JP2024006766A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被着体を引き付けて保持する際、当該接着シートの継目による弊害をなくすことができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】接着シートＡＳに継目ＪＰが形成されるように当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する貼付手段１０と、接着シートＡＳに当接し、当該接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを引き付けて保持する引き付け保持手段２０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、引き付け保持手段２０は、継目ＪＰを回避して接着シートＡＳに当接し、当該接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを引き付けて保持する。【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０２２－３０８７７号公報

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）で保護テープ２７（接着シート）をウェハＷ（被着体）に貼付すると、当該接着シートの継目に接着シートの重なり部や、離間部が形成されている。そのため、接着シートを介して被着体を引き付けて保持すると、重なり部の脇や離間部から減圧漏れが発生したり、重なり部や離間部の段差等によって被着体が折り曲げられて破損したりするといった接着シートの継目による弊害を発生する。

本発明の目的は、被着体を引き付けて保持する際、当該接着シートの継目による弊害をなくすことができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、継目を回避して接着シートに当接し、当該接着シートが貼付された被着体を引き付けて保持するので、被着体を引き付けて保持する際、当該接着シートの継目による弊害をなくすことができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｃ）～（Ｆ）は、図１（Ｂ）と同方向の図であるため、方向を示す矢印は省略。

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳに継目ＪＰ（図１（Ｄ）参照）が形成されるように当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する貼付工程を実施する貼付手段１０と、接着シートＡＳに当接し、当該接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを引き付けて保持する引き付け保持工程を実施する引き付け保持手段２０と、継目ＪＰの位置を検知する継目検知工程を実施する継目検知手段３０とを備え、被着体ＷＫとシート貼付装置ＥＡとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段４０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の接着シートは、所定のエネルギーとしての熱によって変形するものが採用されている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

貼付手段１０は、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給手段１１と、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳにおける当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側（図１（Ｂ）参照）および他端ＡＳ２側の両方が、被着体ＡＷの所定の一面としての外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する初期貼付工程を実施する初期貼付手段１２と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを別の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付するはみ出し領域貼付工程を実施するはみ出し領域貼付手段１３とを備えている。

供給手段１１は、当該供給手段１１を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１Ａと、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１１Ｂと、原反ＲＳを案内するガイドローラ１１Ｃと、剥離縁１１Ｄで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１１Ｅと、駆動機器としての回動モータ１１Ｆの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１１Ｇとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１１Ｈと、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１１Ｇとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１１Ｊとを備えている。

初期貼付手段１２は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ１２Ａを備えている。
なお、本実施形態では、押圧ローラ１２Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第１基準位置ＲＰ１に配置された際、供給手段１１から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。

はみ出し領域貼付手段１３は、はみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段であって、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱気を吹き付ける熱風送風機１３Ａを備えている。
なお、熱風送風機１３Ａは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第２基準位置ＲＰ２に配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付け可能な位置に配置されている。

引き付け保持手段２０は、駆動機器としての直動モータ２１と、その出力軸２１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって引き付け保持が可能な引き付け保持面２２Ａを有する支持テーブル２２とを備え、引き付け保持テーブル２２に形成された切欠部２２Ｎによって、継目ＪＰを回避して接着シートＡＳに当接し、当該接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを引き付けて保持するようになっている。
なお、引き付け保持面２２Ａは、支持テーブル２２の外周部に形成された凸部２２Ｂの天面（下側の面）となっている。

継目検知手段３０は、引き付け保持テーブル２２の上面に支持されたブラケット３１と、ブラケット３１に支持され、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器３２とを備えている。
なお、検知機器３２は、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第２基準位置ＲＰ２に配置された際、切欠部２２Ｎの上方から継目ＪＰを検知可能に設けられている。

移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４２と、その出力軸４２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって引き付け保持が可能な支持面４３Ａを有する支持テーブル４３と、出力軸４４Ａで引き付け保持手段２０を支持する駆動機器としての回動モータ４４とを備えている。
なお、本実施形態の支持面４３Ａは、支持テーブル４３の外周部に形成された環状凸部４３Ｂの天面（上側の面）となっている。
また、支持テーブル４３は、回動モータ４２によってテーブル中心４３Ｃを中心に回転する構成となっており、引き付け保持テーブル２２は、回動モータ４４によって第２基準位置ＲＰ２を中心に回転する構成となっている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１１Ｆを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１１Ｅの剥離縁１１Ｄで所定長さ剥離されると、回動モータ１１Ｆの駆動を停止する。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心４３Ｃと重なるように、被着体ＷＫを支持面４３Ａ上に載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面４３Ａでの吸着保持を開始する。その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が第１基準位置ＲＰ１と一致すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。次に、供給手段１０および移動手段４０が回動モータ１１Ｆ、４２を駆動し、上方から見下ろした上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させつつ接着シートＡＳを供給方向ＳＤに沿って供給して初期貼付を行う。これにより、接着シートＡＳは、押圧ローラ２１Ａによって押圧され、一端ＡＳ１側および他端ＡＳ２側の両方にはみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で外周面ＷＫ３に貼付されていく（図１（Ｂ）参照）。そして、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１１Ｅの剥離縁１１Ｄで所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１１Ｆの駆動を停止し、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲが押圧ローラ２１Ａによって被着体ＷＫに貼付されて初期貼付が完了すると、移動手段４０が回動モータ４２の駆動を停止する。この際、接着シートＡＳは、供給方向先端部ＡＳＦの上方に供給方向後端部ＡＳＲが重なった継目ＪＰが形成される（図１（Ｄ）参照）。

次いで、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が第２基準位置ＲＰ２と一致すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。この際、図１（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳにおける一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨが、熱風送風機１３Ａの熱気吹き付け位置に配置される。その後、貼付手段１０および移動手段４０が熱風送風機１３Ａおよび回動モータ４２を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させながら一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付けて第１貼付を行う。これにより、接着シートＡＳの一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨは、熱気によって変形し、図１（Ｃ）に示すように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１方向に折れ曲がり、当該一方の面ＷＫ１に貼付されていく。

次に、一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨ全体が被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付されて第１貼付が完了すると、貼付手段１０が熱風送風機１３Ａの駆動を停止するとともに、継目検知手段３０が検知機器３２を駆動する。そして、検知機器３２が継目ＪＰを検知すると、移動手段４０が継目検知手段３０の検知結果を基にして、図１（Ｄ）中二点鎖線で示すように、切欠部２２Ｎの直下に継目ＪＰを配置して回動モータ４２の駆動を停止する。次いで、引き付け保持手段２０が直動モータ２１を駆動し、図１（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、一方の面ＷＫ１に貼付された一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨ上に引き付け保持面２２Ａが当接するまで引き付け保持テーブル２２を下降させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該引き付け保持面２２Ａでの引き付け保持を開始する。この際、継目ＪＰは、切欠部２２Ｎによって引き付け保持面２２Ａに接触することはない。

その後、移動手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４３Ａでの吸着保持を解除した後、引き付け保持手段２０が直動モータ２１を駆動し、図１（Ｆ）に示すように、引き付け保持テーブル２２を初期位置に復帰させて被着体ＷＫを上昇させる。この際、図１（Ｆ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳにおける他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨが、熱風送風機１３Ａの熱気吹き付け位置に配置される。次に、貼付手段１０および移動手段４０が熱風送風機１３Ａおよび回動モータ４４を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させながら他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付けて第２貼付を行う。これにより、接着シートＡＳの他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨは、熱気によって変形し、図１（Ｆ）に示すように、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がり、当該他方の面ＷＫ２に貼付されていく。

そして、他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨ全体が被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に貼付されて第２貼付が完了し、一体物ＵＰが形成されると、貼付手段１０および移動手段４０が熱風送風機１２Ａおよび回動モータ４４の駆動を停止する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持すると、引き付け保持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、引き付け保持面２２Ａでの吸着保持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、移動手段４０がリニアモータ４１および回動モータ４４を駆動し、支持テーブル４３および引き付け保持テーブル２２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、継目ＪＰを回避して接着シートＡＳに当接し、当該接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを引き付けて保持するので、被着体ＷＫを引き付けて保持する際、当該接着シートＡＳの継目ＪＰによる弊害をなくすことができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、接着シートに継目が形成されるように当該接着シートを被着体に貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

貼付手段１０は、１枚の接着シートＡＳまたは複数の接着シートＡＳの一部同士を重ね合わせたり、１枚の接着シートＡＳまたは複数の接着シートＡＳの端縁同士が接触するように突き合わせたり、１枚の接着シートＡＳまたは複数の接着シートＡＳの端縁同士が接触しないように突き合わせたりして接着シートＡＳに継目ＪＰが形成されるように当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、ローラ、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、接着シートＡＳに継目ＪＰが形成されるように当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、支持テーブル４３や引き付け保持テーブル２２とで被着体ＷＫを挟み込む押え手段を備えていてもよいし、移動手段４０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを形成することなく接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、被着体ＷＫの外縁部以外の例えば中央部に継目ＪＰができるように、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、供給手段１１、初期貼付手段１２およびはみ出し領域貼付手段１３を採用することなく、例えば、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳに継目ＪＰが形成されるようにして被着体ＷＫに一括で貼付してもよい。

供給手段１１は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、他の装置や使用者が所定の供給方向に沿って接着シートＡＳを供給すればよい。

初期貼付手段１２は、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳにおける当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳにおける当該供給方向ＳＤに沿う他端ＡＳ２側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、押圧ローラ１２Ａに代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、支持テーブル４３とで被着体ＷＫを挟み込む押え手段を備えていてもよいし、移動手段４０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、外周面ＷＫ３に接着シートＡＳを貼付する構成でもよいし、接着シートＡＳを一括で外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

はみ出し領域貼付手段１３は、例えば、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、熱風送風機１３Ａの左方で他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付け可能な別の熱風送風機１３Ｂを配置し、貼付手段１０および移動手段４０が熱風送風機１３Ａ、別の熱風送風機１３Ｂおよび回動モータ４２を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させながら、熱風送風機１３Ａによって一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付けて第１貼付を行うとともに、別の熱風送風機１３Ｂによって他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付けて第２貼付を行ってもよいし、一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨのみを別の面としての一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付したり、他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨのみを別の面としての他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付したりしてもよいし、一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨの折り曲げ貼付と、他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨの折り曲げ貼付とを同時に行ってもよいし、熱風送風機１３Ａや別の熱風送風機１３Ｂに代えてまたは併用して、ローラー、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用して第１貼付や第２貼付を行ってもよいし、第１貼付や第２貼付を行う際、支持テーブル４３や引き付け保持テーブル２２とで被着体ＷＫを挟み込む押え手段を備えていてもよいし、移動手段４０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、第１貼付や第２貼付を行ってもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて第１貼付や第２貼付を行ってもよいし、第１貼付を行う第１はみ出し領域貼付手段と、第２貼付を行う第２はみ出し領域貼付手段とが別体のもので構成されていてもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよいし、第１貼付を行う際の所定のエネルギーの種類や強さ等の他、押圧力や押圧方向等といった貼付条件と、第２貼付を行う際の貼付条件とが同じでもよいし、異なっていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
はみ出し領域貼付手段１３を構成するエネルギー付与手段は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよい。
熱風送風機１３Ａは、熱気を吹き付ける方向を変更可能な首振り機構やルーバー機構等の吹き付け方向変更手段を備え、第１貼付を行うときと、第２貼付を行うときとで、熱気を吹き付ける方向を変更してもよいし、熱気を吹き付ける方向が異なる複数の熱気噴き出し口を備え、第１貼付を行うときと第２貼付を行うときとで、熱気噴き出し口を変更してもよい。

引き付け保持手段２０は、外周部に環状凸部２２Ｂが形成されていない引き付け保持テーブル２２が採用されてもよいし、第1貼付が行われた被着体ＷＫを移動させる方向や場所は、上下左右およびその他の方向等どのような方向やどのような場所でもよいし、継目ＪＰを回避した接着シートＡＳ部分全体に当接して被着体ＷＫを引き付けて保持したり、継目ＪＰを回避した接着シートＡＳ部分の一部に当接して被着体ＷＫを引き付けて保持したりしてもよいし、上記の実施形態のように、吸引による引き付け保持以外に、例えば、静電気による引き付け保持、接着剤による引き付け保持、駆動機器やチャック部材等の挟み込みによる引き付け保持等、どのような構成で接着シートＡＳに当接し、当該接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを引き付けて保持するものでもよいし、切欠部２２Ｎに代えて、例えば、凹溝や穴を引き付け保持テーブル２２に形成し、継目ＪＰを回避して接着シートＡＳに当接し、当該接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを引き付けて保持してもよい。

継目検知手段３０は、引き付け保持テーブル２２の上面以外の位置に支持されていてもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを一括で撮像したりセンシングしたりして継目ＪＰの位置を検知してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳの貼付方向後端部ＡＳＲの位置が常に一定であれば、継目ＪＰの位置は検知しなくても特定できる。

移動手段４０は、外周部に環状凸部４３Ｂが形成されていない支持テーブル４３が採用されてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨが折り曲げられて貼付された領域よりも内側で被着体ＷＫを支持または吸着保持したり、はみ出し領域ＡＳＨが折り曲げられて貼付された領域を含む他方の面ＷＫ２全体を支持または吸着保持したりする支持テーブル４３が採用されてもよいし、保持面４３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル４３が採用されてもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２および支持テーブル４３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、貼付手段１０に対して被着体ＷＫを移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に、支持部材を配置する支持部材配置手段を備えていてもよい。

接着シートは、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を所定のエネルギーとして変形するものが採用されたり、弾性変形するものや弾性変形しないものが採用されたり、所定のエネルギーによって変形しないものが採用されたりしてもよい。
継目ＪＰを形成する接着シートＡＳ部分は、当該接着シートＡＳの一端ＡＳ１側や他端ＡＳ２側でもよいし、当該接着シートＡＳの中央部でもよく、１枚の接着シートまたは複数の接着シートＡＳのどの部分によって継目ＪＰが形成されてもよい。
所定のエネルギーによって変形する接着シートＡＳとしては、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に支持部材が取り付けられていてもよい。

上記の実施形態では、所定の一面を外周面ＷＫ３としたが、当該一面は、着体ＷＫのどの面でもよく、例えば、一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２でもよい。

本発明における接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳや他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
１０…貼付手段
１２…初期貼付手段
１３…はみ出し領域貼付手段
１３Ａ…熱風送風機（エネルギー付与手段）
２０…引き付け保持手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳ１…一端
ＡＳ２…他端
ＪＰ…継目
ＳＤ…供給方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面（別の面）
ＷＫ２…他方の面（別の面）
ＷＫ３…外周面（一面）

Claims (4)

1. 接着シートに継目が形成されるように当該接着シートを被着体に貼付する貼付手段と、
   前記接着シートに当接し、当該接着シートが貼付された前記被着体を引き付けて保持する引き付け保持手段とを備えたシート貼付装置において、
   前記引き付け保持手段は、前記継目を回避して前記接着シートに当接し、当該接着シートが貼付された前記被着体を引き付けて保持することを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記貼付手段は、所定の供給方向に沿って供給された前記接着シートにおける当該供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを前記一面に貼付する初期貼付手段と、
   前記被着体に貼付された前記接着シートの前記はみ出し領域を別の面方向に折り曲げて貼付するはみ出し領域貼付手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
3. 前記接着シートは、所定のエネルギーによって変形可能に設けられ、
   前記はみ出し領域貼付手段は、前記はみ出し領域に前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
4. 接着シートに継目が形成されるように当該接着シートを被着体に貼付する貼付工程と、
   前記接着シートに引き付け保持手段を当接させ、当該接着シートが貼付された前記被着体を前記引き付け保持手段に引き付けて保持する引き付け保持工程とを実施するシート貼付方法において、
   前記引き付け保持工程では、前記継目を回避して前記接着シートに当接する前記引き付け保持手段を使用し、当該接着シートが貼付された前記被着体を引き付けて保持することを特徴とするシート貼付方法。