、１０ｍｍ、３０ｍｍに設定し、上記の第１～第４原反ＲＳを用いて接触検証を行ったところ、当然弛みＳＣは被着体ＷＫに接触することはなかった。
以上により、最短距離ＭＤは、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔに弛み許容間隔ＳＰとして０．１ｍｍ以上加えた距離としておくことで、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することがないことが解った。
以上により、最短距離ＭＤは、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔに弛み許容間隔ＳＰとして０．１ｍｍ以上加えた距離としておくことで、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することがないことが解った。
ここで、弛み許容間隔ＳＰを大きくしていくと、弛みＳＣと被着体ＷＫとの接触は回避できるものの、弛み許容間隔ＳＰが大きすぎると、図１（Ｄ）、（Ｅ）中実線で示すように、接着シートＡＳに折れ曲がりＢＰが形成された状態で被着体ＷＫに貼付されたり、図１（Ｄ）、（Ｅ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳが押圧ローラ３１に接着して被着体ＷＫに貼付されなくなる等の貼付不良が発生することが解った。
そこで、上記の第１～第４原反ＲＳを用い、弛み許容間隔ＳＰを３０ｍｍから１ｍｍずつ大きくしつつ接触検証を行い、貼付不良が発生した最小の弛み許容間隔ＳＰを調べ、その結果を下記の表３に示す。
以上により、弛み許容間隔ＳＰは、３０ｍｍ以下に設定されることで、接着シートＡＳの貼付不良が発生することを防止できることが解った。
そこで、上記の第１～第４原反ＲＳを用い、弛み許容間隔ＳＰを３０ｍｍから１ｍｍずつ大きくしつつ接触検証を行い、貼付不良が発生した最小の弛み許容間隔ＳＰを調べ、その結果を下記の表３に示す。
以上のような実施形態によれば、折返し部２１Ａにおける貼付平面ＳＳとの最短距離ＭＤが、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔと、弛み許容間隔ＳＰとの合算値とされ、この弛み許容間隔ＳＰが０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されているので、折返し部２１Ａで剥離シートＲＬの弛みＳＣが形成されたとしても、当該弛みＳＣ部分が被着体ＷＫに接触することを防止することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出し可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
繰出手段１０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから当該原反ＲＳを繰り出してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよい。
押圧手段３０は、弾性変形が不能な押圧面３１Ａを備えた押圧ローラ３１でもよいし、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する際、当該接着シートＡＳに乗り上げる際の反力によって上昇する押圧ローラ３１や板材等で構成されていてもよい。
押圧手段３０は、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接着シートＡＳを保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する構成でもよい。
押圧手段３０は、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接着シートＡＳを保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する構成でもよい。
移動手段４０は、支持テーブル４２を前後方向に移動させる駆動機器や、支持テーブル４２を支持面４２Ａ内で回転させる駆動機器を採用して被着体ＷＫの位置決めを行ってもよいし、上記の実施形態では、移動することのない押圧手段３０に対して被着体ＷＫを移動させたが、被着体ＷＫを移動させることなくまたは、被着体ＷＫを移動させつつ押圧手段３０を移動させてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で押圧手段３０と被着体ＷＫとを相対移動させてもよい。
本発明のシート貼付装置ＥＡは、被着体ＷＫを半導体ウエハとし、接着シートＡＳによって当該半導体ウエハとリングフレームとを一体化したり、半導体ウエハに接着シートＡＳとしての保護シートを貼付したりするものでもよい。このような場合、原反ＲＳは、リングクレームの形状や、半導体ウエハの形状に沿った接着シートＡＳが剥離シートＲＬ上に仮着されたものを使用すればよい。
本発明における剥離シートＲＬの厚みＲＬｔは、０．０２５ｍｍ、０．０３８ｍｍ、０．０５ｍｍ、０．０７５ｍｍ以外であってもよく、例えば、厚みＲＬｔが、０．０１ｍｍ、０．１ｍｍまたは１ｍｍ等、０．００１ｍｍ～３ｍｍの範囲でもよいし、０．００１ｍｍ以下でもよいし、３ｍｍ以上でもよく、どのような厚みでもよい。
本発明における弛み許容間隔ＳＰは、０．１ｍｍ、０．３ｍｍ、５ｍｍ、１０ｍｍ、３０ｍｍ以外であってもよく、例えば、弛み許容間隔ＳＰが、０．１５ｍｍ、１ｍｍ、７ｍｍ、２５ｍｍまたは２９ｍｍ等、０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下であればどのような間隔でもよい。
本発明における貼付平面ＳＳの位置は、無負荷状態で押圧面３１Ａの最下部が位置するＸＹ平面と平行な平面以外であってもよく、例えば、無負荷状態での押圧面３１Ａの最下部の位置よりも、剥離シートＲＬの厚みＲＴｔ以内で下方に離れたＸＹ平面と平行な平面でもよいし、無負荷状態での押圧面３１Ａの最下部よりも、例えば、０．００１ｍｍ、０．５ｍｍ、３ｍｍ、１０ｍｍまたは３０ｍｍ上方に離れたＸＹ平面と平行な平面でもよく、押圧手段３０で接着シートＡＳを被着面ＷＫ１に貼付できる位置であればどこでもよい。
図示しない面位置調整手段は、被着体ＷＫを移動させて被着面ＷＫ１を貼付平面ＳＳ内に位置させてもよいし、押圧手段３０を移動させて貼付平面ＳＳを被着面ＷＫ１と同一平面内に位置させてもよいし、支持面４２Ａ上に載置される被着体ＷＫの厚みが一定である場合や不定である場合、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された厚み検知手段で検知し、その厚みに応じて被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するように、被着体ＷＫおよび押圧手段３０の少なくとも一方を移動させてもよいし、押圧ローラ３１の下方所定位置に支持テーブル４２または被着体ＷＫが到達した時点で、当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するようにしてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
貼付平面ＳＳは、無負荷状態での押圧面３１Ａの最下部の位置でなくてもよく、例えば、支持面４２Ａの１ｍｍ上方、１０ｍｍ上方といった任意の位置や、剥離板２１の所定の位置から５ｍｍ下方、５０ｍｍ下方といった任意の位置や、他の装置の所定の位置から所定の間隔離れた位置等、任意の部材を基準とした任意の位置であってもよい。
本発明における剥離シートＲＬの厚みＲＬｔは、０．０２５ｍｍ、０．０３８ｍｍ、０．０５ｍｍ、０．０７５ｍｍ以外であってもよく、例えば、厚みＲＬｔが、０．０１ｍｍ、０．１ｍｍまたは１ｍｍ等、０．００１ｍｍ～３ｍｍの範囲でもよいし、０．００１ｍｍ以下でもよいし、３ｍｍ以上でもよく、どのような厚みでもよい。
本発明における弛み許容間隔ＳＰは、０．１ｍｍ、０．３ｍｍ、５ｍｍ、１０ｍｍ、３０ｍｍ以外であってもよく、例えば、弛み許容間隔ＳＰが、０．１５ｍｍ、１ｍｍ、７ｍｍ、２５ｍｍまたは２９ｍｍ等、０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下であればどのような間隔でもよい。
本発明における貼付平面ＳＳの位置は、無負荷状態で押圧面３１Ａの最下部が位置するＸＹ平面と平行な平面以外であってもよく、例えば、無負荷状態での押圧面３１Ａの最下部の位置よりも、剥離シートＲＬの厚みＲＴｔ以内で下方に離れたＸＹ平面と平行な平面でもよいし、無負荷状態での押圧面３１Ａの最下部よりも、例えば、０．００１ｍｍ、０．５ｍｍ、３ｍｍ、１０ｍｍまたは３０ｍｍ上方に離れたＸＹ平面と平行な平面でもよく、押圧手段３０で接着シートＡＳを被着面ＷＫ１に貼付できる位置であればどこでもよい。
図示しない面位置調整手段は、被着体ＷＫを移動させて被着面ＷＫ１を貼付平面ＳＳ内に位置させてもよいし、押圧手段３０を移動させて貼付平面ＳＳを被着面ＷＫ１と同一平面内に位置させてもよいし、支持面４２Ａ上に載置される被着体ＷＫの厚みが一定である場合や不定である場合、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された厚み検知手段で検知し、その厚みに応じて被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するように、被着体ＷＫおよび押圧手段３０の少なくとも一方を移動させてもよいし、押圧ローラ３１の下方所定位置に支持テーブル４２または被着体ＷＫが到達した時点で、当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するようにしてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
貼付平面ＳＳは、無負荷状態での押圧面３１Ａの最下部の位置でなくてもよく、例えば、支持面４２Ａの１ｍｍ上方、１０ｍｍ上方といった任意の位置や、剥離板２１の所定の位置から５ｍｍ下方、５０ｍｍ下方といった任意の位置や、他の装置の所定の位置から所定の間隔離れた位置等、任意の部材を基準とした任意の位置であってもよい。
本発明における接着シートＡＳ、剥離シートＲＬおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、剥離シートＲＬおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
ＥＡ…シート貼付装置
１０…繰出手段
２０…剥離手段
２０Ａ…折返し部
３０…押圧手段
ＡＳ…接着シート
ＭＤ…最短距離
ＲＬ…剥離シート
ＲＬｔ…厚み
ＲＳ…原反
ＳＰ…弛み許容間隔
ＳＳ…貼付平面
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…被着面
１０…繰出手段
２０…剥離手段
２０Ａ…折返し部
３０…押圧手段
ＡＳ…接着シート
ＭＤ…最短距離
ＲＬ…剥離シート
ＲＬｔ…厚み
ＲＳ…原反
ＳＰ…弛み許容間隔
ＳＳ…貼付平面
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…被着面
ＥＡ…シート貼付装置
１０…繰出手段
２０…剥離手段
２１Ａ…折返し部
３０…押圧手段
ＡＳ…接着シート
ＭＤ…最短距離
ＲＬ…剥離シート
ＲＬｔ…厚み
ＲＳ…原反
ＳＰ…弛み許容間隔
ＳＳ…貼付平面
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…被着面
１０…繰出手段
２０…剥離手段
２１Ａ…折返し部
３０…押圧手段
ＡＳ…接着シート
ＭＤ…最短距離
ＲＬ…剥離シート
ＲＬｔ…厚み
ＲＳ…原反
ＳＰ…弛み許容間隔
ＳＳ…貼付平面
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…被着面
Claims (2)
- 剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記原反の前記剥離シートを折返し部で折り返し、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
被着体の被着面を所定の貼付平面内に位置させ、前記折返し部と相対移動する当該被着体の被着面に、前記剥離手段で剥離した前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備えたシート貼付装置において、
前記折返し部における前記貼付平面との最短距離は、前記剥離シートの厚みに弛み許容間隔が加えられた距離とされ、
前記弛み許容間隔が０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されていることを特徴とするシート貼付装置。 - 剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出される前記原反の前記剥離シートを折返し部で折り返し、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、
被着体の被着面を所定の貼付平面内に位置させ、前記折返し部と相対移動する当該被着体の被着面に、前記剥離工程で剥離した前記接着シートを押圧して貼付する押圧工程とを実施するシート貼付方法において、
前記折返し部における前記貼付平面との最短距離は、前記剥離シートの厚みに弛み許容間隔が加えられた距離とされ、
前記弛み許容間隔が０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されていることを特徴とするシート貼付方法。
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