JP2024029590A - シート貼付方法およびシート貼付装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被着体の一方の面方向に折り曲げて貼付した接着シートのはみ出し領域が当該一方の面から極力剥がれないようにすることができるシート貼付方法およびシート貼付装置を提供すること。
【解決手段】所定の供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側に、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付する接着シート貼付手段２０を備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付された接着シートＡＳの一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨを覆うように、第２接着シートＡＳＣを一方の面ＷＫ１に貼付する第２接着シート貼付手段３０をさらに備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付方法およびシート貼付装置に関する。

被着体の外周面に接着シートを貼付するシート貼付方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１６－１５２３１７号公報

特許文献１に記載された半導体装置の製造方法（シート貼付方法）では、半導体ウエハ２０、３０（被着体）の外周部３２（外周面）に貼付された第２フィルム２２（接着シート）のはみ出し領域は、当該被着体の裏面（一方の面）に貼付されている第１フィルム２１（第２接着シート）上に折り曲げて貼付されるため、当該はみ出し領域が自身の弾性復元力によって第２接着シートから剥がれ易くなるという不都合を発生する。このような現象は、被着体に対する接着力は大きいものの、第２接着シートに対する接着力が小さい接着シートが採用された場合に顕著化する。

本発明の目的は、被着体の一方の面方向に折り曲げて貼付した接着シートのはみ出し領域が当該一方の面から極力剥がれないようにすることができるシート貼付方法およびシート貼付装置を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、被着体の一方の面方向に折り曲げて貼付された接着シートの一端側のはみ出し領域を覆うように、第２接着シートを一方の面に貼付するので、被着体から剥がれようとする接着シートのはみ出し領域の弾性復元力を第２接着シートで抑え込むことができる。従って、被着体の一方の面方向に折り曲げて貼付した接着シートのはみ出し領域が当該一方の面から極力剥がれないようにすることができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。 シート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図。図１（Ｄ）は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図。

本発明のシート貼付方法を実施するシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側（図１（Ｂ）参照）および他端ＡＳ２側の両方に、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する接着シート貼付工程を実施する接着シート貼付手段２０と、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付された接着シートの一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨを覆うように、第２接着シートＡＳＣ（図２（Ａ）参照）を一方の面ＷＫ１に貼付する第２接着シート貼付工程を実施する第２接着シート貼付手段３０とを備え、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送工程を実施する被着体搬送手段４０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の接着シートＡＳは、所定のエネルギーとしての熱によって変形するものが採用されている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状とされ、一方の面ＷＫ１の外縁部に環状または非環状の凸部ＷＫ４（図２（Ａ）参照）が形成されていてるものが採用されている。

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。を備えている。

接着シート貼付手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１押圧ローラ２１と、接着シートに所定のエネルギーである熱としての熱風ＨＡを付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段であって、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱風ＨＡを吹き付ける熱風送風機２２と、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第２押圧ローラ２３、第３押圧ローラ２４とを備えている。
なお、本実施形態の接着シート貼付手段２０は、着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁部、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２の外縁部、および、当該一方の面ＷＫ１と他方の面ＷＫ２との間に位置する外周面ＷＫ３に接着シートＡＳを貼付するようになっている。
また、第１押圧ローラ２１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。
さらに、熱風送風機２２は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに熱風ＨＡを吹き付け可能な位置に配置されている（図１（Ｃ）参照）。
また、第２、第３押圧ローラ２３、２４は、図１（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが基準位置ＲＰに配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第２、第３押圧ローラ２３、２４は、Ｚ軸に対してそれぞれ４５度、９０度基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

第２接着シート貼付手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１と、第１密閉空間ＳＰ１（図２（Ｂ）参照）を形成可能な第１密閉空間形成部材３２と、圧力センサやロードセル等の図示しない第１圧力検知手段の検知結果を基にして、第１密閉空間ＳＰ１内の圧力を加圧または減圧可能な加減圧ポンプ、真空エジェクタ、タービン等の第１圧力制御手段３３と、第２密閉空間ＳＰ２を形成可能な第２密閉空間形成部材３４と、圧力センサやロードセル等の図示しない第２圧力検知手段の検知結果を基にして、第２密閉空間ＳＰ２内の圧力を加圧または減圧可能な加減圧ポンプ、真空エジェクタ、タービン等の第２圧力制御手段３５と、駆動機器としての直動モータ３６の出力軸３６Ａに支持され、支持面３７Ａで被着体ＷＫを支持する支持テーブル３７とを備え、減圧状態で第２接着シートＡＳＣを一方の面ＷＫ１に貼付するようになっている。
第１密閉空間形成部材３２は、直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持された上ケース３２Ａと、底面で直動モータ３６を支持し、上ケース３２Ａとで第１密閉空間ＳＰ１を形成する下ケース３２Ｂとを備えている。
第２密閉空間形成部材３４は、上ケース３２Ａの下面に支持された側壁３４Ａと、上ケース３２Ａと側壁３４Ａとで第２密閉空間ＳＰ２を形成するとともに、シート支持面３４Ｃで第２接着シートＡＳＣを支持する弾性変形が可能な弾性支持部材３４Ｂとを備えている。
なお、弾性支持部材３４Ｂおよび支持テーブル３７は、減圧ポンプや静電チャック等の図示しない保持機器によって保持力が付与されるようになっている。

被着体搬送手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４２と、その出力軸４２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４３Ａを有する支持テーブル４３と、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム４４Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット４４と、先端アーム４４Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で吸着保持が可能な吸着パッド４５Ａを有する搬送アーム４５とを備えている。
なお、本実施形態の支持テーブル４３は、回動モータ４２によってテーブル中心４３Ｃを中心に回転する構成となっている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離板１４の剥離縁１４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、第２接着シートＡＳＣをシート支持面３４Ｃに宛がうと、第２接着シート貼付手段３０が図示しない保持機器を駆動し、弾性支持部材３４Ｂでの保持を開始する（図２（Ａ）参照）。また、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心４３Ｃと重なるように、被着体ＷＫを支持面４３Ａ上に載置すると、被着体搬送手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面４３Ａでの吸着保持を開始する。その後、被着体搬送手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心４３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が基準位置ＲＰと一致すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。

次に、供給手段１０および被着体搬送手段４０が回動モータ１５Ａ、１７Ａ、４２を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体ＷＫを反時計回転方向ＲＤに回転させつつ接着シートＡＳを供給するとともに、接着シート貼付手段２０が熱風送風機２２を駆動し、被着体ＷＫに向けて熱風ＨＡを吹き付ける。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから剥離され、当該離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で、第１押圧ローラ２１によって被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧されて貼付される。そして、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳが熱風送風機２２の熱風送風領域を通過すると、当該接着シートＡＳに熱風ＨＡが吹き付けられ、はみ出し領域ＡＳＨが熱風ＨＡによって変形し、図１（Ｃ）に示すように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がっていく。その後も回動モータ１５Ａ、１７Ａ、５２の駆動および熱風送風機２２の駆動が続行されると、接着シートＡＳは、図１（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、第２、第３押圧ローラ２３、２４によってはみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されていく。

次いで、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止し、接着シートＡＳの供給を停止する。その後、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨが、熱風送風機２２の熱風送風領域を通過すると、接着シート貼付手段２０が熱風送風機２２の駆動を停止し、同供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨが、第３押圧ローラ２４によって被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されて一体物ＵＰが形成されると、被着体搬送手段４０が回動モータ４２の駆動を停止する。次に、被着体搬送手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４３を初期位置に復帰させると、多関節ロボット４４を駆動し、吸着パッド４５Ａを一体物ＵＰの上面に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該吸着パッド４５Ａでの吸着保持を開始する。そして、被着体搬送手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４３Ａでの吸着保持を解除した後、多関節ロボット４４を駆動し、図２（Ａ）に示すように、吸着パッド４５Ａで吸着保持した一体物ＵＰを支持テーブル３７の支持面３７Ａ上に載置する。

次いで、第２接着シート貼付手段３０が図示しない保持機器を駆動し、支持面３７Ａでの保持を開始すると、被着体搬送手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド４５Ａでの吸着保持を解除した後、多関節ロボット４４を駆動し、搬送アーム４５を初期位置に復帰させる。その後、第２接着シート貼付手段３０が直動モータ３１を駆動し、上ケース３２Ａを下降させて下ケース３２Ｂとで第１密閉空間ＳＰ１を形成した後、第１、第２圧力制御手段３３、３５を駆動し、図示しない第１、第２圧力検知手段の検知結果を基にて第１、第２密閉空間ＳＰ１、ＳＰ２が同じ圧力となるようにしながら、それら空間（ＳＰ１、ＳＰ２）内を減圧状態としていく。次に、第１密閉空間ＳＰ１と第２密閉空間ＳＰ２とが所定の減圧状態になると、第２接着シート貼付手段３０が第１、第２圧力制御手段３３、３５の駆動を停止した後、第１圧力制御手段３３および第２圧力制御手段３５のうち少なくとも一方を駆動し、第１密閉空間ＳＰ１の圧力に対する第２密閉空間ＳＰ２の圧力を高める。これにより、弾性支持部材３４Ｂおよびそれに保持されている第２接着シートＡＳＣは、図２（Ｂ）に示すように、下方に凸な状態となる。

そして、第２接着シート貼付手段３０が直動モータ３６を駆動し、支持テーブル３７を上昇させて被着体ＷＫを第２接着シートＡＳＣに押し当てていく。これにより、第２接着シートＡＳＣは、その中央部から外縁部に向けて徐々に被着体ＷＫに押圧されていき、図２（Ｃ）に示すように、被着体ＷＫの凸部ＷＫ４に沿う残存空間ＳＰ１Ａを形成して、一方の面ＷＫ１に貼付された一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨを覆うように被着体ＷＫに貼付される。次いで、第２接着シート貼付手段３０が図示しない保持機器の駆動を停止し、弾性支持部材３４Ｂでの保持を解除した後、第１圧力制御手段３３および第２圧力制御手段３５のうち少なくとも一方を駆動し、第２密閉空間ＳＰ２の圧力と第１密閉空間ＳＰ１の圧力を同じ圧力にすることで、弾性支持部材３４Ｂを第２接着シートＡＳＣから離間させる。その後、第２接着シート貼付手段３０が第１、第２圧力制御手段３３、３５を駆動し、図示しない第１、第２圧力検知手段の検知結果を基にて第１、第２密閉空間ＳＰ１、ＳＰ２が同じ圧力となるようにしながら、それら空間（ＳＰ１、ＳＰ２）内を大気圧状態としていく。これにより、残存空間ＳＰ１Ａは、圧力差によって減少または消滅する。

次に、第２接着シート貼付手段３０が直動モータ３１を駆動し、図２（Ｄ）に示すように、上ケース３２Ａを初期位置に復帰させた後、図示しない保持機器の駆動を停止し、支持面３７Ａでの保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持面３７Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送すると、第２接着シート貼付手段３０が直動モータ３６を駆動し、支持テーブル３７を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付された接着シートＡＳの一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨを覆うように、第２接着シートＡＳＣを一方の面ＷＫ１に貼付するので、被着体ＷＫから剥がれようとする接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨの弾性復元力を第２接着シートＡＳＣで抑え込むことができる。従って、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付した接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨが当該一方の面ＷＫ１から極力剥がれないようにすることができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、接着シート貼付手段は、所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側に、被着体の外周面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを外周面に貼付し、はみ出し領域を一方の面方向に折り曲げて貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、他の装置や使用者が所定の供給方向に沿って接着シートＡＳを供給すればよい。

接着シート貼付手段２０は、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側のみに、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付してもよいし、第２、第３押圧ローラ２３、２４が上下一対でなく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみに設けられていてもよいし、第２、第３押圧ローラ２３、２４が、Ｚ軸に対してそれぞれ６０度、８９度といった角度で基準位置ＲＰ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、前記実施形態では、第１、第２、第３押圧ローラ２１、２３、２４の３体の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを３段階で被着体ＷＫに貼付したが、４体以上の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを４段階以上で被着体ＷＫに貼付したり、２体以下の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを２段階以下で被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、押圧ローラ２１、熱風送風機２２および第２、第３押圧ローラ２３、２４のうち少なくとも１つに代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、上記のように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル４３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、被着体搬送手段４０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、上記のように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが重なり合うようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ側の先端縁と、供給方向後端部ＡＳＲの後端縁とが接触するように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦ側の先端縁と、供給方向後端部ＡＳＲの後端縁との間に隙間ができるように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、接着シートＡＳを一括で外周面ＷＫ３に貼付し、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよい。
接着シート貼付手段２０は、張力付与手段１７を備えていてもよい。このような場合、接着シートＡＳとして性変形が可能なものを採用し、駆動ローラ１７Ｃを介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知し、当該トルクが常に所定の値となるようにしながら回動モータ１７Ａを駆動して接着シートＡＳを供給する。これにより、内在する弾性復元力によってはみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向や他の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢とし、当該はみ出し領域ＡＳＨを、押圧部材およびエネルギー付与手段のうち少なくとも一方を介して、一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げられて貼付したり、押圧部材およびエネルギー付与手段の両方を介さずに、一方の面ＷＫ１方向や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げられて貼付したりすることができる。このような張力付与手段１７としては、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する張力を使用者が任意に決定したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａを採用し、常に一定のトルクが接着シートＡＳに加わるようにしたりしてもよい。
エネルギー付与手段は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、第２、第３押圧ローラ２３、２４や他の押圧部材等を介さずに、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨに一括で所定のエネルギーを付与することで、当該はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

第２接着シート貼付手段３０は、例えば、帯状の第２接着シートを上ケース３２Ａと下ケース３２Ｂとで挟み込み、上記の実施形態と同様に第１、第２密閉空間ＳＰ１、ＳＰ２の圧力差を利用して帯状の第２接着シートを被着体ＷＫに貼付し、当該帯状の第２接着シートをカッター刃等の切断手段で所定形状に切断する構成でもよいし、側壁３４Ａおよび弾性支持部材３４Ｂを用いずに、帯状の第２接着シートを上ケース３２Ａと下ケース３２Ｂとで挟み込み、当該帯状の第２接着シートと上ケース３２Ａとで第１密閉空間を形成するとともに、当該帯状の第２接着シートと下ケース３２Ｂとで第２密閉空間を形成し、上記の実施形態と同様に第１、第２密閉空間の圧力差を利用して帯状の第２接着シートを被着体ＷＫに貼付し、当該帯状の第２接着シートを切断手段で所定形状に切断する構成でもよいし、第１、第２密閉空間ＳＰ１、ＳＰ２内を減圧状態とすることなく、例えば、大気圧状態または加圧状態で、上記の実施形態と同様に第１、第２密閉空間ＳＰ１、ＳＰ２の圧力差を利用して第２接着シートＡＳＣを一方の面ＷＫ１に貼付してもよいし、接着シート貼付手段２０と同じように、所定の供給方向に沿って供給された第２接着シートＡＳＣを、第１押圧ローラ２１と同等のもので、接着シートの一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨを覆うように第２接着シートＡＳＣを一方の面ＷＫ１に貼付する構成でもよい。

被着体搬送手段４０は、保持面４３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル４３が採用されてもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２および支持テーブル４３に代えて多関節ロボット４４および搬送アーム４５によって、接着シート貼付手段２０に対して被着体ＷＫを移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、リニアモータ４１、回動モータ４２、支持テーブル４３、多関節ロボット４４および搬送アーム４５に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを搬送してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳや１枚の第２接着シートＡＳＣを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳや複数の第２接着シートＡＳＣを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳや第２接着シートＡＳＣで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよい。
次工程は、被着体ＷＫや接着シートＡＳを対象としためっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

接着シートＡＳは、所定のエネルギーによって変形しないものでもよいし、所定のエネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、他方の面ＷＫ２側のみに凸部ＷＫ４が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側の両方に、凸部ＷＫ４が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側の両方に、凸部ＷＫ４が形成されていなくてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材が取り付けられていてもよい。

本発明における接着シートＡＳ、第２接着シートＡＳＣ、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、第２接着シートＡＳＣ、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳおよび第２接着シートＡＳＣ、は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳや第２接着シートＡＳＣが採用された場合は、当該接着シートＡＳや第２接着シートＡＳＣを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳや第２接着シートＡＳＣは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳ、第２接着シートＡＳＣまたは他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
２０…接着シート貼付手段
２２…熱風送風機（エネルギー付与手段）
３０…第２接着シート貼付手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＣ…第２接着シート
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳ１…一端
ＨＡ…熱風（所定のエネルギー）
ＳＤ…供給方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ３…外周面

Claims (4)

1. 所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側に、被着体の外周面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを前記外周面に貼付し、前記はみ出し領域を前記被着体の一方の面方向に折り曲げて貼付する接着シート貼付工程を実施するシート貼付方法において、
   前記被着体の前記一方の面方向に折り曲げて貼付された前記接着シートの前記一端側のはみ出し領域を覆うように、第２接着シートを前記一方の面に貼付する第２接着シート貼付工程をさらに行うことを特徴とするシート貼付方法。
2. 前記接着シートは、所定のエネルギーによって変形可能に設けられ、
   前記接着シート貼付工程では、前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与工程を行うことを特徴とする請求項１に記載のシート貼付方法。
3. 前記第２接着シート貼付工程は、減圧雰囲気で前記第２接着シートを前記一方の面に貼付することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付方法。
4. 所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側に、被着体の外周面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを前記外周面に貼付し、前記はみ出し領域を前記被着体の一方の面方向に折り曲げて貼付する接着シート貼付手段を備えたシート貼付装置において、
   前記被着体の前記一方の面方向に折り曲げて貼付された前記接着シートの前記一端側のはみ出し領域を覆うように、第２接着シートを前記一方の面に貼付する第２接着シート貼付手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。