JP2023050392A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被着体の外縁部および外縁端面を接着シートで確実に保護することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁部ＷＫ１Ｅに第１接着シートＡＳ１を貼付する第１貼付手段１０と、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２の外縁部ＷＫ２Ｅに第２接着シートＡＳ２を貼付する第２貼付手段３０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、第１貼付手段１０は、第１接着シートＡＳ１の接着面ＡＳ１Ａが被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅからはみ出るように、当該第１接着シートＡＳ１を当該被着体ＷＫに貼付し、第２貼付手段３０は、被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅからはみ出た第１接着シートＡＳ１の接着面ＡＳ１Ａに第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａが当接するように、当該第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫに貼付する。【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２－８４５７８号公報

特許文献１に記載されたシート貼付装置１（シート貼付装置）では、ウェハＷ（被着体）の一方の面の外縁部に両面接着テープＳ（接着シート）を貼付したとしても、当該被着体の外縁端面には接着シートを貼付することができない。従って、例えば、被着体を液体中に浸したり、気体中に晒したりして所定の処理を施すような場合、被着体の外縁端面に液体や気体等の異物が付着するといった不都合を発生する。

本発明の目的は、被着体の外縁部および外縁端面を接着シートで確実に保護することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、接着面が被着体の外縁部からはみ出るように第１接着シートを貼付し、被着体の外縁部からはみ出た第１接着シートの接着面に第２接着シートの接着面が当接するように、当該第２接着シートを被着体に貼付するので、被着体の外縁部および外縁端面を接着シートで確実に保護することができる。

（Ａ）～（Ｅ）は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。（Ｆ）は、変形例の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｃ）～（Ｆ）は、図１（Ｂ）に記載した方向と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印が省略されている。

本発明のシート貼付装置ＥＡは、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁部ＷＫ１Ｅに第１接着シートＡＳ１を貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段１０と、被着体ＷＫを上下反転させる反転工程を実施する反転手段２０と、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２の外縁部ＷＫ２Ｅに第２接着シートＡＳ２を貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段３０と、被着体ＷＫの形状を認識する形状認識工程を実施する形状認識手段４０と、第１接着シートおよび第２接着シートの両方にエネルギーとしての紫外線を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段５０とを備えている。
なお、本実施形態の被着体ＷＫは、基準位置ＡＴＲを中心とする円形形状の物品ＡＴが基準位置ＢＰＲを中心とする円形形状の支持板ＢＰに支持されたものとなっている。
また、第１接着シートＡＳ１および第２接着シートＡＳ２は、所定のエネルギーとしての紫外線によって硬化する紫外線硬化型の接着シートとなっている。

第１貼付手段１０は、当該第１貼付手段１０を構成する各部材（付番１２～１８）を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、第１接着シートＡＳ１が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段としての剥離板１４と、被着体ＷＫに第１接着シートＡＳ１を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１５と、駆動機器としての回動モータ１６Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１６Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１６と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１６Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１７と、第１接着シートＡＳ１を切断する切断手段としての長さ調整手段１８と、支持部材１１および被着体ＷＫを相対移動させる移動手段１９と、当該移動手段１９に対し被着体ＷＫを上方から押え付ける上押え手段１ａとを備え、第１接着シートＡＳ１の接着面ＡＳ１Ａが被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅからはみ出るように、当該第１接着シートＡＳ１を当該被着体ＷＫに貼付する構成となっている。
長さ調整手段１８は、駆動機器としてのエアシリンダ１８Ａと、その出力軸１８Ｂに支持されたカッター刃１８Ｃとを備えている。
移動手段１９は、そのスライダ１９Ｂで支持部材１１を支持する駆動機器としてのリニアモータ１９Ａと、駆動機器としてのリニアモータ１９Ｃと、そのスライダ１９Ｄに支持された駆動機器としての直動回動モータ1９Ｅと、その出力軸１９Ｆに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面１９Ｇを有する支持テーブル１９Ｈとを備えている。なお、支持テーブル１９Ｈは、支持面１９Ｇの中央位置に凹部１９Ｊが形成され、直動回動モータ１９Ｅによってテーブル中心１９Ｒを中心に回転する構成となっている。
上押え手段１ａは、駆動機器としての直動モータ１ｂと、その出力軸１ｃに支持され、支持テーブル１９Ｈの回転に追従して回転可能な上押え板１ｄとを備えている。なお、上押え板１ｄは、上押え板中心１ａＲを中心に回転する構成となっている。

反転手段２０は、支持テーブル１９Ｈの凹部１９Ｊ内に配置された駆動機器としての直動モータ２１と、その出力軸２１Ａに支持されたリフト台２２と、駆動機器としてのリニアモータ２３と、そのスライダ２３Ａに支持された駆動機器としてのリニアモータ２４と、そのスライダ２４Ａに支持された駆動機器としての回動モータ２５と、その出力軸２５Ａに支持アーム２６を介して支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持手段としての吸着パッド２７（保持手段）とを備えている。

第２貼付手段３０は、本実施形態では、第１貼付手段１０を構成する構成物を当該第１貼付手段１０と兼用し、第１貼付手段１０で説明した第１接着シートＡＳ１を第２接着シートＡＳ２として、被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅからはみ出た第１接着シートＡＳ１の接着面ＡＳ１Ａに第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａが当接するように、当該第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫに貼付するようになっている。

形状認識手段４０は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器４１を備えている。

エネルギー付与手段５０は、駆動機器としてのＸＹテーブル５１と、当該ＸＹテーブル５１の出力台５１Ａに支持された紫外線照射装置５２とを備えている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、第１貼付給手段１０が回動モータ１６Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）中実線で示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１６Ａの駆動を停止する。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、基準位置ＢＰＲ、ＡＴＲがテーブル中心１９Ｒと重なり合うように、支持板ＢＰが下側となるように被着体ＷＫを支持面１９Ｇ上に載置すると、第１貼付手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面１９Ｇでの吸着保持を開始する。また、第１貼付手段１０が回動モータ１６Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの供給方向先縁を押圧ローラ１５の最下端部直下に位置させる。この際、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦは、図示しないエアノズルやイオナイザ等の付勢手段による付勢によって押圧ローラ１５の下面に接触状態とされる。

その後、形状認識手段４０が検知機器４１を駆動し、被着体ＷＫの形状や位置等を認識する。この際、被着体ＷＫの位置がずれていることを検知機器４１が検知すると、形状認識手段４０が図示しないスピーカや電灯等の告知手段を介して音や光等でそれらのずれを使用者に伝えたり、シート貼付装置ＥＡの動作を中止したりする。次に、第１貼付手段１０がリニアモータ１９Ｃを駆動し、支持テーブル１９Ｈを左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、テーブル中心１９Ｒ（基準位置ＡＴＲ、ＢＰＲ）が上押え板中心１ａＲと一致すると、リニアモータ１９Ｃの駆動を停止する。なお、この状態で平面視した被着体ＷＫの姿勢を基準姿勢とする。

そして、第１貼付手段１０がリニアモータ１９Ａを駆動し、形状認識手段４０の認識結果を基にして図１（Ｂ）に示すように、押圧ローラ１５で押圧する第１接着シートＡＳ１の位置が、被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅである物品ＡＴの外縁部と支持板ＢＰの外縁部とを跨ぎ、当該第１接着シートＡＳ１の接着面ＡＳ１Ａが被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅからはみ出る位置となるように支持部材１１を移動させる。次いで、第１貼付手段１０が直動回動モータ１９Ｅを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、支持テーブル１９Ｈを上昇させて当該支持テーブル１９Ｈと押圧ローラ１５とで第１接着シートＡＳ１および被着体ＷＫを挟み込んだ後、直動モータ１ｂを駆動し、上押え板１ｄを下降させて当該上押え板１ｄと支持テーブル１９Ｈとで被着体ＷＫを挟み込む。

その後、第１貼付手段１０が直動回動モータ１９Ｅを駆動し、図１（Ｃ）に示すように、テーブル中心１９Ｒを中心に支持テーブル１９Ｈを反時計回転方向に回転させるとともに、第１貼付手段１０が回動モータ１６Ａを駆動し、被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅの回転速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、第１接着シートＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された第１接着シートＡＳ１は、図１（Ｃ）に示すように、押圧ローラ１５によって被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅおよび支持面１９Ｇに押圧されて貼付される。

次に、支持テーブル１９Ｈの回転と第１接着シートＡＳ１の貼付とが続行される中、第１貼付手段１０がエアシリンダ１８Ａを駆動し、カッター刃１８Ｃを進退させて、被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅに１周に亘って第１接着シートＡＳ１を貼付できる長さとなるように、当該第１接着シートＡＳ１を切断する。そして、カッター刃１８Ｃによる切断によって形成された第１接着シートＡＳ１の新たな供給方向先端部ＡＳ１Ｆが、剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、第１貼付手段１０が回動モータ１６Ａの駆動を停止し、支持テーブル１９Ｈの回転を停止させる。次いで、切断によって形成された第1接着シートＡＳ１の供給方向後端部ＡＳ１Ｒが被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅおよび支持面１９Ｇに貼付されると、第１貼付手段１０が直動回動モータ１９Ｅの駆動を停止する。この際、被着体ＷＫおよび支持面１９Ｇに貼付された第１接着シートＡＳ１の供給方向先端部ＡＳ１Ｆと供給方向後端部ＡＳ１Ｒは、相互に重なり合っていてもよいし、離間していてもよいし、突き合わせられるように接触していてもよい。

次いで、第１貼付手段１０が直動回動モータ１９Ｅおよび直動モータ１ｂを駆動し、支持テーブル２５を下降させるとともに上押え板２６Ｃを上昇させた後、被着体ＷＫを基準姿勢とする。その後、第１貼付手段１０がリニアモータ１９Ｃを駆動し、支持テーブル１９Ｈを左方に移動させて図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫが反転手段２０に対する所定の位置に到達すると、リニアモータ１９Ｃの駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１９Ｇでの吸着保持を解除する。次に、反転手段２０が直動モータ２１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、リフト台２２を上昇させると、リニアモータ２４を駆動し、支持アーム２６を下降させて吸着パッド２７を被着体ＷＫに当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド２７による吸着保持を開始する。

そして、反転手段２０がリニアモータ２４および回動モータ２５を駆動し、支持アーム２６を上昇させて被着体ＷＫを上下反転させると、支持アーム２６を下降させて被着体ＷＫをリフト台２２上に載置した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド２７による吸着保持を解除する。この際、被着体ＷＫは、基準位置ＢＰＲ、ＡＴＲがテーブル中心１９Ｒと重なり合うようにリフト台２２上に載置される。次いで、反転手段２０がリニアモータ２３、２４および回動モータ２５を駆動し、支持アーム２６を被着体ＷＫの下方から抜き取って当該支持アーム２６を初期位置に復帰させた後、直動モータ２１を駆動し、リフト台２２を初期位置に復帰させると、第１貼付手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面１９Ｇでの吸着保持を開始する。

その後、第２貼付手段３０がリニアモータ１９Ｃを駆動し、支持テーブル１９Ｈを初期位置に復帰させた後、上記と同様にして第２貼付手段３０が図１（Ｄ）（Ｅ）に示すように、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２の外縁部ＷＫ２Ｅと第１接着シートＡＳの接着面ＡＳ１Ａに第２接着シートＡＳ２を貼付し一体物ＵＰを形成する。次に、第２貼付手段３０がリニアモータ１９Ｃを駆動し、支持テーブル１９Ｈを左方に移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫがエネルギー付与手段５０に対する所定の位置に到達すると、リニアモータ１９Ｃの駆動を停止する。そして、エネルギー付与手段５０がＸＹテーブル５１を駆動し、形状認識手段４０の認識結果を基にして紫外線照射装置５２の紫外線照射位置が、被着体ＷＫに貼付された第２接着シートＡＳ２上となるように、当該紫外線照射装置５２を移動させる。

次いで、エネルギー付与手段５０が紫外線照射装置５２を駆動するとともに、第２貼付手段３０が直動回動モータ１９Ｅを駆動し、テーブル中心１９Ｒを中心に支持テーブル１９Ｈを回転させ、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２に紫外線を照射して硬化させる。その後、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が硬化すると、エネルギー付与手段５０が紫外線照射装置５２の駆動を停止した後、ＸＹテーブル５１を駆動し、紫外線照射装置５２を初期位置に復帰させる。このように、被着体ＷＫに貼付された第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を硬化させることで、被着体ＷＫが脆弱なものや剛性の低い物であったとしても、この後の搬送や次工程等において、衝撃によって当該被着体ＷＫが割れたり折れ曲がったりすることを防止することができる。

次に、第２貼付手段３０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１９Ｇでの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、第２貼付手段３０がリニアモータ１９Ｃおよび直動回動モータ１９Ｅを駆動し、支持テーブル１９Ｈを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、接着面ＡＳ１Ａが被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅからはみ出るように第１接着シートＡＳ１を貼付し、被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅからはみ出た第１接着シートＡＳ１の接着面ＡＳ１Ａに第２接着シートＡＳ２の接着面ＡＳ２Ａが当接するように、当該第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫに貼付するので、被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅ、ＷＫ２Ｅおよび外縁端面ＷＫ３を第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２で確実に保護することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１貼付手段は、被着体の一方の面の外縁部に第１接着シートを貼付し、第１接着シートの接着面が被着体の外縁部からはみ出るように、当該第１接着シートを当該被着体に貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

第１貼付手段１０および第２貼付手段３０は、相互に相手方を兼用することなく、それぞれ別体で構成されてもよいし、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２とされた原反ＲＳから当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２とされた原反ＲＳから当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を繰り出して供給してもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を被着体ＷＫに貼付する直前で第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の供給方向先端縁を押圧ローラ１５の最下端部直下に位置させることなく、例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の供給方向先端縁を押圧ローラ１５から離間した場所に位置させてもよいし、図示しない付勢手段が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよいし、剥離板１４と押圧ローラ１５との間に跨っている第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を切断したり、被着体ＷＫ上で第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を切断したりする長さ調整手段１８を採用してもよいし、被着体ＷＫの大きさが一定の場合や第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の貼付位置に変動がない場合等において、支持部材１１が移動しない構成（リニアモータ１９Ａがない構成）としてもよいし、外縁部ＷＫ１Ｅ、ＷＫ２Ｅの保護に必要な長さを備えた第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用されてもよく、この場合、長さ調整手段１８はなくてもよいし、外縁部ＷＫ１Ｅ、ＷＫ２Ｅに複数の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付してもよいし、支持テーブル１９Ｈを移動させることなくまたは移動させつつ、支持部材１１や押圧ローラ１５を移動させ、被着体ＷＫ等に第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付してもよいし、第１接着シートＡＳ１を被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅに貼付する際、支持面１９Ｇに第１接着シートＡＳ１を貼付しなくてもよいし、押圧ローラ１５が支持部材１１とは別に移動する構成としてもよいし、例えば、図１（Ｆ）に示すような環状の他、楕円環状、三角環状や四角環状等の多角環状、Ｌ字状、Ｕ字状、Ｖ字状等、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２をどのような平面形状になるように貼付してもよいし、直動回動モータ１９Ｅに代えて直動モータと回動モータとで構成されてもよいし、保持面１９Ｇでの吸着保持ができない支持テーブル１９Ｈが採用されてもよいし、上押え手段１ａを備えていてもよいし、備えていなくてもよし、被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅ、ＷＫ２Ｅの保護に必要な形状に合わせて、予め所定の形状に切断された第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用されてもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を繰り出す途中で被着体ＷＫの外縁部ＷＫ１Ｅ、ＷＫ２Ｅの保護に必要な形状に合わせて、予め所定の形状に切断してもよいし、リニアモータ１９Ｃを備えなくてもよく、備えない場合は、他の装置で直動回動モータ１９Ｅを支持して搬送したり、直動回動モータ１９Ｅが図１（Ｂ）で示す位置に固定されていたりすればよい。
第２貼付手段３０は、第１接着シートＡＳ１の外縁に第２接着シートＡＳ２の外縁を揃えて貼付してもよいし、揃えずに貼付してもよい。

反転手段２０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で吸着保持が可能な保持アームを、駆動機器としての多関節ロボットの先端アームで支持し、当該保持アームで保持した被着体ＷＫを上下反転させてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよく、この場合、例えば、被着体ＷＫを基準にして第１貼付手段１０の反対側に第２貼付手段３０を配置し、外縁部ＷＫ２Ｅに第２接着シートＡＳ２を貼付すればよい。

形状認識手段４０は、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、例えば、被着体ＷＫの大きさが一定の場合や、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の貼付位置に変動がない場合等において、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

エネルギー付与手段５０が第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２に付与する所定のエネルギーは、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができる。
エネルギー付与手段５０は、支持テーブル１９Ｈを移動させることなくまたは移動させつつ、紫外線照射装置５２を移動させ、第１接着シートＡＳ１や第２接着シートＡＳ２に紫外線を付与してもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の上方のみからエネルギーを付与してもよいし、下方のみからエネルギーを付与してもよいし、上方および下方の両方からエネルギーを付与してもよいし、斜め位置からエネルギーを付与してもよいし、第１接着シートＡＳ１のみにエネルギーを付与してもよいし、第２接着シートＡＳ２のみにエネルギーを付与してもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の両方にエネルギーを付与してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、上下反転して配置したり横向きに配置したりして、被着体ＷＫに第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付してもよい。

第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２は、同種の接着シートでもよいし、異種の接着シートでもよいし、幅や厚み等の寸法が同じものでもよいし、異なるものでもよい。
第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、第１接着シートＡＳ１のみが所定のエネルギーによって硬化するものであってもよいし、第２接着シートＡＳ２のみが所定のエネルギーによって硬化するものであってもよいし、それら両方が所定のエネルギーによって硬化するものであってもよい。
被着体ＷＫは、支持板ＢＰのない物品ＡＴだけでもよい。なお、支持板ＢＰは、鉄板、硝子、他の接着シート等どのようなものでもよい。

本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、物品ＡＴおよび支持板ＢＰ（被着体ＷＫ）の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、物品ＡＴおよび支持板ＢＰ（被着体ＷＫ）は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、物品ＡＴおよび支持板ＢＰ（被着体ＷＫ）としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
１０…第１貼付手段
３０…第２貼付手段
５０…エネルギー付与手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＡＳ１Ａ、ＡＳ２Ａ…接着面
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ１Ｅ、ＷＫ２Ｅ…外縁部
ＷＫ２…他方の面

Claims (3)

1. 被着体の一方の面の外縁部に第１接着シートを貼付する第１貼付手段と、
   前記被着体の他方の面の外縁部に第２接着シートを貼付する第２貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
   前記第１貼付手段は、前記第１接着シートの接着面が前記被着体の外縁部からはみ出るように、当該第１接着シートを当該被着体に貼付し、
   前記第２貼付手段は、前記被着体の外縁部からはみ出た前記第１接着シートの接着面に前記第２接着シートの接着面が当接するように、当該第２接着シートを前記被着体に貼付することを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記第１接着シートおよび前記第２接着シートの少なくとも一方は、所定のエネルギーによって硬化するエネルギー硬化型の接着シートとされ、
   前記第１接着シートおよび前記第２接着シートの少なくとも一方に前記エネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
3. 被着体の一方の面の外縁部に第１接着シートを貼付する第１貼付工程と、
   前記被着体の他方の面の外縁部に第２接着シートを貼付する第２貼付工程とを実施するシート貼付方法において、
   前記第１貼付工程では、前記第１接着シートの接着面が前記被着体の外縁部からはみ出るように、当該第１接着シートを当該被着体に貼付し、
   前記第２貼付工程では、前記被着体の外縁部からはみ出た前記第１接着シートの接着面に前記第２接着シートの接着面が当接するように、当該第２接着シートを前記被着体に貼付することを特徴とするシート貼付方法。

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