JP2024029589A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】折り曲げられて被着体に貼付されたはみ出し領域が当該被着体から剥がれ難くすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】所定の供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側および他端ＡＳ２側のうち少なくとも一方に、被着体ＷＫの一面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを一面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面ＷＫ１、ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する貼付手段２０を備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、貼付手段２０で別の面ＷＫ１、ＷＫ２に貼付されたはみ出し領域ＡＳＨを、当該別の面ＷＫ１、ＷＫ２毎に一括で押圧する一括押圧手段３０をさらに備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０２２－３０８７７号公報

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）では、ウェハＷ（被着体）の外周側面（一面）に貼付された保護テープ（接着シート）は、当該一面からはみ出したはみ出し領域が、第１のローラ４６や第２のローラ４７によって部分的に折り曲げられて、被着体の上面や下面（別の面）に貼付されるだけなので、はみ出し領域が別の面方向に折れ曲がった曲がり癖が接着シートに付き難い。従って、被着体に各種の処理が施される次工程等において、はみ出し領域が自身の弾性復元力等によって別の面から剥がれ易くなるという不都合を発生する。

本発明の目的は、折り曲げられて被着体に貼付されたはみ出し領域が当該被着体から剥がれ難くすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、別の面に貼付されたはみ出し領域を当該別の面毎に一括で押圧するので、当該はみ出し領域が別の面方向に折れ曲がった曲がり癖が接着シートに付き易くなる。従って、折り曲げられて被着体に貼付されたはみ出し領域が当該被着体から剥がれ難くすることができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。 シート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図２（Ｂ）、（Ｅ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図。

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側（図１（Ｂ）参照）および他端ＡＳ２側の両方に、被着体ＷＫの所定の一面としての外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する貼付工程を実施する貼付手段２０と、貼付手段２０で一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されたはみ出し領域ＡＳＨを、当該一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２毎に一括で押圧する一括押圧工程を実施する一括押圧手段３０とを備え、被着体ＷＫとシート貼付装置ＥＡとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段４０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の接着シートは、所定のエネルギーとしての熱によって変形するものが採用されている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６とを備えている。

貼付手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１押圧ローラ２１と、接着シートＡＳに所定のエネルギーである熱としての熱風ＨＡを付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段２２と、駆動機器としてのリニアモータ２３と、リニアモータ２３のスライダ２３Ａに支持された駆動機器としての直動モータ２４と、直動モータ２４の出力軸２４Ａに回転自在に支持された押圧部材としてのはみ出し領域押圧ローラ２５とを備えている。
エネルギー付与手段２２は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱風ＨＡ（図２（Ａ）、（Ｄ）参照）を吹き付ける熱風送風機２２Ａを備えている。
なお、本実施形態では、押圧ローラ２１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第１基準位置ＲＰ１に配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。また、熱風送風機２２Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第２基準位置ＲＰ２に配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに熱風ＨＡを吹き付け可能な位置に配置されている。

一括押圧手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１と、その出力軸３１Ａに支持され、外縁部に形成された環状凸部３２Ｂの天面（下側の面）が一括押圧面３２Ａとされた一括押圧部材３２と、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段３３（図１（Ｂ）参照）とを備えている。
なお、本実施形態の一括押圧面３２Ａは、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能となっている。
また、エネルギー付与手段３３は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機器を備え、一括押圧部材３２の内部と支持テーブル４３の内部に配置されている。

移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４２と、その出力軸４２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４３Ａを有する支持テーブル４３と、出力軸４４Ａで直動モータ３１を支持する駆動機器としての回動モータ４４とを備えている。
なお、本実施形態の支持面４３Ａは、支持テーブル４３の外縁部に形成された環状凸部４３Ｂの天面（上側の面）となっている。
さらに、支持テーブル４３は、回動モータ４２によってテーブル中心４３Ｃを中心に回転する構成となっており、一括押圧部材３２は、回動モータ４４によって第２基準位置ＲＰ２を中心に回転するようになっている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離板１４の剥離縁１４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａの駆動を停止する。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心４３Ｃと重なるように、被着体ＷＫを支持面４３Ａ上に載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面４３Ａでの吸着保持を開始する。その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が第１基準位置ＲＰ１と一致すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。次に、供給手段１０および移動手段４０が回動モータ１５Ａ、４２を駆動し、上方から見下ろした上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させつつ接着シートＡＳを供給する。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから剥離され、当該離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で、第１押圧ローラ２１によって被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧されて貼付される。そして、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａの駆動を停止し、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲが押圧ローラ２１によって被着体ＷＫに貼付されると、移動手段４０が回動モータ４２の駆動を停止する。

次いで、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が第２基準位置ＲＰ２と一致すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。この際、図１（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳにおける一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨの一部が、熱風送風機２２Ａの熱風吹き付け領域に配置される。その後、貼付手段２０および移動手段４０が熱風送風機２２Ａおよび回動モータ４２を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させながら一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨに熱風ＨＡを吹き付ける。これにより、図２（Ａ）に示すように、一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向に折れ曲がるように変形していく。

次に、一方の面ＷＫ１方向に折れ曲がったはみ出し領域ＡＳＨの先頭部がはみ出し領域押圧ローラ２５の押圧領域を通過すると、貼付手段２０がリニアモータ２３および直動モータ２４を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨをはみ出し領域押圧ローラ２５で一方の面ＷＫ１方向に押圧する。そして、一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨ全体が熱風送風機２２Ａで一方の面ＷＫ１方向に折れ曲がると、貼付手段２０が熱風送風機２２Ａの駆動を停止する。次いで、同はみ出し領域ＡＳＨ全体がはみ出し領域押圧ローラ２５で一方の面ＷＫ１に押圧されると、移動手段４０が回動モータ４２の駆動を停止するとともに、貼付手段２０がリニアモータ２３および直動モータ２４を駆動し、はみ出し領域押圧ローラ２５を初期位置に復帰させる。

その後、一括押圧手段３０が直動モータ３１を駆動し、図１（Ｅ）に示すように、一方の面ＷＫ１に貼付された一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨ上に一括押圧面３２Ａが当接するまで一括押圧部材３２を下降させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該一括押圧面３２Ａでの吸着保持を開始する。次に、移動手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４３Ａでの吸着保持を解除すると、一括押圧手段３０が直動モータ３１を駆動し、図２（Ｄ）に示すように、一括押圧部材３２を初期位置に復帰させて被着体ＷＫを上昇させる。この際、図２（Ｄ）中二点鎖線で示すように、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳにおける他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨの一部が、熱風送風機２２Ａの熱風吹き付け領域に配置される。

そして、貼付手段２０および移動手段４０が熱風送風機２２Ａおよび回動モータ４４を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させながら他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨに熱風ＨＡを吹き付ける。これにより、図２（Ｄ）に示すように、他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨが他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がるように変形していく。次いで、他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がったはみ出し領域ＡＳＨの先頭部がはみ出し領域押圧ローラ２５の押圧領域を通過すると、貼付手段２０がリニアモータ２３および直動モータ２４を駆動し、図２（Ｅ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨをはみ出し領域押圧ローラ２５で他方の面ＷＫ２方向に押圧する。その後、他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨ全体が熱風送風機２２Ａで他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がると、貼付手段２０が熱風送風機２２Ａの駆動を停止する。次に、同はみ出し領域ＡＳＨ全体がはみ出し領域押圧ローラ２５で他方の面ＷＫ２に押圧され、一体物ＵＰが形成されると、移動手段４０が回動モータ４２の駆動を停止するとともに、貼付手段２０がリニアモータ２３および直動モータ２４を駆動し、はみ出し領域押圧ローラ２５を初期位置に復帰させる。

そして、一括押圧手段３０が直動モータ３１を駆動し、図２（Ｆ）に示すように、一体物ＵＰを下降させ、一括押圧面３２Ａと支持面４３Ａとで各はみ出し領域ＡＳＨそれぞれを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に押圧する。これにより、一方の面ＷＫ１に貼付されたはみ出し領域ＡＳＨが当該一方の面ＷＫ１に一括で押圧されるとともに、他方の面ＷＫ２に貼付されたはみ出し領域ＡＳＨが当該他方の面ＷＫ２に一括で押圧され、各はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がった曲がり癖が接着シートＡＳに付き易くなる。この際、一括押圧手段３０がエネルギー付与手段３３を駆動し、各はみ出し領域ＡＳＨに熱を付与するとよい。これにより、各はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がった曲がり癖が接着シートＡＳにさらに付き易くなる。

一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２への各はみ出し領域ＡＳＨの一括押圧が行われて所定時間が経過すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４３Ａでの吸着保持を開始するとともに、一括押圧手段３０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、一括押圧面３２Ａでの吸着保持を解除する。次いで、一括押圧手段３０が直動モータ３１を駆動し、一括押圧部材３２を初期位置に復帰させた後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持すると、移動手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４３Ａでの吸着保持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されたはみ出し領域ＡＳＨを当該一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２毎に一括で押圧するので、当該はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がった曲がり癖が接着シートＡＳに付き易くなる。従って、折り曲げられて被着体ＷＫに貼付されたはみ出し領域ＡＳＨが当該被着体ＷＫから剥がれ難くすることができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを一面に貼付し、はみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、他の装置や使用者が所定の供給方向に沿って接着シートＡＳを供給すればよい。

貼付手段２０は、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面としての一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付してもよいし、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う他端ＡＳ２側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面としての他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、押圧部材およびエネルギー付与手段２２のうち少なくとも一方のみで、上記の実施形態と同じように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、押圧ローラ２１、エネルギー付与手段２２およびはみ出し領域押圧ローラ２５のうち少なくとも１つに代えてまたは併用して、傾斜ローラ、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、上記のように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル４３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、移動手段４０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、上記のように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが重なり合うようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ側の先端縁と、供給方向後端部ＡＳＲの後端縁とが接触するように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ側の先端縁と、供給方向後端部ＡＳＲの後端縁との間に隙間ができるように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、接着シートＡＳを一括で外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよい。
貼付手段２０は、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを別の面としての一方の面ＷＫ１方向のみに折り曲げて貼付してもよいし、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを別の面としての他方の面ＷＫ２方向のみに折り曲げて貼付してもよいし、接着シートＡＳを貼付する一面が一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２等どのような面でもよく、例えば、一面としての一方の面ＷＫ１からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを一方の面ＷＫ１に貼付し、はみ出し領ＡＳ域を別の面としての外周面ＷＫ３や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、一面としての他方の面ＷＫ２からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを他方の面ＷＫ２に貼付し、はみ出し領ＡＳ域を別の面としての外周面ＷＫ３や一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付してもよく、接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを折り曲げて貼付する別の面は、一面と異なる別の面であればどのような面であってもよい。
エネルギー付与手段２２は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、はみ出し領域押圧ローラ２５や他の押圧部材等を介さずに、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの別の面に貼付する構成でもよいし、はみ出し領域ＡＳＨに一括で所定のエネルギーを付与することで、当該はみ出し領域ＡＳＨを一括で別の面方向に折り曲げて貼付する構成でもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

一括押圧手段３０は、貼付手段２０で一方の面ＷＫ１に貼付されたはみ出し領域ＡＳＨのみを、当該一方の面ＷＫ１に一括で押圧する構成でもよいし、貼付手段２０で他方の面ＷＫ２に貼付されたはみ出し領域ＡＳＨのみを、当該他方の面ＷＫ２に一括で押圧する構成でもよいし、接着シートＡＳの種類によって、押圧する強さや押圧する時間を変更し、折れ曲がり癖が付き易くしてもよいし、一括押圧部材３２や一括押圧面３２Ａの形状は、円形や円環形状以外に、例えば、楕円形、楕円環形状、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよく、貼付手段２０で別の面に貼付されたはみ出し領域ＡＳＨを当該別の面毎に一括で押圧できる形状であればどのような形状でもよい。
エネルギー付与手段３３は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、一括押圧部材３２の内部のみに配置されていてもよいし、支持テーブル４３の内部のみに配置されていてもよいし、一括押圧部材３２の内部や支持テーブル４３の内部以外の位置に配置されていてもよく、はみ出し領域ＡＳＨを別の面毎に一括で押圧する際に接着シートＡＳに所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに配置されていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

移動手段４０は、保持面４３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル４３が採用されてもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２および支持テーブル４３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、貼付手段２０に対して被着体ＷＫを移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよいし、貼付手段２０によって接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーと、一括押圧手段３０によって接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーは、同種のエネルギーでもよいし、異種のエネルギーでもよい。
シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳが弾性変形が可能なものとされた場合、張力付与手段を備えていてもよい。このような張力付与手段は、例えば、接着シートＡＳに加わるトルクを検知して、当該トルクが常に所定の値となるようにしながら接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する。これにより、弾性変形が可能な接着シートＡＳは、内在する弾性復元力により、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向や他の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢となる。なお、弾性復元力によって折れ曲がり姿勢となったはみ出し領域ＡＳＨは、エネルギー付与手段および押圧部材のうち少なくとも一方を介して一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付されてもよいし、エネルギー付与手段および押圧部材の両方を介さずに一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２に貼付されてもよい。
張力付与手段は、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができる。
次工程は、被着体ＷＫや接着シートＡＳを対象としためっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

接着シートＡＳは、所定のエネルギーによって変形しないものでもよいし、所定のエネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材が取り付けられていてもよいし、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２が外周面ＷＫ３に隣接していてもよいし、隣接していなくてもよい。

本発明における接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳや他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
２０…貼付手段
２２…エネルギー付与手段
３０…一括押圧手段
３３…エネルギー付与手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳ１…一端
ＡＳ２…他端
ＨＡ…熱風（所定のエネルギー）
ＳＤ…供給方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面（別の面）
ＷＫ２…他方の面（別の面）
ＷＫ３…外周面（一面）

Claims (3)

1. 所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを前記一面に貼付し、前記はみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付する貼付手段を備えたシート貼付装置において、
   前記貼付手段で前記別の面に貼付された前記はみ出し領域を、当該別の面毎に一括で押圧する一括押圧手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記接着シートは、所定のエネルギーによって変形可能に設けられ、
   前記貼付手段および一括押圧手段のうち少なくとも一方は、前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
3. 所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを前記一面に貼付し、前記はみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付する貼付工程を実施するシート貼付方法において、
   前記貼付工程で前記別の面に貼付された前記はみ出し領域を、当該別の面毎に一括で押圧する一括押圧工程をさらに行うことを特徴とするシート貼付方法。